JP6394965B2 - 物体交換方法、物体交換システム、露光方法、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第3の態様によれば、第2の態様に係る露光方法を用いて前記第2物体を露光することと、露光された前記第2物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法が、提供される。
本発明の第4の態様によれば、第2の態様に係る露光方法を用いて前記第2物体を露光することと、露光された前記第2物体を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。
以下、第1の実施形態について、図1〜図8(B)を用いて説明する。
次に第2の実施形態(及びその変形例)について、図9〜図12(C)を用いて説明する。なお、以下に説明する第2〜第4の実施形態、及びそれらの変形例において、上記第1の実施形態と同じ構成の要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態(及びその変形例)について、図13(A)〜図14(B)を用いて説明する。本第3の実施形態において、基板ステージ装置60の構成は、上記第2実施形態と同じであり、懸垂支持装置50の構成は、上記第1の実施形態と同じであるが、基板交換動作時における動作(主制御装置による制御)が異なる。また、基板交換装置70aは、図9に示される上記第2の実施形態と同様に複数のエアガイド装置74(図13(A)〜図14(B)では紙面奥行き方向に隠れている)を有しているが、基板駆動装置36(図9参照)に相当する要素を有しない。
次に第4の実施形態について、図15(A)〜図17(B)を用いて説明する。第4の実施形態に係る液晶露光装置は、基板ステージ装置60上の基板Pの交換動作が液晶露光装置の外部に配置された外部搬送ロボット99により行われる。なお、基板ステージ装置60の構成は、上記第2の実施形態と同じ(ただし、制御が異なる)であり、懸垂支持装置50bは、Z軸方向の移動可能ストロークが長い点を除き、上記第1の実施形態の懸垂支持装置50(図1など参照)と同様の構成(ただし、制御が異なる)である。なお、上記第1の実施形態の基板交換装置30、あるいは上記第2の実施形態の基板交換装置70に相当する要素は、設けられていない。
Claims (32)
- 第1物体保持装置が有する第1保持面に保持された第1物体を、前記第1保持面から離間させるように、支持装置に懸垂支持させることと、
前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体と前記第1保持面との間に、第2物体保持装置が有する第2保持面に保持された第2物体を、前記第1保持面と前記第2保持面とに沿って前記第1保持面に搬入することと、
前記第2物体を前記第1保持面に搬入した後に前記第1物体を前記支持装置から搬出することと、を含む物体交換方法。 - 前記搬出することでは、前記第1物体を前記第2保持面に沿って移動させて前記支持装置から搬出する請求項1に記載の物体交換方法。
- 前記搬入することでは、前記第1保持面と前記第2保持面とに浮上支持された前記第2物体を、前記第1保持面へ搬入する請求項1又は2に記載の物体交換方法。
- 前記第1物体は、前記第1物体保持装置に保持された状態で一面が前記第1物体保持装置に対向し、
前記懸垂支持させることでは、前記第1物体の他面を前記支持装置に非接触状態で懸垂支持させる請求項1〜3のいずれか一項に記載の物体交換方法。 - 前記懸垂支持させることでは、前記支持装置と前記1物体との間に気体を高速で通過させることにより該第1物体に重力方向上向きの力を作用させる請求項4に記載の物体交換方法。
- 前記搬入することでは、前記第1保持面と前記第2保持面とによって形成される搬入用ガイド面に沿って前記第2物体を移動させる請求項1〜5のいずれか一項に記載の物体交換方法。
- 前記搬出することでは、前記支持装置と前記第2保持面とにより形成される搬出用ガイド面に沿って前記第1物体を移動させる請求項6に記載の物体交換方法。
- 前記搬入すること、及び前記搬出することでは、共通の駆動装置を用いて前記第1及び第2物体を移動させる請求項1〜7のいずれか一項に記載の物体交換方法。
- 前記搬出することにおける前記第1物体の移動経路と、前記搬入することにおける前記第2物体の移動経路と、が同じである請求項8に記載の物体交換方法。
- 前記搬入することは、前記搬入用ガイド面を水平面に対して傾け、前記第2物体の自重により該第2物体を移動させること、を含み、
前記搬出することは、前記搬出用ガイド面を水平面に対して傾け、前記第1物体の自重により該第1物体を移動させることを含む請求項7に記載の物体交換方法。 - 前記搬入することでは、前記第1物体保持装置と前記第2物体保持装置との外部に設けられた外部搬送装置が前記第2保持面上の前記第2物体を前記第1物体保持装置に搬入し、
前記搬出することでは、前記外部搬送装置が前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体を前記第2保持面へ搬出する請求項1〜7のいずれか一項に記載の物体交換方法。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の物体交換方法により前記第1保持面に前記第2物体を搬入することと、
前記第1物体保持装置に保持された前記第2物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成することと、を含む露光方法。 - 前記第1物体および前記第2物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項12に記載の露光方法。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項13に記載の露光方法。
- 請求項12〜14のいずれか一項に記載の露光方法を用いて前記第2物体を露光することと、
露光された前記第2物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項12に記載の露光方法を用いて前記第2物体を露光することと、
露光された前記第2物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 物体を保持可能な第1保持面を有する第1物体保持装置と、
所定方向に関して、前記物体保持装置と異なる位置に設けられ、前記物体を保持可能な第2保持面を有する第2物体保持装置と、
前記物体が前記第1保持面から離間するように、前記物体を前記第1保持面の上方で懸垂支持する支持装置と、
前記第1保持面と前記支持装置に懸垂支持された前記物体との間に、前記第2保持面に保持された別の物体を、前記第1保持面と前記第2保持面とに沿って前記所定方向へ移動させ前記第1保持面へ搬入し、前記支持装置に懸垂支持された前記物体を前記支持装置から搬出する物体交換装置と、を備える物体交換システム。 - 前記物体交換装置は、前記物体を前記第2保持面に沿って移動させることにより前記物体を前記支持装置から前記第2保持面へ搬出する請求項17に記載の物体交換システム。
- 前記第1保持面と前記第2保持面とは、前記物体又は前記別の物体を浮上した状態で保持し、
前記物体交換装置は、浮上された前記物体又は前記別の物体を移動させる請求項17又は18に記載の物体交換システム。 - 前記物体は、前記第1物体保持装置に保持された状態で一面が前記第1保持面に対向し、
前記支持装置は、前記物体の他面を非接触状態で懸垂支持する請求項17〜19のいずれか一項に記載の物体交換システム。 - 前記支持装置は、前記物体との間に気体を高速で通過させることにより該物体に重力方向に沿って上向きの力を作用させる請求項20に記載の物体交換システム。
- 前記物体交換装置は、前記第1保持面と前記第2保持面とにより形成された搬入用ガイド面に沿って前記別の物体を前記第1保持面へ移動させる請求項17〜21のいずれか一項に記載の物体交換システム。
- 前記物体交換装置は、前記支持装置と前記第2保持面とにより形成される搬出用ガイド面に沿って前記物体を前記支持装置から前記第2保持面へ移動させる請求項22に記載の物体交換システム。
- 前記物体交換装置は、前記別の物体の搬入時、及び前記物体の搬出時に共通の駆動装置を用いて前記別の物体、及び前記物体を移動させる請求項17〜23のいずれか一項に記載の物体交換システム。
- 前記物体交換装置は、前記別の物体の搬入時、及び前記物体の搬出時に同じ移動経路に沿って前記別の物体、及び前記物体を移動させる請求項24に記載の物体交換システム。
- 前記第1物体保持装置と前記第2物体保持装置とは、前記別の物体の搬入時に前記搬入用ガイド面を水平面に対して傾け、前記別の物体の自重により該別の物体を移動させ、
前記支持装置と前記第2物体保持装置とは、前記物体の搬出時に前記搬出用ガイド面を水平面に対して傾け、前記物体の自重により該物体を移動させる請求項23に記載の物体交換システム。 - 前記支持装置の前記物体に対向する面部と前記第2保持面とが、少なくとも一部上下方向に重なる請求項25に記載の物体交換システム。
- 請求項17〜27のいずれか一項に記載の物体交換システムと、
前記第1物体保持装置に保持された前記物体又は前記別の物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体又は前記別の物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項28に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項29に記載の露光装置。
- 請求項28〜30のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体又は前記別の物体を露光することと、
露光された前記物体又は露光された前記別の物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項28に記載の露光装置を用いて前記物体又は前記別の物体を露光することと、
露光された前記物体又は露光された前記別の物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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