JP6712411B2 - 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 - Google Patents
物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6712411B2 JP6712411B2 JP2017510091A JP2017510091A JP6712411B2 JP 6712411 B2 JP6712411 B2 JP 6712411B2 JP 2017510091 A JP2017510091 A JP 2017510091A JP 2017510091 A JP2017510091 A JP 2017510091A JP 6712411 B2 JP6712411 B2 JP 6712411B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding
- support surface
- holder
- holding portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70775—Position control, e.g. interferometers or encoders for determining the stage position
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/64—Manufacture or treatment of solid state devices other than semiconductor devices, or of parts thereof, not peculiar to a single device provided for in groups H01L31/00 - H10K99/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図21(b)を用いて説明する。
また、本実施形態において、保持パッド84bは、水平面内に関してX軸方向のみへ駆動する構成であったが、実際には、基板P2がθz方向に微少回転可能なように、不図示であるが、弾性変形などによってZアクチュエータ86z(図3(b)参照)の支柱に対して、微少にθz方向、及びY軸方向に変位が可能なようになっている。
次に、第2の実施形態に係る液晶露光装置ついて、図23〜図25を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板交換装置の一部の構成及び動作が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、第3の実施形態に係る液晶露光装置ついて、図26〜図29(b)を用いて説明する。第3の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板交換装置の一部の構成及び動作が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (35)
- 物体を支持可能な支持面を有する支持部へ、前記物体を搬送する物体搬送装置において、
前記物体とは異なる別の物体が支持された前記支持面の上方で前記物体を保持する第1保持部と、
前記第1保持部に保持された前記物体の一部を保持する第2保持部と、
前記支持面上の前記別の物体を搬出する搬出装置と、
前記第1および第2保持部により前記物体が保持された状態から、前記第1保持部による前記物体の保持を解除するよう、前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる第1駆動部と、
前記物体を保持した前記第2保持部を、前記搬出装置により前記別の物体が搬出された前記支持面に前記物体が支持されるように下方へ移動させる第2駆動部と、
前記第1および第2駆動部を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記搬出装置による前記支持面からの前記別の物体の搬出動作と少なくとも一部並行して、前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる物体搬送装置。 - 前記第2駆動部は、前記物体の他部の落下に基づいて前記第2保持部を下方へ駆動制御する請求項1に記載の物体搬送装置。
- 前記第1駆動部は、前記第1保持部が前記物体を浮上保持させた状態で前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる請求項1又は2に記載の物体搬送装置。
- 前記制御装置は、前記物体と前記支持面との間に介在する気体により前記物体が変形しないように前記第2保持部を駆動する請求項1から3の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 前記支持部は、前記支持面から前記物体に対して気体を供給する供給孔と、前記支持面と前記物体との間の気体を吸引する吸引孔と、を有し、
前記保持部に保持された前記物体と前記支持面との間の気体の量を変化させる請求項4に記載の物体搬送装置。 - 前記支持部を駆動する駆動装置をさらに備え、
前記駆動装置は、前記支持面に平行な面に沿って移動可能であり、
前記第2保持部は、前記支持部に対して所定の位置関係で前記面に沿って移動可能である請求項1から5の何れか一項に記載の物体搬送装置。 - 前記制御装置は、前記駆動装置により前記支持部が駆動されているときに前記第2保持部を駆動する請求項6に記載の物体搬送装置。
- 前記第2保持部は、前記支持部に設けられている請求項7に記載の物体搬送装置。
- 前記駆動装置は、前記支持面に支持された前記物体が処理される位置及び前記物体が前記支持面に支持される位置との一方の位置から他方の位置へ前記支持部を駆動する請求項6から8の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 前記第2保持部は、上下方向に交差する2次元平面に平行な方向に関して、前記物体の位置を拘束した状態で前記物体とともに下方に移動する請求項1から9の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 前記第2保持部は、前記上下方向に交差する2次元平面内に平行な方向の位置に関して、前記支持面に対する前記物体の位置調整を行う請求項10に記載の物体搬送装置。
- 前記支持部は、前記位置調整において、前記支持面と前記物体との間に気体を介在させ前記物体を非接触支持する請求項11に記載の物体搬送装置。
- 前記第2保持部は、前記位置調整を行った後に、前記物体を前記支持面に支持させる請求項11又は12に記載の物体搬送装置。
- 前記制御装置は、前記別の物体を前記搬出装置が搬出する動作と少なくとも一部並行して、前記物体を保持した前記第2保持部を下方へ駆動させる請求項1から13の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 前記別の物体を保持する第3保持部をさらに備え、
前記制御装置は、前記別の物体を保持する前記第3保持部を駆動して前記別の物体を前記搬出装置に受け渡す請求項14に記載の物体搬送装置。 - 前記支持部は、前記第3保持部を収容する第1収容部を有する請求項15に記載の物体搬送装置。
- 前記支持部は、前記第2保持部を収容する第2収容部を有する請求項1から16の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 前記第2保持部は、前記物体を吸着して保持する請求項1から17の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 前記第2保持部は、前記物体の外周端部のうちの一端部側を保持する請求項1から18の何れか一項に記載の物体搬送装置。
- 請求項1から19の何れか一項に記載の物体搬送装置と、
前記支持面上に支持された前記物体に対してエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項20に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項21に記載の露光装置。
- 請求項21又は22に記載の露光装置を用いてレジストが塗布された前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項20から22の何れか一項に記載の露光装置を用いてレジスト塗布された前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 物体を支持可能な支持面を有する支持部へ、前記物体を搬送する物体搬送方法において、
前記物体とは異なる別の物体が支持された前記支持面の上方で前記物体を第1保持部を用いて保持することと、
前記第1保持部に保持された前記物体の一部を第2保持部により保持することと、
前記第1および第2保持部により前記物体が保持された状態から、前記第1保持部による前記物体の保持を解除するよう、前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させることと、
前記物体を保持した前記第2保持部を、前記別の物体が搬出された前記支持面に前記物体が支持されるように下方へ移動させることと、を含み、
前記支持面からの前記別の物体の搬出動作と少なくとも一部並行して、前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる物体搬送方法。 - 前記移動させることでは、前記第2保持部を前記物体の他部の落下に基づいて下方へ移動させる請求項25に記載の物体搬送方法。
- 前記退避させることでは、前記第1保持部が前記物体を浮上保持させた状態で前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる請求項25又は26に記載の物体搬送方法。
- 前記移動させることでは、前記物体と前記支持面との間に介在する気体により前記物体が変形しないように前記第2保持部を移動させる請求項25から27の何れか一項に記載の物体搬送方法。
- 前記移動させることでは、上下方向に交差する2次元平面に平行な方向に関して、前記第2保持部が前記物体の位置を拘束した状態で前記物体とともに前記第2保持部を下方に移動させる請求項25から28の何れか一項に記載の物体搬送方法。
- 前記移動させることでは、前記別の物体を前記支持面上から搬出する動作と少なくとも一部並行して、前記物体を保持した前記第2保持部を下方へ移動させる請求項25から29の何れか一項に記載の物体搬送方法。
- 請求項25から30の何れか一項に記載の物体搬送方法により前記支持部に前記物体を搬送し、前記支持面上に前記物体を支持させることと、
前記支持面上に支持された前記物体に対してエネルギビームを用いて所定のパターンを形成することと、を含む露光方法。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項31に記載の露光方法。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項32に記載の露光方法。
- 請求項32又は33に記載の露光方法を用いてレジストが塗布された前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項31から33の何れか一項に記載の露光方法を用いてレジストが塗布された前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015069015 | 2015-03-30 | ||
JP2015069015 | 2015-03-30 | ||
PCT/JP2016/060358 WO2016159062A1 (ja) | 2015-03-30 | 2016-03-30 | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020094197A Division JP2020141148A (ja) | 2015-03-30 | 2020-05-29 | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016159062A1 JPWO2016159062A1 (ja) | 2018-02-22 |
JP6712411B2 true JP6712411B2 (ja) | 2020-06-24 |
Family
ID=57005118
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017510091A Active JP6712411B2 (ja) | 2015-03-30 | 2016-03-30 | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 |
JP2020094197A Pending JP2020141148A (ja) | 2015-03-30 | 2020-05-29 | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020094197A Pending JP2020141148A (ja) | 2015-03-30 | 2020-05-29 | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10752449B2 (ja) |
JP (2) | JP6712411B2 (ja) |
KR (1) | KR102569618B1 (ja) |
CN (1) | CN107466381B (ja) |
TW (1) | TWI735438B (ja) |
WO (1) | WO2016159062A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI765918B (zh) * | 2016-09-30 | 2022-06-01 | 日商尼康股份有限公司 | 搬運裝置、曝光裝置、曝光方法、平板顯示器的製造方法、元件製造方法以及搬運方法 |
JP6842689B2 (ja) * | 2016-12-05 | 2021-03-17 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 搬送装置およびスクライブシステム |
KR102458052B1 (ko) * | 2017-02-03 | 2022-10-24 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 노광 장치 |
CN108502543B (zh) * | 2017-02-28 | 2020-01-24 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种基板传输装置及方法 |
TWI621853B (zh) * | 2017-04-28 | 2018-04-21 | Main Science Machinery Company Ltd | Wafer inspection positioning device |
TWI654704B (zh) | 2017-08-07 | 2019-03-21 | 煜峰投資顧問有限公司 | 一種基板輸送系統及使用該系統輸送基板之方法 |
US11684999B2 (en) * | 2017-08-25 | 2023-06-27 | Jsw Aktina System Co., Ltd | Laser irradiation apparatus |
CN111149059B (zh) * | 2017-09-29 | 2022-08-26 | 株式会社尼康 | 基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法 |
WO2019064583A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 株式会社ニコン | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法 |
CN111149060B (zh) * | 2017-09-29 | 2022-08-30 | 株式会社尼康 | 基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法 |
WO2019064577A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 株式会社ニコン | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法 |
JP7196734B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2022-12-27 | 株式会社ニコン | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 |
CN111547504B (zh) * | 2020-05-15 | 2021-09-03 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种产品双面全检设备及其检测方法 |
TWI749802B (zh) * | 2020-10-08 | 2021-12-11 | 南亞科技股份有限公司 | 輸送裝置 |
JP7107352B2 (ja) * | 2020-12-17 | 2022-07-27 | 株式会社ニコン | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法 |
US11667476B1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-06 | United Parcel Service Of America, Inc. | Systems, methods, and apparatuses for locating, engaging, and shifting objects in automated or semi-automated fashion |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3128709B2 (ja) * | 1992-08-04 | 2001-01-29 | 株式会社新川 | 非接触型移動テーブル |
US5729331A (en) | 1993-06-30 | 1998-03-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, optical projection apparatus and a method for adjusting the optical projection apparatus |
AU2186099A (en) | 1998-02-09 | 1999-08-23 | Nikon Corporation | Apparatus for supporting base plate, apparatus and method for transferring base plate, method of replacing base plate, and exposure apparatus and method of manufacturing the same |
US6517303B1 (en) * | 1998-05-20 | 2003-02-11 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Substrate transfer shuttle |
JP2001215718A (ja) | 1999-11-26 | 2001-08-10 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
US7077019B2 (en) * | 2003-08-08 | 2006-07-18 | Photon Dynamics, Inc. | High precision gas bearing split-axis stage for transport and constraint of large flat flexible media during processing |
US7918939B2 (en) * | 2004-01-30 | 2011-04-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using the same |
JP4626205B2 (ja) * | 2004-07-28 | 2011-02-02 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 基板の受渡し方法、及びその装置 |
US7656506B2 (en) * | 2004-12-23 | 2010-02-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a substrate handler |
JP2006266722A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板検査システム及び基板検査方法 |
KR100949502B1 (ko) * | 2005-06-20 | 2010-03-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치 |
JP4553376B2 (ja) * | 2005-07-19 | 2010-09-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 浮上式基板搬送処理装置及び浮上式基板搬送処理方法 |
WO2007074798A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | 基板処理装置への基板搬送方法 |
DE102006026503B3 (de) * | 2006-06-06 | 2008-01-31 | Kuka Innotec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Aufnehmen und Übergeben von Glassubstratplatten |
JP4726776B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2011-07-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 反転装置およびそれを備えた基板処理装置 |
US7976261B2 (en) * | 2008-05-20 | 2011-07-12 | Fas Holdings Group, Llc | Apparatus for moving and securing a substrate |
JP2010037082A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sharp Corp | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
JP5469852B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2014-04-16 | 株式会社ニコン | 搬送装置、搬送方法、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP5471088B2 (ja) * | 2009-07-03 | 2014-04-16 | 株式会社ニコン | 基板保持部材、基板搬送装置、基板搬送方法、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
US20110042874A1 (en) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | Nikon Corporation | Object processing apparatus, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method |
US8699001B2 (en) * | 2009-08-20 | 2014-04-15 | Nikon Corporation | Object moving apparatus, object processing apparatus, exposure apparatus, object inspecting apparatus and device manufacturing method |
CN102483580B (zh) * | 2009-08-20 | 2015-04-01 | 株式会社尼康 | 物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法 |
JP2011113086A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Nikon Corp | 受け渡し機構、ステージ装置、搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
US20110141448A1 (en) * | 2009-11-27 | 2011-06-16 | Nikon Corporation | Substrate carrier device, substrate carrying method, substrate supporting member, substrate holding device, exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method |
CN107017191B (zh) * | 2010-02-17 | 2020-08-14 | 株式会社尼康 | 搬送装置、曝光装置、以及元件制造方法 |
JP5884267B2 (ja) * | 2010-04-01 | 2016-03-15 | 株式会社ニコン | 物体搬送装置、露光装置、デバイス製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及び物体搬送方法 |
KR101331507B1 (ko) * | 2010-08-09 | 2013-11-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법 |
US8598538B2 (en) * | 2010-09-07 | 2013-12-03 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
US20120064460A1 (en) * | 2010-09-07 | 2012-03-15 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
US20120064461A1 (en) * | 2010-09-13 | 2012-03-15 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, exposure apparatus, device manufacturing method, flat-panel display manufacturing method, and object exchange method |
JP5843161B2 (ja) * | 2011-05-13 | 2016-01-13 | 株式会社ニコン | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
CN102320472B (zh) * | 2011-06-03 | 2013-07-10 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板传送系统及传送方法 |
JP2013051237A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nikon Corp | 物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送装置、及び物体の搬入方法 |
US9051128B2 (en) * | 2012-11-21 | 2015-06-09 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Transmission device and transmission method for glass substrate |
JP6142217B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2017-06-07 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光用基板搬送装置 |
JP6209910B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2017-10-11 | 大日本印刷株式会社 | 照合方法および照合システム |
JP6738542B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2020-08-12 | 株式会社ニコン | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 |
WO2017057590A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
TWI765918B (zh) * | 2016-09-30 | 2022-06-01 | 日商尼康股份有限公司 | 搬運裝置、曝光裝置、曝光方法、平板顯示器的製造方法、元件製造方法以及搬運方法 |
JP6855011B2 (ja) * | 2016-09-30 | 2021-04-07 | 株式会社ニコン | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 |
CN108502543B (zh) * | 2017-02-28 | 2020-01-24 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种基板传输装置及方法 |
-
2016
- 2016-03-30 CN CN201680020622.8A patent/CN107466381B/zh active Active
- 2016-03-30 KR KR1020177030369A patent/KR102569618B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-30 TW TW105110168A patent/TWI735438B/zh active
- 2016-03-30 JP JP2017510091A patent/JP6712411B2/ja active Active
- 2016-03-30 US US15/563,310 patent/US10752449B2/en active Active
- 2016-03-30 WO PCT/JP2016/060358 patent/WO2016159062A1/ja active Application Filing
-
2020
- 2020-05-29 JP JP2020094197A patent/JP2020141148A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180065816A1 (en) | 2018-03-08 |
JPWO2016159062A1 (ja) | 2018-02-22 |
KR102569618B1 (ko) | 2023-08-22 |
KR20170131534A (ko) | 2017-11-29 |
JP2020141148A (ja) | 2020-09-03 |
TWI735438B (zh) | 2021-08-11 |
TW201637974A (zh) | 2016-11-01 |
US10752449B2 (en) | 2020-08-25 |
CN107466381B (zh) | 2021-03-09 |
CN107466381A (zh) | 2017-12-12 |
WO2016159062A1 (ja) | 2016-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6712411B2 (ja) | 物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法 | |
TWI740113B (zh) | 物體更換裝置、物體更換方法、曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 | |
JP6855011B2 (ja) | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 | |
JP6708233B2 (ja) | 物体移動装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 | |
JP6954439B2 (ja) | 搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 | |
WO2013031222A1 (ja) | 物体搬送装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体の搬送方法、及び物体交換方法 | |
JP6035670B2 (ja) | 露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに露光装置 | |
WO2013150787A1 (ja) | 物体搬送システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体保持装置、物体搬送装置、物体搬送方法、及び物体交換方法 | |
JP6813098B2 (ja) | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法 | |
JP6874314B2 (ja) | 物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 | |
JP7355174B2 (ja) | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法 | |
TWI765999B (zh) | 物體交換裝置、物體處裡裝置、平板顯示器的製造方法、元件製造方法、物體交換方法以及物體處理方法 | |
JP2020166111A (ja) | 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイ製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 | |
JP6015983B2 (ja) | 物体交換システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191209 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200501 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200514 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6712411 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |