JPH07111215B2 - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPH07111215B2 JPH07111215B2 JP4250596A JP25059692A JPH07111215B2 JP H07111215 B2 JPH07111215 B2 JP H07111215B2 JP 4250596 A JP4250596 A JP 4250596A JP 25059692 A JP25059692 A JP 25059692A JP H07111215 B2 JPH07111215 B2 JP H07111215B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- circuit
- vibration isolation
- variable gain
- control system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は除振装置に係り、特に振
動を嫌う機械装置を搭載した除振テーブルを磁気力によ
り浮上懸架して、設置床からの振動を除去する除振装置
に関する。
動を嫌う機械装置を搭載した除振テーブルを磁気力によ
り浮上懸架して、設置床からの振動を除去する除振装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、振動を極度に嫌う電子顕微
鏡、半導体製造装置等の機械装置は、除振装置に搭載さ
れて工場等に設置されていた。従来の除振装置として、
古くから有る空気ばね、ゴムを用いたものに代わり、高
性能の除振を実現できる磁気浮上による除振装置が開発
され、例えば特開平２−２０３０４０号公報にその詳細
が開示されている。
鏡、半導体製造装置等の機械装置は、除振装置に搭載さ
れて工場等に設置されていた。従来の除振装置として、
古くから有る空気ばね、ゴムを用いたものに代わり、高
性能の除振を実現できる磁気浮上による除振装置が開発
され、例えば特開平２−２０３０４０号公報にその詳細
が開示されている。
【０００３】図２は係る磁気浮上による除振装置の一例
を示すものであり、除振テーブル１上には振動を極度に
嫌う、電子顕微鏡、半導体製造装置等の機械装置が搭載
され（図示せず）、電磁アクチュエータ２により非接触
で浮上した状態で保持される。したがって、電磁アクチ
ュエータ２が設置されている設置床が地震等で振動して
も、非接触で浮上保持された除振テーブル１には振動が
伝わらず、振動を極度に嫌う機械装置等は、設置床の振
動の影響を受けない。
を示すものであり、除振テーブル１上には振動を極度に
嫌う、電子顕微鏡、半導体製造装置等の機械装置が搭載
され（図示せず）、電磁アクチュエータ２により非接触
で浮上した状態で保持される。したがって、電磁アクチ
ュエータ２が設置されている設置床が地震等で振動して
も、非接触で浮上保持された除振テーブル１には振動が
伝わらず、振動を極度に嫌う機械装置等は、設置床の振
動の影響を受けない。
【０００４】図３は、係る除振装置の電磁アクチュエー
タの説明図である。除振される装置を搭載する除振テー
ブル１には、磁性体継鉄３が固定されている。設置床６
に固定した浮上用電磁石４は、その磁気吸引力により除
振テーブル１が固定された磁性体継鉄３を非接触で浮上
支持する。浮上用電磁石４の磁極と、ターゲットとなる
磁性体継鉄３との間隙は変位センサ５によって測定され
る。コントローラ７は補償回路９、パワーアンプ１０を
備え、変位センサ５からの出力を基に、磁性体継鉄３を
固定した除振テーブル１を目標位置に安定に浮上支持す
るように、浮上用電磁石４の励磁電流を制御する。
タの説明図である。除振される装置を搭載する除振テー
ブル１には、磁性体継鉄３が固定されている。設置床６
に固定した浮上用電磁石４は、その磁気吸引力により除
振テーブル１が固定された磁性体継鉄３を非接触で浮上
支持する。浮上用電磁石４の磁極と、ターゲットとなる
磁性体継鉄３との間隙は変位センサ５によって測定され
る。コントローラ７は補償回路９、パワーアンプ１０を
備え、変位センサ５からの出力を基に、磁性体継鉄３を
固定した除振テーブル１を目標位置に安定に浮上支持す
るように、浮上用電磁石４の励磁電流を制御する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、係る磁
気浮上による除振装置においては、除振テーブルの浮上
のために、電磁石を常時励磁しなければならない。その
ため、浮上用電磁石の励磁コイルには、大きな電流が常
時流れ続けることになり、コイルの発熱、電力損失等が
大きくなるという問題点があった。
気浮上による除振装置においては、除振テーブルの浮上
のために、電磁石を常時励磁しなければならない。その
ため、浮上用電磁石の励磁コイルには、大きな電流が常
時流れ続けることになり、コイルの発熱、電力損失等が
大きくなるという問題点があった。
【０００６】本発明は係る従来の技術的課題に鑑み、平
衡状態において浮上用電磁石に励磁電流を必要としな
い、零パワー制御の磁気浮上による除振装置を提供する
ものである。
衡状態において浮上用電磁石に励磁電流を必要としな
い、零パワー制御の磁気浮上による除振装置を提供する
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る除振装置
は、振動を嫌う装置を搭載する除振テーブルと、該除振
テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気
力により非接触で浮上支持する設置床に固定した制御磁
石と、該制御磁石と該磁性体継鉄の間隔を測定する変位
センサと、該変位センサからの出力を基に前記制御磁石
の励磁電流を制御する補償回路、パワーアンプとからな
る除振装置において、前記制御磁石は、バイアス磁束用
の永久磁石と制御磁束用の電磁石を同一磁気回路に備
え、前記電磁石の励磁電流の積分値をパワーアンプ入口
にフィードバックする回路を備えたことを特徴とするも
のである。
は、振動を嫌う装置を搭載する除振テーブルと、該除振
テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気
力により非接触で浮上支持する設置床に固定した制御磁
石と、該制御磁石と該磁性体継鉄の間隔を測定する変位
センサと、該変位センサからの出力を基に前記制御磁石
の励磁電流を制御する補償回路、パワーアンプとからな
る除振装置において、前記制御磁石は、バイアス磁束用
の永久磁石と制御磁束用の電磁石を同一磁気回路に備
え、前記電磁石の励磁電流の積分値をパワーアンプ入口
にフィードバックする回路を備えたことを特徴とするも
のである。
【０００８】
【作用】本発明の除振装置では、除振テーブルを磁気吸
引力により引き上げる制御磁石は、バイアス磁束用の永
久磁石と制御磁束用の電磁石が同一の磁気回路内に備え
られている。又、電磁石の励磁電流を出力するパワーア
ンプでは、その出力の積分値をパワーアンプ入口にフィ
ードバックする積分回路を備えている。従って、電磁石
が除振テーブルを磁気吸引力により所定の目標位置に引
き上げた後の平衡状態では、電磁石の励磁電流の積分値
をパワーアンプ入口にフィードバックする回路により、
励磁電流が零となり、除振テーブルは永久磁石のバイア
ス磁束のみによって浮上保持される。従って、平衡状態
において除振テーブルを浮上保持するための励磁電流を
要しない、零パワー制御が達成される。
引力により引き上げる制御磁石は、バイアス磁束用の永
久磁石と制御磁束用の電磁石が同一の磁気回路内に備え
られている。又、電磁石の励磁電流を出力するパワーア
ンプでは、その出力の積分値をパワーアンプ入口にフィ
ードバックする積分回路を備えている。従って、電磁石
が除振テーブルを磁気吸引力により所定の目標位置に引
き上げた後の平衡状態では、電磁石の励磁電流の積分値
をパワーアンプ入口にフィードバックする回路により、
励磁電流が零となり、除振テーブルは永久磁石のバイア
ス磁束のみによって浮上保持される。従って、平衡状態
において除振テーブルを浮上保持するための励磁電流を
要しない、零パワー制御が達成される。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の一実施例の磁気浮上による除
振装置の説明図である。除振テーブル１上には振動を極
度に嫌う、電子顕微鏡、半導体製造設備等の機械装置
（図示しない）が搭載され、電磁アクチュエータ２によ
り非接触で浮上した状態で支持される。除振テーブル１
には磁性体継鉄３が固定され、制御磁石２６の磁気吸引
力により浮上保持される構成は図３に示す従来の技術の
ものと同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付
してその説明を省略する。
振装置の説明図である。除振テーブル１上には振動を極
度に嫌う、電子顕微鏡、半導体製造設備等の機械装置
（図示しない）が搭載され、電磁アクチュエータ２によ
り非接触で浮上した状態で支持される。除振テーブル１
には磁性体継鉄３が固定され、制御磁石２６の磁気吸引
力により浮上保持される構成は図３に示す従来の技術の
ものと同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付
してその説明を省略する。
【００１０】本実施例においては図示するように、除振
テーブル１を磁気吸引力により浮上保持する制御磁石２
６は、バイアス磁束用の永久磁石１１と、制御磁束用の
電磁石８とが同一の磁気回路内にあるように構成されて
いる。バイアス磁束用の永久磁石は、振動を嫌う機械装
置を搭載した除振テーブルをその磁気吸引力により、零
パワーで浮上保持する磁束を発生するためのものであ
る。制御磁束用の電磁石は、設置床に沈下している除振
テーブルを永久磁石が浮上保持できる目標位置まで引き
上げ、且つ、平衡状態においては、加速度センサからの
出力に基づいて、除振テーブルを制振する磁束を発生す
るためのものである。
テーブル１を磁気吸引力により浮上保持する制御磁石２
６は、バイアス磁束用の永久磁石１１と、制御磁束用の
電磁石８とが同一の磁気回路内にあるように構成されて
いる。バイアス磁束用の永久磁石は、振動を嫌う機械装
置を搭載した除振テーブルをその磁気吸引力により、零
パワーで浮上保持する磁束を発生するためのものであ
る。制御磁束用の電磁石は、設置床に沈下している除振
テーブルを永久磁石が浮上保持できる目標位置まで引き
上げ、且つ、平衡状態においては、加速度センサからの
出力に基づいて、除振テーブルを制振する磁束を発生す
るためのものである。
【００１１】電磁石８の励磁コイル１２に流れる電磁石
の励磁電流はシャント抵抗１６によって分流され、積分
器１５によって積分され、その積分値はパワーアンプ１
０の入口の加算器１４にフィードバックされる。この積
分によるフィードバック動作により、平衡状態におい
て、パワーアンプ１０の出力、即ち、励磁コイル１２の
励磁電流は零となる。
の励磁電流はシャント抵抗１６によって分流され、積分
器１５によって積分され、その積分値はパワーアンプ１
０の入口の加算器１４にフィードバックされる。この積
分によるフィードバック動作により、平衡状態におい
て、パワーアンプ１０の出力、即ち、励磁コイル１２の
励磁電流は零となる。
【００１２】そして、変位センサ５からの出力に基づい
て、除振テーブルを制振する相対制御系は、次のように
構成される。即ち設置床６に固定された変位センサ５か
らの出力は、センサアンプ１３で増幅され、除振テーブ
ル１の浮上位置を制御する補償回路９で制御信号が生成
され、パワーアンプ１０で電力増幅され、励磁コイル１
２に出力電流が印加され電磁石８の磁気吸引力を制御す
る。このループには、補償回路９の後段に可変ゲイン回
路１７を備えている。
て、除振テーブルを制振する相対制御系は、次のように
構成される。即ち設置床６に固定された変位センサ５か
らの出力は、センサアンプ１３で増幅され、除振テーブ
ル１の浮上位置を制御する補償回路９で制御信号が生成
され、パワーアンプ１０で電力増幅され、励磁コイル１
２に出力電流が印加され電磁石８の磁気吸引力を制御す
る。このループには、補償回路９の後段に可変ゲイン回
路１７を備えている。
【００１３】これに対して絶対制御系は、次のように構
成される。除振テーブル１には鉛直方向の加速度を検出
する加速度センサ２７が固定されており、除振テーブル
１に対する絶対的な鉛直方向の加速度を検出する。加速
度センサ２７の出力はセンサアンプ２１で増幅され、比
例回路２３及び積分回路２２を経て加算器２４に印加さ
れる。即ち加算器２４には加速度に対応した信号と、積
分回路により速度に変換された信号とが併せて印加され
る。そして補償回路１９により、ゲイン及び位相等が調
整され、除振テーブル１に加えられた振動を抑制するよ
うな信号が生成され、パワーアンプ１０により電力増幅
されて電磁石８の励磁コイル１２に印加される。この絶
対制御系のループには、ゲインを可変できる可変ゲイン
回路１８が含まれている。
成される。除振テーブル１には鉛直方向の加速度を検出
する加速度センサ２７が固定されており、除振テーブル
１に対する絶対的な鉛直方向の加速度を検出する。加速
度センサ２７の出力はセンサアンプ２１で増幅され、比
例回路２３及び積分回路２２を経て加算器２４に印加さ
れる。即ち加算器２４には加速度に対応した信号と、積
分回路により速度に変換された信号とが併せて印加され
る。そして補償回路１９により、ゲイン及び位相等が調
整され、除振テーブル１に加えられた振動を抑制するよ
うな信号が生成され、パワーアンプ１０により電力増幅
されて電磁石８の励磁コイル１２に印加される。この絶
対制御系のループには、ゲインを可変できる可変ゲイン
回路１８が含まれている。
【００１４】可変ゲイン回路１７と可変ゲイン回路１８
とは、それぞれゲイン連動手段２８により、それぞれの
可変ゲイン回路のゲインが連動してゲイン可変動作が行
えるようになっている。即ち片方のゲインが最大値の時
は他方のゲインは最低値になり、片方のゲインが徐々に
低下すると他方のゲインは徐々に増大し、片方のゲイン
が最低値になると他方のゲインは最大値になるようにゲ
インが連動してゲイン可変動作が行われる。
とは、それぞれゲイン連動手段２８により、それぞれの
可変ゲイン回路のゲインが連動してゲイン可変動作が行
えるようになっている。即ち片方のゲインが最大値の時
は他方のゲインは最低値になり、片方のゲインが徐々に
低下すると他方のゲインは徐々に増大し、片方のゲイン
が最低値になると他方のゲインは最大値になるようにゲ
インが連動してゲイン可変動作が行われる。
【００１５】以下にこの除振装置の動作について説明す
る。起動時には相対制御系の可変ゲイン回路１８は最大
値に、絶対制御系の可変ゲイン回路１７は最低値に設定
される。従って、起動時には相対制御系のみが働き、設
置床６に沈下している磁性体継鉄３が電磁石８の磁束と
永久磁石のバイアス磁束により所定の浮上目標位置まで
引き上げられる。この際、電磁石８の磁性体継鉄３に及
ぼす磁気吸引力は、変位センサ５により検出された制御
磁石２６と磁性体継鉄３との間隔に基づいて補償回路９
及びパワーアンプ１０により磁気吸引力が制御される。
る。起動時には相対制御系の可変ゲイン回路１８は最大
値に、絶対制御系の可変ゲイン回路１７は最低値に設定
される。従って、起動時には相対制御系のみが働き、設
置床６に沈下している磁性体継鉄３が電磁石８の磁束と
永久磁石のバイアス磁束により所定の浮上目標位置まで
引き上げられる。この際、電磁石８の磁性体継鉄３に及
ぼす磁気吸引力は、変位センサ５により検出された制御
磁石２６と磁性体継鉄３との間隔に基づいて補償回路９
及びパワーアンプ１０により磁気吸引力が制御される。
【００１６】振動を嫌う機械装置が搭載された除振テー
ブルの重力と、永久磁石１１のバイアス用磁束の磁気吸
引力とがバランスした位置で、除振テーブル１の浮上位
置は平衡状態に達する。そしてこの時、電磁石８の励磁
コイルに印加されるパワーアンプの出力電流は、シャン
ト抵抗１６によって分流され検出され、積分器１５によ
って積分されてパワーアンプ１０の前段にフィードバッ
クされ加算器１４に入力される。係る積分動作のフィー
ドバックループにより、パワーアンプ１０は、平衡状態
において出力が零となる零パワー制御される。従って、
相対制御系によって、沈下していた除振テーブル１が引
き上げられ、永久磁石１１のバイアス磁束により平衡す
る浮上位置に達すると、電磁石８の励磁電流は零とな
り、除振テーブル１は零パワーにて浮上目標位置に保持
される。
ブルの重力と、永久磁石１１のバイアス用磁束の磁気吸
引力とがバランスした位置で、除振テーブル１の浮上位
置は平衡状態に達する。そしてこの時、電磁石８の励磁
コイルに印加されるパワーアンプの出力電流は、シャン
ト抵抗１６によって分流され検出され、積分器１５によ
って積分されてパワーアンプ１０の前段にフィードバッ
クされ加算器１４に入力される。係る積分動作のフィー
ドバックループにより、パワーアンプ１０は、平衡状態
において出力が零となる零パワー制御される。従って、
相対制御系によって、沈下していた除振テーブル１が引
き上げられ、永久磁石１１のバイアス磁束により平衡す
る浮上位置に達すると、電磁石８の励磁電流は零とな
り、除振テーブル１は零パワーにて浮上目標位置に保持
される。
【００１７】そして、安定浮上して平衡状態に達した
後、相対制御系の可変ゲイン回路１７のゲインを徐々に
小さくしながら絶対制御系の可変ゲイン回路１８のゲイ
ンを大きくすることによって、制御系を相対制御系から
絶対制御系に切り換える。絶対制御系に切り換えられた
後は、除振テーブル１が加速度センサ２７によって検出
される絶対的な加速度を基に、センサアンプ２１で増幅
され、比例回路２３を経た加速度信号及び積分回路２２
によって積分された速度信号を基に、検出された加速
度、速度を抑える方向でダンピングが与えられるような
制御信号が補償回路１９によって生成される。そして可
変ゲイン回路１８は最大値に設定されているので、その
出力は加算器１４を経てパワーアンプ１０を経て、電磁
石８の制御用磁束によって、除振テーブル１を制振する
ようにダンピング力が与えられる。そして加速度センサ
２７によって検出された振動が制振され、平衡状態に達
した後は、パワーアンプ１０の出力段が積分器１５によ
ってフィードバックされる動作により、電磁石８は零パ
ワー制御される。
後、相対制御系の可変ゲイン回路１７のゲインを徐々に
小さくしながら絶対制御系の可変ゲイン回路１８のゲイ
ンを大きくすることによって、制御系を相対制御系から
絶対制御系に切り換える。絶対制御系に切り換えられた
後は、除振テーブル１が加速度センサ２７によって検出
される絶対的な加速度を基に、センサアンプ２１で増幅
され、比例回路２３を経た加速度信号及び積分回路２２
によって積分された速度信号を基に、検出された加速
度、速度を抑える方向でダンピングが与えられるような
制御信号が補償回路１９によって生成される。そして可
変ゲイン回路１８は最大値に設定されているので、その
出力は加算器１４を経てパワーアンプ１０を経て、電磁
石８の制御用磁束によって、除振テーブル１を制振する
ようにダンピング力が与えられる。そして加速度センサ
２７によって検出された振動が制振され、平衡状態に達
した後は、パワーアンプ１０の出力段が積分器１５によ
ってフィードバックされる動作により、電磁石８は零パ
ワー制御される。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の除振装
置は、制御磁石に永久磁石と電磁石とを備え、電磁石の
励磁電流のパワーアンプの出力の積分値をその入力段に
フィードバックしたものである。係る構成により、零パ
ワー制御が達成されるので、安定浮上後の平衡状態にお
いては電磁石に励磁電流を要さない。したがって従来の
除振テーブルを常時浮上保持させるための大きな消費電
力が不要となり、大幅な省電力化が達成される。更に、
安定浮上後は制御系が除振テーブルの加速度に基づき絶
対制御されるため、除振性能が向上する。
置は、制御磁石に永久磁石と電磁石とを備え、電磁石の
励磁電流のパワーアンプの出力の積分値をその入力段に
フィードバックしたものである。係る構成により、零パ
ワー制御が達成されるので、安定浮上後の平衡状態にお
いては電磁石に励磁電流を要さない。したがって従来の
除振テーブルを常時浮上保持させるための大きな消費電
力が不要となり、大幅な省電力化が達成される。更に、
安定浮上後は制御系が除振テーブルの加速度に基づき絶
対制御されるため、除振性能が向上する。
【図１】本発明の一実施例の除振装置の制御系の説明
図。
図。
【図２】除振装置の斜視図。
【図３】電磁アクチュエータの説明図。
１ 除振テーブル ２ 電磁アクチュエータ ３ 磁性体継鉄 ５ 変位センサ ６ 設置床 ７ コントローラ ８ 電磁石 ９，１９ 補償回路 １０ パワーアンプ １１ 永久磁石 １２ 励磁コイル １３，２１ センサアンプ １４，２４ 加算器 １５ 積分器 １６ シャント抵抗 １７，１８ 可変ゲイン回路 ２２ 積分器 ２３ 比例回路 ２６ 制御磁石 ２７ 加速度センサ ２８ ゲイン運動手段
Claims (3)
- 【請求項１】 振動を嫌う装置を搭載する除振テーブル
と、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体
継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床に固定
した制御磁石と、該制御磁石と該磁性体継鉄の間隔を測
定する変位センサと、該変位センサからの出力を基に前
記制御磁石の励磁電流を制御する補償回路、パワーアン
プとからなる除振装置において、前記制御磁石は、バイ
アス磁束用の永久磁石と制御磁束用の電磁石を同一磁気
回路に備え、前記電磁石の励磁電流の積分値をパワーア
ンプ入口にフィードバックする回路を備えたことを特徴
とする除振装置。 - 【請求項２】 前記変位センサからの出力に基づいて前
記除振テーブルを制振する相対制御系には可変ゲイン回
路を含み、前記除振テーブルには加速度センサを固定
し、該加速度センサからの出力に基づいて前記除振テー
ブルを制振する可変ゲイン回路を含む絶対制御系を更に
備え、この２つの可変ゲイン回路のゲインが連動してゲ
イン可変動作が行えることを特徴とする請求項１記載の
除振装置。 - 【請求項３】 起動時には、前記絶対制御系の可変ゲイ
ン回路のゲインを最低値に、前記相対制御系の可変ゲイ
ン回路のゲインを最大値に設定し、安定浮上後、前記相
対制御系の可変ゲイン回路のゲインを小さくしながら、
前記絶対制御系の可変ゲイン回路のゲインを大きくする
手段を更に備えたことを特徴とする請求項２記載の除振
装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4250596A JPH07111215B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | 除振装置 |
| EP93113504A EP0584790B1 (en) | 1992-08-26 | 1993-08-24 | Zero-power control type vibration eliminating apparatus |
| DE69315768T DE69315768T2 (de) | 1992-08-26 | 1993-08-24 | Einrichtung zur Beseitigung von Schwingungen des Typs "Null-Kraft Regelung" |
| US08/111,412 US5449985A (en) | 1992-08-26 | 1993-08-25 | Zero-power control type vibration eliminating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4250596A JPH07111215B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | 除振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06288431A JPH06288431A (ja) | 1994-10-11 |
| JPH07111215B2 true JPH07111215B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=17210239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4250596A Expired - Fee Related JPH07111215B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | 除振装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
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| US (1) | US5449985A (ja) |
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