JPS63203464A - 荷搬送用自走台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、半導体工場等において用いられる荷搬送用
自走台車に関する。

［従来技術］ 近年、半導体工場においては、工場内の無塵化のためウ
ェハの搬送にリニアモータを利用と７た荷搬送用自走台
車が用いられつつある。

ところで、ウェハの表面は傷付き安く、その搬送には十
分に気を付けなければならない。しかしながら、荷搬送
用自走台車の走行の際には多少とも振動が生じ、このた
め、本発明の発明者は荷搬送用自走台車を次のように構
成して、振動によって生じるウェハの損傷を防止しよう
とした。（実願昭６１−１８１５３１号参照） 第７図および第８図は各々、上記の荷搬送用自走台車の
構成を示す正面図および側面図である。

これらの図において、■は両側部が７字成型された平板
状のレールであり、上面に進行磁界を発生するりニアモ
ータの１次側ユニット２が取り付けられている。このレ
ールｌは支持台Ｒ上に取り付けられており、この支持台
Ｒの左側面には停止用電磁石３が取り付けられている。

また、４は略コ字状に形成された搬送台車であり、第８
図に示すように衝突の際の衝撃を吸収するバンバＢ、Ｂ
が前後に取り付けられている。この搬送台車４の上板下
面に前記リニアモータの１次側ユニット２に対面するよ
うに２次側ユニット５が取り付けられている。また、こ
の搬送台車４の側板内面には、前記レールｌのＶ字状の
側部を挟持するように車輪６ａ、６ｂおよび６ｃ、６ｄ
が回動可能に取り付けられている。また、搬送台車４の
左側板内面には、前記停止用電磁石３に対面するように
停止用コア７が取り付けられている。また、搬送台車４
の上板上面には、ウェハカセット８が収納される収納容
器９が取り付けられている。この収納容器９の底面にカ
セット載置台ｌＯが取り付けである。このカセット載置
台１０は、左脚部１０ａと、この左脚部１０ａに一定の
角度αを以て形成された平板部１０ｂと、平板部ｔａｂ
の右端近傍に形成され、左脚部１０ａより高い垂直高を
有する断面り字状の右脚部１０ｃとから形成−されてい
る。

また、１２はＬ字状のカセット支持部材であり、カセッ
ト載置台ｌＯの左端近傍に取り付けられ、ウェハカセッ
ト８を支持している。また、ウェハカセット８は第９図
に示すように、両側板内面にスリットＡ、Ａ・・・が垂
直に切られており、このスリットＡＳＡ・・・に円形状
のウェハ１１．１１・・・が起てて収納されるようにな
っている。なお、上記の荷搬送用自走台車においては搬
送台車４の進行方向の水平面に対して右上がりの傾斜を
カセット載置台ｌＯに付けであるが、このカセット載置
台１０の傾斜は左上がりの傾斜としてもよい。

上記の構成において、ウェハ１１を搬送する場合、ウェ
ハ１１の裏面が同一側になるようにウェハカセット８に
収納する。次にウェハカセット８をカセット載置台ｌＯ
にウェハ１１の裏面が左側になるようにセットして、搬
送台車４を走行させる。

［発明が解決しようとする問題］ ところで、上記の荷搬送用自走台車において、搬送台車
４の定常走行時には搬送台車４の振動が極めて少ないの
で、ウェハＩｔの裏面が常にウェハカセット８の内面に
当たり、表面はウェハカセット８の内面に当たらない。

しかしながら、搬送台車４が急加速、減速する場合また
は急カーブを曲がる場合に搬送台車４には加速度、遠心
力が働き、急激な振動が生じる場合がある。この振動が
収納容器９、カセット載置台１０へと伝わると、ウェハ
カセット８が急激に振動し、ウェハ１１がウェハカセッ
ト８内部で揺れ動き、ウェハ１１の表面がウェハカセッ
ト８の内面にぶつかり、ウェハｌｌの表面に損傷を与え
るという場合があった。

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、搬送台車の急激な振動の際にもウェハ表面に傷を付
けることなく、ウェハを搬送することができる荷搬送用
自走台車を提供することにある。

［問題を解決するための手段］ この発明は、垂直方向に伸縮自在に形成された弾性体か
ら成る第１の緩衝部と、水平方向に伸縮自在な弾性体か
ら成る第２の緩衝部とを具備してなる緩衝装置を荷台と
台車との間に取り付けたことを特徴とする。

［作用］ この発明によれば、被搬送物を搬送する場合に台車が急
激に振動しても、緩衝装置の第１の緩衝部によって垂直
方向の振動を緩和し、第２の緩衝部によって水平方向の
振動を緩和することができる。したがって、搬送時に台
車が急激に振動しても、被搬送物に振動が緩和されて伝
わり、被搬送物が大きく揺れ動くことがなく、被搬送物
の損傷か防止される。

［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例の構成を示す正面図である
。この図において、第７図および第８図の各部と同一の
ものには同符号を付し、その説明を省略する。この図に
おいて、第７図および第８図と異なる点は、カセット載
置台ｌＯが収納容器９の底面に直接取り付けられている
のではなく、振動を緩和する緩衝装置３０が収納容器９
の底面に取り付けられ、この緩衝装置３０上にカセット
載置台１０が取り付けられている点である。

以下、この緩衝装置３０を詳細に説明する。まず１．３
１，３１は垂直方向の振動を緩和する垂直緩衝部付であ
り、スプリング３２およびスプリング３２を密封状態に
取り囲むベローズ３３とから構成されている。このベロ
ーズ３３はゴム等の弾性体で蛇腹状に形成されており、
内部が空洞となっている。この垂直緩衝部材３１が、収
納容器９の底面上に前後左右に計４個取り付けられ、そ
の４個の垂直緩衝部材３１．３Ｉ・・・の上に支持板３
４が配設されている。この支持板３４は断面コ字状を成
し、その大きさは収納容器９の底面の広さよりやや狭く
形成されている。また、この支持板３４の上板３４ａに
は垂直緩衝部材３１の内部空間と外部との通気を行う通
気孔３４ｃが各々開けられている。また、支持板３４の
上面に通気孔３４Ｃを覆うＨＥ　Ｐ　Ａ　（Ｈｉｇｈ　
Ｅ　ｆｆ１ｃｉｅｎｃｙ　Ｐ　ａｒｔｉｃｕｌａｔｅＡ
ｉｒ）フィルタ３５ａが各々取り付けられている。この
ＨＥＰＡフィルタ３５ａは、０．１ミクロン−数ミクロ
ン程度の大きさのグラスファイバ片が内部に詰まってお
り、このグラスファイバ片によって粉塵を吸着し、緩衝
部材３１から排出され、通気孔３４ｃを通る空気を清浄
にして外部に通過させる。また、側板３４ｂ、３４ｂの
内面には、水平方向の振動を緩和する水平緩衝部材３６
が各々２個ずつ取り付けられている。この水平緩衝部材
３６も垂直緩衝部材３１と同様にスプリング３７および
スプリング３７を囲むベローズ３Ｂとから構成されてい
る。この水平緩衝部材３６の他端は断面り字状の支持部
材３９の垂直板３９ａに取り付けられ、この支持部材３
９の下板３９ｂが収納容器９の底面に取り付けられてい
る。また、支持板３４の側板３４ｂ、３４ｂにも通気孔
３４ｄが開けられ、その通気孔３４ｄを覆うＨＥＰＡフ
ィルタ３５ｂが各々取り付けられている。

上記の構成において、まず、ウェハカセット８にウェハ
１１，１１・・・を起てて収納し、次に、このウェハカ
セット８をウェハＩＩの裏面が傾斜の下側になるように
カセット載置台ｌＯに載置する。

ウェハカセット８が積載されると、この荷重によって、
垂直緩衝部材３１．３１’・・・がわずかに収縮し、そ
の復元力によって荷重を支持する。次に、搬送台車４が
発進し、この発進から定常走行に至るまでの加速の際に
、搬送台車４に垂直方向の振動が生じると、垂直緩衝部
材３１．３１・・・が弾性伸縮をして支持板３４の振動
を防止する。この場合、空間内の空気は通気孔３４ｃＳ
ＨＥＰＡフイルタ３５ａを通って外部に放出される。ま
た、搬送台車４がカーブ等において生じる、水平方向の
振動に対しては、上記の上下の動きと同様に、水平緩衝
部材３６．３６・・・によって、水平振動を緩和してい
る。また、停止する場合の振動、定常走行時にレールの
継目の段差等により発生する細かい振動等による垂直方
向、水平方向の振動に対しても上記と同様に垂直緩衝部
材３１，３１・・・、水平緩衝部材３６．３６・・・に
よって、その衝撃が緩和され支持板３４の振動を防止し
ている。なお、緩衝部材３１，３６の収縮／復元が適度
に行なわれるように通気孔３４ｃ、３４ｄの径は予め決
められている。また、上記の実施例においては、緩衝部
材３１．３６はスプリング３２または３７とベローズ３
３または３８の組み合わせで構成されているが、第３図
（イ）〜（ハ）に示すように、支持板３４にかかる荷重
に対して、スプリング３２または３Ｉ７１−少ノーしす
咽七　頌潔壮至りｎ？謙Ｍ１−二十しうに組み合わせて
構成してもよい。また、緩衝装置３０は収納容器９の底
面に取り付けられているが、第４図に示すように、緩衝
装置３０を搬送台車４の上面に取付板５０を介して取り
付け、この緩衝装置３０の上に収納容器９を取り付けて
もよい。

次に、上記の実施例が用いられるウェハ搬送システムを
第５図、第６図を参照して説明する。

第５図において、壁Ｗから左側（矢印Ｘ側）は通路、右
側（矢印Ｙ側）はウェハ１１を処理するクリーンルーム
である。このクリーンルーム内にストッカ４０と、この
ストッカ４０の右側にウェハ処理装置４１が設置されて
いる。また、通路には上記実施例の搬送台車４を案内す
るレールｌが敷設されている。なお、この搬送台車４の
ウェハカセット８内に描かれた三角形Ｓは上記の実施例
において説明したウェハカセット８の傾きを表し、この
三角形の頂部（図における右側）が傾きの上側を表して
いる。４２は搬送台車４を通路からストッカ４０前方に
移動させるシフタであり、レールＩに連結される移動レ
ールＩａと、移動レールｌａを左右に駆動する駆動機構
とからなり、移動レール１ａまで走行してきた搬送台車
４を図におけるＡ−Ｂ相互間においてシフトする。なお
、ｌｂは補助レールであり、移動レールｌａｂ＜Ｂの位
置に移動した場合に、Ａの位置においてレールｌと接続
され、後続の搬送台車を通過させる。また、ストッカ４
０の前方には移載ロボット４３が設けられいる。この移
載ロボット４３は矢印Ｇ、Ｉ、Ｌの伸縮、矢印Ｈ，，Ｊ
の回転を行い、矢印Ｂの位置にシフトされた搬送台車４
とストッカ４０との相互間およびストッカ４０と後述す
るターンテーブル４４との相互間においてウェハカセッ
ト８の移載を行う。この時、ウェハカセット８は第６図
（ロ）に示すように傾けられた状態で移載ロボット４３
に把持される。また、ストッカ４０においてもウェハカ
セット８は傾けられた状態でストックされる。ターンテ
ーブル４４は回転可能に設置されており、このターンテ
ーブル４４においてもウェハカセット８は第６図（ハ）
に示すように傾けられた状態で載置され、このターンテ
ーブル４４の回転によってウェハカセット８の左右が入
れ換わる。また、ターンテーブル４４とウェハ処理装置
４１との間に工程内ロボット４５が移動可能（矢印Ｍ方
向）に設けられている。この工程内ロボット４５は矢印
Ｍの移動、矢印Ｎの回転および矢印Ｏの伸縮を行い、タ
ーンテーブル４４とウェハ処理装置４１との相互間にお
いてウェハカセット８を移載する。この場合もウェハカ
セット８は第６図（ニ）に示すように傾けられた状態で
工程内ロボット４５に移載される。また、ウェハ処理装
置４１において、ウェハカセット８からウェハ１１が取
り出され、ウェハ１１が処理される。そして、処理され
たウェハ１１は工程内ロボット４５、ターンテーブル４
４、移載ロボット４３を経て、再び、ストッカ４０に収
納される。

なお、上記のウェハ搬送システムにおいては、説明の都
合上、平面的に説明したが、ストッカ４０が多段に構成
され、レールＩも立体的に敷設され、移載ロボット４３
、工程内ロボット４５も立体的に上下に移動可能となっ
ている。

以上の構成のように、ウェハ１１の表面が常に傾きの上
側に向くようにウェハカセット８に収納され、搬送、移
載される。

Ｕ効果］ 以上説明したように、この発明によれば、垂直方向に伸
縮自在に形成された弾性体から成る第１の緩衝部と、水
平方向に伸縮自在な弾性体から成る第２の緩衝部とを具
備してなる緩衝装置を荷台と台車との間に取り付けたの
で、台車が発進、停止または衝突、急カーブなどで急激
な振動をした場合でも、この振動が荷台に緩和されて伝
達され、被搬送物の揺れが極めて少なくなり、被搬送物
の損傷が防止される。また、緩衝部の機構が極めて簡単
であり、ローコストである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本案の一実施例の構成を示す正面図、第２図
は同実施例の構成を示す側面図、第３図は緩衝装置３０
の他の実施例を示す正面図、第４図は同実施例の他の実
施例を示す正面図、第５図は同実施例が用いられるウェ
ハ搬送システムを説明するための図、第６図は同システ
ムにおける各装置のウェハ移載状態を示す図、第７図は
従来の荷搬送用自走台車の構成を示す正面図、第８図は
同荷搬送用自走台車の側面図、第９図はウェハカセット
８の斜視図である。 ４・・・搬送台車、８・・・ウェハカセット、９・・・
収納容器、１０・・・カセット載置台、１１．１１・・
・　・・・ウェハ、３０・・・緩衝装置、３１・・・垂
直緩衝部材、３６・・水平緩衝部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. リニアモータによって駆動され、走行する台車と、前記
   台車上に設けられ、被搬送物が載せられる荷台とを具備
   してなる荷搬送用自走台車において、垂直方向に伸縮自
   在に形成された弾性体から成る第１の緩衝部と、水平方
   向に伸縮自在な弾性体から成る第２の緩衝部とを具備し
   てなる緩衝装置を前記荷台と前記台車との間に取り付け
   たことを特徴とする荷搬送用自走台車。