JP2002526730A - 振動絶縁テーブルのための絶縁システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 絶縁システムが電磁石（３０）、センサ（３２）及び制御装置（３４）が入っている ハウジング（２２）を備えている。ハウジング（２２）は絶縁テーブル（１０）（又は第２の物体から絶縁を必要としている他の構造物）のテーブルトップの下にの取り付けられ、ターゲット要素（２４）（例えば永久磁石）がハウジング（２２）に近接してテーブルのフレームと結合されている。センサ（３２）はテーブルの運動を表す入力信号を制御装置（３４）に与え、制御装置は電磁石（３０）がターゲット要素（２４）に作用する力を作るための制御信号を発生する。ハウジング（２２）はテーブルトップに磁石（２６）で取り付けることができ、それはすえ付けを容易にする。ハウジングは、装着が簡単で、邪魔にならず、しかも既存の絶縁テーブルを改造するのに都合のよいユニットにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 発明の背景と概要 本発明は、別の物体によって伝えられる振動から一つの物体を絶縁する装置に
関する。特に、本発明は振動の外乱を制御するために振動絶縁テーブル又は同様
の構造物に容易に取付けできるてい低コストで自立した、能動振動絶縁システム
を提供する。

【０００２】 電磁石アクチュエータが相対移動の低い場合に力を発生させるのに特によく適
している。電磁石が低コストで運転するのに費用がかからないという利点も持っ
ている。振動振動絶縁テーブルに電磁石を使用する既知のシステムが、過度に複
雑ですえ付け又は調整が容易でない。さらに、既知のシステムは、既存の振動絶
縁テーブル又は他の構造物を改造して用いるのに容易には適用できない。

【０００３】 本発明は、従来技術にある欠陥を克服して支持物体（例えばテーブル・フレー
ム又は脚）によって伝えられる絶縁された物体（例えばテーブルトップ）内の振
動を相殺する力を発生させるための少なくとも一つの電磁石を基礎とした絶縁シ
ステムを提供する。本発明によれば、このシステムは、電磁石を有する装置、運
動センサ、及び絶縁された物体に容易に取付けられる単一のハウジング内に全部
入っている制御装置を備えている。どんな振動モードが問題であるかに依って、
この装置を一つ以上を絶縁される物体に取付けることができる。

【０００４】 単一容器又はハウジングに構成要素を収容すると、装置を振動絶縁テーブルに
取付けるのが容易になり、すえ付け費用及び複雑さがを減る。ハウジングは、装
置を目立ちにくくし、使用者の邪魔にならなくする。本発明によれば、ハウジン
グはテーブルトップ（それは、普通は鉄合金でできている）に永久磁石で取付け
でき、磁石は、瞬間的に取付けでき、必要があればハウジングを容易に取りはず
して別の場所に移すことを可能にする。他の取付け手段（例えば接着剤又はねじ
固定具）を代替物として用いてもよい。

【０００５】 本発明は、フレーム又は脚上にテーブルを支持するバネ・システムと並列に働
くように振動絶縁テーブル上にすえ付けるのに都合がよい。このようなバネ・シ
ステムは、普通は空気であるが、本発明は他の種類のばね支持体で働かせること
ができる。

【０００６】 好適な実施例によれば、センサは、テーブルトップ内の加速度を表わす信号を
発生する加速度計である。その信号は、電磁石に振動を相殺させる力を発生させ
るための電磁石用の制御信号を発生する制御装置によって処理される。好適な制
御モードは、加速度信号を積分して速度を得、次に比例した加速度と速度の和を
帰還することである。代わりに、もう一つの運動センサを適当な制御機構と共に
使うこともできるだろう。例えば、地中聴音器、速度計又は変位センサをテーブ
ルトップの動きを検出するために用いてもよい。

【０００７】 本発明の一態様によれば、ターゲット要素が設けられて電磁石が振動相殺力で
逆作用する。好適な実施例によれば、ターゲット要素は、永久磁石である。ター
ゲット要素は支持フレーム又は脚に取り付けられ、すき間が電磁石と永久磁石と
の間に作られるように、ハウジングはテーブルトップに磁石に近接して取付けら
れる。永久磁石は、電磁石が永久磁石に押力又は引張力を発生できるようにする
バイアスを生じ、振動相殺力をより効果的にする。振動絶縁テーブルは、普通は
テーブルトップの近くに水平な支持レールを備えている。上下振動の場合、ター
ゲット要素は、都合のよいことにレールに取付けられる。脚間にレールのないシ
ステムの場合、ターゲット要素を提供するためにブラケットを脚に取付けること
ができる。水平振動の場合、ターゲット要素は、テーブルの脚又はブラケット類
に取付けることができる。ハウジングは、電磁石がすき間を横切ってターゲット
要素に作用する力を発生する位置に置かれるように適当に向きを定められている
。

【０００８】 本発明によれば、ターゲット要素は、代わりに鉄金属部材のような電磁石が引
力を生ずる相手になる磁気に感応する要素であってもよい。従って、バイアスを
直流入力を適用することによって又は、電磁石内に永久磁石を装着することによ
って電磁石に加えることができるので、有効な振動相殺を行うための引力と反発
力の両方を発生できる。

【０００９】 本発明の別の態様では、制御装置は、入出力信号処理を含む。入力処理は、存
在する可能性のあるいかなる直流バイアスをも微調整し、それによって入力信号
の処理から生ずることがあるいかなる直流ドリフトをも調整する手段を含む。さ
らに、入出力信号処理は、少なくとも一方、そして、好ましくは両方とも、第１
の低利得値と第２のより高利得値との間を、好ましくはプログラム可能な利得増
幅器によって、切り換える能動ゲイン切換手段を含んでいてもよい。これは、広
範囲の伝達振動レベルに対して適切な強さの信号を制御法及び／又はアクチュエ
ータに与える。さらに、入出力処理の一方又は両方は、システムの健全性を監視
するための信号を監視する手段を含んでいてもよい。

【００１０】 本発明による装置は、単一方向振動制御のための単一の電磁石を備えることが
できる。代わりに、装置のハウジングは、相対的に異なる方向へ減衰するように
向けられた二つの電磁石を収容できる。各方向の運動を測定するためのセンサが
ハウジング内に含まれる。なお、ターゲット要素が各電磁石に付随し、各ターゲ
ット要素を離すとき、テーブル・フレームに適当な位置で取り付けられる。

【００１１】 テーブルトップが、単純な線形上下振動、ロール運動、ピッチ運動、縦及び横
の方向の水平運動、及び偏揺れ運動を含むテーブルトップの異なる運動を生じる
可能性のあるさまざまな振動外乱を受ける。本発明によるシステムは、これらの
異なる振動モードを制御するための複数の装置を備えた振動絶縁テーブルを含む
。

【００１２】 一つの実施例によれば、テ−ブル面に全ての垂直を基準にした運動、すなわち
線形垂直振動、ピッチ振動及びロール振動、を制御するための３つの振動減衰装
置が設けられている。各装置は、単一の電磁石及び関連のターゲット永久磁石を
備えている。一つの｛装置がテーブルの２本の前脚の各々に配置され、一つの装
置が、両後ろ脚の中間にテーブルトップの後縁に沿って配置される。各装置は、
独立してさまざまな位置で作用し、上述の３つの振動運動を制御するための制動
力を作る。テーブルトップの周りの能動減衰ユニットの相対的な間隔及び位置決
めによって必要な制御力が最適化される。

【００１３】 ３−装置システムが、最小数の装置で垂直振動制御を都合よく与える。代わり
に、一つのテーブルが４つの振動減衰装置を備えることができ、より力の要る減
衰制御のために各々のテーブルの脚に一つづつ配置される、すなわち、各々の装
置に必要な制御力を小さくする。

【００１４】 ２つの水平な振動モードの制御のために一つの振動絶縁テーブルが２つの装置
を備えることができる。各装置は、隣接した各脚に取付けられた、又はそれらと
一体の、ターゲット要素を付けた隣接脚のところでテーブルトップに取付けられ
る。好ましくは、各装置をできるだけ人目につかないように配置するために、各
装置は、後ろ脚に配置される。各装置は、テーブルの重心（ＣＧ）を通る対角線
の力ベクトルを発生するように適当に一直線に並べられる。このようにして、縦
及び横の方向の運動を制御できる。

【００１５】 もう一つの実施例によれば、各装置が、単一のハウジングに入った垂直及び水
平に向いた電磁石を含み、振動絶縁テーブルは、６つ全てのモードにある垂直及
び水平の振動の制御のためために構成されている。都合のよいことに、６つ全て
の方式の制御が、各前脚に一つづつ及び後脚の中間の後縁に第３のものというよ
うにテーブルに取付けられた３つの装置で達成できる。ターゲット要素が前脚の
各々と前脚に隣接した支持レールとに配置される。なお、ターゲット要素が垂直
制御のために後部支持体レール上に配置され、後部のレールに取り付けられたブ
ラケットが後部に配置された装置によって水平制御をするための追加のターゲッ
ト要素を支持するために垂直に上方へ延びている。

【００１６】 その他の構成もまた可能である、例えば、より強い振動制御のための多重の振
動減衰装置を使用することなど。なお、例えば、機器が振動絶縁テーブルに載っ
ているなどのために、振動又は運動の特定の形が問題の場合、装置をそれに応じ
て配置することができる。一つの例として、縦に振動絶縁テーブル上で長手方向
に向けられたロボットの場合、多数の装置をテーブルに取付けて水平相殺力を作
るように配向できる。

【００１７】 本発明によるもう一つのシステムの効果は、単一のハウジングに全ての能動構
成要素が入っているので、既存の振動絶縁テーブル又はその他の構造を簡単に改
造できるということであり、なお、磁石取付装置が使われるとき、振動絶縁テー
ブルにおける減衰は、装置をテーブルに追加するか又は装置のテーブル上の位置
又は向きを変えることによって容易に調整できるし又は一時的に特定の用途に適
応させることさえできる。

【００１８】 好ましい実施例の詳細な説明 図１は、本発明の第１実施例に従う振動減衰装置２０を含む絶縁テーブル１０
を示す。当業者に明らかになるように、本発明による装置は、第１の部材から伝
えられる振動から第２の部材を第２の部材にある振動を相殺する力を発生するこ
とによって絶縁する。本発明は、本願明細書において記載されているように、絶
縁テーブルに特に適しているが、他の装置（例えばエンジンマウント、回転機械
装置及びターボ機器）への適用があるので、説明は、制限というよりはむしろ例
示的であるといえる。

【００１９】 絶縁テーブル１０には、複数の脚１４（１つの脚だけが図１に示されている）
を有するフレーム１１で支えられたテーブルトップ１２がある。テーブル・フレ
ーム１１の隣接した脚を水平レール１８によって相互接続してフレームに剛性を
与えるのが好ましい。レールは、通常、テーブル１０の前縁から除かれて作業者
の脚がテーブルの下で延びる余地を与えている。バネ装置１６が脚１４とテーブ
ルトップ１２との間に取り付けられてテーブルトップを脚から離す。普通は、バ
ネ装置１６は低いばねこわさを持っている空気式振動絶縁装置である。不減衰の
バネ装置における問題は、システムの共振振動数で、又はその近くで、起こる振
動を扱えないことである。さらに、それらは低周波振動を拡大する可能性がある
。本発明（バネ装置と並列に使われる）は、共振振動数及び／又は低周波数にお
いてに又は付近での振動を相殺する。

【００２０】 図１の振動減衰装置２０は、テーブルトップ１２の下側に取り付けられる容器
２２及び容器に近接しかつ電磁石３０の下でフレーム１１に関連してフレームに
取り付けられたターゲット要素２４を備えている。したがって、容器２２及びタ
ーゲット要素２４は、容易にすえ付けられかつ直接見えず、テーブルを使用して
いる作業者の邪魔にならないように都合よく配置される。容器２２は装置の力発
生電磁石３０を含む作動構成要素を収容する。容器２２は、後述の作動構成要素
を収容するための内部空間を与える堅固な箱である。容器は、アルミ鋳物として
、折り重ねられるか打ち抜かれた薄板金箱として又は他の適切な構造として形成
することができる。

【００２１】 振動減衰装置ユニット２０の作動構成要素は、電磁石３０、運動センサ３２及
び振動減衰装置３４を含んでいる。電磁石３０は、極片２７及びコイル２３を含
み、ハイランド・ミシガン（Ｈｉｇｈｌａｎｄ Ｍｉｃｈｉｇａｎ）のマグネテ
ィック・プロダクツ社（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ，Ｉｎｃ．）によ
って製造された形式のものである。具体的には、最大引張り荷重定格（３５ｌｂ
ｆ）（１５６．８のＮ）のモデルＲＥ−１２１２１が、装置２０において特に有
効であるとわかった。運動センサ３２は、テーブルトップ１２の運動を検出して
、制御装置３４に運動を表わす入力信号を送る。できれば、運動センサは、バー
ジニヤ州バージニヤ・ビーチ（Ｖｉｒｇｉｎｉａ Ｂｅａｃｈ，ＶＡ）の（Ｏｃ
ｅａｎａ Ｓｅｎｓｏｒｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，Ｉｎｃ．）オセアナ・
センサーズ・テクノロジーズ社によって製造された加速度計であるのがよい。１
Ｖ／ｇの感度をもつモデル番号Ａ８０００−０ｌが特に効果的であるとわかった
。本制御装置は、入力信号を処理して制御信号を発生し、それを電磁石３０に送
って磁気力を出す。電源コード３６は、電力を容器２２にある作動構成要素に与
える。容器内の構成要素の配置が例示的であって、それらの位置は変る可能性が
あると理解すべきである。

【００２２】 容器２２はテーブルトップ１２に任意の適切な手段（例えば、機械的固定具（
ねじ、ボルト又はリベット）、接着剤及び両面テープを含む）によって取り付け
できる。テーブルトップ１２が鉄合金でできているとき、容器２２を一つ以上の
取付磁石２６で取り付けることは、特に便利であり、それは、テーブル上に何の
用意もせずに瞬時に取付けること及び、必要に応じて、容易に容器２２を取り外
したり又は容器２２の位置を変える機能の両方を可能にする。図１は、容器２２
の外側にある取付磁石２６を例示しているが、外観をきれいにするために磁石２
６を容器内部に配置することも可能である。

【００２３】 容器２２は、テーブルトップ１２に電磁石３０とターゲット要素２４の間にす
き間２８を空けて取り付けられ、この場合、ターゲット要素２４はレール１８に
取付けられている。図１に示すように、電磁石３０は、すき間２８を横切ってタ
ーゲット要素２４に向き合って配置されている。電磁石３０によって発生される
力は、ターゲット要素２４上に作用してセンサ３２によって検出される外乱運動
を打ち消すので、テーブルトップ１２における振動を相殺する。すき間２８の幅
は、最適の力の有効性を得るるために、容器２２とターゲット要素２４とが接触
しないようにできるだけ小さくなければならない。

【００２４】 床からテーブルトップ１２に伝えられる振動外乱は、普通は、絶縁テーブルに
対しておよそ０．２〜２０のミクロン（０．０００００８〜０．０００８のイン
チ）である。空気力学的テーブル共振のために、許容できない高さの振動レベル
がテーブルトップ１２に伝えられる。しかし、テーブルトップの小さい運動には
振動を減衰させるためには小さい力だけしか電磁石によって発生する必要がない
。この装置が、例えば、ニューポート（Ｎｅｗｐｏｒｔ）社製のモデルＶＨ、Ｖ
Ｗ及びＬＷ絶縁テーブルと一緒に使われると。き、０。２７〜０。５４ｋｇｆ（
０．５〜１．０ｌｂｆ）の範囲の力が効果的であるとわかった。この種類のテー
ブルと一体化されたシステムにおいて、すき間２８は、約１．２７ｍｍ（０．０
５インチ）と１１．４ｍｍ（０．４５インチ）の間にあるのが好ましく、約３．
１８ｍｍ（０．１２５インチ）のすき間が、非常に効果的であり、若干の動揺空
間が能動減衰ユニットとフレーム１１の間のひどい接触を避けることを可能にす
るとわかった。できれば、すき間２８は、空気ばねへの空気圧の損失若しくは遮
断及び／又はテーブルトップ１２に加えられる過渡荷重のために、静的動きにな
お適応させながら、実行可能な程度に小さく作られる。アクチュエータ３０は、
アクチュエータとターゲット要素２４との間のすき間２８を最小にしようとして
、図１０に示されているように、容器２２を通ってわずかに突き出てもよい。さ
らに、テーブルトップ１２を、適当なすき間２８を設定するために、それの調整
ねじを用いて上げ下げできる。

【００２５】 本発明の好適な実施例によれば、センサ３２はテーブルトップ１２の加速度を
検出する圧電加速度計である。代わりに、他の運動検出装置、例えば、地中聴音
器、速度計又は他の検出装置、を用いることもできよう。選ばれた特定のセンサ
は、当業者によって理解されるように、制御アルゴリズムに補正を行う必要があ
ろう。

【００２６】 例えば、図２及び４に例示されているように、加速度及び速度に基づくフィー
ドバック制御法を使うことができる。テーブルトップ１２の加速度（例えば垂直
の）はセンサ３２によって検出され、ライン３３の加速度を表している入力信号
が制御装置３４に伝えられる。制御装置内では、この明細書において更に詳細に
後述するように、入力信号はブロック２９ａにおいて増幅されて、調整される。
この非常に増幅・調整された信号は、テーブルの速度を表わす信号を得るために
積分が行われる積分器３５に与えられる。ライン４１の代表的な速度信号及びラ
イン４５の代表的な加速度信号は、次に、第１及び第２のゲイン・ブロック３７
、３８においてゲイン調整されて相対重みの付いたライン４３及び４４の代表的
加速度及び速度それぞれを作るために再び拡大・縮小される（増幅するか又は減
衰させて）。ゲイン３７、３８は、そのシステムに関する経験に基づいて選ばれ
、マイクロ制御装置にハード符号化されるのが好ましい。

【００２７】 ゲインを調整した信号４３，４４の和は、加算接続点３９において行われる。
加算に続いて、加算された信号は、ブロック２９ｂにおいて再び増幅されて調整
されて、電磁石アクチュエータ３０に与える制御信号４０を発生する。電磁石３
０は、テーブルトップ１２の運動を相殺する制御力Ｆを生ずる。結合された加速
度と速度の制御は、速度フィードバックだけ（図２ｃに関して記載された）より
ずっと良い高周波振動制御を与えるので制御の有効範囲を広げる。

【００２８】 図３の実施例は、図２ａのものと追加の補償器３１が設けられている点で異な
る。補償器３１は、低周波における位相進みを生じる低周波進相補償器である。
より具体的には、補償器は０．５Ｈｚに中心を置いた最高１５度の位相進みを与
える。この補償器３１は、装置２０の性能をセンサ３２及び入力信号の調整と増
幅２９ａによって生じた位相遅れを補償することによって改良する。図示のよう
に、図２のブロック線図は、垂直振動制御を表す。しかし、本発明及び本願明細
書において記載された制御が、テーブル１２の水平振動を制御するために等しく
有効であることを理解すべきである。さらに、並列で使われるときに、本願明細
書において後述するように、多重モードを制御できる。本発明による装置２０は
、テーブル・システム１０の共振振動数、普通は約１〜４Ｈｚの間である、で減
衰を行うように制御される。できれば、装置２０は０．２〜１０Ｈｚの間の範囲
にある振動数で働くのがよい。用いられた上述の制御法は非常に安定であり、テ
ーブルトップ１２に加わるどんな過渡荷重も効果的に減衰されるようなものであ
る。

【００２９】 より単純な制御法が図４に示されている。この方法において、テーブルトップ
１２の加速度は、加速度計センサ３２によって検出される。ライン３３の加速度
を表すこの信号は、ブロック２９ａにおいて増幅・調整され、それから積分器ブ
ロック３５において積分されてライン４１にテーブルトップ１２の速度を表す信
号を発生する。ライン４１のこの信号は、ゲイン・ブロック３８において適当に
増幅されるか又は減衰される。また、ゲイン値は、システムの知識及びそれに関
する経験に基づいて決められる。ゲインを乗じられた信号４４は、つぎに、また
ブロック２９ｂにおいて増幅・調整され、次いで制御信号４０として電磁石アク
チュエータ３０に通される。速度フィードバックは、テーブルトップの共振の良
好な制御を行う。特に、速度計又は地中聴音器がセンサとして使われる場合、積
分器３５は削除されるだろう。

【００３０】 図１にある振動減衰装置２０は、垂直に向けられた減衰力を与えるように配置
されている、すなわち、電磁石３０は容器２２とターゲット要素２４との間の垂
直に一直線に並べられたすき間２８を横切って作用するように配向される。装置
２０は、水平に一直線に並べられたすき間ができるように単にターゲット要素２
４を鉛直面に配置すること及び電磁石３０がすき間２８を挟んでターゲット要素
２４に向かい合うように容器２２を向けることによって水平方向の振動を減衰さ
せるようにように配置されてもよい。

【００３１】 なお、好適な実施例によれば、ターゲット要素２４は永久磁石であって、それ
は連続的バイアスを電磁石３０に与える。バイアスは、テーブル・フレーム１８
に対して押す力と引く力の両方を発生させる電磁石３０の動作を可能にし、その
ことは、振動運動を相殺するのを容易にする。ターゲット要素２４として永久磁
石を追加する利点は、フレームが鉄金属で形成されているとき、それをテーブル
・フレーム１１に瞬間的に取り付けできることである。

【００３２】 代わりに、ターゲット要素２４は、磁気的にセンシティブな材料すなわち、電
磁石の力が引きつける材料であってもよいだろうし、又は、それはフレーム１１
の鉄の脚、レール又はその他の部分であってもよいだろう。このような実施例に
おいては、直流入力を供給することによってバイアスを電磁石に加えることがで
きる。勿論、これは、より高い動力を必要とするので、永久磁石を用いることよ
り望ましくない。

【００３３】 図５は、ディスク形の永久磁石２５がバイアスを与えるために電磁石３１の中
に配置されている別の実施例を例示している。ターゲット要素２４は、磁石及び
電磁石の力場と磁気的に反応することができる透磁性の極片である。これに対し
て、レール１８が十分に高い透磁率を有する材料で形成されている場合、ターゲ
ット要素２４は取り除くことができるし、レール１８はターゲット要素として働
くことができる。この代替品は、装置の構成要素の全てが容器２２に入っている
という効果を与え、このことは、さらにすえ付けを簡単にする。

【００３４】 図６は、水平レールがない絶縁テーブルの場合又は水平レールが ターゲット
要素２４を保持するのに十分にテーブルトップ１２に近くにない場合の本発明の
特徴を例示している。ブラケット４２は、テーブルトップ１２に近接してターゲ
ット要素２４を支持するためにフレーム１１の脚１４に取り付けられている。ブ
ラケット４２は、ターゲット要素２４が取り付けられる面を与えている。ブラケ
ット４２は、容器を取り付けるために使用されるものと同様の取付け磁石２６に
よって取付けられのが好ましく、このことはブラケットの位置決め及び装着を容
易にできるようにする。図６はまた、ターゲット要素２４に対するもう一つの代
替品、すなわち、磁極片２７に取付けられた永久磁石２５からなるターゲット要
素を例示している。磁極片と永久磁石の組合わせは、電磁場が作用することがで
きる有効面積を増やしている。

【００３５】 図７は、垂直及び水平両方向の振動を減衰させるのに適応する装置２０ａの実
施例を例示している。容器２２は、２つのセンサ３２Ｖ，３２Ｈを含み、第１の
３２Ｖは垂直方向の振動を検知するように配向され、第２の３２Ｈは、水平方向
の振動を検知するように配向されている（図示の矢印は、検知方向を示す）。２
つの電磁石３０Ｖ、３０Ｈが与えられる、すなわち、第１の３０Ｖは鉛直力を発
生するために配置され、第２の３０Ｈは、水平力を発生するために配置されてい
る。従って、２つのターゲット要素２４Ｈ、２４Ｌがフレーム１１に取り付けら
れる、すなわち、一つは水平力電磁石３０Ｈと相互作用するためにテーブルの脚
１４に、もう一つは垂直力電磁石３０Ｖと相互作用するためにレール１８に取付
けられている。単一制御装置３４は、センサ３２Ｖ、３２Ｈから入力信号を受け
て、２つの電磁石３０Ｖ、３０Ｈのための制御信号を発生するのに適応している
。個々の方向に対する制御は、図２に関して説明した制御法によって達成される
。

【００３６】 図８は、テーブルトップ１２によって経験される可能性のある振動運動の種類
を例示するための基準座標フレームを含む絶縁テーブル１０を透視図で例示して
いる。テーブルトップ１２に伝えられる外乱は、Ｚ軸に沿った単純垂直振動（す
なわち簡単な上下運動）をもたらす可能性がある。垂直外乱が振幅又はテーブル
トップ１２を横切る時間において等しくない場合、ゆれ運動、例えば、ＹＺ平面
内のピッチ運動、ＸＺ平面内のロール運動又はピッチとロールを組合せた運動が
起こる可能性がある。

【００３７】 なお、外乱は、テーブルトップ１２のＸ軸又はＹ軸上の単純な線形運動又はＸ
Ｙ平面内の偏揺れ運動を含む水平又はＸＹ平面内の振動をもたらすことができる
だろう。これらの外乱を相殺するための本発明のシステムによる装置２０、２０
ａを取り付けるさまざまな方法を以下に説明する。

【００３８】 最も一般的なものは、垂直運動、単純な線形垂直振動及びピッチ振動とロール
振動である。図８及び９に示されるシステムは、これらの３つの垂直方向の振動
のどれをも相殺するように配置されている。例えば、図９はテーブル１０の下面
図を示す。テーブル１０は、図１、５又は６にて説明したように、３つの互いに
離れた、垂直に作用する能動減衰ユニット装置２０を備えている。一方の装置２
０は、２つの前脚１４ａ、１４ｂの各々に隣接してテーブルトップ１２に取り付
けられている。付随ターゲット要素（図示せず）（好ましくは永久磁石）が、図
１、５又は６に関連して説明したように、振動減衰装置２０の各々に近接して横
のレール（図示せず）に取付けられるか又は、それらと一体に取付けられる。第
３の振動減衰装置２０がそして、ターゲット要素を後部レール（やはり図示せず
）に隣接して又はそれと一体に取付けて２つの後脚ｌ４ｃ、１４ｄの中間に配置
されている。装置２０が独立に作用する、すなわち、それぞれの装置の制御装置
は、調整作用するように接続されないので、各々の装置２０は、その個々の取付
け位置で検出される振動を相殺するように働く。図９に示された電源ケーブル３
６は、床に位置する電源装置からテーブルまでの配線を最小限に保つように図示
の方法で行われている。これは、振動がテーブル１２に多重電気コードを通して
与えられる傾向を減らす。

【００３９】 図９を、再び参照すると、３つの装置２０が線形垂直振動（紙面に入出するＺ
軸運動）を相殺するように働くことを理解できる。ＹＺ平面内のピッチ運動は、
テーブルトップの対向する前後縁に作用する前部の振動減衰装置２０と後部の振
動減衰装置２０の累積作用によって扱われる。ＸＺ平面内のロール運動は、前部
の脚ｌ４ａとｌ４ｂにおけるテーブルの向かい合わせ側にある振動減衰装置２０
の累積作用によって扱われ、例示された配置は、３自由度の振動を相殺するため
の振動減衰装置の最小必要数である。勿論、より強い減衰が必要な場合、追加の
振動減衰装置を取り付けてもよく、例えば、１つの振動減衰装置を各々の脚に配
置することができよう。

【００４０】 図１０は、水平振動外乱、すなわち、Ｘ軸とＹ軸の線形振動、だけを減衰させ
るのに有効な配置を例示している。振動減衰装置２０は、後部の脚１４ｃ、１４
ｄの各々に隣接して配置され、それぞれの脚の方に向いた水平な力を与えるよう
に配向されている。振動減衰装置はまた、各軸に関して斜めに配向され、そのこ
とは、振動減衰装置がＺ軸のまわりにトルクを作ることなく重心ＣＧを通って力
ベクトルを作用することを可能にする。関連のターゲット要素（図示せず）は、
脚に取付けられるか又は脚と一体である。あるいは、追加の装置をテーブルトッ
プに減衰を大きくするため又は偏揺れ動きを制御するために取付けることもでき
よう。

【００４１】 本発明の別の態様によれば、絶縁テーブル１０は、水平及び垂直の両方向に減
衰させる振動減衰装置２０ａを備えることができるので、テーブルトップにある
全６振動モードの運動を相殺するように作用する。図１１は、たとえば、６モー
ド全ての減衰を達成するために最小数の振動減衰装置２０ａを用いている実施例
を例示している。振動減衰装置２０ａは、各々、図７と関連して説明したように
、容器２２に取付けられた２つの電磁石を備えている。振動減衰装置２０ａは、
前部の脚１４ａと１４ｂに隣接して、そして好ましくは、後部の脚１４ｃと１４
ｄとの中間に配置されている。２つのターゲット要素２４は、各々の振動減衰装
置２０ａと関連している。前側においては、ターゲット要素が垂直減衰のために
レール（図示せず）に又はそれらと一体に、そしてＸ軸に沿う水平減衰のために
脚１４ａ、１４ｂに配置されている。後部の振動減衰装置２０ａは、第１の関連
ターゲット要素を後部レール（図示せず）に又は、それと一体に取り付けてテー
ブルトップ１２に取付けられている。ブラケット４２は、レール（図示せず）に
取り付けられ、Ｙ軸に沿う水平減衰のために第２のターゲット要素２４を支持す
るために上方へ延びている。

【００４２】 図１１にある配置は、Ｙ軸の水平振動を相殺するために前部の２つの装置２０
ａに、そして、Ｘ軸に沿う水平振動を相殺するためにテーブルの背後にある単一
の振動減衰装置２０ａに依存する。図１２は、２つの振動減衰装置２０ａがＸ軸
に沿う改良された減衰のために後脚１４ｃ、ｌ４ｄに置かれている配置を例示し
ている。同様に、前部の振動減衰装置２０ａは、脚１４ａ、１４ｂに、又はそれ
らと一体に含まれているターゲット要素と連動してＹ軸に沿う減衰のために配向
されている。後部と側部のフレーム・レール（図示せず）に又はそれと一体に装
着された追加のターゲット要素がＺ軸に沿う垂直振動を相殺するために前後部の
振動減衰装置２０ａと一緒に働く。したがって、図１２に示された配置において
、テーブルの前部の２つの振動減衰装置２０ａは、垂直振動とＹ軸水平振動を相
殺するために働き、テーブルの後部の２つの振動減衰装置は、垂直振動とＸ軸振
動に作用する。振動減衰装置２０ａの累積作用は、Ｘ、Ｙ及びＺ軸に沿う振動と
同様に上記したようにピッチ、ロール及び偏揺れ運動に作用する。

【００４３】 図１３と１４は、水平振動の特定の形が重要な所で有用である配置を例示して
る。図１３は、Ｙ軸に沿う強い減衰のための配置である。振動減衰装置２０は、
水平配位の電磁石がＹ軸に沿って作用するように配置されている。この配置は、
幅全体にテーブルトップ１２上に支持され、Ｙ軸に沿う強い振動を適宜に発生す
る 装置（例えばロボット）の場合に有用である。

【００４４】 図１４は、テーブルトップ１２の長さ全体に支持されるロボットなどの装置の
場合などの超過Ｘ軸振動の場合に有用な配置である。振動減衰装置２０は、水平
配位の電磁石がＸ軸に沿って作用するように適宜に配置される。図１３と１２に
示された配置において、振動減衰装置２０は、また、図７に例示された装置を用
いて水平と垂直の減衰に備えて装備することができる。

【００４５】 図１５と１６は、多モード振動制御に有用な他のいくつかの配置である。図１
５において、ユニット２０、２０ａは水平に作用するだけの装置又は図７に示さ
れたような多軸装置であってもよい。この図１５の実施例は、図９に示されたも
のに代わる実施例である。図１５の配置は、Ｚ軸の回りの偏揺れと同様にＸ軸と
Ｙ軸に沿う振動を減衰させることができる。ユニットが図７に記載された種類の
ものである場合、Ｚ軸に沿う垂直運動、ＹＺ平面内の縦揺れ運動及びＸＺ平面内
のロール運動もまた制御できる。この配置は、Ｙ軸振動を制御するのに特によく
適している。特に、システムが垂直減衰を含まないとき、各ユニットはテーブル
１０の脚１４ａ、１４ｂ及び１４ｃに直接に作用するのが好ましい、すなわち、
ターゲット要素はそれぞれの脚である。あるいは、図１、５又は６に示されたの
と類似のターゲット要素が脚に取付けられてもよい。図１６は、図１５と比較し
てわずかに異なる構成をもったシステムを例示している。一般に、図１６のシス
テムは、図７に示されたようなユニット２０ａが利用される場合、Ｘ、Ｙ、Ｚ、
ピッチ、ロール及び偏揺れ運動を減衰させることができる。ユニット２０ａが利
用される場合、この実施例は図１１の実施例に必要なブラケットをなくす。この
システムは、一般に、Ｘ軸振動を減衰させるときに最も効果的である。

【００４６】 図１７〜２０は、電子回路のハードウエア面に絞って振動減衰装置２０の詳細
を例示している。センサ３２（好ましくは上述の加速度計）は、加速度を表わす
信号を与える。電流源２１は、センサ３２を動かすための電流を与え、それによ
って入力調整と増幅ブロック２９ａへの入力信号を与える。入力調整と増幅ブロ
ック２９ａは、信号調整器４６を備え、また選択的のプログラマブル・ゲイン増
幅器（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｉｎ Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）５２ａを含
でもよい。図１９に最もよく示されているように、信号調整器４６は、高域フィ
ルタ、低域フィルタ、コンデンサ（約１０マイクロファラッド）及び演算増幅器
を含むゲイン−フィルタ・ブロック４８を備えている。効果的には、ゲイン−フ
ィルタ・ブロック４８は、ゲイン（最も好ましくは５）を乗じられ、所望の演算
範囲外の信号を除かれた出力信号を与える。絶縁テーブルの場合、約０．０４Ｈ
ｚと９０Ｈｚとの間の範囲外の信号を除くことが望まれる。このろ波され増幅さ
れた信号は、次に、信号に追加のゲイン値を乗じる ゲイン・ブロック５０に与
えられる。できれば、絶縁テーブルの場合、追加のゲイン値は、約５０に設定さ
れるのがよい。

【００４７】 ゲイン・ブロック５０の出力は、第１と第２のゲイン値の間を能動的に切り換
える手段に与えられるのが好ましい。この場合、能動切換手段は、低い値と高い
値のゲインの間で能動的に切り替えができる選択的プログラマブル・ゲイン増幅
器（ＰＧＡ）５２から成る。例としてで制限と考えられるべきでないが、低い値
は、好ましくは約３．５２であり、高い値は、約３０−６０の間にあるのが好ま
しいが、２５０程の大きさであってもよい。選ばれたゲイン値は、それの全ダイ
ナミックレンジの関数として入力Ａ／Ｄ５８ａへ入る信号の大きさに関係する。
入力Ｄ／Ａは、マイクロ制御装置５４と一体であって、約１０００Ｈｚの選択的
入力ＰＧＡ５２ａから与えられる信号を標本化するのが好ましい。現在の信号の
大きさが未知であるか広い範囲にわたって変えられる場合には、プログラマブル
・ゲイン増幅器（ＰＧＡ）５２を利用することが望ましい。信号の平均パワが域
値より上にある場合、次に、ゲインは第１の設定値にセットされ、一方、平均パ
ワが域値の下にある場合、ゲインは第２のより高い値にセットされる。これは、
適当な信号強度の信号がマイクロ制御装置５４に与えられることを確実にする。
同様のＰＧＡが、入力処理部分について記載されたように、装置２０の出力処理
部分に与えられるのが好ましく、同様であるが反対のロジックによって同時に切
り換えられる、すなわち、入力ＰＧＡ５２ａが信号を大きくした場合、出力ＰＧ
Ａ５２ｂは好ましくは同じ量だけその信号を引き下げる。特に、ＰＧＡが使われ
ない場合は、約８８０の全システム入力ゲインが達成されるように、ゲイン・ブ
ロック５０のゲイン値は、それ以上（たとえば約１７６）に設定されることを必
要とするだろう。約２〜１０ミクロンの間のベース外乱を受けるとき及び８−ビ
ット・マイクロ制御装置を使用するときに、７５０以上というような高いゲイン
が良好なシステム性能を達成するために望まれる。

【００４８】 本発明の別の態様によれば、入力信号の直流バイアスを調整する手段が提供さ
れる。図１９に示すように、マイクロ制御装置５４は、入力Ｄ／Ａ５８ａに与え
られる信号の公称直流レベルを監視し、直流電圧を結果として与える能動トリム
Ｄ／Ａ変換器（Ａｃｔｉｖｅ Ｔｒｉｍ Ｄｉｇｉｔａｌ−Ａｎａｌｏｇ Ｃｏ
ｎｖｅｒｔｅｒ）（ＤＡＣ）６５への一つの値を出力し、その直流電圧は、接続
点６４においてゲインーフィルタ・ブロック４８から出力される直流電圧に対し
て加算又は減算される。この能動トリム機能は、入力信号電圧を公称値、例えば
約２．５ボルト、に維持する。これは、電圧範囲内の中心に直流電圧を維持し、
それによってダイナミックレンジを最大に使用することを可能にする。

【００４９】 入出力処理部分は、また、装置２０内の センサ３２及び／又はアクチュエー
タ３０の故障を検出するのに有効な監視手段を含んでいてもよい。入力監視手段
は、生の加速度計信号表わす接続点６７における信号を抽出することを含む。こ
の信号は、線６８ａを介してマイクロ制御装置５４にある監視用Ａ／Ｄ７０ａに
与えられる。その信号は、次に，それが予め設定された範囲内に入るかるかどう
かを決めるために試験される。それが入れば、それはセンサ３２が適切に働いて
いることを表している。

【００５０】 マイクロ制御装置５４（好ましくはモトローラの６８ＨＣ７０５Ｐ６ＡＣＤＷ
である）内で、例えば図２〜４に関して記載された方法のいずれかのような制御
法が実行される。一つの出力信号が制御Ｄ／Ａ５８ｂから選択的出力ＰＧＡ５２
ｂに約２００Ｈｚのサンプル振動数で与えられる。制御装置は、好ましくは本願
明細書に引用しているＨａｍｏその他の係属出願の「動的システムモデル制御装
置」という名称の米国出願番号第０９／０５３４７８号において記載されている
ような多重速度サンプリングを含むのが好ましい。ＰＧＡ５２ｂからの信号は、
次にアンプ６０ａ、６０ｂへの制御信号が現実に指令されているものであること
を確実にするためにフィードバック制御を行う電流制御ブロック６２のいずれか
の側に配置されるマルチプル電力増幅器６０ａ、６０ｂを含むブリッジ増幅器５
６及び電磁石３０に与えられる。ＰＧＡ５２ｂからの制御信号は、直接に電力ア
ンプ６０ａを駆動する。反対に，制御信号を逆にする抵抗インバータ６３を介し
て電力アンプ６０ｂが反対方向に駆動され、それによって電磁石アクチュエータ
３０の巻線を通る交流シナリオを作る。好ましくは、フィードバック手段が電力
アンプ６０ａ、６０ｂを通って供給される電流を測定するために利用され、次に
それを適切に調整するために制御信号と加法的である信号を帰還する。各電力ア
ンプ６０ａ、６０ｂに供給された電流に比例するフィードバック信号が電流制御
ブロック６２にフィードバック線６１ａ、６ｌｂを介して送られる。これらの信
号は、次に出力を線６８ｂに発生するために結合される。この出力は、接続点６
９に与えられて、そこで制御信号と加算される。これは、電磁石を通る電流を、
それが制御（指令）された電流にほぼ等しくなるように常に修正する。６８ｂに
ある信号は、また、電磁石３０への電流をモニタする手段を与えるためにマイク
ロ制御装置５４内のＡ／Ｄ変換器７０ｂに与えられる。現在の電圧値が指令され
た制御信号の予め定められた公差内にあれば、電磁石３０及びブリッジ・パワー
アンプ５６は、適切に働いている。信号が変わらない場合、それはショート又は
他の回路機能障害を表す。

【００５１】 図１８において、マイクロ制御装置５４内に起こっている動作が例示されてい
る。ろ波及び増幅された入力信号は、ＰＧＡ５２ａからアナログ信号をディジタ
ルの形で上述のサンプルレートで転換する入力Ａ／Ｄ５８ａへ与えられる。９０
Ｈｚ未満、そしてより好ましくは約４０Ｈｚの折点周波数を有する低域フィルタ
ー（好ましくは一次）であるデシメーション・フィルタ７２が設けられている。
約０．１２５Ｈｚの折点周波数を有する追加の高域フィルタ７４が低周波ノイズ
をさらに拒否するために設けられている。信号は、デシメーション・フィルタ７
２から出るほぼ５つ目のサンプルごとに標本化することによってダウンサンプリ
ング・ブロック７３において２００Ｈｚでダウン標本化される。ダウンサンプル
・ブロック７３の出力は、次に第１の経路にある積分器３５において積分されて
、ブロック３８の第１のゲイン１を乗じられる。同様に、ダウンサンプルされた
信号がブロック３７にある第２のゲイン２を乗じられる第２の経路が提供される
。第１及び第２の経路にある信号は、次に加算接続点３９において加算され、次
いで、アクチュエータ３０に送るために制御Ｄ／Ａ５８ｂに与えられる。図２ａ
−２ｃの増幅及び調整ブロック２９ａは、信号調整ブロック４６、ＰＧＡ５２ａ
、Ａ／Ｄ５８ａ、デシメーション・フィルタ７２、ＨＰフィルタ７４及びダウン
サンプル７３からなることに注意すべきである。同様に増幅及び調整ブロック２
９ｂは、制御Ｄ／Ａ５８ｂ、出力ＰＧＡ５２ｂ及びブリッジ電力アンプ５６を含
む。ブリッジ電力アンプ５６は、電力アンプ６０ａ、６０ｂ及び電流制御６２を
含む。

【００５２】 本発明を好適な原理及び構造に関して説明したが、挙げられた特定の例は、例
示的であって制限的でないつもりである。当業者に思いつく代替品及び相当品が
、以下の請求の範囲に定められた本発明の範囲内に含まれている。例えば、ユニ
ットの数及び配置は、システム内の支配的な運動を効果的に減衰させるために変
えられてもよい。なお、絶縁テーブルに関して説明したが、本発明が、エンジン
又は機械取り付け構造物におけるなどの、一つの部材をもう一つのの部材から絶
縁する任意の構造物に対して用いることができる。

【図面の簡単な説明】

本発明は、添付の図面とともに以下の説明を参照することでよりよく理解さる
ようになる。

【図１】絶縁テーブルに取り付けられた本発明による単一モード減衰のため
の振動減衰装置の側面図である。

【図２】本発明による振動減衰装置ための例示的なフィードバック制御ルー
プの略回路図である。

【図３】本発明による振動減衰装置ためのフィードバック制御ループのもう
一つの実施例の略回路図である。

【図４】本発明による振動減衰装置ためのフィードバック制御ループのなお
もう一つの実施例の略回路図である。

【図５】絶縁テーブルに取り付けられたもう一つの実施例に従う振動減衰装
置の側面図である。

【図６】支持ブラケットがターゲット要素を支持するために取付けられた絶
縁テーブルに取付けられた振動減衰装置の側面図である。

【図７】絶縁テーブルに取り付けられた２モード減衰ための振動減衰装置の
側面図である。

【図８】垂直線減衰ために配置された振動減衰装置を含んでいる絶縁テーブ
ルを備える本発明のシステムを例示している斜視図である。

【図９】図１０のシステムの略回路図である。

【図１０】水平減衰のための代替システムの略回路図である。

【図１１】垂直及び水平減衰のための代替システムの略回路図である。

【図１２】図９のシステムの別の実施例の略回路図である。

【図１３】増大前後振動制御のためのシステムの略回路図である。

【図１４】増大横振動制御のためのシステムの略回路図 である。

【図１５】図９に示されたシステムの代替の実施例の略回路図である。

【図１６】最小のブラケット類を備えたシステムの略回路図である。

【図１７】装置及び制御装置の構成要素を例示しているブロック線図である
。

【図１８】もう一つの装置及びそのための制御装置の構成要素を例示してい
るブロック線図である。

【図１９】入出力処理の構成要素を例示しているブロック線図である。

【図２０】もう一つの入出力処理の構成要素を例示しているブロック線図で
ある。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルテリ、ラッセル イー アメリカ合衆国ノース カロライナ州 27511 キャリー クインズ フェリー ロード 603 (72)発明者 ブクナー、ステフェン エフ アメリカ合衆国ノース カロライナ州 27513 キャリー マリリン サークル 252 Ｆターム(参考） 3J048 AB07 AD02 CB12 DA01 EA13

Claims (30)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１の部材と第２の部材との間の振動を絶縁する振動絶縁装置に
   おいて、 前記装置は、 第１の部材と関連する磁場を感知できるターゲット要素、 及び 第２の部材に取付け可能な容器を備え、前記容器は、 磁極片及びコイルを備える電磁石、 第２の部材の運動を表わす入力信号を発生するセンサ 及び 前記ターゲット要素に作用して第２の部材の振動を制御するための磁場
   を前記磁極片に生成するために前記コイルを付勢する制御信号を誘導するように
   前記入力信号を受けて処理するための制御装置を備えることを特徴とする振動振
   動絶縁装置。
2. 【請求項２】ターゲット要素は、前記第１の部材に取付けられた永久磁石であ
   る請求項１に記載の振動絶縁装置。
3. 【請求項３】ターゲット要素は磁気的に応答する材料で形成される請求項１に
   記載の振動絶縁装置。
4. 【請求項４】電磁石はバイアスを与える永久磁石を備えている請求項３に記載
   の振動絶縁装置。
5. 【請求項５】前記センサは前記第２の部材の加速度を表わす前記入力信号を生
   成する加速度計である請求項１に記載の振動絶縁装置。
6. 【請求項６】前記加速度信号は次に前記制御信号を与えるためにフィードバッ
   クされる速度を表わす信号を生成するために積分される請求項５に記載の振動絶
   縁装置。
7. 【請求項７】前記加速度信号が速度を表わす信号を生成するために積分され、
   加速度を表わす前記信号及び速度信号を表わす前記信号はそれぞれ次に第１及び
   第２のゲインを乗じられて、ゲインを調整した加速度信号及びゲインを調整した
   速度信号を生成し、次に、前記ゲインを調整した加速度及び速度信号は、前記制
   御信号を与えるために加算される請求項５に記載の振動絶縁装置。
8. 【請求項８】第１の部材と関連する追加のターゲット要素は更に備え、容器は
   さらに追加の電磁石及び制御装置に接続している追加のセンサを収容し、電磁石
   及び追加の電磁石は異なる軸上の力を発生するように配向されている請求項１に
   記載の振動絶縁装置。
9. 【請求項９】容器を第２の部材に取り付けるために複数の磁石を更に備える請
   求項１に記載の振動絶縁装置。
10. 【請求項１０】前記センサは速度計又は地中聴音器であって速度を表わす信号
    を与える請求項１に記載の振動絶縁装置。
11. 【請求項１１】前記入力信号から直流バイアスを能動的にトリムするフィード
    バック手段を更に備える請求項１に記載の振動絶縁装置。
12. 【請求項１２】システムの健全さを決定するために前記入力信号と前記制御信
    号の少なくとも一方を監視する手段を更に備える請求項１に記載の振動絶縁装置
    。
13. 【請求項１３】第１の低レベルと可変大きさの入力に応答する第２のより高い
    値との間で入力ゲインを切り換える作動手段を更に備える請求項１に記載の振動
    絶縁装置。
14. 【請求項１４】第１の低レベルと第２のより高い値との間で出力ゲインを切り
    換える作動手段を更に備える請求項１３に記載の振動絶縁装置。
15. 【請求項１５】前記電磁石を駆動するブリッジ電力増幅器を更に備える請求項
    １に記載の振動絶縁装置。
16. 【請求項１６】下に作動ユニットが固定されているテーブルを更に備え、前記
    作動ユニットは、前記電磁石、、前記センサ、及び前記制御装置の入っている前
    記ハウジングを備えており フレームに対してテーブルを支持している複数の低いこわさの振動絶縁装置
    を含んでいるフレーム、前記ターゲット要素が前記フレームと結合されており、 前記作動ユニットは、前記ターゲット要素に近接してすき間をそれらの間に
    置いて配置されている 請求項１の振動絶縁装置を含んでいる振動絶縁テーブル。
17. 【請求項１７】テーブル及びフレームを備え、 前記フレームはフレームに対してテーブルを支持する複数の低いこわさの振
    動絶縁装置を含み、さらに フレームと関連した磁場に応答するターゲット要素と、 前記ターゲット要素に近接してすき間をそれらの間に置いて取付けられた作
    動ユニットとを備え、 前記作動ユニットは、磁場を発生させるためのコイル及び磁場を向ける磁極
    片を含む電磁石の入っているハウジングを備え、 前記電磁石は、すき間を挟んでターゲット要素の反対側に配置され、 テーブル内の振動を表わす入力信号を生成するためのセンサ 及び 磁場を発生させるためにコイルを付勢する制御信号を生成するために入力信
    号を処理する制御装置をさらに備え、 そこにおいて、 磁場はテーブル内の振動を相殺するようにターゲット要素に対して作用するよう
    に磁極片によって向けられる 能動的に制御された振動絶縁テーブル。
18. 【請求項１８】フレームにターゲット要素を支持するために取付けられたブラ
    ケットを更に備える請求項１７に記載の能動的に制御された振動絶縁テーブル。
19. 【請求項１９】ターゲット要素はフレームに取付けられた永久磁石である請求
    項１７に記載の能動的に制御された振動絶縁テーブル。
20. 【請求項２０】ターゲット要素は磁極片であり、電磁石は永久磁石を含む請求
    項１７に記載の能動的に制御された振動絶縁テーブル。
21. 【請求項２１】ハウジングはテーブルに永久磁石で取り付けられている請求項
    １７に記載の能動的に制御された振動絶縁テーブル。
22. 【請求項２２】ターゲット要素は第１のターゲット要素であり、作動ユニット
    は第１の作動ユニットであり、そして フレームと関連した第２のターゲット要素、テーブルに第２のターゲット要素に
    近接して取り付けられた第２の作動ユニット、フレームと関連した第３のターゲ
    ット要素及びテーブルに第３のターゲット要素に近接して取り付けられた第３の
    作動ユニットをさらに備え、第１、第２及び第３の作動ユニットは、相互に間隔
    を置いた関係に配置されている請求項１７に記載の能動的に制御された振動絶縁
    テーブル。
23. 【請求項２３】フレームは４本の脚を有し、第１の作動ユニットは第１の脚に
    隣接してテーブルに取り付けられ、第２の作動ユニットは第２の脚に隣接してテ
    ーブルに取り付けられ、第３の作動ユニットは第３の脚と第４の脚との間のテー
    ブル縁に隣接してテーブルに取り付けられている請求項２２に記載の能動的に制
    御された振動絶縁テーブル。
24. 【請求項２４】フレームは４本の脚を有し、第１の作動ユニットは第１の脚に
    隣接してテーブルに取り付けられ、第２の作動ユニットは第２の脚に隣接してテ
    ーブルに取り付けられ、そして、第３の作動ユニットは第３の脚に隣接してテー
    ブルに取り付けられている請求項２２の能動的に制御振動絶縁テーブル。
25. 【請求項２５】フレームと関連した少なくとも一つの追加のターゲット要素及
    び少なくとも一つの追加のターゲット要素に近接してテーブルに取り付けられた
    少なくとも一つの追加の作動ユニットを備え、作動ユニット及び少なくとも一つ
    の追加の作動ユニットは相互に間隔を置いている請求項１７に記載の能動的に制
    御された振動絶縁テーブル。
26. 【請求項２６】フレームと関連した追加のターゲット要素を更に備え、作動ユ
    ニットには追加の電磁石及び追加のセンサがさらに入っており、ターゲット要素
    及び電磁石は垂直に向いた振動を相殺するために垂直に並べてに配置され、追加
    のターゲット要素及び追加の電磁石は水平に向いた振動を相殺するために水平に
    並べて配置されている請求項１７に記載の能動的に制御された振動絶縁テーブル
    。
27. 【請求項２７】請求項２６に記載のターゲット要素を有する少なくとも一つの
    追加の作動ユニットを更に備え、第１の作動ユニット及びターゲット要素はフレ
    ームの第１の脚に配置され、第２の作動ユニット及びターゲット要素はフレーム
    の第２の脚に配置されている請求項２６の能動的に制御振動絶縁テーブル。
28. 【請求項２８】能動的に制御された振動絶縁テーブルであって、 一つのテーブル、 一つのフレーム、 各々が磁場に応答する複数の第１及び第２のターゲット要素、及び 各々がターゲット要素に近接しかつ垂直のすき間及び水平すき間を間に置い
    てテーブルに堅固に取り付けられたハウジングを備える複数の運動制御装置を備
    え、 前記フレームは各々が前記フレームに対してテーブルを支持している低いこ
    わさの防振装置を有する４本の脚を備え、 前記第１のターゲット要素は、フレームの水平面に対して配向され、前記第
    ２のターゲット要素は、フレームの鉛直面に対して配向されており、 前記各ハウジングには、 各々が磁場を発生させるためのコイル及び磁場を導くための磁極片を備え
    る第１及び第２の電磁石、 、 テーブル内の上下振動を表わす第１の入力信号を生成するための第１のセ
    ンサ テーブル内の水平振動を表わす第２の入力信号を生成するための第２のセ
    ンサ及び 上下振動を相殺するための磁場を発生させるために第１の電磁石を付勢す
    る制御信号を生成するために第１の入力信号を処理し、水平振動を相殺するため
    の磁場を発生させるために第２の電磁石を付勢する制御信号を生成するために第
    ２の入力信号を処理する制御装置があり、 前記第１の電磁石は、垂直のすき間を横切って第１のターゲット要素に向か
    い合って配置され、前記第２の電磁石は、垂直のすき間をを挟んで第２のターゲ
    ット要素に向かい合って配置されている 能動的に制御された振動絶縁テ−ブル．
29. 【請求項２９】前記複数の運動制御装置が、少なくとも３つのユニットを備え
    、前記複数の運動制御装置の各々は、フレームの異なる脚に隣接して取付けられ
    ている請求項２８に記載の能動的に制御された振動絶縁テーブル。
30. 【請求項３０】前記複数の運動制御装置は３つのユニットを備え、前記第１の
    ユニットは第１の脚隣接してテーブルに取り付けられ、前記第２のユニットは第
    ２の脚に隣接してテーブルに取り付けられ、前記第３の作動ユニットは第３と第
    ４の脚の間のテーブル縁に隣接してテーブルに取り付けられ、前記フレームは第
    ３の脚と第４の脚との間に水平な部材を含む請求項２８に記載の能動的に制御さ
    れた振動絶縁テーブル。