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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Übergeben und Übernehmen
von Glassubstratplatten mit einem Doppelgabelgreifer mit zwei übereinander
angeordneten einzelnen Gabelgreifern, eine Zuführeinheit zum Führen von
Glassubstratplatten zu und von einer diese bearbeitenden Prozessstation mit
mindestens einer die Glassubstratplatten in die Prozessstation ein-
und aus dieser herausfördernden Fördereinrichtung
sowie ein Verfahren zum Übernehmen
und Übergeben
von Glassubstratplatten von und zu einer Aufnahmestation, wie einer
Zuführeinheit
oder einer Speicherkassette.
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Die
genannten Glassubstratplatten oder Flat Panel Displays (FPD) dienen
zur Herstellung von einzelnen LCD-Displays, die aus den Glassubstratplatten
herausgetrennt werden. Die Glassubstratplatten müssen hierzu in einem Bearbeitungsprozess,
der Materialauftrag, Belichten, Ätzen
etc. beinhaltet, bearbeitet werden, wozu sie in eine Prozessstation
eingeführt
und aus dieser wieder entnommen werden müssen.
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Die
Glassubstratplatten weisen – nach
Bearbeitung – eine
Prozessseite auf, auf die das eigentliche LCD aufgebracht wird.
Sie weisen weiterhin eine Nicht-Prozessseite auf. Um Qualitätsbeeinträchtigungen
zu vermeiden, dürfen
während
der Produktion und des Transports notwendige Berührungen durch Greifen oder
Ablegung der Glassubstratplatten nur auf der Nicht-Prozessseite,
auf keinem Fall aber auf der Prozessseite erfolgen. Die Glasplatten
müssen
also immer an einer Seite angegriffen werden.
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Während des
Produktionsprozesses werden die Glassubstratplatten in Magazinen,
den sogenannten Kassetten, gespeichert und so zur jeweiligen Prozessstation
gefördert.
Zur Speicherung der Glassubstratplatten in den Kassetten werden
diese auf der Nicht-Prozessseite in horizontaler Orientierung in
der Kassette gelagert. Je nach Größe des Glassubstrats befinden
sich bis zu 50 Gläser
in einer Kassette. Die Glassubstratplatten liegen hierzu auf Haltestegen
innerhalb der Kassette auf.
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Für den Produktionsprozess
müssen
die Glassubstratplatten aus der Kassette aufgenommen und an den
Prozessstationen abgelegt (vor der Prozessbearbeitung) bzw. aufgenommen
(nach der Prozessbearbeitung) werden. Die Übergabeschnittstelle an der
Prozessstation ist i.a. als Rollenförderer ausgeprägt, auf
denen eine Glassubstratplatte, wiederum auf der Nicht-Prozessseite,
abgelegt werden kann. Neben Prozessstationen mit Zufördereinheiten gibt
es auch Prozessstationen, bei denen die Glassubstratplatten direkt
eingelegt werden und somit eine Zufördereinheit entfällt. Nachdem
der jeweilige Prozess abgeschlossen ist, muss die Glassubstratplatte
wiederum aus der Prozessstation (häufig über dieselbe Schnittstelle)
entnommen und in die Kassette ein gelagert werden.
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Die
Handhabung aus den bzw. in die Kassetten und Prozessstationen erfolgt
heutzutage mittels Hubmechaniken, die sich direkt an der Übergabeschnittstelle
der Prozessstationen befinden oder mit Hilfe speziell dafür entwickelter
Roboter mit entsprechenden Greifwerkzeugen. Das Greifen (Aufnehmen und
Ablegen) der Glassubstratplatten erfolgt für den letzteren Fall mit Hilfe
eines Greifers, der mit Gabelelementen (Gabelgreifern) ausgestattet
ist. Die Anordnung der Gabeln ist dabei so gewählt, dass diese zwischen den
Haltestegen innerhalb der Kassette bzw. zwischen den Rollen der
Zufördereinheiten
positioniert werden können.
Die Gabeln befinden sich dann jeweils unterhalb der aufzunehmenden
Glassubstratplatte (Nicht-Prozessseite).
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Um
ein Verrutschen der Glassubstratplatten auf den Greifgabeln zu verhindern,
sind diese im allgemeinen mit Vakuumsaugern ausgestattet und sorgen
somit für
eine kraftschlüssige
Fixierung der Glassubstratplatten.
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Der
prinzipielle Handhabungsprozess gliedert sich nach dem Stand der
Technik wie folgt:
- 1. Einfahren des Gabelgreifers
in die Kassette
- 2. Anheben des Gabelgreifers und somit der unbearbeiteten Glassubstratplatte
von den Haltestegen innerhalb der Kassette
- 3. Fixieren der unbearbeiteten Glassubstratplatte auf dem Gabelgreifer
(z.B. Ansaugen, Klemmen, ...)
- 4. Herausfahren des Gabelgreifers mit der Glassubstratplatte
aus der Kassette
- 5. Transport der Glassubstratplatte zur jeweiligen Prozessstation
- 6. Positionierung der Glassubstratplatte auf Zufördereinheit
oder direkt in die Prozessstation
- 7. Lösen
der Fixierung und Ablage der Glassubstratplatte (Gabelgreifer taucht
zwischen den Rollen oder Ablageelementen der Zuführeinheit bzw. der Prozessstation
ein)
- 8. Nach Beendigung des Prozesses Anheben des Gabelgreifers und
somit der bearbeiteten Glassubstratplatte
- 9. Fixieren der unbearbeiteten Glassubstratplatte auf dem Gabelgreifer
(z.B. Ansaugen, Klemmen, ...)
- 10. Transport der bearbeiteten Glassubstratplatte zur Kassette
- 11. Einfahren in die Kassette
- 12. Positionierung der bearbeiteten Glassubstratplatte oberhalb
der Haltestege
- 13. Lösen
der Fixierung und Ablage der Glassubstratplatte (Gabelgreifer taucht
zwischen den Haltestegen der Kassette ein)
- 14. Ausfahren des Gabelgreifers aus der Kassette und Positionierung
des Gabelgreifers zur Aufnahme der nächsten unbearbeiteten Glassubstratplatte
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Beim
Handhabungsprozess, wie oben aufgeführt, haben heute eingesetzte
Handhabungssysteme nur die Möglichkeit,
jeweils eine Glassubstratplatte zu transportieren. Dies bedeutet,
dass der Roboter zur Handhabung einer einzelnen Glassubstratplatte
von der Kassette zur Zufördereinheit
der Prozessstation und wieder zurück verfahren muss.
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Es
ist bekannt, die Greifer als Doppelgreifer auszubilden, die somit
zwei Glassubstratplatten aufnehmen können. Diese Art der Greifer-
bzw. Handhabungsausprägung
wird dazu genutzt, ein unbearbeitetes Glas aus der Kassette aufzunehmen
und an der Prozessstation die fertig bearbeitete Glassubstratplatte
aufzunehmen und ohne zusätzlichen
Verfahrweg des Handhabungsgeräts
die nächste,
unbehandelte Glassubstratplatte dort auch wieder abzugeben. D.h.
der Doppelgreifer wird an für
sich nur an der Schnittstelle zur Prozessstation genutzt, wodurch
es möglich
ist, eine bereits gegriffene, unbearbeitete Glassubstratplatte auf
Zuführeinheit
bzw. direkt in der Prozessstation abzulegen, nachdem die bearbeitete Glassubstratplatte
entnommen wurde. Somit können Verfahrbewegungen
des Roboters eingespart und die Taktzeit minimiert werden.
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Die
Doppelgreifer sind dabei als Gabelgreifer übereinander angeordnet und
können
in der Regel mittels eines Geradführungsgetriebes in horizontaler Richtung
unabhängig
voneinander verfahren werden. Die Hubbewegung zur Ablage bzw. Aufnahme der
Glassubstratplatten in die Kassette oder Prozessstation ist dagegen
gekoppelt, was zu dem Nachteil führt,
dass die Ablage bzw. Aufnahme von Glassubstratplatten in der Kassette
nicht gleichzeitig durch beide Greifergabeln erfolgen kann, sondern diese
beiden Handhabungsprozesse sequentiell ausgeführt werden müssen (Handhabungsprozess 1: Einfahren
von Greifer 1 in Kassette und Ablage der bearbeiteten Glassubstratplatte;
Handhabungsprozess 2: Einfahren von Greifer 2 in
Kassette und Aufnehmen einer unbearbeiteten Glassubstratplatte). Würden beide
Greifer gleichzeitig in der Kassette operieren, würde eine
durch Greifer 1 abgelegte, bearbeitete Glassubstratplatte
in der Kassette bei der Aufnahme einer unbearbeiteten Glassubstratplatte durch
Greifer 2 wieder mitaufgenommen werden. Somit kann mit
einer solchen Doppelgreiferlösung,
wie sie sich nach dem Stand der Technik präsentiert, die Produktivität einer
Anlage durch Vermeidung unnötiger
Transporte erhöht
werden, allerdings nimmt der sequentielle Handhabungsprozess an
der Kassette nach wie vor viel Zeit in Anspruch.
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Weiterhin
besteht eine erhöhte
Kontaminationsgefahr der unteren Glassubstratplatte, ausgehend vom
Roboterarm, der den oberen Gabelgreifer aufnimmt. Dieser bewegt
sich direkt oberhalb der Glassubstratplatte. Durch Lagerreibung
an den Gelenken des Roboterarms können sich hierbei Partikel lösen, welche
sich auf der Prozessseite der Glassubstratplatte ablagern können. Da
die Anforderung an die Partikelfreiheit bei der Handhabung von Glassubstratplatten
eine große
Rolle spielt (Reinraum), sind diese keine unerheblichen Risikofaktoren.
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Ein
solcher Doppelgreifer ist beispielsweise in der Patentschrift
JP 2005-230941 A beschrieben.
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Auch
die
US 2005/0 199
346 A1 zeigt eine gattungsgemäße Vorrichtung mit einem Doppelgabelgreifer,
der mit einem weiteren Gabelgreifer zusammenwirkt, wobei die Gabelgreifer
des vertikal verfahrbaren Doppelgabelgreifers nicht relativ zueinander
verfahrbar sind.
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Bei
Lösungen
nach dem Stand der Technik kann immer nur ein Gabelgreifer in die
Kassette bzw. die Prozessstation ein fahren, um eine Glassubstratplatte
abzulegen bzw. aufzunehmen.
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Ausgehend
von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
unter Vermeidung der genannten Nachteile eine Vorrichtung und ein
Verfahren zum Übergeben
und Übernehmen von
Glassubstratplatten zu schaffen, mittels derer Greiferbewegungen
und Transportvorgänge
minimiert und damit eine Reduzierung der Zykluszeit und eine Erhöhung der
Produktivität
erreicht werden können.
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Erfindungsgemäß wird die
genannte Aufgabe mit einer Vorrichtung der gattungsgemäßen Art gelöst, welche
dadurch gekennzeichnet ist, dass die Gabelgreifer senkrecht zu ihren
Erstreckungsebenen relativ zueinander verfahrbar sind. Weiterhin
sieht die Erfindung zur Lösung
der genannten Aufgabe ein gattungsgemäßes Verfahren vor, welches
dadurch gekennzeichnet ist, dass ein Doppelgabelgreifer gleichzeitig
mit zwei übereinander
angeordneten, senkrecht zu ihren Erstreckungsebenen relativ zueinander
verfahrbaren einzelnen Gabelgreifern, in die mindestens zwei Ablageebenen
aufweisenden Aufnahmestation einfährt und durch Relativbewegung der einzelnen
Gabelgreifer senkrecht zu ihren Erstreckungsebenen eine Glassubstratplatte
der Aufnahmestation übergibt
und eine andere aus der Aufnahmestation aufnimmt.
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Darüber hinaus
sieht die Erfindung zur Unterstützung
des Erreichens der genannten Ziele eine Zuführeinheit an der Prozessstation
vor, welche gekennzeichnet ist durch zwei vertikal übereinander
angeordnete und in vertikaler Richtung verfahrbare Fördereinrichtungen.
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Die
Erfindung sieht also eine Änderung
des Doppelgabelgreifers und seiner Kinematik insbesondere dahingehend
vor, dass die einzelnen Gabelgreifer nicht nur unabhängig voneinander
in ihrer Erstreckungsebene aus- und einfahrbar sind, sondern senkrecht
zu ihren Erstreckungsebenen oder in Richtung ihrer kürzesten
Verbindung relativ zueinander verfahrbar sind, also aufeinander
zu- bzw. voneinander fortbewegbar sind und dies beim Verfahren zur Aufnahme
und Übergabe
der Substratplatten von bzw. an eine Aufnahmestation wie eine Zuführeinheit zu
einer Prozessstation oder eine Stapelkassette eingesetzt wird.
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Die
Erfindung macht es möglich,
mit beiden Gabelgreifern sowohl in die Kassette als auch bei entsprechender
Umgestaltung in die Zufördereinheit bzw.
in die Prozessstation einzufahren und das Ablegen und Aufnehmen
von bearbeiteten und unbearbeiteten Glassubstratplatten gleichzeitig
durchzuführen.
Durch diese Parallelisierung der Handhabungsprozesse an Kassette
und Prozessstation kann die Produktivität der Anlage erheblich gesteigert
werden. Durch die Erfindung wird so der Handhabungsprozess parallelisiert.
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Bevorzugte
Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sehen vor,
dass die Gabelgreifer durch einen gemeinsamen Antrieb und einen
Koppelmechanismus bzw. ein Getriebe verfahrbar sind oder aber die
Gabelgreifer jeweils durch einen eigenen Antrieb verfahrbar sind.
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Alternativ
hierzu kann vorgesehen sein, dass einer der Gabelgreifer relativ
zum anderen Gabelgreifer und einem beide Greifer tragenden Grundrahmen
verfahrbar ist und dass der Grundrahmen zur Ausführung einer Ausgleichsbewegung
entgegen der Verfahrrichtung des relativ zu ihm verfahrbaren Gabelgreifers
ausgebildet ist.
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Eine äußerst bevorzugte
Ausgestaltung der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die
Vorrichtung einen den Doppelgreifer tragenden Roboter vorsieht.
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Die
Glassubstratplatten werden an den Gabelgreifern vorzugsweise fixiert,
wobei diese Fixierung entweder kraftschlüssig, wie durch Saugeinrichtungen,
oder auch formschlüssig,
wie durch am Rande der Glassubstratplatten angreifenden Fixierelementen
erfolgen kann.
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Soweit
eine Zuführeinheit
mit Fördereinrichtungen
vorgesehen ist, so kann diese in bevorzugter Weise derart ausgebildet
sein, dass die Fördereinrichtungen
als Rollenförderer
ausgebildet sind. Weiterhin sieht die Erfindung ein System mit einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung
zum Übergeben
und Übernehmen
der Glassubstratplatten an eine und von einer Zuführeinheit
vor.
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Während verfahrensmäßig grundsätzlich vorgesehen
sein kann, dass bei gleichzeitig eingefahrenen Gabelgreifern in
die Aufnahmestation zunächst
entweder eine zugeführte
Glassubstratplatte abgelegt und anschließend eine aufzunehmende Glassubstratplatte
entnommen wird, bewegen sich die beiden einzelnen Gabelgreifer bevorzugterweise gleichzeitig
relativ zueinander.
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In
weiterer bevorzugter Ausgestaltung des Verfahrens kann vorgesehen
sein, dass die Glassubstratplatten auf den Gabelgreifern fixiert
werden, wobei die Glassubstratplatten kraftschlüssig, wie durch Saugeinwirkung,
auf den Gabelgreifern fixiert werden und/oder die Glassubstratplatten
formschlüssig
an den Gabelgreifern, wie durch am Rande der Glassubstratplatten
angreifenden Klemmgreifern fixiert werden.
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Weitere
Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und
aus der nachfolgenden Beschreibung, in der Ausführungsbeispiele zu der Erfindung
im einzelnen erläutert
sind. Dabei zeigt:
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1 eine
perspektivische Gesamtansicht von Prozessstation, Zuführeinheit
und von einem Roboter bewegten Doppelgabelgreifer;
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2 eine
perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen Doppelgabelgreifers;
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3a–c eine
Seitenansicht, eine Draufsicht und eine Stirnansicht eines erfindungsgemäßen Doppelgreifers;
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3d eine
vergrößerte Darstellung
des Bereichs A der 3a;
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4 eine
perspektivische Darstellung einer erfindungsgemäßen Zuführeinheit an einer Prozessstation;
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5a–c eine
Seitenansicht, eine Stirnansicht und eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Zuführeinheit
an einer Prozessstation;
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6 eine
perspektivische Darstellung einer im Rahmen der Erfindung einsetzbaren
Stapelkassette zur Aufnahme von Glassubstratplatten;
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7a–c eine
Vorderansicht, eine Seitenansicht und eine vergrößerte Ansicht des Teils B der 3a einer
im Rahmen der Erfindung einsetzbaren Stapelkassette; und
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8 das
Anfahren eines Doppelgabelgreifers seitlich an die Zuführeinheit
einer Prozessstation.
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Die 1 zeigt
eine Prozessstation 1, in der Glassubstratplatten 2, 2a einzeln
bearbeitet werden. Zum Zu- und
Herausführen
der Glasplatten 2, 2a in die Prozessstation 1 bzw.
aus dieser ist eine erfindungsgemäß ausgestaltete Zuführeinheit 3 vorgesehen,
die weiter unten näher
beschrieben wird. Die Glassubstratplatten 2, 2a werden
mittels eines von einem Roboter 4 gehandhabten Doppelgabelgreifers 5 von
einer Speicherkassette 13 (6, 7a, 7b)
zur Zuführeinheit 3 und
von dieser nach Bearbeitung in der Prozessstation 1 wieder
zur Speicherkassette 13.
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Die
in der 1 dargestellte Bewegungsphase des durch den Roboter 4 geführten Doppelgabelgreifers 5 ist
beispielsweise ein solcher, bei der der Doppelgabelgreifer 5 die
unbehandelte Glassubstratplatte 2a der Zuführeinheit 3 zuführt und
in einem anschließenden
Schritt die vorher in der Prozessstation 1 behandelte Glassubstratplatte 2 aufnimmt
und fortführt.
(Die in der 1 dargestellte Phase des Dop pelgabelgreifers 5 kann
aber auch dahingehend verstanden werden, dass der Doppelgabelgreifer 5 nach
Ablage der unbehandelten Glassubstratplatte 2 auf der Zuführeinheit 3 die
vorher in der Prozessstation 1 behandelte Glassubstratplatte 2a aufgenommen
hat und gerade aus der Zuführeinheit 3 entnimmt.
Die folgende Beschreibung geht allerdings aus dem erstgenannten
Verständnis
aus).
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Der
erfindungsgemäße Doppelgabelgreifer 5 weist
entsprechend den Darstellungen der 2 und 3a–d einen
Grundrahmen 6 auf, an dem zwei einzelne Gabelgreifer 7, 7a übereinander
aufeinander zu- oder voneinander fortbewegbar angebracht sind. Die
Gabelgreifer 7, 7a weisen Gabelzinken 7.1 auf,
die mit Abstand zueinander angeordnet sind und jeweils eine Ebene
der Gabelgreifer 7, 7a bestimmen, in der die Zinken 7.1 liegen.
Demgemäß sind die
Gabelgreifer 7, 7a in den durch sie definierten Ebenen
senkrechter Richtung relativ zueinander bewegbar. Zur Ermöglichung
der Bewegungen sind am Grundrahmen 6 Führungen 8 ausgebildet.
Die Bewegung erfolgt durch Antriebe 9. Die Antriebe 9 können elektrische,
pneumatische oder hydraulische Antriebe sein. Zur Erzeugung der
Relativbewegung senkrecht zu den durch die Einzelgreifer 7, 7a aufgespannten
Ebenen können
beide Gabelgreifer 7, 7a relativ zum Grundrahmen 6 oder
aber auch nur einer der Greifer relativ zum anderen und zum Grundrahmen 6 bewegbar
sein, wobei eine Ausgleichsbewegung in diesem Falle durch den Roboter
erfolgt, an dem der Doppelgabelgreifer 5 mittels einer
Flanschplatte befestigt ist. Bei Relativbewegungen beider Gabelgreifer 7, 7a relativ
zum Grundrahmen 6 kann dies über separate Antriebe 9 oder über einen
Antrieb und einen geeigneten Koppelmechanismus oder ein geeigneten
Getriebe erfolgen.
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Zum
exakten Positionieren und zum Halten der Glassubstratplatten sind
an den Gabelzinken 7.1 der Gabelgreifer 7, 7a Saugelemente 7.2,
wie Saugnäpfe
oder dergleichen vorgesehen, die über geeignete Einrichtungen
unterdruckbeaufschlagbar sind.
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Die 4 und 5a–c zeigen
eine Zuführeinheit 3 als
Aufnahmestation für
Glassubstratplatten 2 an einer Prozessstation 1.
Die Zuführeinheit 3 weist
ebenfalls vertikal übereinander
angeordnet zwei Fördereinrichtungen 12 und 12a in
Form von Rollenbahnen auf. Diese sind ebenfalls in vertikaler Richtung
bewegbar, also senkrecht der durch die Rollenbahnen 12, 12a definierten
Ebenen, und zwar die obere Fördereinrichtung
oder Rollenbahn 12 aus einer mittleren Einführposition
zur Prozessstation 1 in eine Übergabestation nach oben und
die untere Fördereinrichtung
oder Rollenbahn 12 aus der genannten mittleren Einführposition
zur Prozessstation 1 nach unten. Zur Ausführung der
vertikalen Hubbewegungen der Fördereinrichtungen 12, 12a sind
Antriebe vorgesehen, die nicht dargestellt sind. Die Aufnahme der
Glassubstratplatten vor der Bearbeitung und das Ablegen derselben
nach der Bearbeitung mittels des erfindungsgemäß ausgebildeten Doppelgabelgreifers 5 geschieht
von bzw. zu Stapelkassetten 13, wie sie in den 6 und 7a–c dargestellt
sind.
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Wenn
die Fördereinrichtung 12a sich
in der mittleren Ein führposition
befindet, erfolgt die Bearbeitung einer unbehandelten Glassubstratplatte 2a in folgender
Weise:
Eine bearbeitete Glassubstratplatte 2a wird
aus der Prozessstation 1 auf die Fördereinrichtung 12a überführt. Die
Fördereinrichtungen 12 und 12a verfahren gleichzeitig
nach unten. Die Fördereinrichtung 12 steht
dann im Zugriff zu mittlerer Einführposition. Der Doppelgabelgreifer 5 fährt in die
Zuführeinheit 3 ein. Gleichzeitig
wird eine unbearbeitete Glassubstratplatte 2a auf der Fördereinrichtung 12 abgelegt
und die bearbeitete Glassubstratplatte 2a von der Fördereinrichtung 12a aufgenommen.
Die unbearbeitete Glassubstratplatte 2a wird von der Fördereinrichtung 12 in
die Prozessstation 1 überführt. Der
Doppelgabelgreifer 5 fährt
die bearbeitete Glassubstratplatte 2a aus der Zuführeinheit 3 aus
und transportiert die Glassubstratplatte 2a zur Kassette.
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Die
Stapelkassetten 13 weisen horizontal gerichtete nebeneinander
und übereinander
angeordnete Haltestege 14 auf, durch die zwischen den Haltestegen 14 Aufnahme-
oder Ablageebenen für die
Glassubstratplatten 2 gebildet werden. Grundsätzlich erfolgt
das Entnehmen und Einführen
der Glassubstratplatten 2, 2a in die Speicherkassetten 13 über deren
Stirnseite 15, wie sie in der 7a sichtbar
ist. Bei geeigneter Ausgestaltung der Kassetten kann die Übergabe über die
in der 7b dargestellte Seite erfolgen.
In diesem Falle werden die Glassubstratplatten von der Breitseite
aufgenommen und werden demgemäß auch,
wie dies in der 8 dargestellt ist, auch von
der Seite her zur Zuführeinheit 3 übergeben
bzw. von dieser entnommen. Das Angreifen an den Glassubstratplatten 2 an
ihrer breiteren Seite hat den Vorteil, dass hierdurch beim Übergeben
und Entnehmen die Verfahrwege verkürzt und damit Zykluszeiten
weiter reduziert werden können.
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Der
Ablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens
ist wie folgt:
Nach Entnahme einer unbehandelten Glassubstratplatte
aus der Stapelkassette 13 mittels des Doppelgabelgreifers,
beispielsweise auf dem unteren Gabelgreifer 7a, und Fixieren
der Glassubstratplatte 2a mittels der Saugnäpfe 7.2 auf
dem Gabelgreifer 7a, transportiert der Roboter 4 mittels
des Doppelgabelgreifers 5 die Glassubstratplatte 2a zur
Zuführeinheit 3 und
führt die
Glassubstratplatte 2a in die Zu führeinheit 3 zwischen
der oberen und der unteren Fördereinrichtung 12, 12a,
also oberhalb der unteren Fördereinrichtung 12a ein,
wie dies in der 1 dargestellt ist. Die beiden
einzelnen Gabelgreifer 7, 7a sind dabei weitgehend
einander angenähert
(ohne dass der obere Gabelgreifer 7 die Glassubstratplatte 2a berührt), damit
der obere Gabelgreifer 7 ebenfalls in die Zuführeinheit,
und zwar unterhalb der dort liegenden schon bearbeiteten Glassubstratplatte 2 eingefahren
werden kann. Nach vollständigem
Einfahren des Doppelgabelgreifers 5 in die Zuführeinheit 3 wird der
untere Gabelgreifer 7a abgesenkt, bis die zugeführte Glassubstratplatte 2a auf
der Fördereinrichtung 12a aufliegt.
Der obere Gabelgreifer 7 wird angehoben, bis er an der
Unterseite der bearbeiteten Glassubstratplatte 2 angreift
und diese von der oberen Fördereinrichtung 12 abhebt.
Wesentlich ist, dass diese Bewegungen gleichzeitig erfolgen können. Wie gesagt,
können
die Absenkbewegungen des unteren Gabelgreifers und das Anheben des
oberen Gabelgreifers absolut gegen einen stillstehenden Grundrahmen
des Doppelgabelgreifers und damit stillhaltenden Roboters geschehen
oder aber durch Bewegung eines der Gabelgreifer 7, 7a und
entsprechender Ausgleichsbewegung des Roboters über den Grundrahmen 6 des
Doppelgabelgreifers 5.
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Anschließend zieht
der Roboter 4 die Glassubstratplatte 2 mittels
des Doppelgabelgreifers 5 von der Zuführeinheit 3 ab und
fährt mit
dieser zur Stapelkassette 13. Dort führt er die Glasplatte 2 in
die Stapelkassette 13 ein, wobei die Gabelgreifer 7, 7a in ihrer
auseinander gefahrenen Position bleiben, so dass zum einen der Gabelgreifer 7 die
Glassubstratplatte 2 beim Einführen in die Stapelkassette 13 oberhalb
der diese im folgenden aufnehmende Haltestege 14 einführt, gleichzeitig
aber beim Einfahren der untere Gabelgreifer 7 eine in einer
Ebene unterhalb derjenigen, in der die Glassubstratplatte 2 eingeführt wird,
liegende wei tere Glassubstratplatte 2a unterfährt und
beim Einfahren nicht berührt.
Nach vollständigem
Einführen
der Gabelgreifer 7, 7a in die Stapelkassette 13 wird
die eingeführte
Glassubstratplatte 2 durch Absenken des oberen Gabelgreifers 7 auf
den entsprechenden Haltestegen 14 abgelegt, eine darunter
befindliche unbehandelte Glassubstratplatte 2a durch Anheben
des Gabelgreifers 7a angehoben, so dass der Doppelgabelgreifer 5 mit
dieser wieder aus der Stapelkassette 13 herausfahren und
diese zur Zuführeinheit 3 bringen
kann, um sie dort wieder abzulegen und eine behandelte Glassubstratplatte 2 in der
beschriebenen Weise aufzunehmen.