JP3311394B2 - 電磁石制御装置 - Google Patents
電磁石制御装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電磁石制御装置に係り、
特に制御対象部材に固定した磁性体継鉄に、比較的大き
な空隙を介して磁気力による吸引力を与える電磁石の励
磁電流を、センサからの出力に基づいて制御することに
より、制御対象部材に非接触で支持力又は減衰力を与え
ることができる電磁石制御装置に関する。
特に制御対象部材に固定した磁性体継鉄に、比較的大き
な空隙を介して磁気力による吸引力を与える電磁石の励
磁電流を、センサからの出力に基づいて制御することに
より、制御対象部材に非接触で支持力又は減衰力を与え
ることができる電磁石制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来の電磁石制御装置のブロッ
ク図である。電磁石３の励磁電流により発生する磁気吸
引力によって制御される磁性体継鉄が固定された制御対
象部材１は、その制御量（変位あるいは加速度等）がセ
ンサ７によって計測され、その出力が設定値と比較され
る。設定値から減算処理された制御量のセンサ出力は補
償回路によってゲイン、位相等が調整され、設定値に制
御対象部材を支持する支持力又は減衰力を与えることが
できるような制御信号が補償回路６によって生成され
る。補償回路６の出力信号は、パワーアンプ４で電力増
幅され励磁電流として電磁石３に印加される。ここで制
御対象部材１は例えば磁気軸受における回転軸であり、
テーブルを電磁石の磁気力により非接触浮上支持する除
振装置における除振テーブルの支持部材である。制御量
は、制御対象部材を目標位置に支持するためであれば変
位であり、制御対象部材に発生する振動に減衰力を与え
るためであれば加速度となる。
ク図である。電磁石３の励磁電流により発生する磁気吸
引力によって制御される磁性体継鉄が固定された制御対
象部材１は、その制御量（変位あるいは加速度等）がセ
ンサ７によって計測され、その出力が設定値と比較され
る。設定値から減算処理された制御量のセンサ出力は補
償回路によってゲイン、位相等が調整され、設定値に制
御対象部材を支持する支持力又は減衰力を与えることが
できるような制御信号が補償回路６によって生成され
る。補償回路６の出力信号は、パワーアンプ４で電力増
幅され励磁電流として電磁石３に印加される。ここで制
御対象部材１は例えば磁気軸受における回転軸であり、
テーブルを電磁石の磁気力により非接触浮上支持する除
振装置における除振テーブルの支持部材である。制御量
は、制御対象部材を目標位置に支持するためであれば変
位であり、制御対象部材に発生する振動に減衰力を与え
るためであれば加速度となる。
【０００３】図８は、パワーアンプと、電磁石と、制御
対象部材の関係を示すものである。補償回路よりの出力
信号はプッシュプル的な動作によりパワーアンプ４で電
力増幅され制御対象部材１をはさんで対向する電磁石３
Ｒ，３Ｌに印加される。そして、制御対象部材１に固定
された磁性体継鉄２に対して磁気吸引力を作用させる。
ここで制御対象部材１は、例えば、除振テーブルの支持
部材であり、電磁石３Ｒ，３Ｌの磁気吸引力により非接
触で除振テーブルを浮上保持することにより、除振テー
ブルに搭載された機械装置等には設置床の振動が伝わら
ず、振動を取り除くことができる。また磁気軸受におい
ては、制御対象部材である回転軸が磁性体継鉄に固定さ
れ、固定された磁性体継鉄が電磁石３Ｒ，３Ｌの磁気吸
引力により非接触浮上保持されることにより、回転軸が
非接触で支承される。そして、磁性体継鉄２と電磁石３
の磁極との空隙ｇの変位をセンサ１２で計測し、そのセ
ンサ出力に基づいて電磁石３の励磁電流、即ち電磁石３
の磁気吸引力を制御する。
対象部材の関係を示すものである。補償回路よりの出力
信号はプッシュプル的な動作によりパワーアンプ４で電
力増幅され制御対象部材１をはさんで対向する電磁石３
Ｒ，３Ｌに印加される。そして、制御対象部材１に固定
された磁性体継鉄２に対して磁気吸引力を作用させる。
ここで制御対象部材１は、例えば、除振テーブルの支持
部材であり、電磁石３Ｒ，３Ｌの磁気吸引力により非接
触で除振テーブルを浮上保持することにより、除振テー
ブルに搭載された機械装置等には設置床の振動が伝わら
ず、振動を取り除くことができる。また磁気軸受におい
ては、制御対象部材である回転軸が磁性体継鉄に固定さ
れ、固定された磁性体継鉄が電磁石３Ｒ，３Ｌの磁気吸
引力により非接触浮上保持されることにより、回転軸が
非接触で支承される。そして、磁性体継鉄２と電磁石３
の磁極との空隙ｇの変位をセンサ１２で計測し、そのセ
ンサ出力に基づいて電磁石３の励磁電流、即ち電磁石３
の磁気吸引力を制御する。
【０００４】ところで、制御対象部材に固定した磁性体
継鉄に対して、電磁石に励磁電流を流すことにより発生
する磁気的な吸引力は、略図５に示すように励磁電流の
２乗に比例する。
継鉄に対して、電磁石に励磁電流を流すことにより発生
する磁気的な吸引力は、略図５に示すように励磁電流の
２乗に比例する。
【０００５】しかしながら、センサ出力に基づいて電磁
石の励磁電流を制御することにより、磁気吸引力を調整
する電磁石装置の制御系においては、このような非線形
な要素が入ると制御が難しくなる。
石の励磁電流を制御することにより、磁気吸引力を調整
する電磁石装置の制御系においては、このような非線形
な要素が入ると制御が難しくなる。
【０００６】このような電磁石装置の制御系において
は、電磁石３の磁極面１１と磁性体継鉄２との空隙ｇが
小さい場合には、電磁石の励磁電流と磁気吸引力とは直
線的な関係として考えることができる。また小さな励磁
電流の範囲では直線的な関係が得られるが、励磁電流が
大きくなると図５に示すような非直線の関係となる。
は、電磁石３の磁極面１１と磁性体継鉄２との空隙ｇが
小さい場合には、電磁石の励磁電流と磁気吸引力とは直
線的な関係として考えることができる。また小さな励磁
電流の範囲では直線的な関係が得られるが、励磁電流が
大きくなると図５に示すような非直線の関係となる。
【０００７】したがって電磁石制御装置においては、図
６に示すようにバイアス電流を流すことによって線形な
領域Ａを作り、ここで動作させるようにしている。即
ち、電磁石にバイアスの励磁電流Ｉ0 を流すことによ
り、このバイアス電流の範囲内Ａにおいて、励磁電流と
電磁石によって生じる磁気吸引力Ｆとは線形な関係を実
現している。
６に示すようにバイアス電流を流すことによって線形な
領域Ａを作り、ここで動作させるようにしている。即
ち、電磁石にバイアスの励磁電流Ｉ0 を流すことによ
り、このバイアス電流の範囲内Ａにおいて、励磁電流と
電磁石によって生じる磁気吸引力Ｆとは線形な関係を実
現している。
【０００８】このため、図７に示すようにパワーアンプ
の前段の加算回路１１で、バイアス電流指令値によりバ
イアス電流が印加される。
の前段の加算回路１１で、バイアス電流指令値によりバ
イアス電流が印加される。
【０００９】具体的なバイアス電流の印加の方法は、図
８に示すように、パワーアンプ４の前段に直流検波回路
５を設け、直流検波回路５にバイアス設定信号を印加す
るようにしている。
８に示すように、パワーアンプ４の前段に直流検波回路
５を設け、直流検波回路５にバイアス設定信号を印加す
るようにしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電磁石
制御装置においては電磁石の磁極面１１とターゲットと
なる磁性体継鉄の面との空隙ｇを大きくとらなければな
らない場合がある。例えば、前述の電磁石の磁気吸引力
により非接触浮上保持された除振テーブルでは、比較的
大きな空隙を水平方向に設けることが除振特性上必要と
なる。又、磁気軸受装置等においては大振幅の回転軸の
振動を予想しなければならない場合もある。このような
比較的大きな空隙で制御対象部材を非接触で支持する場
合、あるいは大振幅の振動を制振するためには、空隙が
大きすぎて前述の従来のバイアス電流を流す方法では線
形化しきれないという問題がある。よって、非線形な制
御要素が入ると制御系が非常に複雑になってしまうとい
う問題がある。
制御装置においては電磁石の磁極面１１とターゲットと
なる磁性体継鉄の面との空隙ｇを大きくとらなければな
らない場合がある。例えば、前述の電磁石の磁気吸引力
により非接触浮上保持された除振テーブルでは、比較的
大きな空隙を水平方向に設けることが除振特性上必要と
なる。又、磁気軸受装置等においては大振幅の回転軸の
振動を予想しなければならない場合もある。このような
比較的大きな空隙で制御対象部材を非接触で支持する場
合、あるいは大振幅の振動を制振するためには、空隙が
大きすぎて前述の従来のバイアス電流を流す方法では線
形化しきれないという問題がある。よって、非線形な制
御要素が入ると制御系が非常に複雑になってしまうとい
う問題がある。
【００１１】本発明はかかる従来技術の問題点に鑑み、
空隙ｇの大きな電磁石装置でも線形系の制御が可能な電
磁石制御装置を提供するものである。
空隙ｇの大きな電磁石装置でも線形系の制御が可能な電
磁石制御装置を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電磁石制御
装置は、制御対象部材に固定した磁性体継鉄と、該磁性
体継鉄に対して磁気力により比較的大きな空隙を介して
吸引力を発生する電磁石と、該制御対象部材の制御量を
計測するセンサと、該センサからの出力を基に前記電磁
石の励磁電流を制御する補償回路と、パワーアンプとか
ら構成されるコントローラとを備えた電磁石制御装置に
おいて、前記コントローラには、前記パワーアンプの前
段に入力に対して平方根演算結果を出力するルート回路
を備え、前記大きな空隙に伴う磁気吸引力が励磁電流の
二乗に比例する関係を補償するようにしたことを特徴と
するものである。
装置は、制御対象部材に固定した磁性体継鉄と、該磁性
体継鉄に対して磁気力により比較的大きな空隙を介して
吸引力を発生する電磁石と、該制御対象部材の制御量を
計測するセンサと、該センサからの出力を基に前記電磁
石の励磁電流を制御する補償回路と、パワーアンプとか
ら構成されるコントローラとを備えた電磁石制御装置に
おいて、前記コントローラには、前記パワーアンプの前
段に入力に対して平方根演算結果を出力するルート回路
を備え、前記大きな空隙に伴う磁気吸引力が励磁電流の
二乗に比例する関係を補償するようにしたことを特徴と
するものである。
【００１３】前記コントローラには、前記電磁石の磁極
と前記磁性体継鉄との空隙の大きさｇの二乗に反比例し
た、制御系ゲインの調整手段を更に含むことを特徴とす
るものである。
と前記磁性体継鉄との空隙の大きさｇの二乗に反比例し
た、制御系ゲインの調整手段を更に含むことを特徴とす
るものである。
【００１４】
【作用】補償回路とパワーアンプとからなるコントロー
ラのパワーアンプの前段にルート回路を備えたことによ
り、パワーアンプに入力される信号は、ルート回路によ
り平方根演算された信号となる。平方根演算された信号
がパワーアンプで増幅され励磁電流として電磁石に印加
されるため、電磁石によって発生する磁気吸引力は、励
磁電流の２乗に比例する。このため、電磁石の磁気吸引
力はパワーアンプに入力される信号に比例したものとな
る。それ故電磁石の磁極面とターゲットとなる磁性体継
鉄の空隙ｇが大きくて、従来線形制御が不可能であった
領域に対して、線形制御を可能ならしめる。
ラのパワーアンプの前段にルート回路を備えたことによ
り、パワーアンプに入力される信号は、ルート回路によ
り平方根演算された信号となる。平方根演算された信号
がパワーアンプで増幅され励磁電流として電磁石に印加
されるため、電磁石によって発生する磁気吸引力は、励
磁電流の２乗に比例する。このため、電磁石の磁気吸引
力はパワーアンプに入力される信号に比例したものとな
る。それ故電磁石の磁極面とターゲットとなる磁性体継
鉄の空隙ｇが大きくて、従来線形制御が不可能であった
領域に対して、線形制御を可能ならしめる。
【００１５】更に、ゲイン調整回路を制御系に設けるこ
とにより、空隙ｇの大きさにかかわらず、制御系のゲイ
ンを一定とする事ができる。
とにより、空隙ｇの大きさにかかわらず、制御系のゲイ
ンを一定とする事ができる。
【００１６】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例の電磁石制御装
置のブロック図であり、パワーアンプ４の前段にルート
回路７が設けられている。ルート回路７を除いてその他
の構成要素は従来の図７、図８に示す電磁石制御装置と
同様であり、同一の構成要素は同一の符号を付してその
説明を省略する。ルート回路７は平方根演算回路であ
り、入力信号に対して出力信号が平方根演算された信号
が与えられるアナログ回路である。
置のブロック図であり、パワーアンプ４の前段にルート
回路７が設けられている。ルート回路７を除いてその他
の構成要素は従来の図７、図８に示す電磁石制御装置と
同様であり、同一の構成要素は同一の符号を付してその
説明を省略する。ルート回路７は平方根演算回路であ
り、入力信号に対して出力信号が平方根演算された信号
が与えられるアナログ回路である。
【００１７】補償回路の出力信号Ｓは、ルート回路７に
よりＳ1/2 となり、パワーアンプは入力と出力が直線的
な関係であるので、パワーアンプの出力はＫＳ1/2 とな
り、電磁石３に入力される。電磁石３では入力である励
磁電流Ｉと出力である磁気吸引力Ｆとは２乗に比例する
関係にあるので、磁気吸引力ＦはＫ′Ｓとなり補償回路
の出力信号Ｓに比例する。
よりＳ1/2 となり、パワーアンプは入力と出力が直線的
な関係であるので、パワーアンプの出力はＫＳ1/2 とな
り、電磁石３に入力される。電磁石３では入力である励
磁電流Ｉと出力である磁気吸引力Ｆとは２乗に比例する
関係にあるので、磁気吸引力ＦはＫ′Ｓとなり補償回路
の出力信号Ｓに比例する。
【００１８】図２はこの関係の説明図であり、従来のル
ート回路なしの場合は、電磁石の磁気吸引力Ｆは補償回
路の出力信号Ｓの２乗に比例するが、ルート回路有りの
場合は、電磁石の磁気吸引力Ｆは補償回路の出力信号Ｓ
に直線的に比例する。したがって、ルート回路によりタ
ーゲットとなる磁性体継鉄と電磁石の磁極面との空隙ｇ
が大きい場合でも、電磁石装置の制御系を線形にするこ
とができる。
ート回路なしの場合は、電磁石の磁気吸引力Ｆは補償回
路の出力信号Ｓの２乗に比例するが、ルート回路有りの
場合は、電磁石の磁気吸引力Ｆは補償回路の出力信号Ｓ
に直線的に比例する。したがって、ルート回路によりタ
ーゲットとなる磁性体継鉄と電磁石の磁極面との空隙ｇ
が大きい場合でも、電磁石装置の制御系を線形にするこ
とができる。
【００１９】しかしながら、空隙ｇが大きい場合、補償
回路の出力信号Ｓに対して、電磁石の磁気吸引力を線形
化しても、空隙ｇの大きさによって電磁石装置の制御系
の剛性（磁気吸引力の大きさ）が変わってしまうという
問題がある。図３は空隙ｇをパラメータとした補償回路
の出力信号Ｓに対する電磁石の磁気吸引力Ｆの関係を示
すものである。図示するように、空隙ｇが大きくなる
（ｇ0 →ｇ3 ）と剛性、即ち、磁気吸引力Ｆは急激に小
さくなる。
回路の出力信号Ｓに対して、電磁石の磁気吸引力を線形
化しても、空隙ｇの大きさによって電磁石装置の制御系
の剛性（磁気吸引力の大きさ）が変わってしまうという
問題がある。図３は空隙ｇをパラメータとした補償回路
の出力信号Ｓに対する電磁石の磁気吸引力Ｆの関係を示
すものである。図示するように、空隙ｇが大きくなる
（ｇ0 →ｇ3 ）と剛性、即ち、磁気吸引力Ｆは急激に小
さくなる。
【００２０】図４は本発明の第２の実施例のゲイン調整
手段を更に含む制御系のブロック図である。上述の空隙
の大きさにより剛性が変わるという問題に対処するた
め、制御ループにゲイン調整器８を備え、ゲイン調整器
８は演算器又はテーブル９によって、空隙ｇに応じた制
御系のゲインが与えられる。即ち、空隙ｇの大きさ如何
にかかわらず一定の制御力である磁気吸引力を磁性体継
鉄に作用させることができるようにしたものである。
手段を更に含む制御系のブロック図である。上述の空隙
の大きさにより剛性が変わるという問題に対処するた
め、制御ループにゲイン調整器８を備え、ゲイン調整器
８は演算器又はテーブル９によって、空隙ｇに応じた制
御系のゲインが与えられる。即ち、空隙ｇの大きさ如何
にかかわらず一定の制御力である磁気吸引力を磁性体継
鉄に作用させることができるようにしたものである。
【００２１】ここでルート回路７を備えた制御系におい
てゲイン調整器のゲインを決定する演算器又はテーブル
９の計算式は以下の通りである。まず、磁気吸引力Ｆ
は、励磁電流Ｉの２乗に比例し、空隙ｇの２乗に反比例
するので、 Ｆ＝Ｋ＊Ｉ2 ／ｇ2 但し、Ｋ 比例定数 ここで、ルート回路７により励磁電流Ｉは、補償回路の
出力信号Ｓの平方根に比例するので、 Ｉ＝Ｋ''＊Ｓ1/2 但し Ｋ'' 比例定数 従って、 Ｆ＝Ｋ′＊Ｓ／ｇ2 但し、Ｋ′ 比例定数 従って、磁気吸引力Ｆと出力信号Ｓの関係は、 Ｆ＝（Ｋ′／ｇ2 ）＊Ｓ ここで、 Ｋｅ＝（Ｋ′／ｇ2 ） とすると Ｆ＝Ｋｅ＊Ｓ このＫｅを演算し、または、テーブルを作って算出し、
ゲイン調整器８のゲインとする。この演算器又はテーブ
ル９は、予めステップ的な関数発生器をリミッタで作っ
ておいてもよい。又、空隙ｇの大きさの信号をＡ／Ｄ変
換することにより、ディジタル信号にしてディジタルの
テーブルを参照して、ゲイン調整器に入力し、制御系に
アナログ信号のゲインを与えることもできる。
てゲイン調整器のゲインを決定する演算器又はテーブル
９の計算式は以下の通りである。まず、磁気吸引力Ｆ
は、励磁電流Ｉの２乗に比例し、空隙ｇの２乗に反比例
するので、 Ｆ＝Ｋ＊Ｉ2 ／ｇ2 但し、Ｋ 比例定数 ここで、ルート回路７により励磁電流Ｉは、補償回路の
出力信号Ｓの平方根に比例するので、 Ｉ＝Ｋ''＊Ｓ1/2 但し Ｋ'' 比例定数 従って、 Ｆ＝Ｋ′＊Ｓ／ｇ2 但し、Ｋ′ 比例定数 従って、磁気吸引力Ｆと出力信号Ｓの関係は、 Ｆ＝（Ｋ′／ｇ2 ）＊Ｓ ここで、 Ｋｅ＝（Ｋ′／ｇ2 ） とすると Ｆ＝Ｋｅ＊Ｓ このＫｅを演算し、または、テーブルを作って算出し、
ゲイン調整器８のゲインとする。この演算器又はテーブ
ル９は、予めステップ的な関数発生器をリミッタで作っ
ておいてもよい。又、空隙ｇの大きさの信号をＡ／Ｄ変
換することにより、ディジタル信号にしてディジタルの
テーブルを参照して、ゲイン調整器に入力し、制御系に
アナログ信号のゲインを与えることもできる。
【００２２】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は電磁石
制御装置の制御系にルート回路を備え、更にゲイン調整
器により空隙の大きさに応じて制御系のゲインを調整す
るようにしたものである。従って、電磁石の磁極面とタ
ーゲットとなる磁性体継鉄との空隙ｇが大きい場合に
も、線形制御が可能であり、ゲイン調整器により一定の
制御ループゲインが与えられる。したがって、従来の電
磁石装置の制御系では困難であった大きな空隙を有する
電磁石装置を安定に制御することが可能となる。
制御装置の制御系にルート回路を備え、更にゲイン調整
器により空隙の大きさに応じて制御系のゲインを調整す
るようにしたものである。従って、電磁石の磁極面とタ
ーゲットとなる磁性体継鉄との空隙ｇが大きい場合に
も、線形制御が可能であり、ゲイン調整器により一定の
制御ループゲインが与えられる。したがって、従来の電
磁石装置の制御系では困難であった大きな空隙を有する
電磁石装置を安定に制御することが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例の電磁石制御装置の制御
系のブロック図。
系のブロック図。
【図２】信号Ｓと電磁石制御装置の磁気吸引力Ｆとの関
係を示す説明図。
係を示す説明図。
【図３】空隙ｇをパラメータとした信号Ｓと電磁石の磁
気吸引力Ｆとの関係を示す説明図。
気吸引力Ｆとの関係を示す説明図。
【図４】本発明の第２の実施例のゲイン調整器を含む電
磁石制御装置の制御系のブロック図。
磁石制御装置の制御系のブロック図。
【図５】電磁石の励磁電流Ｉと磁気吸引力Ｆとの関係を
示す説明図。
示す説明図。
【図６】電磁石の励磁電流Ｉと磁気吸引力Ｆとの関係を
示す説明図。
示す説明図。
【図７】従来の電磁石制御装置の制御系のブロック図。
【図８】図７におけるパワーアンプと、電磁石と、制御
部材との関係を示す説明図。
部材との関係を示す説明図。
１ 制御部材 ２ 磁性体継鉄 ３，３Ｒ，３Ｌ 電磁石 ４ パワーアンプ ５ 直線検波回路 ６ 補償回路 ７ ルート回路 ８ ゲイン調整器 ９ 演算器又はテーブル １２ センサ ｇ 空隙
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01F 7/20 H01F 7/18
Claims (2)
- 【請求項１】 制御対象部材に固定した磁性体継鉄と、
該磁性体継鉄に対して磁気力により比較的大きな空隙を
介して吸引力を発生する電磁石と、該制御対象部材の制
御量を計測するセンサと、該センサからの出力を基に前
記電磁石の励磁電流を制御する補償回路と、パワーアン
プとから構成されるコントローラとを備えた電磁石制御
装置において、 前記コントローラには、前記パワーアンプの前段に入力
に対して平方根演算結果を出力するルート回路を備え、
前記大きな空隙に伴う磁気吸引力が励磁電流の二乗に比
例する関係を補償するようにしたことを特徴とする電磁
石制御装置。 - 【請求項２】 前記コントローラには、前記電磁石の磁
極と前記磁性体継鉄との空隙の大きさｇの二乗に反比例
した、制御系ゲインの調整手段を更に含むことを特徴と
する請求項１記載の電磁石制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25411292A JP3311394B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 電磁石制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25411292A JP3311394B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 電磁石制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684637A JPH0684637A (ja) | 1994-03-25 |
| JP3311394B2 true JP3311394B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=17260396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25411292A Expired - Fee Related JP3311394B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 電磁石制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3311394B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021042822A (ja) * | 2019-09-12 | 2021-03-18 | Ntn株式会社 | 磁気軸受装置およびそれを用いた低温液化ガス送液ポンプ、ならびに磁気軸受装置の制御方法 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP25411292A patent/JP3311394B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684637A (ja) | 1994-03-25 |
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