JPH0881006A - スタッカクレーンの走行案内機構 - Google Patents
スタッカクレーンの走行案内機構Info
- Publication number
- JPH0881006A JPH0881006A JP24077794A JP24077794A JPH0881006A JP H0881006 A JPH0881006 A JP H0881006A JP 24077794 A JP24077794 A JP 24077794A JP 24077794 A JP24077794 A JP 24077794A JP H0881006 A JPH0881006 A JP H0881006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stacker crane
- column
- box
- shaped cover
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
の保管庫に設けられるスタッカクレーンにおいて、上部
走行案内機構の接触部分を無くして摩耗による塵埃粒子
を発生させず、コラムの剛性を小さくして軽量化、高速
化を可能とする。 【構成】 上部走行案内機構２１は、磁気連結器３６を
使用し、その吸引力又は反発力によって走行するスタッ
カクレーンの横振れを防止する非接触構造とし、更に安
全装置として垂直及び水平方向のローラ３２，３３を設
ける。
Description
生物工業のクリーンルームに関し、特にクリーンルーム
内でシリコーンウエーハ、ガラス基板等を生産工程中に
一時保管する保管庫内のスタッカクレーン（移載機）の
上部走行案内機構に関する。
カクレーンが配設される保管庫の断面立面図を図８に示
す。図８において、１は上部走行案内機構、２はスタッ
カクレーン、３は保管庫である。保管庫３の概要は次の
とおりである。左、右両側に複数段（この例では９
段）、長手方向（紙面に垂直方向）に複数列の棚４が配
置された中央空間にスタッカクレーン２が下部走行装置
５により上部走行案内機構１に案内されて長手方向（紙
面に垂直方向）に走行する。スタッカクレーン２のコラ
ム６には上下方向に昇降可能なロボット７が取り付けら
れ、アーム７ａでウエーハ入りカセット８などの工作物
を棚４へ移載する。上部走行案内機構１の拡大図を図９
に示す。図９に示す上部走行案内機構は、天井フレーム
９に固定されたレール１０が、コラム６の上端部に固定
されたカバー１１のスリット１１ａに嵌入し、コラムの
上端部に回転可能に取り付けられてカバー１１に覆われ
る一対のローラ１２、１２がレール１０を挟んでいる。
更にローラ１２、１２の取付位置付近のコラム６の上端
部中央に通気孔１３が設けられ、空気がコラム６の内部
を上から下へ流れるようになっている。一方、図８を参
照して、保管庫３の内部をクリーンにするため、特にレ
ール１０とローラ１２、１２との摩擦、摩耗により発生
する塵埃をコラム上端部の通気孔１３（図９参照）、コ
ラム内部及びコラム下部の排気孔（図示せず）を介して
吸引、排気するために、コラム下部の排気孔の上流にフ
ァン（図示せず）を設け、塵埃を含んだ空気はフィルタ
（図示せず）を通して排気される（棚４とは別にコラム
６内を吸引、排気する。）。又、棚４の下方に一対のフ
アン１４、１４が設けられ、フアン１４、１４は流量調
整ダンパ付きプレフィルタ１５を介して矢印Ｓ1、Ｓ2の
方向から吸気して棚４の外側を上昇し、フィルタ１６を
通って内方へ、更に下方へ流れ、矢印Ｅのように一部排
気される。
の保管庫では、 上部走行案内機構からの塵埃を吸引するために動力を
消費するフアンを必要とする、 ローラ、レールに摩耗が生じて走行の不安定、停止精
度の悪化等が生ずる、 棚の内部はダウンフローで下部から戻って循環させる
気流が基本であるが、移動するコラムの上部走行案内機
構で吸引が行われるので気流の乱れが生ずる、 スタッカクレーン、特にコラムは剛性上から軽量化に
限度があり、従って高速化してアイドル時間の短縮を図
ることが困難である、 等の問題がある。
機構に塵埃発生の原因となる接触部分を無くし、根本的
に粒子発生を起こさせない、コラムの剛性を小さくし
て移動部の軽量化、高速化を可能にする、ことが本発明
の目的であり、第１の発明として、保管庫の天井フレー
ムに走行域全長に亙りリニアガイドレール配し、このリ
ニアガイドレールに沿ってスライドしていくスライダに
磁気連結器の片方の連結体を取り付け、全体を非磁性体
の箱形カバーで覆い、磁気連結器のもう一方の連結体を
スタッカクレーンのコラムの上部に取り付け、複数個の
第一補助ローラを前記箱形カバーの両側面に固定した案
内板に対応して隙間ｇ1を保持して両側に、又複数個の
第二補助ローラを前記箱形カバーの下面に固定した案内
板に対応して隙間ｇ2を保持してコラムの上部に取り付
ける構造の上部走行案内機構を提供し、第２の発明とし
て、前記のリニアガイドレール、スライダを省いて、磁
気連結器の一方の連結体を走行域全長の長さにして天井
フレームに固定し、その他は第１の発明と同様の構造の
上部走行案内機構を提供しようとするものである。
の走行方向に対し直角方向に吸引力又は反発力が作用し
て上、下の連結体が互いに直角方向に移動しないが走行
方向には移動できる。又、第一補助ローラ及び第二補助
ローラは走行方向の案内面に対しそれぞれ隙間ｇ1、ｇ2
を維持し、万一走行中に異常な力によって磁気連結器が
外れかけたときに復帰できるように安全装置の役目を果
たす。このようにしてこの上部走行案内機構は塵埃発生
の接触部分を除去することができる。
案内機構の実施例について図１乃至図７を参照して説明
する。図１は第１実施例を示すもので、上部走行案内機
構２１を備えるスタッカクレーン２２が配設された保管
庫２３の断面立面図であり、図８と同じ部品には同じ符
号を付している。図２、図３はそれぞれスタッカクレー
ン２２のコラム２６の上部に配設される上部走行案内機
構２１の拡大立面図、側面図を示す。天井フレーム２９
に走行方向にスライダ３０ａを含むリニアガイドレール
３０（市販品あり）が取り付けられ、このスライダ３０
ａに磁気連結器３６の一方の連結体３６ａが取り付けら
れ、この連結体３６ａとリニアガイドレール３０とをＵ
字形断面を有する非磁性体の箱形カバー３１が覆ってい
る。箱形カバー３１の両側面及び下面にそれぞれ一対の
案内板３４、３４及び３５、３５が取り付けられ、これ
等の案内板にそれぞれ隙間ｇ1、ｇ2を保持する対応位置
にそれぞれ二対の垂直な第一補助ローラ３２、３２及び
水平な第二補助ローラ３３、３３が、ブラケット２６
ａ、２６ａを介してコラム２６に取り付けられる。又、
磁気連結器３６の他方の連結体３６ｂは一方の連結体３
６ａの対応位置に隙間Ｇｍを保持し、箱形カバー３１と
は隙間Ｇｕを保持してコラム２６の上端部中央に取り付
けられる。
説明する。図４は吸引力方式の正面立面図であり、連結
体３６ａ、３６ｂが隙間Ｇｍを挟んで対称形に配置さ
れ、角形断面を有するブロックの各連結体はヨークＹの
間に２個の磁石Ｍが図示の極性を有するように配置さ
れ、磁力線Φ1によつて両連結体の間に吸引力を生じ、
相対的に紙面に垂直方向には移動できるが、横方向には
移動しない（吸引力方式）。次に、図５に示す磁気連結
器３７について説明する。図５は反発力方式の正面立面
図であり、一方の連結体３７ａのヨークＹ1の間に設け
られた図示の極性を有する一つの磁石Ｍは、他方の連結
体３７ｂのヨークＹ2の間に設けられた二つの磁石Ｍ、
Ｍの中間に位置され、連結体３７ａの磁石と連結体３７
ｂの磁石とは互に反発して両連結体は横方向に移動せ
ず、紙面に垂直方向には移動できる。作用としては両方
式共同様であるので、図２には吸引力方式を示す。
を説明する。図１で図８の場合と同様のギヤとラックを
含む下部走行装置５又はリニアモータによる走行装置
（図示せず）によってスタッカクレーン２２が長手方向
（紙面に垂直方向）に走行し、移動する連結体３６ｂ、
第一補助ローラ３２、３２及び第二補助ローラ３３、３
３はそれぞれ固定されている箱形カバー３１、案内板３
４、３４及び３５、３５と隙間Ｇｕ、ｇ1、ｇ2を保持し
て接触しないので摩耗塵埃を発生しない。走行中も磁気
連結器３６は図２に示すバランス位置を保持するが、万
一何等かの異常によりバランス位置が崩れかけたとき
は、第一、第二の補助ローラ３２、３３が作用して限度
以上にバランスが崩れることなく、吸引力又は反発力に
よって元のバランス位置に復元することができる。
の正面立面図、側面図をそれぞれ図６、図７に示す。こ
の場合は第一実施例の磁気連結器３６の連結体３６ａを
走行域全長の長さにした３６’ａを天井フレーム２９に
取り付けて、リニアガイドレール３０を省いて簡略化し
たもので、その他の構造、作動は第一実施例と全く同様
である。
内機構は、上述のように構成されているので、下記の優
れた効果を有する。 上部走行案内機構が非接触のため摩耗塵埃を発生する
恐れがなく、 安定した走行、停止精度保持が得られ、 コラム内のフアン、フィルタが不要となって有効スペ
ースが大となり、フアン駆動動力を不要とし、 コラムの上部を安定して案内することにより剛性を小
さくした軽量コラムにして高速化、従ってアイドル時間
の短縮が可能である。
備えたスタッカクレーンを有する保管庫の断面立面図で
ある。
一部切断立面拡大図である。
明図である。
一部切断立面拡大図である。
ーンを有する保管庫の断面立面図である。
である。
Claims (2)
- 【請求項１】 クリーンルームの保管庫内に設けられる
スタッカクレーンにおいて、前記スタッカクレーンの上
部走行案内機構は、天井フレームに固定されるリニアガ
イドレール、前記リニアガイドレールに沿ってスライド
していくスライダ、前記スライダに取り付けられる磁気
連結器の一方の連結体、前記リニアガイドレールと前記
一方の連結体とを囲むＵ字形断面を有する非磁性体の箱
形カバー、前記箱形カバーの両側面及び下面に固定され
るそれぞれ一対の案内板、前記案内板に対応してそれぞ
れ隙間ｇ1、ｇ2を保持してコラムの上部に固定されるそ
れぞれ垂直及び水平方向の複数個の第一補助ローラと第
二補助ローラ、及び前記コラムの上部中央に取り付けら
れ前記箱形カバーと隙間Ｇｕを保持する前記磁気連結器
の他方の連結体を有してなることを特徴とするスタッカ
クレーンの走行案内機構。 - 【請求項２】 クリーンルームの保管庫内に設けられる
スタッカクレーンにおいて、前記スタッカクレーンの上
部走行案内機構は、スタッカクレーンの走行域全長に亙
る長さを有して天井フレームに固定された磁気連結器の
一方の連結体、前記一方の連結体を囲むＵ字形断面を有
する非磁性体の箱形カバー、前記箱形カバーの両側面及
び下面に固定されるそれぞれ一対の案内板、前記案内板
に対応してそれぞれ隙間ｇ1、ｇ2を保持してコラムの上
部に固定されるそれぞれ垂直及び水平方向の複数個の第
一補助ローラと第二補助ローラ、及び前記コラムの上部
中央に取り付けられ前記箱形カバーと隙間Ｇｕを保持す
る前記磁気連結器の他方の連結体を有してなることを特
徴とするスタッカクレーンの走行案内機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24077794A JP3322029B2 (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | スタッカクレーンの走行案内機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24077794A JP3322029B2 (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | スタッカクレーンの走行案内機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0881006A true JPH0881006A (ja) | 1996-03-26 |
| JP3322029B2 JP3322029B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=17064557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24077794A Expired - Fee Related JP3322029B2 (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | スタッカクレーンの走行案内機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3322029B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006106760A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Samsung Electronics Co Ltd | 平板表示装置製造システム |
| JP2007008705A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Hitachi Plant Technologies Ltd | スタッカクレーン |
| KR100935870B1 (ko) * | 2005-05-27 | 2010-01-07 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 자동창고 |
| US8056681B2 (en) * | 2007-09-03 | 2011-11-15 | Murata Machinery, Ltd. | Stacker crane and weight reduction method for mast of the stacker crane |
| CN102616576A (zh) * | 2012-03-26 | 2012-08-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种码垛设备及其空气洁净系统 |
-
1994
- 1994-09-09 JP JP24077794A patent/JP3322029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006106760A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Samsung Electronics Co Ltd | 平板表示装置製造システム |
| JP4545076B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2010-09-15 | 三星電子株式会社 | 平板表示装置製造システム |
| KR100935870B1 (ko) * | 2005-05-27 | 2010-01-07 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 자동창고 |
| JP2007008705A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Hitachi Plant Technologies Ltd | スタッカクレーン |
| JP4689372B2 (ja) * | 2005-07-04 | 2011-05-25 | 株式会社日立プラントテクノロジー | スタッカクレーンの走行駆動制御方法 |
| US8056681B2 (en) * | 2007-09-03 | 2011-11-15 | Murata Machinery, Ltd. | Stacker crane and weight reduction method for mast of the stacker crane |
| CN102616576A (zh) * | 2012-03-26 | 2012-08-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种码垛设备及其空气洁净系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3322029B2 (ja) | 2002-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101088665B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
| JP3709896B2 (ja) | ステージ装置 | |
| JP2001512627A5 (ja) | ||
| JP2018122700A (ja) | 物品搬送設備 | |
| US20070001520A1 (en) | Linear motor | |
| JP3322029B2 (ja) | スタッカクレーンの走行案内機構 | |
| JPH09252504A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| KR20200136323A (ko) | 물품 반송체 | |
| JPS61150601A (ja) | 荷搬送設備 | |
| US7735632B1 (en) | Pass-through cover/seal | |
| JP2002130281A (ja) | Ｘｙステージ | |
| KR20220006317A (ko) | 자기 부상 이송 장치 | |
| TW205024B (en) | Suspension device for cargo handling vehicles useful in carrying semiconductor products | |
| JP2000120685A (ja) | 静圧空気軸受直線案内装置 | |
| JPS6293120A (ja) | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 | |
| JP2000142389A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2010151322A (ja) | Ｘｙステージ | |
| JPS63174895A (ja) | 磁気浮上式搬送マニピユレ−タ | |
| JPS61199403A (ja) | リニアモ−タ使用の搬送装置 | |
| JP3270126B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP2003087910A (ja) | 磁気浮上搬送装置及びその制御方法 | |
| JPH04222402A (ja) | 磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構 | |
| JPH05193742A (ja) | 荷搬送設備 | |
| JPS63262325A (ja) | マガジン搬送装置 | |
| KR20240065648A (ko) | 기판 캐리어 이송 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080628 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080628 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080628 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080628 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090628 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 Year of fee payment: 8 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 Year of fee payment: 8 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110628 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110628 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120628 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120628 Year of fee payment: 10 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120628 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |