JPH0459465A - 搬送台車の除振装置 - Google Patents

搬送台車の除振装置

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JPH0459465A
JPH0459465A JP2171948A JP17194890A JPH0459465A JP H0459465 A JPH0459465 A JP H0459465A JP 2171948 A JP2171948 A JP 2171948A JP 17194890 A JP17194890 A JP 17194890A JP H0459465 A JPH0459465 A JP H0459465A
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裕 栗田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、シリコンウェハなどを搬送する搬送台車に
用いて好適な搬送台車の除振装置に関する。 「従来の技術」 従来より、ノリコンウェハの搬送を行う搬送台車(例え
ば自立無人車)には防振構造か採用されている。この防
振構造により、クリーンルーム内の空気を排出する目的
で床面に開けられたクレーティングによる衝撃や変位加
振による振動を抑制し、シリコンウェハの破損を防止し
ている。 第1O図は、上述した防振構造の搬送台車1を示す概略
構成図であり、この図に示すように台車本体1aと荷台
1bとの間に防振ゴム2.2か介挿されており、これら
によって荷台1bの振動か遮断される。ここで、第11
図は荷台1bと積載物3と防振ゴム2.2からなる振動
系における周波数と伝達率の関係を示したグラフであり
、このグラフに示すように、当該振動系の固有周波数よ
りも高い周波数の振動が遮断されているのがわかる。 なお、伝達率は第10図に示すように、台車本体1aの
変位ZOと積載物3の変位Zとの比で表される。 ニー発明が解決しようとする課題」 ところで、台車本体1aの振動の遮断を防振ゴム22に
よって行う場合、同防振ゴム2.2の特性から固有振動
数を10Hz以下にするのは難しく、このため1OHz
前後の周波数を遮断することかできなかった。 また、グレーティング4(第1O図参照)上を走行する
際に生しる振動の周波数は、同クレーティング4のピッ
チと搬送台車lの走行速度とから決まり、その基本周波
数が数Hz〜10Hz位になる。 このため、その基本周波数あるいはその高調波成分が防
振ゴム2の固有振動数に一致し、共振を起こしてしまう
。そして、この際の共振倍率が10倍程度になるので、
共振点では台車本体1aの振動か10倍の増幅されて荷
台1bに伝達されてしまう。 この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、共
振倍率を低くして荷台の振動を小さくすることができる
搬送台車の除振装置を提供することを目的としている。 「課題を解決するための手段」 この発明は、台車本体と、この台車本体の上部に防振部
材を介して支持される荷台とを有する搬送台車において
、前記荷台に設けられる加速度検出手段と、前記台車本
体と荷台との間に設けられ該荷台の振動を抑制する制動
手段と、前記加速度検出手段の出力に基づいて前記制動
手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする
。 前記制動手段として、電磁石または圧電素子またはリニ
ア直流モータが好適である。 「作用 」 上記構成によれば、荷台が振動すると、加速度検出手段
から該荷台の振動の度合に応した出力が得られ、この出
力が制御手段により積分され、該荷台の速度信号が得ら
れる。制御部は当該速度信号を入力して制動手段を荷台
の振動の度合に応じた制御力を発生させるように制御す
る。これにより、荷台の振動が抑制される。 「実施例」 以下、図面を参照してこの発明の実施例について説明す
る。 ◇第1実施例 第1図は、この発明の第1実施例による除振装置を適用
した搬送台車7を示す概略構成図である。 なお、この図に示す台車本体7aは断面図で示している
。また、この図において前述した第10図と共通する部
分には同一の符号を付してその説明を省略する。 この図において、台車本体7aには、その上部中央に貫
通孔8か開けられており、この貫通孔8に位置するよう
に電磁石9が同台車本体7aに固定されている。この電
磁石9には増幅部lOから電流が供給されるようになっ
ている。また、台車本体7aの内部には、図示のように
水平方向に支持板11が取付けられており、この上面中
央には前記電磁石9に対向して電磁石12が固定されて
いる。この電磁石12には増幅部13から電流が供給さ
れるようになっている。 荷台7bの下面には、下方へ伸びる支持棒14゜14が
それぞれ離間して取付けられており、この支持棒14.
14の先端に磁性材(以下鉄板)!5か取付けられてい
る。この場合、鉄板15は電磁石9と電磁石12との中
間に位置するように前記支持板11の位置および支持棒
14.14の長さが決定されている。また、荷台7bの
下面中央部には加速度セッサI6か取付けられており、
これによって荷台7bの振動か検出される。加速度セン
サ16の出力信号は制御部17に供給され、制御部17
は供給される出力信号に基づいて増幅部10.13の出
力レベルを制御する。すなわち、制御部17は、加速度
センサ16の出力信号を積分して速度信号を算出し、こ
の速度信号に基づいて増幅部10.13の出力レベルを
決定する。この場合、制御部I7は荷台7bが下方に移
動した場合には電磁石9を動作させ、荷台7bが上方に
移動した場合には電磁石12を動作させる。 このように構成された搬送台車lにおいて、車輪6がグ
レーティング4の溝に落ちるとき、防振ゴム2.2が伸
ばされて荷台7bが下向きの力を受け、下方へ移動する
。この運動が加速度センサl6にて検出され、その検出
信号が制御部17に供給される。制御部17は供給され
た検出信号を積分し、荷台7bの速度を算出する。この
ときの速度信号は負になるので、制御部17は電磁石9
を選択し、これに荷台7bの速度に応じた制御力を発生
させるように増幅器10の出力レベルを制御する。これ
により、増幅器lOの出力レベルに応じた吸引力で鉄板
15が電磁石9により引上げられる。このとき、電磁石
9から荷台7bに作用する力は同荷台7bの運動に対す
る抵抗力(減衰力)となる。 一方、車輪6がグレーティング4の溝から上がるとき、
防振ゴム2.2が圧縮されて荷台7bが上向きの力を受
け、上方へ移動する。このとき速度信号は正になるので
、制御部17は電磁石12を選択し、これに荷台7bの
速度に応じた制御力を発生させるように増幅器13の出
力レベルを制御する。これにより、増幅器13の出力レ
ベルに応じた吸引力で鉄板15が電磁石12により引下
げられる。この場合も電磁石12から荷台7bに作用す
る力は同荷台7bの運動に対する減衰力となる。  こ
のように、電磁石9,12はそれぞれ荷台7bの速度に
応じた減衰力のみを同荷台7bに与え、防振ゴム2,2
は静止時の荷重を受は持つ。 なお、上記第1実施例においては、−組の電磁石9,1
2を設けた場合について説明したが、荷台7bの四隅に
それぞれ一組づつ配置すれば、上下方向の振動のみなら
ず、ピッチング、ローリングの制御もてきる。また、水
平方向にも四組の電磁石を設置すれば、水平2方向の並
進運動とヨーイングの制御もてきる。 ここで参考として、第2図にこの第1実施例のブロック
線図を示す。なお、この図における各記号の意味は次の
通りである。 Z 荷台の上下方向の変位 Zo台車本体の上下方向変位 m・荷台および積載物の総重量 に:防振ゴムのばね定数 C9防振ゴムの減衰係数 Ks:加速度センサのゲイン 【m】 【m】 [kgl [N/m] [N/m/s1 [V/m/s2] K1 積分ゲイン KO9増幅部のゲイン e、コイル電圧 コイル電流 Rコイル抵抗 N コイル巻き数 μ0真空中の透磁率 Ag磁極面積 σ・ギャップ長 W、ギャップの定常値 Pg:ギャップ部のパーミアンス PQ:漏れパーミアンス Φg。ギャップ部の有効磁束 ΦQ:漏れ磁束 Φt:総磁束 f・荷台に働く力 rl:電磁石12の吸引力 f、:電磁石9の吸引力 Sニラプラス演算子 「・」:時間tに関する微分を表す [V/Vl 【v/■] [V] [A] 【Ω】 【T】 [Vs/Am] 【m2】 [m] 【m】 [H] [H] 【wb】 [Yb] [N] [N] [N] [N] また、第4図および第5図は、台車本体7aが第3図に
示すような上下方向の振動を受けたときに、荷台7bの
変位かとのように変化するのかをシュミレー7ョンで示
した結果を示す波形図である。第4図は、防振ゴム2.
またけて荷台7bを支えているときの振動を示す波形図
であり、振動の全振幅はQ、9mmになっている。これ
に対して第5図は、荷台7bの速度に応じて電磁石9ま
たは12を制御したときの振動を示す波形図であり、振
動の全振幅は30μmとなり、防振ゴム2.2のみの場
合と比較して30分の1に減少しているのがわかる。 ◇第2実施例 第6図は、この発明の第2実施例による除振装置を適用
した搬送台車20を示す概略構成図である。この実施例
においては、前述した第1実施例において使用しノー電
磁石9.12に代って圧電素子23a、23bを使用し
たものである。 この図において、台車本体20aの上面の前部および後
部(進行方向に対して)には方形状のプロツり21a、
21bか取付けられており、これらの上端には基端部を
固定して板ばね22a、22bか取付けられている。こ
れら板ばね22a、22bの先端部が、荷台20bか静
止した状態で同荷台20bの下面に当接するようになっ
ている。また、各板ばね22a、22bの基端部側の上
下面にはそれぞれ圧電素子23a、23a、23b、2
3bか取付けられている。ここで、圧電素子23a、2
3bは共に台車本体20aと荷台20bに対して同様に
取付けられ、かつその作用も同様であるので、以下圧電
素子23aについてのみ説明する。 前記板ばね22aの上面に取付けられた圧電素子23a
には増幅部24. aから電圧が印加され、同板ばね2
2aの下面に取付けられた圧電素子23aには増幅部2
5aから電圧が印加されるようになっている。この場合
、各圧電素子23a、23aに印加される電圧の値は、
荷台20bの上面に取付けられた加速度センサ16aの
出力値に基づいて制御部26aにより決定される。すな
わち、制御部26aは荷台20bが下方に移動した場合
には下側の圧電素子23aを動作させ、荷台20bが上
方に移動した場合には上側の圧電素子23aを動作させ
る。 このように構成された搬送台車20の除振装置において
、荷台20bが下向きの力を受(±、下方へ移動すると
、この移動か加速度センサ16aによって検出され、検
出信号が制御部26aに供給される。制御部26aは供
給された検出信号を積分し、荷台20bの速度を算出す
る。このときの速度信号は負となるので、制御部26a
は下側の圧電素子23aに速度に応じた電圧を印加する
ように増幅器25aの出力を設定し、板ばね22aを上
向きに曲げる。この場合、板ばね22aから荷台20b
に働く力は、荷台20bの運動に対する減衰力となる。 一方、荷台20bが上向きの力を受け、上方へ移動する
と、制御部26aから出力される速度信号が正となるの
で、制御部26aは上側の圧電素子23aに速度に応じ
た電圧を印加するように増幅器25aの出力を設定し、
板ばね22aを下向きに曲げる。この場合も板ばね22
aから荷台20bに働く力は、荷台20bの運動に対す
る減衰力となる。 このように、圧電素子23a、23aは荷台20bに対
して速度に応した減衰力だけを与え、防振ゴム2.2は
静荷重を受(J持つ。 なお、この第2実施例においては、二つ組の圧電素子2
3a、23bを設けた場合について説明したか、上述し
た第1実施例と同様に荷台20bの四隅にそれぞれ一組
づつ配置すれば、上下方向の振動のみならず、ピッチン
グ、ローリングの制御もできる。また、水平方向にも四
組の電磁石を設置すれば、水平2方向の並進運動とヨー
イングの制御もできる。 ここで、参考として、第7図にこの第2実施例のブロッ
ク線図を示す。なお、この図における各記号の意味は次
の通りである。 Z 荷台の上下方向の変位    [m1Zo二台車本
体の上下方向変位  [m1m、荷台および積載物の総
重量  [kglK防振ゴムのばね定数     [N
 、/ m ]C防振ゴムの減衰係数     [N/
m/5lKs−加速度センサのゲイン    [V/m
/s’1に1:積分ゲイン        【■/■]
K[圧電素子のケイン      【■/v]r:荷台
に働く力         い】「1圧電素子か発生す
る制御力  [N]r2:圧電素子か発生する制御力 
 [N]Sラプラス演算子 「・」時間tに関する微分を表す また、この第2実施例における振動抑制効果も上述した
第1実施例と同一の結果が得られた。 ◇第3実施例 第8図は、この発明の第3実施例による除振装置を適用
した搬送台車27を示す概略構成図である。この実施例
においては、前述した第1実施例において使用した電磁
石9.12に代わってリニア直流モータ28a、28b
を使用したものである。 この図において、台車本体27aの上面前部および後部
には、リニア直流モータ28a、28bが取付けられて
いる。リニア直流モータ28aは可動コイル29aと永
久磁石30aとから構成されており、永久磁石30aに
対して可動コイル29aか上下に移動するようになって
いる。リニア直流モータ28bもこれと同様に構成され
ている。ここで、リニア直流モータ28a、28bは共
に台車本体27aと荷台27bに対して同様に取付けら
れ、その作用も同様であるので、以下リニア直流モータ
28aについてのみ説明する。 前記リニア直流モータ28aの可動コイル29aは、そ
の上端が棒部材31aを介して荷台27bに接続されて
いる。この可動コイル29aへは増幅部32aから電流
が供給されるようになっている。 この場合、可動コイル29aに供給される電流の値は、
荷台27bの上面に取付けられた加速度センサ16aの
出力値に基づいて制御部33aによって決定される。 このように構成された搬送台車27の除振装置において
、荷台27bが下向きの力を受け、下方へ移動すると、
この運動が加速度センサ16aにて検出され、この検出
信号が制御部33aに供給される。制御部33aは供給
された検出信号を積分し、荷台27bの速度を算出する
。このときの速度信号は負となるので、制御部33aは
その速度に応じた正の電流を増幅部32aから出力させ
、可動コイル29aを上方へ移動させる。 一方、荷台27bが上向きの力を受け、上方へ移動する
と、このとき速度信号が正となるので、制御部33aは
その速度に応じた負の電流を増幅部31aから出力させ
、可動コイル29aを下方へ移動させる。 なお、この第3実施例においては、二組のリニア直流モ
ータ28a、28bを設けた場合について説明したか、
上述した第1および第2実施例と同様に荷台27bの四
隅にそれぞれ一組づつ配置すれば、上下方向の振動のみ
ならす、ピッチング、ローリングの制御もできる。また
、水平方向にも四組のリニア直流モータを設置すれば、
水平2方向の並進運動とヨーイングの制御もてきる。 また、参考として第9図にこの第3実施例のブロック線
図を示す。なお、この図における各記号のき味は次の通
りである。 Z荷台の上下方向の変位    【m】Zo1台車本体
上下方向変位   【m】m荷台および積載物の総重量
  [kglK防振ゴムのばね定数     [N/m
]C・防振ゴムの減衰係数     [N/m/5lK
s加速度センサのゲイン   (V/m/s’1に、:
積分ゲイン        【■/■]Kf・リニア直
流モータのゲイン [N/Vlf:荷台に働く力   
      [N]f1:リニア直流モータの推力  
 [N]Sラプラス演算子 「・」1時間しに関する微分を表す また、この第3実施例における振動抑制効果も上述した
第1および第2実施例と同一の結果が得られた。 「発明の効果」 以上説明したように、この発明による搬送台車の除振装
置によれば、荷台に設けられる加速度検出手段の出力に
基づいて制動手段を制御し、荷台の振動を抑制するよう
にしたので、共振倍率を低くして荷台の振動を小さくす
るという効果か得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の第1実施例による除振装置を適用し
た搬送台車を示す概略構成図、第2図は同第1実施例の
ブロック線図、第3図〜第5図は同第1実施例の効果を
説明するための図、第6図はこの発明の第2実施例によ
る除振装置を適用した搬送台車を示す概略構成図、第7
図は同第2実施例のブロック線図、第8図はこの発明の
第3実施例による除振装置を適用した搬送台車を示す概
略構成図、第9図は同第3実施例のブロック線図、第1
O図は従来の除振構造の搬送台車を示す概略構成図、第
11図は従来技術の問題点を説明するための図である。 2.2・・・・防振ゴム(防振部材)、3・・・積載物
、4・・・・グレーディング、6・・・・・車輪、7a
、20a、27a・ 台車本体、7b、20b、27b
・−・・・荷台、9.12 ・電磁石、10 13.2
4a、25a、32a   増幅部、I5・ 磁性材(
9,12,15は制動手段)、] 6.16a、16b
−一加速度センサ(加速度検出手段)、 17.26a、33a・−制御部(制御手段)、22a
、22b−一板ばね、 23a23b・・・・・圧電素子 (22a、22b、23a、23bは制動手段)、28
a、28b・・リニア直流コイル (28a、28bは制動手段)。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)台車本体と、この台車本体の上部に防振部材を介
    して支持される荷台とを有する搬送台車において、 前記荷台に設けられる加速度検出手段と、 前記台車本体と荷台との間に設けられ該荷台の振動を抑
    制する制動手段と、 前記加速度検出手段の出力に基づいて前記制動手段を制
    御する制御手段と を具備することを特徴とする搬送台車の除振装置。
  2. (2)前記制動手段として電磁石または圧電素子または
    リニア直流モータを用いることを特徴とする請求項1記
    載の搬送台車の除振装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH061086U (ja) * 1992-06-22 1994-01-11 神鋼電機株式会社 搬送台車
EP0627573A1 (en) * 1993-06-04 1994-12-07 Shinko Electric Co. Ltd. Automatic transport vehicle

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61275053A (ja) * 1985-05-31 1986-12-05 財団法人鉄道総合技術研究所 車両の振動制御装置
JPS6234579A (ja) * 1985-08-08 1987-02-14 新藤 津 ロ−プ用滑降器
JPS63203464A (ja) * 1987-02-18 1988-08-23 神鋼電機株式会社 荷搬送用自走台車

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61275053A (ja) * 1985-05-31 1986-12-05 財団法人鉄道総合技術研究所 車両の振動制御装置
JPS6234579A (ja) * 1985-08-08 1987-02-14 新藤 津 ロ−プ用滑降器
JPS63203464A (ja) * 1987-02-18 1988-08-23 神鋼電機株式会社 荷搬送用自走台車

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH061086U (ja) * 1992-06-22 1994-01-11 神鋼電機株式会社 搬送台車
EP0627573A1 (en) * 1993-06-04 1994-12-07 Shinko Electric Co. Ltd. Automatic transport vehicle
US5487533A (en) * 1993-06-04 1996-01-30 Shinko Electric Co., Ltd. Automatic transport vehicle with three-axis motion sensing and vibration damping

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