JPS63140546A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば半導体やＬＳＩを装造する露光装置
に係り、転写すべき形状を描画されたマスクを光学系に
より縮小することなくウェハに焼きつけるＸ線露光装置
の試料テーブルに関する。

（従来の技術） 従来のＸ線露光装置の試料テーブルとして特開昭６０−
１６０６１７号公報に示されるものを説明する。

露光部、位置合せ部、装入部と独立した部分に各々分割
されており、軸道をカートリッジが走行する構造となっ
ている。装入部でカートリッジが設置され位置合せ部で
マスクがウェハ上方より下降し所定のギャップとなるよ
うに位置合せが行なわれた後に、ウェハとマスクは一対
でカートリッジ内に収納されて露光部で露光が行なわれ
る。

上記の方法では、マスクとウェハは同一の搬送系路で搬
送されるために効率的ではあるが、マスクとウェハが一
対でカートリッジ内に収納されているために、交換時に
はカートリッジごと交換しなければならず、スルーブツ
トが悪い。このため試作品等の少量生産以外には利用で
きない。また、カートリッジ等を有するために部品点数
の増加による信頼性低下は免かれない。

（発明が解決しようとする問題点） 上述したように従来の露光方法においては、スルーブツ
トが悪く大量生産が出来ないと共に部品点数が多（信頼
性低下の原因となっていた。

本発明は以上のような点に鑑みてなされたもので、その
目的とするところは、スルーブツトの高いステップ・ア
ンド・リピートを可能とすると共に機構を簡素化し部品
点数の少ない信頼性の高い試料テーブルを提供すること
にある。

［発明の構成］ （問題点を解決するため手段） 本発明の試料テーブル装置においては、マスクに設けら
れる露光パターン部よりも大きな凹面を有する試料保持
具を設け、この試料保持具の凹面の周囲でマスク及びウ
ェハを吸着保持する。また、先端に、試料保持具よりも
大きな切欠き部を有する搬送系で切欠き部の周囲でマス
ク及びつエバを吸着保持して所定位置まで搬送する。搬
送系から試料保持具へのマスク又はウェハの受は渡しは
、搬送系の切欠き部内を試料保持具が上昇、下降して行
なうように試料保持具の上下駆動機構を設けている。

（作用） このように構成されたものにおいては、露光すべきパタ
ーンを設けたマスクを搬送する際にパターン部を損傷さ
せないために試料保持具に凹面が設けられ、かつ搬送系
にも切欠き部が設けられているため、ウェハとマスクの
両者を同一の搬送系及び保持具を用いて交換することが
可能となる。

（実施例） 以下図面を参照して本発明について説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す試料テーブルである。

第１図において図中上下方向（マスクとウェハのギャッ
プ方向）に移動する試料保持具１はその試料保持具１を
上下駆動する例えばエアシリンダ２に固定されている。

マスク３は、はぼ中央にマスクパターン４を有している
。マスクパターンは４は露光時には非常に重要であり、
微細であることから他のものが接触することを避けなけ
ればならない。そのために凹面５を有した試料保持具１
の吸着部６（例えば真空チャック）により保持されマス
クパターン４の箇所は試料保持具１が接触しないように
なっている。

次に第２図で、Ｘ線露光装置での使用例を述べる。図中
左右に移動する搬送系７はマスク３を載積して第２図（
ａ）に示すようにＸ線光源の円筒９の下面で停止する。

すると、ウェハテーブル１０に収納されていた試料保持
具１がエアシリンダ２により上昇してきてマスク３を吸
着したのち第２図（ｂ）に示すようにマスク３をＸ線光
源の円筒９（マスクテーブル）に押しつけ円筒９に設け
られた吸着部１５によりマスク３が吸着されたのち試料
保持具は下降し、ウェハテーブル１０内に再び収納され
る。次に第２図（Ｃ）に示すようにウェハ１１を載接し
た搬送系７がウェハテーブル１０上面に停止し、再び上
昇してくる試料保持具の吸着部６によりウェハ１１を吸
着し、搬送系７が退避する。モしてウェハテーブル１０
に固定される。

Ｘ線露光装置では、空気中のＸ線の減衰が激しいため、
マスク３とウェハ１１のギャップ３は数十ミクロンメー
トルの微小にしなければならない。

第２図（ｄ）ではギャップＳを設定するためウェハテー
ブル１０を駆動する駆動機構１２を設けた。

もちろん、マスク８が装着された円筒９を下降させてウ
ェハ１１とのギヤツブ寥を確保してもよい。

次に第３図を参照して搬送系７とマスク３と試料保持具
ｌの関係について説明する。搬送系７の先端は第３図（
ａ）に示すようにコの字形若しくは口の字形に切欠き部
が設けられている。そして試料保持具１は、その切欠き
部よりも小さく、切欠き部を通じて搬送系７の先端より
も上昇、下降自在となっている。これにより搬送系７の
吸着部１６に吸着されて搬送されてくるマスク３若しく
はウェハ１１を搬送系７から受取ることができる。

なお前述のように試料保持具１には凹面５が設けられマ
スクパターン４には接触せずこの凹面５よりも外側に吸
着部６が設けられている。（第３図（ｂ）参照） また、第４図は他の実施例を示す側面図である。

マスク３のマスクパターン４が大きい場合には試料保持
具１の凹面５を大きくする必要があり、ウェハ１１をウ
ェハテーブル１０に吸着する際、ウェハテーブル１０の
中央部に吸着できないエリアが発生しウェハ１１を平坦
に吸着保持できない場合が生じる。このような時には、
第４図に示すように複数の支柱１３又はリングを複数に
分割してウェハテーブル１０に配すればマスク３を吸着
する時にもマスクパターン４を損傷することはないと共
に、ウェハ１１をウェハテーブル１０全面に渡って均一
に吸着できる。

このように本発明によれば同一の搬送系７及び試料保持
具１により、マスク３とウェハ１１両者の搬送及び取付
けが行なえるため、少ない部品点数でステップ・アンド
・リピートが可能となる。

なお、上述の実施例においては、試料保持具１の上下駆
動機構をエアシリンダ２としたが、モータ駆動や他の方
法でもよい。また吸着部には真空チャックを用いたが静
電チャックや他の方法でもよい。

［発明の効果コ 以上詳述してきたように本発明によれば同一の搬送系で
マスクとウェハの搬送が行なえると共に簡単で少ない部
品点数により信頼性が高くスルーブツトのよい露光を行
なうための試料テーブルが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の試料テーブルの一実施例を示す断面
図、第２図は、本発明の試料テーブルの使用例を示す断
面図、第３図は本発明に係る搬送系と試料保持具の上面
図、第４図は、本発明の実施例を示す断面図である。 １・・・・・・試料保持具 ３・・・・・・マスク ４・・・・・・マスクパターン ５・・・・・・凹面 ６・・・・・・吸着部 ７・・・・・・搬送系 １６・・・・・・吸着部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ウェハと所定位置に露光すべきパターンを有するマスク
   とを搬送及び保持する試料テーブルにおいて、 前記マスクに設けられた前記パターン部よりも大きな凹
   面を有し、この凹面の周囲に前記マスク及び前記ウェハ
   を吸着保持可能な吸着部を有する試料保持具と、先端に
   前記試料保持具よりも大きな切欠き部を有し、この切欠
   き部の周囲に前記マスク及びウェハを吸着保持可能な吸
   着部を有し、前記マスク若しくは前記ウェハを所定位置
   まで搬送可能な搬送系と、前記試料保持具を前記搬送系
   の前記切欠き部内から上昇、下降させる上下駆動機構と
   を具備することを特徴とする試料テーブル。