JPS63262325A - マガジン搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はマガジン搬送装置に関し、更に詳しくはクリー
ンルームに試料を入れたマガジンを自動的に搬送するこ
とができるようにしたマガジン搬送装置に関する。

（従来の技術） シリコンウェハ等の試料にパターン描画を行って、ＬＳ
Ｉチップ等を作成する場合、電子ビーム描画装置、＊束
イオンビーム装置等が用いられる。

その際、これら＠置も含めて試料は極めてクリーンな環
境に置かれる必要がある。通常の室内では満足すべきク
リーン度を達成することができないためクリーンルーム
が用いられる。そして、電子ビーム描画装置等がクリー
ンルーム内に配置される。そして、通常は人が試料をそ
の都度マガジンに詰めてクリーンルームまで運び交換室
にセットし、ビーム描画が終ると交換室でマガジンを取
り外してクリーンルームの外に持ち出していた。

近年、半導体特選技術の進歩２発展により幅０゜５μＰ
ｉ！度の極微細パターンで描画が行われるようになって
きている。このような極微細パターンで描画を行うと、
極微愚のホコリ（微粒子）が存在するだけでパターン描
画が正確に行えなくなる。

一般にクリーンルーム内のクリーン度を表わす尺度とし
てクラス１０とかクラス１００という単位が用いられて
いる。例えばクラス１ｏの場合、１立方フイート中に０
．１μ以下の微粒子が１０ｇｌ以内のクリーン度である
ことを示している。最近ではクラス１のクリーンルーム
が開発された。

（発明が解決しようとする問題点） クリーンルーム内のクリーン度が高まるにつれて、クリ
ーン度を当初の性能に維持するためには、人のクリーン
ルームへの出入りを禁止する必要がある。しかしながら
、従来の方式では人がマガジンをクリーンルームまで運
んでいたので、クリーンルーム内のクリーン度を高水準
に維持することができなかった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであって、
その目的は、人がマガジンをクリーンルーム内に運ぶ必
要がないようにしてクリーンルームのクリーン度を高水
準に維持することができるマガジン搬送装置を実現する
ことにある。

（問題点を解決するための手段） 前記した問題点を解決する本発明は、シリンダチューブ
の中にマグネットを取付けたピストンを設け、該シリン
ダチューブの両側からガスを導入して前記ピストンをシ
リンダチューブ内で移動できるように構成すると共に、
シリンダチューブの上面にピストンと連動して動くマグ
ネットを取付けた移動体を設け、この移動体と試料を入
れたマガジンとを連動して動かずように構成したことを
特徴としている。

（作用） シリンダデユープの中にマグネットを取り付【ノたピス
トンを設け、このピストンをガス圧で直線方向に移動で
きるようにすると共に、シリンダの上面にも対向してマ
グネットを配し、これらマグネット同士の吸引力を利用
してシリンダ上面のマグネットを移動させるようにし、
該マグネットと連動してマガジンを移動させる。

（実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。

第１図は本発明の一実施例を示す機械的構成図である。

（イ）は側面図、（ロ）は平面図である。

図に示す装置の動作概要は、以下の通りである。

即ち、シリンダチューブ１上に載置された移動子本体２
が後述する機構により矢印方向に移動する。

一方、該移動子本体２と、マガジン３をその上に載置す
る台４とは、移動子本体２側に設けたビン５と台４側に
設けたガイドビン６とで係合しているので、移動子本体
２が矢印方向に移動すると台４も同方向に移動する。移
動子本体２の移動は、シリンダチューブ１の両側に設け
たスピードコントローラフａ、７ｂからガスを送り込む
ことで実現できる。

ベース８の上にレールガイド９ａ　、９ｂが取付けられ
、その上にレール１０ａ、１０ｂが取付けられている。

更に、その片側に前記し、たシリンダ′　チューブ１が
ブラケット１１ａ、１１ｂに支えられ、ベース８上に取
付けられている。ベース８は、例えばビーム描画装置本
体等に固定される。４は前述したように前記マガジン３
を載せる台であり、談合４の下側には４個のロー５１２
が取付けられており、レール１０ａ、１０ｂと噛合いし
てレール上を転がるようになっている。台４の上側には
マガジン３どの位置決めを行う位置決めビン１３がその
中心に取付けられており、マガジン３側の中心に設けら
れた穴と■合して位置決めが行われる。

又、台４の周囲４１１所にはマガジン３を受けるための
受は台用ブロック１４が取付、けられている。

更に、本体の周囲には安全用の保護カバー１５゜１６が
取付けられている。１７は台４の移動範囲を規制するた
めのストッパ、１８は該ストッパ１７に突当たる前段階
のショックアブソーバ、１９は停止信号検出用のマイク
ロスイッチ、２０は台４の上にマガジン（試料）が載置
されているかどうかを検出するための光センサである。

このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の
通りである。

第２図は前述の直線移動動作を更に詳しく説明するため
の装置のＡ−Ａ断面図である。この図は、特に移動子本
体２とシリンダチューブ１の構成断面を詳しく示したも
ので、その他の部分については一部省略しである。図に
おいて、３１はピストン側ヨーク、３３は該ピストン側
ヨーク３１の問に設けられた第１のマグネット３２が取
付けられたシャフト、３４はピストン側ヨーク３１の外
側に設けられた枠部材、３５はピストン側ヨーク３１と
枠部材３４との間に設けられたシール用のパツキンであ
る。これらピストン側ヨーク３１．第１のマグネット３
２．シャフト３３．枠部ｖＪ３４及びパツキン３５とで
前述したピストン３０を構成している。

４０は固定ケース、４１は外部側ヨーク、４２は該外部
側ヨーク４１の間に設けられた第２のマグネットである
。外部側ヨーク４１及び第２のマグネット４２は、固定
ケース４０の内部に取付けられている。そして、これら
固定ケース４０、外部側ヨーク４１及び第２のマグネッ
ト４２とで前述の移動子本体２を構成している。１つ、
固定ケース４０はシリンダチューブ４上を自由に摺動す
ることができるようになっている。

このように構成された機構において、シリンダチューブ
４の両側から図に示すようにガスを導入する。例えば、
図の右側からのみガスを導入するとピストン３０は図の
左方向に移動し、逆に図の左側からのみガスを導入する
とピストン３０は図の右方向に移動する。一方、図より
明らかなように第１のマグネット３２と第２のマグネッ
ト４２とはシリンダチューブ面を隔てて対向して配賀さ
れているので、ピストン３０の移動する方向と同一方向
に移動子本体２も移動する。移動子本体２が移動すると
、これと係合する台４も移動する。

従って、台４の上にマガジン３を載置しておけば、マガ
ジン３を自動的に移動させることができることになる。

上述したように、本発明装置はロッドレスによる移動が
可能である。例えば、第３図で示すような従来のシリン
ダによる搬送装置の場合、シリンダ５１で、ガイド５２
．スライドベース５３及びブラケット５４よりなる本体
を駆動する。つまり、シリンダ５１をピストン運動させ
て本体内のスライドベース５３を駆動する。スライドベ
ース５３は有効利用域の間で図の矢印方向に移動する。

このような従来の装置ではシリンダ５１の分だけスペー
ス域が必要となる。本発明によれば、第３図に示すよう
なシリンダ５１は不要となるのでその分だけ、スペース
が不要となるので、小型化することができる。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によればシリンダチ
ューブの中にマグネットを取付けたピストンを設け、こ
のピストンをガス圧で直線方向に移動できるようにする
と共に、シリンダの上面にも対向してマグネットを配し
、これらマグネット同士の吸引力を利用してシリンダ上
面のマグネットを移動させるようにし、該マグネットと
連動してマガジンを移動させることにより、人がマガジ
ンをクリーンルーム内に運ぶ必要がないようにしてクリ
ーンルームのクリーン度を高水準に維持することができ
るマガジン搬送装置を実現することができ、実用上の効
果が大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す機械的構成図、第２図
は直線移動動作を更に詳しく説明するための装置の断面
図、第３図は従来のシリンダによる搬送装置を示す図で
ある。 １・・・シリンダチューブ　　２・・・移動体本体３・
・・マガジン　　　　　　４・・・台５・・・ビン　　
　　　　　　６・・・ガイドビン８・・・ベース ９ａ　、９ｂ・・・レールガイド １０ａ、１０ｂ・・・レール　１２・・・ローラ１３・
・・位置決めビン ３１・・・ピストン側ヨーク ３２．４２・・・マグネット　３３・・・シ１１フト３
４・・・枠部材　　　　　　３５・・・パツキン４０・
・・固定ケース　　　　４１・・・外部側ヨーク特許出
願人　　日　　本　　電　　子　　株　　式　　会　　
礼式　　理　　人　　　弁　　理　　士　　　井　　島
　　藤　　治外１名

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　シリンダチューブの中にマグネットを取付けたピスト
   ンを設け、該シリンダチューブの両側からガスを導入し
   て前記ピストンをシリンダチューブ内で移動できるよう
   に構成すると共に、シリンダチューブの上面にピストン
   と連動して動くマグネットを取付けた移動体を設け、こ
   の移動体と試料を入れたマガジンとを連動して動かすよ
   うに構成したことを特徴とするマガジン搬送装置。