CN220096413U - 一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车，属于半导体设备技术领域，包括车体；车体内设有置物台，置物台上设有用于固定晶圆盒的卡紧结构，置物台下方设有减震件，或，置物台下方以及车体底部均设有减震件，置物台下方的减震件与晶圆盒连接。进一步地，卡槽与晶圆盒之间设有第一缓冲层或第一缓冲件。通过卡紧结构对晶圆盒进行卡紧固定，保证晶圆盒在推车移动过程中不发生位移，配合减震件对晶圆盒传输过程中的受力进行缓冲，降低了晶圆盒的抖动幅度，进而保护晶圆盒内的晶圆不受损伤，降低了晶圆碎边、碎片风险。还通过设置第一缓冲层或第一缓冲层，能够为晶圆盒与卡槽之间提供水平缓冲力，进一步降低晶圆的碎边、碎边风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车。
背景技术
在半导体制作过程中，经常需要进行晶圆盒的传输，如果晶圆盒在传片过程中出现较大的碰撞或位移，容易对晶圆盒内部晶圆造成损坏。在晶圆盒传输层面，在现有技术中，包含一种运用手推车装载晶圆盒进行移动的方式，此种方式在移动过程中车身会出现抖动，易导致晶圆盒发生位移，进而使晶圆盒内晶圆发生移动进而导致晶圆的碎片或碎边。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的问题，提供了一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车，所述手推车包括车体；车体内设有置物台，置物台上设有用于固定晶圆盒的卡紧结构，置物台下方设有减震件，或，置物台下方以及车体底部均设有减震件，且置物台下方的减震件与晶圆盒连接。
在一示例中，所述减震件为弹簧减震器。
在一示例中，所述卡紧结构为卡槽。
在一示例中，所述卡槽与晶圆盒之间设有第一缓冲层或第一缓冲件。
在一示例中，所述第一缓冲层为泡沫层或珍珠棉层；第一缓冲件为充气防震气柱或弹簧。
在一示例中，所述置物台台面设有挡板。
在一示例中，所述挡板与卡槽之间设有第二缓冲层或第二缓冲件。
在一示例中，所述第二缓冲层为泡沫层或珍珠棉层；第二缓冲件为充气防震气柱或弹簧。
在一示例中，所述车体上设有把手。
在一示例中，所述车体底部设有滚轮。
需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。
与现有技术相比，本实用新型有益效果是：
1.在一示例中，通过卡紧结构对晶圆盒进行卡紧固定，保证晶圆盒在推车移动过程中不发生位移，配合减震件对晶圆盒传输过程中的受力进行缓冲，降低了晶圆盒的抖动幅度，进而保护晶圆盒内的晶圆不受损伤，降低了晶圆碎边、碎片风险。
2.在一示例中，设置第一缓冲层或第一缓冲层，能够为晶圆盒与卡槽之间提供水平缓冲力，进一步降低晶圆的碎边、碎边风险。
3.在一示例中，设置挡板能够有效阻挡推车外部干扰，提升了晶圆盒传输转移的可靠性。
4.在一示例中，设置第二缓冲层或第二缓冲层，能够为挡板与卡槽之间提供水平缓冲力，进一步降低晶圆的碎边、碎边风险。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
图1为本实用新型一示例中的装置示意图；
图2为本实用新型一示例中的装置侧视图；
图3为本实用新型一示例中的装置俯视图。
图中：车体1、把手2、挡板3、第二减震件4、置物台5、第一减震件6、保护套7、支脚8、滚轮9、卡槽10、晶圆盒11。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，使用序数词(例如，“第一和第二”、“第一至第四”等)是为了对物体进行区分，并不限于该顺序，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
在一示例中，一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车，如图1-图2所示，该手推车包括矩形框架结构、不锈钢材质的车体1，车体1底部设有第一减震件6，具体可在车体1底部的支脚8与车体1底部车身之间设置第一减震件6，即：此时车体1与支脚8经第一减震件6连接，进而为车体1提供竖直方向的缓冲力。可选地，第一减震件6上套设有保护套7，可以为硅胶材质或者亚克力材质或者塑料材质的保护套7，用于减少灰尘对第一减震件6的影响。
进一步地，车体1内设有三层置物台5，用于放置晶圆；进一步地，如图3所示，置物台5上设有多个用于固定晶圆盒11的卡紧结构，如卡槽10或者卡箍等，本示例优选为与晶圆盒11形状、结构匹配的卡槽10，晶圆盒11放置于卡槽10内；卡槽可采用光滑塑胶材料，如PVC等。进一步地，置物台5下方设有第二减震件4，具体可在置物台5下方设置一支撑板，支撑板上设置第二减震件4，卡槽10底部设有供第二减震件4通过的通孔(远小于晶圆盒11宽度)，此时第二减震件4穿过与晶圆盒11底部连接，进而为晶圆盒11提供竖直方向的缓冲力。可选地，减震件通过嵌入式连接方式与车体、晶圆盒相连，如使用丝杆螺母螺纹连接，可定期检查稳定性，保证减震装置的正常工作。
可选地，本示例中第一减震件6、第二减震件4均可以为弹簧减震器、充气防震气柱等，本示例优选为MA型弹簧减震器。减震件在本申请中仅需在车体1抖动时提供竖直方向的缓冲力即可，基于该技术构思，第一减震件6、第二减震件4可以替换为减震层或者缓冲层，如EPE珍珠棉层等。
本示例中，通过卡紧结构对晶圆盒11进行卡紧固定，保证晶圆盒11在推车移动过程中不发生水平位移，配合两个减震件对晶圆盒11传输过程中的受力进行缓冲，降低了晶圆盒11的抖动幅度，进而保护晶圆盒11内的晶圆不受损伤，降低了晶圆碎边、碎片风险。
在一示例中，卡槽10与晶圆盒11之间设有第一缓冲层或第一缓冲件(图中未示意)。可选地，第一缓冲层为泡沫层或珍珠棉层；第一缓冲件为充气防震气柱或弹簧，优选在卡槽10与晶圆盒11之间设置珍珠棉层，进而为晶圆盒11与卡槽10之间提供水平缓冲力，进一步降低晶圆的碎边、碎边风险。
在一示例中，置物台5四面设有挡板3，优选挡板3高度高于晶圆盒11高度，能够有效阻挡推车外部干扰，比如阻挡人为外力在不经意情况下对晶圆盒造成损伤，降低了晶圆盒11中晶圆被污染的可能性，提升了晶圆盒11传输转移的可靠性。
在一示例中，挡板3与卡槽10之间设有第二缓冲层或第二缓冲件(图中未示意)。可选地，第二缓冲层为泡沫层或珍珠棉层；第二缓冲件为充气防震气柱或弹簧，优选在挡板3与晶圆盒11之间设置充气防震气柱(聚氯乙烯材质气泡柱或热塑性聚氨酯橡胶材质的气泡柱)，进而为挡板3与卡槽10之间提供水平缓冲力，进一步降低晶圆的碎边、碎边风险。
在一示例中，车体1外侧中上部上设有把手2，便于握住把手2移动手推车。
在一示例中，车体1底部设有滚轮9，具体车体1的支脚8上设有滚轮9，用于手推车在水平方向的旋转和移动；优选滚轮9为具有锁紧功能的滚轮9，即：滚轮9设置有具有锁定结构以及解锁结构，能够保证推车在静止状态下的稳定。
将上述示例进行组合，得到本实用新型优选示例，此时手推车包括车体1，车体1上端两侧分别设有一把手2，车体1底部设有支脚8，支脚8上设有具有锁紧功能的滚轮9，支脚8经第一减震件6与车体1底部连接；车体1内设有置物台5，置物台5四面设有挡板3，且置物台5上设有用于卡紧晶圆盒11的卡槽10，置物台5下方设有第二减震件4，第二减震件4与晶圆盒11底部连接；进一步地，卡槽10与晶圆盒11之间设置珍珠棉层，挡板3与晶圆盒11之间设置充气防震气柱。本示例中防抖型手推车工作原理具体为：
用户将装有晶圆的晶圆盒11放置于置物台5上方卡槽10内并确认晶圆稳定，同时将锁定状态下的滚轮9解锁，随后双手握住把手2推动手推车，在推车移动过程中，第一减震件6、第二减震件4同时工作，其中，第一减震件6用于稳定车体1，减少抖动幅度；第二减震件4用于稳定晶圆盒11，使晶圆盒11不受惯性影响发生位移；同时，珍珠棉层为晶圆盒11与卡槽10之间提供水平缓冲力，充气防震气柱为挡板3与卡槽10之间提供水平缓冲力，最大程度降低了晶圆盒11位移程度；用户将推车移动到目的地后，需先锁定滚轮9，再从车体1内取出晶圆盒11，完成晶圆盒11传输的整个过程。
以上具体实施方式是对本实用新型的详细说明，不能认定本实用新型的具体实施方式只局限于这些说明，对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演和替代，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：其包括车体(1)；车体(1)内设有置物台(5)，置物台(5)上设有用于固定晶圆盒(11)的卡紧结构，置物台(5)下方设有减震件，或，置物台(5)下方以及车体(1)底部均设有减震件，且置物台(5)下方的减震件与晶圆盒(11)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述减震件为弹簧减震器。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述卡紧结构为卡槽(10)。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述卡槽(10)与晶圆盒(11)之间设有第一缓冲层或第一缓冲件。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述第一缓冲层为泡沫层或珍珠棉层；第一缓冲件为充气防震气柱或弹簧。
6.根据权利要求3所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述置物台(5)台面设有挡板(3)。
7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述挡板(3)与卡槽(10)之间设有第二缓冲层或第二缓冲件。
8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述第二缓冲层为泡沫层或珍珠棉层；第二缓冲件为充气防震气柱或弹簧。
9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述车体(1)上设有把手(2)。
10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒(11)传输的防抖型手推车，其特征在于：所述车体(1)底部设有滚轮(9)。
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Cited By (1)
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| CN117373976A (zh) * | 2023-12-07 | 2024-01-09 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置 |
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2023
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| CN117373976B (zh) * | 2023-12-07 | 2024-02-02 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置 |
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