JP7362308B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係る切削装置の構成例の概略を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る切削装置の構成例の要部の概略を示す斜視図である。図3は、実施形態1に係る挟持部の正面図である。図4は、実施形態1に係る挟持部の平面図である。図5は、実施形態1に係る挟持部の側面図である。
実施形態1に係る被加工物100の検出動作について説明する。図7は、実施形態1に係る検出動作の概要を示す模式図である。図7は、カセット30及び挟持部411の位置関係を側面から見た図である。以下において、被加工物100をフレームユニット104と表記したり、フレームユニット104を被加工物100と表記したりする場合がある。
実施形態1に係る被加工物100の検出動作について説明する。図8は、実施形態1に係る被加工物の引き出し判断動作の概要を模式的に示す図である。図8は、カセットと挟持部との位置関係を側面から見た様子を示す。図9は、実施形態1に係る離反距離と反射光量との関係の一例を示す図である。
図10に示すように、有無判断部1001は、挟持部411をカセット30に対して所定位置まで接近した位置に位置付けた後、挟持部411を鉛直方向上向きに移動させながら、光反射型センサ424からの光の照射を開始する(ステップS101)。
図11に示すように、挟持光量記録部1002は、フレームユニット104を挟持した時の反射光量αを記録する(ステップS201)。
以下の実施形態2では、パッケージ基板を切削加工する切削装置1-2における動作について説明する。図12は、実施形態2に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図13は、実施形態2に係る被加工物の一例を示す斜視図である。図14は、実施形態2に係る挟持部の側面図である。
上述した実施形態2において、進退制御部1006は、光反射型センサ1424により検出される反射光量に基づいて挟持部1141の進退を制御する例を説明したが、この例には特に限定される必要はない。例えば、挟持部1141と被加工物200との距離に応じて、挟持部1141の進退を制御してもよい。切削装置1-2は、光反射型センサ1424の代わりに測距センサを備え、進退制御部1006は、挟持部1141に許容される差し込み長さの範囲に対応した挟持部1141と被加工物200との間の許容距離を事前に計測しておく。そして、進退制御部1006は、測距センサにより計測される距離が許容距離の範囲にあるか否かに基づいて、挟持部1141の進退を制御することができる。
本発明に係る加工装置は、かかる加工装置の一例として説明した切削装置1-1,1-2に対する上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明に係る加工装置は、円盤状や板状などの被加工物を挟持して搬出入する装置であれば、レーザー加工装置や研削装置であってもよい。
10 チャックテーブル
20 切削手段
21 切削ブレード
30 カセット
41 搬送手段
50 洗浄手段
100 被加工物
101 ダイシングテープ
102 環状フレーム
103 表面
104 フレームユニット
110 保持テーブル
120 切削ユニット
130 カセット
140 パッケージ搬出ユニット
150 パッケージ搬送ユニット
160 撮像ユニット
170 洗浄ユニット
180 乾燥ユニット
190 収容トレイ載置部
200 被加工物
201 フレーム基板
202 バンプ
203 分割予定ライン
204 デバイスチップ
411 挟持部
412 搬送アーム
421 支持部
422 おさえ部
423 駆動手段
424 光反射型センサ
1000 制御手段
1001 有無判断部
1002 挟持光量記録部
1003 引き出し光量記録部
1004 引き出し判断部
1005 許容範囲記録部
1006 進退制御部
1110 搬送ユニット
1120 トレイ撮像ユニット
1141 挟持部
1142 搬送アーム
1421 支持部
1422 おさえ部
1423 駆動手段
1424 光反射型センサ
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、
カセット台に設置され複数の被加工物を収容するカセットと、
該カセット内に挿入され被加工物を搬出入する搬送手段と、
各機構を制御するデータ処理部と、
を備える加工装置であって、
該搬送手段は、
被加工物を挟持する挟持部と、
該挟持部を高さ方向及びカセットに対する進退方向に移動可能にする搬送アームと
を備え、
該挟持部は、
被加工物の下面を支える支持部と、
被加工物の上面に接触し該支持部との間に被加工物を挟むおさえ部と、
該支持部と該おさえ部とを相対的に離反及び接近させる駆動手段と
を備え、
該搬送手段は、
該挟持部に固定され、かつ該挟持部が被加工物を挟む際の高さと同じ高さに設置された、カセットに収容された被加工物に向かう光を照射する光反射型センサ
を更に備え、
該データ処理部は、
該カセットに収容された被加工物を該挟持部が挟持した段階での反射光量を記録する挟持光量記録部と、
被加工物を該カセットから引き出すために該挟持部を該カセットから離反させた段階での反射光量を記録する引き出し光量記録部と、
該挟持光量記録部と、該引き出し光量記録部と、に記録された光量の差がしきい値を超えた場合、被加工物を適切に引き出せなかったと判断する引き出し判断部と
を備えることを特徴とする加工装置。 - 被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、
カセット台に設置され複数の被加工物を収容するカセットと、
該カセット内に挿入され被加工物を搬出入する搬送手段と、
各機構を制御するデータ処理部と、
を備える加工装置であって、
該搬送手段は、
被加工物を挟持する挟持部と、
該挟持部を高さ方向及びカセットに対する進退方向に移動可能にする搬送アームと
を備え、
該挟持部は、
被加工物の下面を支える支持部と、
被加工物の上面に接触し該支持部との間に被加工物を挟むおさえ部と、
該支持部と該おさえ部とを相対的に離反及び接近させる駆動手段と
を備え、
該搬送手段は、
該挟持部に固定され、かつ該挟持部が被加工物を挟む際の高さと同じ高さに設置された、カセットに収容された被加工物に向かう光を照射する光反射型センサ
を更に備え、
該データ処理部は、
被加工物を該支持部と該おさえ部とが離反した状態の該挟持部に差し込む長さと、それぞれの該長さに応じた反射光量との相関関係を記録し、許容される該長さに対応する該反射光量の範囲を許容範囲として記録する許容範囲記録部と、
該カセットに対して被加工物を搬出入する際に、反射光量の範囲が該許容範囲になるように該挟持部を進退させる進退制御部と
を備えることを特徴とする加工装置。 - 該カセットは、
対向する一対の側壁と、
該側壁を連結する底面と、
該側壁から内側へ突出し被加工物を載置する一対の棚を複数段設け、
該光反射型センサは、
該挟持部の移動に伴って上下に移動しながら該カセットの各棚に収容される被加工物に光を照射し、
該データ処理部は、
反射光が設定されたしきい値を下回る場合、その棚には被加工物が無いと判断する有無判断部を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の加工装置。
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