JP6465415B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図12(B)に基づいて説明する。
次に第2の実施形態について図13(A)〜図22(B)に基いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板ステージ120の構成が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、上記第1の実施形態と同様の構成、及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を用いてその説明を省略する。また、図13(A)に示されるように、基板ステージ120の構成は、基板ホルダ140、基板搬出装置170を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明する。
次に第3の実施形態について図28〜図39に基づいて説明する。第3の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、ポート部240(図29参照)の構成、及び基板ステージ220の構成が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、上記第1の実施形態と同様の構成、及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を用いてその説明を省略する。また、図28に示されるように、基板ステージ220の構成は、基板搬出装置70に代えて基板搬出装置270が設けられている点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明する。
次に第4の実施形態について図40〜図43(B)を用いて説明する。本第4の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、ポート部340(基板ガイド装置350、及び基板搬入装置360)を除き、上記第3の実施形態に係る液晶露光装置と概ね同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第3の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第3の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、第5の実施形態について図44〜図46に基いて説明する。本第5の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板ステージ420を除き、上記第3の実施形態に係る液晶露光装置と概ね同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第3の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第3の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (27)
- 搬送された物体を順次走査露光する露光装置において、
前記走査露光において前記物体を支持する支持面に設けられ、前記支持面に支持された前記物体に対して空気を供給する供給孔を有し、前記空気により前記支持面に対して前記物体を浮上支持可能な支持装置と、
複数の前記物体のうち前記支持装置に浮上支持された第1物体を搬出する搬出装置と、
前記第1物体が搬出された前記支持面に、前記第1物体とは異なる第2物体を搬入する搬入装置と、を備え、
前記搬入装置は、
前記第2物体を非接触支持する支持部と、
前記第1物体を支持する前記支持装置の上方へ前記第2物体を非接触支持する前記支持部を駆動する駆動系と、
前記支持部に支持された前記第2物体を下方から支持した状態で、前記支持部に対して下方へ相対移動させ、前記搬出装置により前記第1物体が搬出された前記支持面へ前記第2物体を搬入する搬入系と、を有し、
前記支持部と前記搬入系とは、前記第2物体を支持した状態で、前記第1物体が搬出された前記支持面に対して、前記支持面に前記第2物体が支持されるように下方へ相対移動する露光装置。 - 前記支持部は、前記第2物体の上面に対して、上向きの力を作用させる請求項1に記載の露光装置。
- 前記支持部は、前記第2物体との間の空気を吸引する気体吸引装置を含む請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記支持部は、前記第2物体の中央部に対向する請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記搬入装置は、前記第2物体の端部の少なくとも一部を下方から吸着保持する保持部を更に有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部は、前記物体の一端部を保持する第1保持部材と他端部を保持する第2保持部材とを含む請求項5に記載の露光装置。
- 前記第1及び第2保持部は、互いに独立に制御可能である請求項6に記載の露光装置。
- 前記搬入系は、前記支持部に対向する部分が前記保持部に保持された部分よりも下方に張り出すように制御された前記第2物体を、前記支持部及び前記保持部を下方に駆動することにより前記支持装置へ搬入する請求項5〜7のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記支持部は、前記物体に作用させる力の大きさを制御し、前記第2物体の形状を制御する請求項8に記載の露光装置。
- 前記支持装置は、前記第2物体が前記支持装置に受け渡される際に、前記保持部が挿入される切り欠き部を有する請求項5〜9のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2物体が搬入された前記支持装置を駆動する駆動部をさらに備え、
前記搬入系は、上下方向に関して所定位置に位置する前記支持装置へ前記第2物体を前記支持装置へ搬入し、
前記駆動部は、前記走査露光において、前記所定位置に位置する前記第2物体を支持した状態で、前記上下方向に交差する所定方向へ前記支持装置を駆動する請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。 - エネルギビームを用いて前記支持装置に支持された前記物体を露光することにより所定のパターンを形成するパターン形成装置を更に備える請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項12に記載の露光装置。
- 前記物体は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項13に記載の露光装置。
- 請求項13に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項14に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 支持装置に搬送された物体を順次走査露光する露光方法であって、
前記走査露光において前記物体を支持する支持面に設けられ、前記支持面に支持された前記物体に対して空気を供給する供給孔を有し、前記空気により前記支持面に対して前記物体を浮上支持させることと、
複数の前記物体のうち、前記浮上支持された第1物体を搬出することと、
前記支持面上に前記第1物体とは異なる第2物体を搬入することと、を含み、
前記搬入することでは、
前記第2物体の上方に配置された支持部を用いて、前記第2物体を非接触支持することと、
前記支持部に支持された前記第2物体を、搬入装置を用いて、下方から支持することと、
前記第1物体を支持する前記支持装置の上方へ第2物体を支持する前記支持部を駆動することと、
前記第1物体が前記支持面上から搬出されると、前記支持部と前記搬入装置とを用いて、前記第2物体を前記支持面に対して下方へ相対移動させ、前記支持部と前記搬入装置とで支持された状態から前記支持面上に搬入することと、を含む露光方法。 - 前記非接触支持することでは、前記第2物体の上面に対して、上向きの力を作用させる請求項17に記載の露光方法。
- 前記非接触支持することでは、前記第2物体との間の空気を吸引する請求項17又は18に記載の露光方法。
- 前記搬入することでは、保持部により、前記第2物体の端部の少なくとも一部を下方から吸着保持することと、を更に含む請求項17〜19のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記搬入することでは、前記支持部に対向する部分が前記保持部に保持された部分よりも下方に張り出すように制御された前記第2物体を、前記支持部及び前記保持部を下方に駆動することにより前記支持装置へ搬入する請求項20に記載の露光方法。
- 前記第2物体が搬入された前記支持装置を走査駆動すること、をさらに含み、
前記搬入することでは、上下方向に関して所定位置に位置する前記支持装置へ前記第2物体を前記支持装置へ搬入し、
前記走査駆動することでは、前記走査露光において、前記所定位置に位置する前記第2物体を支持した状態で、前記上下方向に交差する所定方向へ前記支持装置を駆動する請求項17〜21のいずれか一項に記載の露光方法。 - エネルギビームを用いて前記支持装置に支持された前記物体を露光することにより所定のパターンを形成するパターン形成することを更に含む請求項17〜22のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項23に記載の露光方法。
- 前記物体は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項24に記載の露光方法。
- 請求項24に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項25に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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