JPS61199403A - リニアモ−タ使用の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は１例えば半導体のウェハなどのように塵埃をき
らうものを取扱うときに採用されるリニアモータ使用の
搬送装置に関するものである。

従来の技術 例えばウェハを取扱う場合、搬送装置を配設する工場（
室）内をクリーン化すると共に、搬送装置を防塵化して
いる。すなわち従来では、固定部側にリニアモータの固
定子を配設すると共に、被搬送物支持台の下面にリニア
モータの移動子を設けたリニアモータ方式が採用されて
いる。そして固定子を移動子との間を多孔板で仕切り、
この多孔板の孔を通って上方に噴出されるエアーで支持
台を浮上させるか、或いは給気ダクトから支持台の下面
に向けて噴出されるエアーで支持台を浮上させることに
より、支持台を塵埃の発生しにくい非接触方式で移動さ
せるようにしている。

発明が解決しようとする問題点 上記のような従来方式のうち多孔板で仕切る前者では、
この多孔板の存在によってリニア駆動力が弱まることに
なる。まｔこ多孔板を用いない後者では、リニアモータ
の固定子側のカバー機能が全くない。さらに両者ともに
、被層、送物支持台の下面に移動子を直接取付けている
ため、被搬送物への磁気影響が１し配となる。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明におけるリニアモー
タ使用の搬送装置は、上部にスリットを形成した箱形ダ
クト内に可動体を配設し、前記箱形ダクトの底板」−に
長さ方向適当間隔置きにリニアモータの固定子を配設す
ると共に、前記可動体の下面奢こリニアモータの移動子
を設け、前記可動体と一体的に移動自在な搬送テーブル
を設けると共に、この搬送テーブルを非接触で浮上させ
る浮」−力付与装置ｔ設け、前記箱形ダクト内で発生し
た塵埃の漏出を、カバーを設けることなく防止する防塵
装置を設けている。

作用 かかる本発明構成によると、可動体の下面に取付けＴコ
移動子が介在物なしに固定子（こ対向することから１強
いリニア駆動力で可動体を移動させ得、また被搬送物は
、非接触で可動体と一体的に移動する搬送テーブルで支
持されることから磁気影響が全くなく、さらに固定子は
スリットを有する箱形ダクトによりカバーシ得ル。

実施例 以下に本発明の一実施例を第１図、第２図をこ基づいて
説明する。（１）は箱形ダクトで、底板（１ａ）と、こ
の底板（ｌａ）の両側から上方へ突出する左右一対の下
位側板（ｌｂ）と、これら下位側板（１ｂ）の上端から
外方へ突出する支持板（レール板）　（ｌｃ）と、これ
ら支持板（１ｃ）の外端から上方へ突出する上位側板〔
１ｄ〕と、これら上位側板（ｌｄ）の上端から内方へ突
出する一対の天板（１ｅ）とからなり、これら天板（ｌ
ｅ）の遊端間に長さ方向全長に亘ってスリット（２）が
形成される。（３）は箱形ダクト（１）内に配設される
可動体で、本体部（８ａ）と、この本体部（８ａ）の削
端部および後端部に各々ビン（４）を介して縦軸心の周
りに回動自在に連結した揺動部（８ｂ）と、両揺動部（
８ｂ）の両側に取付りられ且つ前記支持板（ｌｃ）上で
転勤自在な車輪（５）と、両揺動部（８ｂ）の両側に各
々前後一対取付けられ且つ上位側板（１ｄ）の内面に接
当自在なガイド輪体（６）とからなり、前記本体部（８
ａ）の上面からは、前記スリット（２）を通って箱形ダ
ク１−　（１）の上方へ突出する連動杆（７）が突設さ
れる。

（８）はリニアモータで、前記箱形ダクト（１）の底板
（，１ａ）上に固設された固定子（９）と、前記可動体
（３）の本体部（８ａ）下向に固設された移動子として
の二次側導体四とから構成され、前記固定子（９）は箱
形ダクト（１）の長さ方向適当間隔置きに配設されてい
る。

回は被搬送物（１′４１ｅ支持自在な搬送テーブルで、
その下面側に形成しに四部−に前記連動杆（７）の上端
を嵌合させることにより、可動体（３）と一体的に移動
自在となる。、Ｑ４１は前記搬送テーブルαηを非接触
で浮上させる浮上力付与装置で、前記スリット（２）の
両側で天板（１ｅ）上に配設しＴコ一対の給気パイプ（
角パイプ）（ト）と、これら給気パイプ（ト）の上面側
に多数形成しｔこ噴気孔（ＩＱとにより構成される。な
お連動杆（７）は左右方向においてできるだけ薄く。

すなわちスリンｌ−（２）の巾は狭く形成してあり、以
って箱形ダクト（１）内で発生した塵埃の漏出を、カバ
ーを設けることなく防止する防塵装置としている。

次に上記実施例の作用を説明する。可動体（３）は、固
定子（９）と二次側導体ＯＱとにより構成されるリニア
モータ（８）によって、箱形ダクト（１）内において搬
送経路上を往復走行する。その際に可動体（３）は車輪
（５）によって支持案内され、またガイド輪体（６月こ
まって横ずれが規制される。また走行は、リニアモータ
（８）であることから、スロースタート、中間高速、ス
ローストップが行なえ、精度よい停止が可能となる。可
動体（３）の走行力は連動杆（７）を介して搬送テーブ
ル圓に伝えられ、この搬送テーブルα］、ｌを一体的に
移動させるが、このとき搬送テーブルσ刀は噴出孔ＣＩ
Ｑからの噴射エアーを下面で受止めることにまり給気パ
イプ（至）の上方に浮上しており、したがって連動杆（
７）の保合部を除いて非接触状態で移動することになる
。

このような構成、作用の本実施例によると、固定子（９
）と二次側導体ＱＯとが仕切板などを介さずに直接対向
しているため強いリニア推進力を得ることができる。ま
た狭いスリット（２）を使用した防塵装置と、浮上用エ
アーの一部がスリット（２）内を下流すること（こより
、経路を覆うカバーを用いることなく防塵を期待できる
。さらに搬送テーブル０１１を浮かすことにより、被搬
送物口への振動を低減させ得る。しかもリニアモータ（
８）は箱形ダクト（１）によって、はぼ完全に保護する
ことができる。

第８図は本発明の別の実施例を示す。すなわち浮上刃付
与装置圓として、スリット（２）の両側で天板（１ｅ　
）−に：に第１の磁石（１７）を全長に亘って取付ける
と共に、搬送テーブル０１１の下面には、前記第１の磁
石αηに相対向する第２の磁石（へ）が取付けられる。

これら磁石α力（ト）は永久磁石からなり、相対向する
面が互いＩこ同極性となるように着磁されており、その
反発力によって搬送テーブルａυが浮上、支持される。

そして上位側板（ｌｂ）の−側または両側外面に吸気パ
イプα１’＆配設し、その吸気孔（１）を箱形ダクト（
１）内に連通しＣいる。

このような別の実施例によると、前実施例と同様に１強
いリニア推進力、振動の低減、リニアモータ（８）の保
護などを期待できるだけでなく、吸気パイプα呻を介し
て箱形ダクト（１）内で発生した塵埃を吸引除去でき、
この吸気パイプａ９などが防塵装置を構成することにな
る。

第４図はさらに別の実施例を示す。すなわち可動体（ｉ
＋は車輪を有さず、箱形ダクト（１）内に配設した給気
パイプ（ト）の噴出孔αＱを可動体（３）の下面に対向
させることにより浮上、支持される。そして可動体（３
）と側板（ｉｆ）との間に前述と同様の磁石α７１（ト
）を配設することによって、その反発力により横ずれを
防止している。さらに天板（ｌｅ）の内端に吸気４４１
０時を配設すると共に吸気孔（１）を下向きとしている
。また搬送テーブルａ刀は可動体（３）に固定され、吸
引パイ１０１間に形成されるスリット（２）を通って上
方に突出している。

かかる実施例によると、前述しｔこ両実施例の効果のほ
かに、搬送テーブルＯｖ１すなわち可動体（３〕が必要
量以上、上昇しようとしたとき、天板（１ｅ）のストッ
パ作用により阻止することができ、常に安全である。ま
た、空気を再度吸込んでいるため、従来の空気浮上タイ
プに比べ、吐出したクリーンルーム内の空気の流れを乱
さない利点がある。

発明の効果 上記構成の本発明におけるリニアモータ使用の搬送装置
によると、可動体の下面に取付けた移動子が介在物なし
に固定子に対向することから、常に強い駆動力で可動体
を確実に移動させることができる。また搬送テーブルを
浮かすことにより搬送物への振動を低減させることがで
きる。さらにリニアモータの固定子や可動子はスリット
を有する箱形ダクトによりカバーすることができ、設備
全体の小型化をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断正面図、第２図は
同一部切欠き平面図、第８図、第４図は夫々側の実施例
を示す縦断正面図である。 （１）・・・箱形ダクトｓ　（ｌａ）・・・底板、（１
ｃ）・・・支持板、（１ｅ）・・・天板、（２）・・・
スリット、（３）・・・可動体、（７）・・・連動杆、
（８）・・・リニアモータ、（９ト・・固定子、Ｑ１３
・・・二次側導体（移動子）、Ｃ１１ｌ・・・搬送テー
ブル、（転）、・・四部、σ樽・・・浮上力付与装置、
に）・・・給気パイプ、ση・・・磁石。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、上部にスリットを形成した箱形ダクト内に可動体を
   配設し、前記箱形ダクトの底板上に長さ方向適当間隔置
   きにリニアモータの固定子を配設すると共に、前記可動
   体の下面にリニアモータの移動子を設け、前記可動体と
   一体的に移動自在な搬送テーブルを設けると共に、この
   搬送テーブルを非接触で浮上させる浮上力付与装置を設
   け、前記箱形ダクト内で発生した塵埃の漏出を、カバー
   を設けることなく防止する防塵装置を設けたことを特徴
   とするリニアモータ使用の搬送装置。