JP6186678B2 - 物体交換方法、物体交換システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Claims (17)
- エネルギビームによりパターン像を投影する投影光学系に対向する露光位置にて複数の物体を順次に露光するために、前記複数の物体を個別に物体支持部材上に載置して搬送しつつ、物体交換位置に配置された物体を別の物体に交換する物体交換方法であって、
前記複数の物体のうち第1物体と前記第1物体を下方から支持可能な第1物体支持部材とを保持した物体保持装置を、前記第1物体を支持した状態で、前記露光位置から前記物体交換位置に位置させることと、
前記物体交換位置に設けられた支持装置に前記第1物体支持部材を懸垂支持させることと、
前記物体保持装置に支持された前記第1物体を、前記物体保持装置から前記第1物体支持部材へ受け渡し、前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体支持部材を前記物体保持装置から受け渡された前記第1物体と共に前記物体保持装置から離間させることと、
前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体支持部材と前記物体保持装置との間に前記第1物体と異なる第2物体を下方から支持した第2物体支持部材を挿入して、前記第2物体支持部材に支持された前記第2物体が前記物体保持装置へ受け渡されるように、前記第2物体支持部材と前記第2物体とを前記物体保持装置に受け渡すことと、
前記第2物体支持部材と前記第2物体とを保持した前記物体保持装置を、前記投影光学系に対向しない前記物体交換位置から前記投影光学系と対向する前記露光位置に駆動することと、
前記第2物体支持部材と前記第2物体支持部材から前記物体保持装置へ受け渡された前記第2物体とを保持する前記物体保持装置が前記露光位置へ駆動された後に、前記支持装置に対して前記第1物体支持部材を移動させることにより前記第1物体支持部材に下方から支持された前記第1物体を前記物体交換位置から搬出することと、を含む物体交換方法。 - 前記離間させることでは、前記第1物体支持部材を懸垂支持した前記支持装置を上方に駆動する請求項1に記載の物体交換方法。
- 前記受け渡すこと、及び前記搬出することでは、共通の駆動装置を用いて前記第1及び第2物体支持部材を移動させる請求項1又は2に記載の物体交換方法。
- 前記第1及び第2物体支持部材は、前記物体保持装置に保持された状態で一部が該物体保持装置の外側に突き出し、
前記受け渡すことでは、前記駆動装置は、前記第2物体支持部材のうち、前記物体保持装置の外側に突き出す部分を支持する請求項3に記載の物体交換方法。 - 前記搬出することでは、前記駆動装置は、前記第1物体支持部材のうち、前記物体保持装置の外側に突き出す部分を支持する請求項4に記載の物体交換方法。
- 前記懸垂支持させることでは、前記支持装置は、前記第1物体支持部材を吸着保持する請求項1〜5のいずれか一項に記載の物体交換方法。
- エネルギビームによりパターン像を投影する投影光学系に対向する露光位置にて複数の物体を順次に露光するために、前記複数の物体を個別に物体支持部材上に載置して搬送しつつ、物体交換位置に配置された物体を別の物体に交換する物体交換システムであって、
前記複数の物体のうち第1物体と前記第1物体を下方から支持可能な第1物体支持部材とを保持可能な物体保持装置と、
前記物体交換位置に設けられ、前記物体保持装置に支持された前記第1物体が前記第1物体支持部材へ受け渡されるように、前記第1物体支持部材を懸垂支持可能な支持装置と、
前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体支持部材を前記物体保持装置から受け渡された前記第1物体と共に前記物体保持装置から離間させる駆動系と、
前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体支持部材と前記物体保持装置との間に前記第1物体と異なる第2物体を下方から支持した第2物体支持部材を挿入して、前記第2物体支持部材に支持された前記第2物体が前記物体保持装置へ受け渡されるように、前記第2物体支持部材と前記第2物体とを前記物体保持装置に受け渡し、前記第2物体支持部材と前記第2物体とを保持した前記物体保持装置を、前記投影光学系に対向しない前記物体交換位置から前記投影光学系と対向する前記露光位置に駆動した後に、前記支持装置に対して前記物体支持部材を移動させることにより前記第1物体支持部材に下方から支持された前記第1物体を前記物体交換位置から搬出する物体交換装置と、を備える物体交換システム。 - 前記駆動系は、前記第1物体支持部材を懸垂支持した前記支持装置を前記物体保持装置に対して上方に駆動する請求項7に記載の物体交換システム。
- 前記第2物体支持部材を前記第2物体と共に前記物体保持装置に受け渡す際に該第2物体支持部材を移動させるとともに、前記第1物体を前記物体交換位置から搬出する際に該第1物体支持部材を移動させる駆動装置を更に備える請求項7又は8に記載の物体交換システム。
- 前記第1及び第2物体支持部材は、前記物体保持装置に保持された状態で一部が該物体保持装置の外側に突き出し、
前記駆動装置は、前記第2物体支持部材を前記第2物体と共に前記物体保持装置に受け渡す際に、該第2物体支持部材のうち、前記物体保持装置の外側に突き出す部分を支持する請求項9に記載の物体交換システム。 - 前記駆動装置は、前記第1物体を前記物体交換位置から搬出する際に前記第1物体支持部材のうち、該物体保持装置の外側に突き出す部分を支持する請求項10に記載の物体交換システム。
- 前記支持装置は、前記第1物体支持部材を吸着保持する請求項7〜11のいずれか一項に記載の物体交換システム。
- 請求項7〜12のいずれか一項に記載の物体交換システムと、
前記エネルギビームを用いて前記物体に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項13に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項14に記載の露光装置。
- 請求項13〜15のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項13に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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