JPH0469713A - 自走台車及び半導体製造ライン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は搬送物の運搬を行う自走台車において、特に半
導体製造等の振動を嫌う精密品等の搬送に好適な防振台
を備えた自走台車に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、例えば特開平１−１３５４８５号公報に
記載のように、搬送物は搬送物取付台上にセットされ、
４角をコーナガイドされ、常に一定の姿勢に保たれてい
るとなっており、防振台によって積極的に搬送物の防振
を行うことは考慮されていなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術によれば、自走台車の走行速度、及び走行
面の状態により、大きな振動の発生が避けられない。

特に、自走台車によって搬送される搬送物が半導体製造
工程におけるウェハである場合、搬送中の振動によって
ウェハの外縁部に欠けを生じたり、ウェハが周辺と擦れ
塵埃が発生しウェハが汚染されることがある。半導体製
造工程では、通常製造中のウェハを四ふつ化エチレン製
またはポリプロピレン製のカセットに納めて搬送される
。これらの材料は柔らかくてウェハに損傷を与えにくく
、有機材料としては摩耗しすらいが、それでも摩耗は生
じる。半導体製造工程においては、わずかな摩耗粉も不
良の原因になり得るので、摺動は極力避けるべきである
。しかし、これらの材料は摩擦係数が低く、わずかの振
動加速度でもウェハが搭載台上で動いてしまう。例えば
、四ふつ化エチレンの場合、大気中での軽荷重における
金属との静摩擦係数は０．１程度である。このため、ウ
ェハの搭載台に四ふつ化エチレンを用いた場合、振動加
速度は以下のように０．１Ｇ（約］、ｍ／ｓ２）以下に
抑える必要がある。

Ｆ、　＝αＭ Ｆ２−μＭｇ 今、　Ｆ、≦Ｆ２より αＭ　−μＭｇ ・“・　　α−μ　ｇ 但しＦｌ：摺動を起こす力 Ｆ２：摺動を防止する力 α：振動加速度 Ｍ・ウェハの質量 μ：静摩擦係数 ｇ：重力加速度 従来の自走台車の場合、搬送路の路面状態等が良くても
、０．３Ｇ（約３ｍ／ｓ”）程度の振動加速度が搬送物
に加わる。さらに路面の状態等が悪ければＯ，，７Ｇ（
約７ｍ／ｓ”）から１．、Ｇ（約１．、Ｏｍ　／　ｓ　
２）以上の振動加速度が搬送物に加わる場合もある。

このように従来技術は、半導体製造工程におけるウェハ
搬送のように、特に振動を嫌う搬送について十分な配慮
がなされておらず、搬送物に衝撃を与え、障害を発生す
る問題があった。特に搬送物が進導体ウェハ等の場合搭
載台等の摩耗による塵埃の発生などが原因でウェハの品
質不良が生じるという問題がある。

本発明の目的は、搬送物にはとんと振動を与えず搬送す
る機構を備えた自走台車を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、搬送物の振動を防止すると
共に、搬送物の位置決めを行い確実に搬送物を積降ろす
機能を備えた自走台中を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

」二記「１的を達成するために、搬送物を搭載する搭載
台を備えた自走台車において、上記自走台車が走行面か
ら受ける振動の内、高周波領域については、コム発条も
しくは発条・ダンパ等の受動機械部品の組合せを中心と
して、低周波領域については、旧記自走台車が走行面か
ら受ける振動を仮想不動点からの加速度として検出する
検出手段の検出結果に基いて、自走台車本体に加速度を
与える能動機械部品を中心として振動を打ち消すことで
前記搭載台の固有振動数を自走台車本体の固有振動数の
１／√２より低くなるようにした防振台と、搬送物を防
振台に載せるときまたは搬送物を搭載台から降ろすとき
に、搭載台と自走台１１４本体との位置関係を計測する
位置センサを設け、搭載台の自走台車との位置関係を定
まった基準位置にする位置決め手段を有する搭載台を設
けた。

さらに前記位置決め機構のアクチュエータを磁界による
直劾形直線状駆動装置とし、［）ＩＩ記位置決め機構の
機構誤差に起因する振動を防止した、。

〔作用〕

自走台車の防振台は固有振動数の低い移動＝＝ｆ能な柔
軟支持構造であるので、自走台車本体に振動か発生した
場合、搬送物に加わる加速度が小さくなる３Ｌうに搭載
台か移動するため、自走台車の振動か搬送物に伝達され
ないで防止される。この柔軟ｕ乃構造の固イＪ振動数は
自走台車全体の固有振動数の１　／”　Ｊ’　２より低
く押えられているので、自走台車の固イＪ振動数以」二
の振動に対し、有効に振動が遮断される。

受動機械部品を用いた固イＪ振動数の低い防振系を用い
る八けの場合、路面のうねりなどによって、搭載台の固
有振動数に近い周波数で自走台車が振動した場合、かえ
って搭載台の振動を増幅してしまう。そこで、搭載台に
加速度センサ及びアクチュエータを設け、搭載台を慣性
系（仮想不動点）に対して移動しないようにアクチュエ
ータを制御することによって能動防振機構を設け、この
能動防振機構により、受動機械部品を用いた固有振動数
の低い防振系を用いるだけの場合と比べ、特に低周波の
起振力に対する振動がより効果的に防止される。

さらに、自走台車に対し固定した位置決め機構によって
、搭載台の１′：Ｊ走台車との位置関係を定まった基準
１ｒＺ置に固定する機構を設けたので、積降し時におい
て搬送物の自走台車に対する位置が定まるため、例えば
ロボットアーム等の移載機構による移載か確実に行われ
る。さらに、搭載台と自走台中との位置関係を計測する
位置センサを設け、１１１ｊ記位置決め機構の制御を徐
々に立ち１〕けるため、搭載台の位置合ゼを、搭載台の
現状の位置・移動速度か急変ぜず、位置決め動作時にＩ
ハ載台を急速に基準位置に移動させることによる振動か
発生しない。

前記、能動防振機構、及び位置決め機構に共有のアクチ
ュエータとして、機械的減速機構を設けず、磁界による
直劾形直線状駆動装置を用いたため、アクチュエータの
定置部と可動部の接合が緩やかである。このため、防振
動作時にたいし、高周波領域は受動防振機構に、低周波
領域は能動防振機構に分担できる。また、高周波振動に
対しアクチュエータが応答遅れをもっても、高周波領域
の感度を下げることで、全体の防振能力を損なうことな
く、自励発振を防止できる。さらに、搭載台と位置決め
機構の定置部分直接接触することが無く、機械的位置決
め機構を用いた場合に問題となる。剛体接触による大き
な加速度に起因する振動を発生させることもない。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を説明する。第１図は本発明の防
振台を備えた自走台車の全体を示す斜視図である。自走
台車１は防振台２を２ユニット備え、各々の防振台２の
上面に搭載台３が設けられている。一方自走台車１は移
載機構としてロボットアーム４を設けており、ロボット
アーム４は搬送物１０１の把持に好適な形状を有する把
持機構５を備えている。搬送物１０１は自走台車１の走
行時には搭載台３に搭載される。搭載台３の表面には搬
送物１０１の形状に近似した凹みを設けた当て板３１か
設けられており、搬送物１０１は当て板３１の凹みによ
って搭載台３に対して固定される。自走台車１は走行面
２０１の上を移動する。防振台２は搭載台３の振動を防
止する働きがあるため、例えば走行面２０１に継目段差
２０２があって、継目段差２０２上を自走台車１が通過
する際、自走台車１が振動しても、搭載台３はほとんど
振動せず、搬送物１０１に振動が伝わらない。

半導体製造工程では、わずかの摩耗粉も不良の原因にな
りえるので、摺動は避ける必要があるので製造中のウェ
ハを四ふつ化エチレン製またはポリプロピレン製のカセ
ットに納めて搬送する。これらの材料は柔らかくてウェ
ハに損傷を与えにくいが、摩擦係数が低く、わずかの振
動でもウェハが動いてしまう。例えば、四ふつ化エチレ
ンの場合、軽荷重における金属との静摩擦係数は０．１
程度である。このため、発明の解決しようとする課題の
項で述べたように、振動加速度はＯ，］、Ｇ（約１ｍ　
／　ｓ　２）以下に抑える必要がある。

第２図は本発明の防振台２及び搭載台３の一組の縦断面
図である防振台２の上板２８ａ及び側板２８ｂは発条２
１及び上下移動するガイド２２によって、上下方向移動
可能に支えられている。さらに上板２８ａにはボイスコ
イルモータ２３の可動コイル、加速度センサ２０、位置
センサ２４が取付けられている。

発条２１、ガイド２２、ボイスコイルモータ２３の界磁
発生部は、紙面直角方向に移動するステージ２５ａに取
付けられている。ステージ２５ａの下側には同様の構成
で紙面内構方向に移動しつるステージ２５ｂが設けられ
ており、固定部２５ｃに取付けられている。固定部２５
ｃは台座２８ｄに取付けられている。

これらのステージ２５ａ及びステージ２５ｂは各々その
移動方向に支えるガイド２６、及び発条２７によって各
々の下側の部品に取付けられている。このステージ２５
ａから発条２７までの部品の組合せによる機構から、ス
テージ２５ａは台座２８ｃと相対的に柔軟に移動しつる
。ここで搭載台３と搬送物１０１等の振動する物体の合
計の質量と、発条２１の発条定数から定まる防振台２の
固有振動数は、自走台車１の質量および自走台車１の剛
性から定まる自走台車１の固有振動数の１７Ｊ２より低
く押えられているので、自走台車１の走行に伴う振動は
有効に遮断される。本実施例では、自走台車１の固有振
動数１４）１ｚにだいし防振台２の固有振動数は３．６
Ｈｚに設計されており、自走台車１の振動エネルギーの
ほとんどが分布する１４Ｈｚ以上の振動にたいし十分な
防振効果がある。

しかし、例えば走行面２０１にうねりがあり、自走台車
１に低周波の振動を与える場合、自走台車１の固有振動
数以下でも振動する。ここで防振台２の固有振動数のＪ
２倍以下の振動に対しては受動機械部品のみで構成した
防振台では効果が無く、防振台２の固有振動数付近の振
動は逆に増幅してしまう。この低周波振動を防止するた
め、能動防振機構を用いるが、能動防振機構はエネルギ
ー損失が大きいため、受動防振機構で出来るだけ多くの
振動エネルギーを吸収したい。この点では、防振台２の
固有振動数は極力低くする必要がある。

反面、固イＪ振動数を低くするためには、振動する物体
の合計質量を大きくするが、発条２１の発条定数を低く
する必要がある。しがし、搭載台３に極端に重い錘を載
せ質量を増加させることは、自走台車を大型化し空間効
率を悪くなり消費エネルギーの点でも好ましくない。発
条定数を下げるのみでは、搬送物の位置が変化しやすく
移→侃時に制度か悪くなる。とくに」−下振動にだいし
搬送物１．０　ｌの質量変化か位置制度に与える影響が
大きい。例えば半導体製造工程においてウェハカセット
内に何枚のウェハが納められているかはロットにょって
変動するため搬送物１．０　＋の質量が変動する。この
ためロットによって搬送物１０１の沈み込み量が変化し
、ロホットアーム４で搬送物１０１が把持出来なくなる
場合もある。そこで、移載時の搬送物の位置精度を高め
るため、位置決め機構を設けた。

上下方向の位置合せは後述するボイスコイルモータを利
用した位置合せを行う。前後左右方向の位置合せは、機
械的位置合せを行う。ステージ２５ａからはピン２７ｂ
が下方に伸びており、これを台座２８ｄに固定された把
持装置２７ａが把持することが出来る。把持装置２７ａ
かピン２７ｂを把持することによってステージ２５ａは
台座２８ｃに対して固定される。

ここでピン２７ｂの把持装置２７ａによって把持される
部分は表面が滑りの良い柔軟材で構成されているため、
把持時点で発生ずる振動は小さい。

側板２８ｃはステージ２５ａに固定されており、ステー
ジ２５ａとともにｉ′ｌｆ後に移動する。ここで、側板
２８ｃは、側板２８１）及び台座２８ｄと、各々ラビリ
ンス２９ａ及びラビリンス２９ｂを構成している。さら
に、防振台２の内部は減圧されているので、防振台２の
内部で塵埃が発生しても、搭載台３の方へ漏れだすこと
が無い。

防振台２の上板２８ａにはバランザ重り３５、及び脚部
３３が取イマ１けられている。脚部３３には、搭載台上
板３２が取付けられ、さらにワークセンサ３４、及び凹
みを設けた当て板３１が設けられ、搭載台３を構成して
いる。

上記の構成に依って、防振台２は」二下、前後、左右の
３軸方向の振動を防振しつる。ここで、本実施例では、
搬送物の摺動が発生を防止するには上下方向の振動を防
止すればよいことから、上下方向は能動素子を併用した
防振機構とし、１ｍ後、左右方向は受動素子のみによる
防振機構とした。

本実施例で特に重要な」−下方向の防振及び位置決めに
ついてより細かく説明する。

第３図は本発明の防振台２の上下方向の防振機構を示す
概念図である。搭載台３を支える部品は発条２１、ガイ
ド２２、ボイスコイルモータ２３である。

ガイド２２は、上下振動成分にたいしては、周辺の空気
との摩擦成分と共にその駆動抵抗分がダンピングとして
作用する。搬送時の自走台車１の振動は発条２１の発条
定数ｋ、及びガイド２２のダンピングＣを介して、搭載
台３と搬送物１０１を振動さぜる。この振動を加速度セ
ンサ２０で計測し、これを打ち消す方向に推力Ｆ　ｖｃ
ｍを発生させるために、ボイスコイルモータ２３に電流
を流す。一方、移載時には位置センサ２１によって搭載
台３の位置を計測し、位置すれを打ち消す方向に推力Ｆ
　ｖｃｍを発生させるために、ボイスコイルモータ２３
に電流を流す。この加速度センサは、完成計に対する被
搬送物の加速度を計測できる。つまり、加速度センサを
用いれは台車自体が振動しても被搬送物を仮想不動点言
い変えれば地球に対し、はとんど振動しないように制御
することか可能である。

特に、加速度センサの値を積分すれは、仮想不動点に対
するダンパ（別名スカイフックダンパ）としての機能を
持たせることができる。この機能は通常の受動防振と比
較し、低周波領域での防振に特に効果を有する。

第４図は本発明の防振台２の」二下方向の防振機構の制
御部の動作を示すブロックダイヤグラムである。自走台
車１の走行面２旧から受ける加振力３０１は自走台車１
及び防振台２を介し加速度センサ２０及び搬送物１０１
を加振する。この振動は振動加速度３０２として加速度
センサ２０によって電圧信号３０３に変換され、基準電
圧３０４から減算し、比例積分増幅機３１１によって電
流３０５に変換されボイスコイルモータ２３に入力され
、ボイスコイルモータ２３を駆動することで振動を打ち
消す。ここで振動の検出に加速度センサ２０を用いたた
め、その反転増幅出力は振動物の仮想的な質量を増加し
、固有振動数を低下する働きを行い、反転積分出力は振
動物の慣性座標系に対する加速度を打ち消す働きをする
。このため受動部品のみで構成される防振機構に比して
、搬送物１０１に加わる振動は小さくなる。

第５図は本発明の防振台２の上下方向の位置決め機構の
制御部の動作を示すブロックダイヤグラムである。自走
台車走行中は車輪等の振動源が働くため、防振機能が最
重要であるが搬送終了後、移載時には振動域が働かなく
なるため防振機能より位置決め性能の方が重要になる。

位置決め性が悪いと自走台車もしくは地上に設けたロボ
ットアーム等の移載機構による搬送物の積降しが困難と
なり、ハンドリングミスによって被搬送物に不要な振動
を与えることになる。そこで台車の静止によって重要性
の低くなった防振機能を中断し、能動防振に使用してい
たボイスコイルモータ２３を位置決めに使用する。搬送
物１０１の位置３１０は位置センサ２１によって基準位
置３０７からの変位として検出され電圧信号３０８に変
換され、Ｐ丁り増幅機３１２によって電流３０９に変換
されボイスコイルモータ２３に入力され、ボイスコイル
モータ２３を駆動することで偏差を打ち消す。ここで偏
差の修正にボイスコイルモータ２３を用いたためピンを
チャックする機械的な位置決め機構を用いた場合に比べ
、剛体接触による大きな加速度に起因する振動の発生が
防止できる。さらに、必要に応じてボイスコイルモータ
２３を能動防振用と位置決め用に使いわけるため、機構
の軽量化ができ移動体である台車の負荷が軽減できる。

上記のように防振機構と位置決め機構を有するため、受
動機械部品のみで構成した防振機構に比較し共振周波数
を下げながらも、搬送物の質量の＼１９゜ 変動にたいし安定な位置決めが可能である。

しかし、防振機構にボイスコイルモータ２３を用いたも
のであっても、防振動作と位置決め動作を何ら考慮をし
ないで切り替えたのでは、切り替え時に振動が発生して
しまう。第６図は本発明の防振台２の制御手法のモード
切り替えが振動の発生を招きうることを示す図である。

いま防振モードから信号を急に位置合せモードに切り替
えた場合、加速センサアンプ感度３２４は急に０になり
、振動抑止効果は無くなる。ここで位置センサアンプ感
度３２２が急に立ち上がれば、位置ずれを修正するため
、急激な位置合せが生じ、位置が３２０のように振動す
る。そこで位置センサアンプ感度を３２３のようにゆっ
くり立ち上げれば、振動は抑止され、位置は３２１の波
形となる。

第６図に示した切り替えを実現したものが第７図のブロ
ック図である。加速センサ２０及び位置センサ２４の出
力は各々比例積分増幅機３１１．　Ｐ　Ｉ　Ｄ増幅機３
１２に依って増幅される。ここで加速センサからの信号
はアナログスイッチ３１３によってｏｎｌｏｆｆされる
が、位置センサからの信号は、積分器３１４の出力と掛
は算機３１５に依って掛は算される。

これらの信号が最終増幅機３１６によって駆動電流に変
換されボイスコイルモータ２３を駆動する。

第８図は、上記制御系による能動防振と、機械系による
受動防振の分担を示す防振効率の分布図である。ここで
言う防振効率とは、伝達関数の補数である。一般に受動
防振は特性３５０に示したように、固有振動数のＪ２倍
以下の振動数に対しては、効果がない。このため受動系
の防振を行なう場合には、防振台の固有振動数を極力下
げる。しかし、この場合弱い発条を用いて支えることに
なるので、位置精度か出しにくくなり固有振動数の低減
に限界を生じる。

第９図は本実施例の防振台を備えた自走台車を半導体製
造工程の各々の装置コントローラと、自走台車の位置制
御、と防振機能を備えた搭載台の位置決め、及び自走台
車上に設けられた移載機構の制御をラインコントローラ
を介して双方向通信により情報の受渡しの１例を示した
ものである。

第１Ｏ図は自走合手、防振機能付き搭載台、及び移載機
構のラインコントローラにより１ｌｉｌｌυ１１の流れ
図で、まず、ラインコントローラから自走台車に対して
位置ｒ　Ａ点からＢ点へ−１の指令をする（スデップ１
，００１．）。自走台ＦｌｉはＡ点がどうかを自走台車
に設けられた位置検出機の検出結果により判定する（１
００２　）。自走台ＩｌｆはＡ点でなけれはＡ点まで自
走台車を移動する（］、、００３）。自走台車がＡ点に
到達したらそこで自走台車に設けられた移載機構により
ワークを取り出す（１，００４，）。移載機構によりワ
ークを取り出すと防振台を位置決めモートにする（１．
００５）。自走台車をＢ点へ移動する（１．００６）。

自走台車がＢ点へ移動したら防振台を位置決めモー　ド
にする（１．００７）。防振台の位置決めが完了したら
移載機構により防振台からワークを取り出す（１，００
８）。移載機構によりワークの取り出しが完了したら防
振台の電源を切る（１００９）。ワークをＢ点に置＜　
（］、、０ＩＯ）。この一連の作業が完了したらライン
コントローラからの次の指令を待つ（１，０１，］、　
）。

第１１図は本実施例の防振台を備えた自走台車を半導体
製造工程に用いた状態の１例を示す斜視図である。半導
体製造工程ではこの様に各種の半導体製造装置、例えば
洗浄装置２０３ａ、　レジスト装置２０３１）、受渡し
装置２０３ｃ等が搬送路の周辺に配置され、この開を自
走台車が走行する形態を取る。この際、床面２０４上に
走行面２０１が設けられているが、第１図において説明
したように継目段差２０２の存在が避けられず、また床
面２０４は無塵室内の無塵状態を保つためのダウンフロ
ーを実現する必要から網目状もしくはずのこ状であり、
床下は中空である。このため、防振台２を用いすに、搬
送時の振動をＯ，、］、、Ｇ（約１ｍ／ｓ２）以下に保
てるだけの走行面２０４の面精度を実現することは極め
て困難である。また半導体製造装置２０３は種類が多く
現状ではウェハカセッ１〜の移載場所もまちまちである
ため、移載にはロボットアーム４を使用するが、この際
確実な移載を搬送物を振動させずに行うため、ウェハカ
セットの位置決めか重要である。

以上、本発明の１実施例について説明したが、搬送物１
０１の特性によっては受動式防振機構と能動式防振機構
の組合せを変更することも可能である。例えば液状物を
搬送する場合、上下振動より、水平面内振動が重要にな
るので、水平面内振動を能動式防振機構によって防振す
ることが好ましい。

さらに防振機構に許されるエネルギー消費と総重量に余
裕があるならば、各軸とも能動式防振機構を用いるほう
か好ましいことは当然である。

〔発明の効果〕

本発明に依れば、半導体製造工程におけるウェハの如き
振動を嫌う搬送物についても、自走台車で搬送する場合
、自走台車の振動を搬送物に加わらないようにできるの
で、搬送物に障害を発生させること無く搬送できる効果
がある。

また、搬送物を搭載する搭載台と自走台車本体との位置
関係を定まった基準位置に位置決めすることができるの
で移載機構による搬送物の積降しを確実に行うことがで
きる。

さらに、位置決め手段の制御を徐々に立ち上げるため、
搭載台の位置合せを、搭載台の現状に位置・移動速度が
急変せず、位置決め動作時に搭載台を急速に基準位置に
移動させることによる振動が発生せす、位置決め時間を
短縮させる効果も有る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の全体を示す斜視図、第２図は本発明の
防振台を示す縦断面図、第３図は本発明の防振台の重要
方向の防振に用いる能動式防振機構を示す概念図、第４
図、第５図は本発明の防振機構の制御の２方式を示すブ
ロック図、第６図は防振制御切り替え時の振動発生の危
険性の説明図、第７図は第６図の危険を除去した防振制
御切り替え方式を実現する制御系のブロック図、第８図
は、上記制御系による能動防振と、機械系による受動防
振の分担を示す防振効率の分布図、第９図は半導体製造
工程のブロック図、第１０図は半導体製造工程の自走台
車が半導体を搬送する時の流れ図、第１１図は本実施例
の防振台を備えた自走台車を半導体製造工程に用いた状
態を示す斜視図である。 〔符号の説明〕 １・・・自走台車 ３・・・搭載台 ５・・・把持装置 ２０１・・・走行面 ２・・・防振台 ４・・・ロボットアーム １０１・・・搬送物 ヒ 弔 ４１叉 、、／Ｖ３０ 鵠 関 唾

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、搬送物を搭載する搭載台を備えた自走台車において
   、搬送物に加わる振動加速度が小さくなるように機能す
   ることによって、固有振動数を自走台車本体の固有振動
   数の１／√２より低くする防振台を有することを特徴と
   する自走台車。 ２、搬送物を搭載する搭載台を備えた自走台車において
   、該自走台車と搭載台の間に柔軟支持機構を設け、搬送
   物に加わる振動加速度が小さくなるように機能すること
   によって、搭載台の固有振動数を自走台車本体の固有振
   動数の１／√２より低くする防振台を有することを特徴
   とする自走台車。 ３、搬送物を搭載する搭載台を備えた自走台車において
   、上記自走台車が走行面から受ける振動を仮想不動点か
   らの加速度として検出する検出手段と、上記検出手段か
   らの情報に基づき、自走台車の振動加速度を打ち消し、
   搬送物に加わる振動加速度を小さくし、自走台車本体の
   固有振動数の１／√２よりも低くするように加速度を上
   記搭載台に与える手段とを備えた防振台を有することを
   特徴とする自走台車。 ４、搬送物を搭載する搭載台を備えた自走台車において
   、上記自走台車が走行面から受ける振動の内、高周波領
   域については、ゴム発条もしくは発条・ダンパ等の受動
   機械部品の組合せを中心として、低周波領域については
   、上記自走台車が走行面から受ける振動を仮想不動点か
   らの加速度として検出する検出手段の検出結果に基いて
   、自走台車本体に加速を与える能動機械部品を中心とし
   て振動を打ち消すことで前記搭載台の固有振動数を自走
   台車本体の固有振動数の１／√２より低くなるようにし
   た防振台を有することを特徴とする自走台車。 ５、搬送物を搭載する搭載台を備えた自走台車において
   、該搭載台の固有振動数を自走台車本体の固有振動数の
   １／√２よりも低くするように、上記自走台車が走行面
   から受ける振動を、ゴム発条もしくは発条・ダンパ等の
   受動機械部品の組合、及び上記自走台車が走行面から受
   ける振動を仮想不動点からの加速度として検出する検出
   手段の検出結果に基いて振動を打ち消すよう、自走台車
   本体に振動加速度を与える直動モータ等の能動機械部品
   に供給される電流を制御する制御手段とを備えた防振台
   を有することを特徴とする自走台車。 ６、搬送物を搭載する搭載台を備えた自走台車において
   、上記自走台車が走行面から受ける振動を、ゴム発条も
   しくは発条・ダンパ等の受動機械部品の組合、及び上記
   自走台車が走行面から受ける振動を加速度として検出す
   る検出手段の検出結果に基いて振動を打ち消すよう、自
   走台車本体に振動加速度を与える直動モータ等の能動機
   械部品に供給される電流を制御する制御回路とにより前
   記搭載台の固有振動数を自走台車本体の固有振動数の１
   ／√２よりも低くし、かつ搬送物を搭載台に載せるとき
   または降ろすときに、搬送台と自走台車本体に対する位
   置関係を計測する位置検出手段を設け、搭載台と自走台
   車との位置関係を定まった基準位置に位置決めする位置
   決め手段を備えた防振台を有することを特徴とする自走
   台車。 ７、請求項６記載の自走台車において、搬送物の位置決
   めを徐々に行うようにした防振台としたことを特徴とす
   る自走台車。 ８、半導体ウェハを搭載する搭載台を備え、クリーンル
   ーム内を走行して半導体ウェハを搬送する自走台車にお
   いて、半導体ウェハに加わる振動加速度が小さくなるよ
   うに機能することによって、振動によるウェハへの衝撃
   及び塵埃を発生させないようにした防振台を有すること
   を特徴とする自走台車。 ９、請求項１から８いずれか記載の自走台車において、
   搬送物を積み降ろす移載手段を有することを特徴とする
   防振台を備えた自走台車。 １０、請求項１から９記載の自走台車によつて半導体製
   造装置間を半導体ウェハ搬送するため前記自走台車に半
   導体ウェハを積降し時に該半導体ウェハの位置決めを同
   時に行なうことを特徴とする半導体製造ライン。