JP2016154168A - 被加工物の受け渡し方法 - Google Patents

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一貴 寺田
Kazutaka Terada
一貴 寺田
千紘 平沼
Chihiro Hiranuma
千紘 平沼
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株式会社ディスコ
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Abstract

【課題】被加工物が反っている場合にも被加工物を適切に受け渡すことのできる被加工物の受け渡し方法を提供する。【解決手段】被加工物(11)の受け渡し方法であって、搬送手段(18)から保持テーブル(50)へと被加工物を受け渡す際には、保持テーブルによる吸引を開始する保持テーブル吸引開始ステップと、被加工物を保持テーブルに載置して吸着させる載置ステップと、被加工物が保持テーブルに吸着されたことを確認する第1の確認ステップと、吸着部(18a)による吸着を解除する第1の受け渡しステップと、を実施し、保持テーブルから搬送手段へと被加工物を受け渡す際には、吸着部による吸引を開始する吸着部吸引開始ステップと、被加工物に吸着部を接触させて被加工物を吸着部に吸着させる吸着ステップと、被加工物が吸着部に吸着されたことを確認する第2の確認ステップと、保持テーブルによる被加工物の吸着を解除する第2の受け渡しステップと、を実施する。【選択図】図7

Description

本発明は、板状の被加工物を加工する加工装置において、被加工物を保持する保持テーブルと被加工物を搬送する搬送ユニットとの間で被加工物を受け渡す際に適用される被加工物の受け渡し方法に関する。
近年、半導体チップの小型化、軽量化を実現するために、シリコン等の材料でなる半導体ウェーハを薄く加工することが求められている。半導体ウェーハは、例えば、表面の分割予定ライン(ストリート)で区画される各領域にIC等の電子回路(デバイス)が形成された後、裏面側を研削されることで薄化される。
薄化後の半導体ウェーハは、例えば、切削ブレードを備える切削装置でストリートに沿って切削され、各デバイスに対応する複数の半導体チップへと分割される(例えば、特許文献1参照)。分割後の半導体チップは、携帯電話機やパーソナルコンピュータをはじめとする様々な機器に組み込まれる。
上述の切削装置は、半導体ウェーハ等の被加工物を収容する収容ケース(カセット)が載置される載置領域、被加工物を一時的に吸着する仮置きテーブルが配置された仮置き領域、切削時に被加工物を保持するチャックテーブルに対して被加工物を搬入出する搬入出領域、切削後の被加工物を洗浄する洗浄領域、等を含む。各領域間での被加工物の移送には、被加工物を吸着して搬送する搬送ユニットが用いられる。
特開2002−359211号公報
ところで、半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を上述のように薄化すると、被加工物に貼着する保護テープの張力等によって被加工物が反り、搬送前後の被加工物の受け渡しに不具合を生じ得る。例えば、被加工物より小径の仮置きテーブルに反った被加工物を載置すると、仮置きテーブルで被加工物を適切に吸着できないことがある。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物が反っている場合にも被加工物を適切に受け渡すことのできる被加工物の受け渡し方法を提供することである。
本発明によれば、板状の被加工物を吸引し吸着する吸着面を備え、該吸着面によって吸着した状態で被加工物を保持する被加工物より径の小さい保持テーブルと、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を収容する収容ケースと、被加工物を吸引し吸着する吸着部を備え、該収容ケースに収容された被加工物を搬出して該保持テーブルに載置し、該保持テーブルに保持された被加工物を該保持テーブルから搬出する機能を有する搬送手段と、各部を制御する制御手段と、を備えた加工装置において、該搬送手段と該保持テーブルとの間で被加工物を受け渡す際に適用される被加工物の受け渡し方法であって、該搬送手段から該保持テーブルへと被加工物を受け渡す際には、該収容ケースに収容された被加工物を該吸着部によって吸着して搬出する搬出ステップと、該保持テーブルによる吸引を開始する保持テーブル吸引開始ステップと、該搬出ステップによって搬出した被加工物を該保持テーブルに載置して吸着させる載置ステップと、該載置ステップで該保持テーブルに載置された被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認する第1の確認ステップと、該第1の確認ステップで被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認した後に該吸着部による被加工物の吸着を解除する第1の受け渡しステップと、を実施し、該保持テーブルから該搬送手段へと被加工物を受け渡す際には、該吸着部による吸引を開始する吸着部吸引開始ステップと、該保持テーブルに保持された被加工物に該吸着部を接触させて被加工物を該吸着部に吸着させる吸着ステップと、該吸着ステップで該吸着部に接触した被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認する第2の確認ステップと、該第2の確認ステップで被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認した後に該保持テーブルによる被加工物の吸着を解除する第2の受け渡しステップと、を実施することを特徴とする被加工物の受け渡し方法が提供される。
本発明において、該保持テーブルは、負圧を発生する吸引源と該吸着面とを繋ぐ第1の吸引経路と、該第1の吸引経路に配設され該第1の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第1の圧力計と、該第1の吸引経路を開閉する第1の開閉手段と、を備え、該搬送手段は、負圧を発生する吸引源と該吸着部とを繋ぐ第2の吸引経路と、該第2の吸引経路に配設され該第2の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第2の圧力計と、該第2の吸引経路を開閉する第2の開閉手段と、を備え、該制御手段は、該保持テーブルが被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第1の基準値として記憶し、該吸着部が被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第2の基準値として記憶するとともに、該第1の圧力計から送られる第1の測定値と該第2の圧力計から送られる第2の測定値とを記憶する記憶手段と、該第1の測定値を該第1の基準値と比較し、該第2の測定値を該第2の基準値と比較する比較判定部と、を備え、該第1の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第1の測定値が該第1の基準値以下である場合に、被加工物が該保持テーブルに吸着されたと判定し、該第2の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第2の測定値が該第2の基準値以下である場合に、被加工物が該吸着部に吸着されたと判定することが好ましい。
本発明に係る被加工物の受け渡し方法では、受け渡し先(保持テーブル又は吸着部)による吸引を開始してから被加工物を受け渡し先に接触させ、被加工物が受け渡し先に吸着されたことを確認した上で受け渡し元(吸着部又は保持テーブル)による被加工物の吸着を解除するので、被加工物が反っている場合にも受け渡し先で被加工物を適切に吸着できる。すなわち、本発明に係る被加工物の受け渡し方法によれば、被加工物が反っている場合にも被加工物を適切に受け渡すことができる。
本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法が適用される切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。 主に位置検出ユニットの構造を模式的に示す一部断面側面図である。 収容ケースの構造を模式的に示す分解斜視図である。 仮置きテーブル、第1の搬送ユニット、制御装置等の関係を模式的に示す図である。 図5(A)は、第1の搬送ユニットの吸着ハンドが収容ケースの内部に挿入される様子を模式的に示す斜視図であり、図5(B)及び図5(C)は、収容ケースに収容された被加工物が吸着ハンドで吸着される様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図6(A)は、第1の搬送ユニットの吸着ハンドが位置検出ユニットの内部に挿入される様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図6(B)は、被加工物が仮置きテーブルに載置される様子を模式的に示す斜視図である。 図7(A)は、仮置きテーブル吸引開始ステップを模式的に示す図であり、図7(B)は、載置ステップを模式的に示す図であり、図7(C)は、第1の受け渡しステップを模式的に示す図である。 図8(A)は、吸着ハンド吸引開始ステップを模式的に示す図であり、図8(B)は、吸着ステップを模式的に示す図であり、図8(C)は、第2の受け渡しステップを模式的に示す図である。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法は、第1の搬送ユニット(搬送手段)から仮置きテーブル(保持テーブル)へと被加工物を受け渡す一連のステップ(図7(A)、図7(B)、及び図7(C)参照)と、仮置きテーブルから第1の搬送ユニットへと被加工物を受け渡す一連のステップ(図8(A)、図8(B)、及び図8(C)参照)と、を含む。
第1の搬送ユニットから仮置きテーブルへと被加工物を受け渡す一連のステップは、収容ケースに収容された被加工物を第1の搬送ユニットの吸着ハンド(吸着部)で吸着して搬出する搬出ステップと、仮置きテーブルによる吸引を開始する仮置きテーブル吸引開始ステップ(保持テーブル吸引開始ステップ)(図7(A))と、被加工物を仮置きテーブルに載置する載置ステップ(図7(B))と、被加工物が仮置きテーブルに吸着されたことを確認する第1の確認ステップと、第1の搬送ユニットの吸着ハンドによる被加工物の吸着を解除する第1の受け渡しステップ(図7(C))と、で構成される。
また、仮置きテーブルから第1の搬送ユニットへと被加工物を受け渡す一連のステップは、第1の搬送ユニットの吸着ハンドによる吸引を開始する吸着ハンド吸引開始ステップ(吸着部吸引開始ステップ)(図8(A))と、被加工物に吸着ハンドを接触させて被加工物を吸着ハンドに吸着させる吸着ステップ(図7(B))と、被加工物が吸着ハンドに吸着されたことを確認する第2の確認ステップと、仮置きテーブルによる被加工物の吸着を解除する第2の受け渡しステップ(図8(C))と、で構成される。以下、本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法について詳述する。
まず、本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法が適用される切削装置について説明する。図1は、切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、切削装置(加工装置)2は、各構造を支持する基台4を備えている。
基台4において、前端側の一方の角部には、切り欠き4aが設けられており、この切り欠き4aには、被加工物11(図4等参照)の位置を検出する位置検出ユニット6が昇降可能に設置されている。位置検出ユニット6の上方には、複数の被加工物11を収容する直方体状の収容ケース(カセット)8が載置される。
被加工物11は、例えば、円盤状に形成された半導体ウェーハや樹脂基板、セラミックス基板、パッケージ基板等である。ただし、被加工物11は、これら以外の板状物でも構わない。
位置検出ユニット6と近接する位置には、前後方向(X軸方向、加工送り方向)に長い矩形状の開口4bが形成されている。この開口4b内には、移動テーブル10、移動テーブル10を前後方向に移動させるテーブル移動ユニット(不図示)、及びテーブル移動ユニットを覆う防塵防滴カバー12が配置されている。
移動テーブル10上には、被加工物11を保持するチャックテーブル14が設置されている。このチャックテーブル14は、モータ等の回転駆動源(不図示)と連結されており、鉛直方向(Z軸方向)に平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル14は、上述のテーブル移動ユニットによって移動テーブル10とともに前後方向に移動する。
チャックテーブル14の上面は、被加工物11を保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル14の内部に形成された流路(不図示)を通じて吸引源(不図示)と接続されており、被加工物11は、保持面に作用する吸引源の負圧でチャックテーブル14に吸着、保持される。
基台4の前面には、左右方向(Y軸方向)に平行な第1のレール16が固定されており、この第1のレール16には、被加工物11を搬送する第1の搬送ユニット(搬送手段)18が連結されている。第1の搬送ユニット18は、被加工物11を吸着する吸着ハンド(吸着部)18aを備えており、開口4bの上方近傍において被加工物11を吸着、保持した状態で、第1のレール16に沿って左右方向に移動する。
基台4の上方には、門型の第1の支持構造20が開口4bを跨ぐように配置されている。第1の支持構造20の前面には、左右方向に平行な第2のレール22が固定されており、この第2のレール22には、被加工物11を搬送する第2の搬送ユニット24が連結されている。第2の搬送ユニット24は、第2のレール22に沿って左右方向に移動する。
例えば、収容ケース8内の被加工物11を吸着ハンド18aで吸着し、第1の搬送ユニット18を開口4b側に移動させれば、被加工物11をカセット8から搬出できる。カセット8から搬出された被加工物11は、位置検出ユニット6で位置を検出された後に、第2の搬送ユニット24でチャックテーブル14に載置される。
また、第2のレール22の上方には、左右方向に平行な第3のレール26が固定されている。この第3のレール26には、被加工物11を搬送する第3の搬送ユニット28が連結されている。第3の搬送ユニット28は、第3のレール26に沿って左右方向に移動する。
第1の支持構造20の後方には、門型の第2の支持構造30が配置されている。第2の支持構造30の前面には、2組の移動ユニット32が設けられており、各移動ユニット32の下部には、切削ユニット(加工手段)34が配置されている。各切削ユニット34は、対応する移動ユニット32によって左右方向及び鉛直方向に移動する。
各切削ユニット34は、Y軸の周りに回転するスピンドル(不図示)を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード36が装着されている。また、各スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源(不図示)が連結されており、切削ブレード36は、回転駆動源から伝達される回転力で回転する。切削ブレード36を回転させ、チャックテーブル14上の被加工物11に切り込ませることで、被加工物11を切削できる。
基台4の前端側の他方の角部には、被加工物11を洗浄する洗浄ユニット38が配置されている。切削ユニット34で切削された被加工物11は、第3の搬送ユニット28で洗浄ユニット38に搬送される。洗浄ユニット38で洗浄された被加工物11は、第2の搬送ユニット24で第1の搬送ユニット18に受け渡されて、カセット8に搬入される。
位置検出ユニット6、テーブル移動ユニット、チャックテーブル14、第1の搬送ユニット18、第2の搬送ユニット24、第3の搬送ユニット28、移動ユニット32、切削ユニット34、洗浄ユニット38等の各構成要素は、制御装置(制御手段)40に接続されている。制御装置40は、被加工物11を適切に切削できるように各部の動作を制御する。
図2は、主に位置検出ユニット6の構造を模式的に示す一部断面側面図である。なお、図2では、簡略化された収容ケース8を併せて示している。図2に示すように、位置検出ユニット6は、内部に空間を有する直方体状の筐体42を備えている。筐体42の一側面は開口されており、内部に被加工物11を搬入できるようになっている。また、筐体42の底部は、支持台44の上部に固定されている。
支持台44の側面側には、ナット部44aが設けられており、このナット部44aには、鉛直方向に平行なZ軸ボールネジ46が螺合されている。Z軸ボールネジ46の下端部には、Z軸パルスモータ48が連結されている。Z軸パルスモータ48でZ軸ボールネジ46を回転させることで、筐体42及び支持台44は鉛直方向に移動する。
筐体42の内部の空間には、被加工物11を一時的に保持する仮置きテーブル(保持テーブル)50が配置されている。仮置きテーブル50は、モータ等の回転駆動源(不図示)と連結されており、鉛直方向に平行な回転軸の周りに回転する。仮置きテーブル50の上面は、被加工物11を吸着する吸着面50aとなっている。
仮置きテーブル50と隣接する位置には、被加工物11の外周縁を検出する外周縁検出ユニット52が配置されている。外周縁検出ユニット52は、仮置きテーブル50で保持した被加工物11に向けて光を放射する発光部54と、発光部54からの光を受光する受光部56とを備え、受光部56の受光量に基づいて被加工物11の外周縁を検出する。切削装置2の制御装置40は、外周縁検出ユニット52で検出した外周縁に基づいて被加工物11の位置を特定できる。
図3は、収容ケース8の構造を模式的に示す分解斜視図である。図3に示すように、収容ケース8は、内部に空間を有する直方体状の本体58を備えている。本体58の一側面は開口されており、内部に被加工物11を挿入できるようになっている。本体58の内部の空間は、複数(本実施形態では5枚)の隔壁プレート60で鉛直方向に区画されており、各領域には、さらに被加工物11を支持する支持プレート62が挿入されている。
支持プレート62は、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aに対応する形状に切り抜かれた切り抜き部62aを有しており、鉛直方向における吸着ハンド18aの通過が許容されている。これにより、本体58の内部に吸着ハンド18aを挿入した状態で、収容ケース8と第1の搬送ユニット18とを鉛直方向に相対的に移動できる。
図4は、仮置きテーブル50、第1の搬送ユニット18、制御装置40等の関係を模式的に示す図である。図4に示すように、仮置きテーブル50の吸着面50aは、第1の吸引経路50bを通じて吸引源64と接続されており、被加工物11は、吸着面50aに作用する吸引源64の負圧で仮置きテーブル50に吸着、保持される。
第1の吸引経路50bには、第1の吸引経路50b内の圧力を測定して、測定結果(第1の測定値)を制御装置40へと送る第1の圧力計50cが配置されている。なお、吸着面50aに作用する負圧は、第1の吸引経路50bに設けられた第1のバルブ(第1の開閉手段)50dによって制御される。
一方、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aは、第2の吸引経路18bを通じて吸引源64と接続されており、被加工物11は、吸着ハンド18aに作用する吸引源64の負圧で第1の搬送ユニット18に吸着、保持される。
第2の吸引経路18bには、第2の吸引経路18b内の圧力を測定して、測定結果(第2の測定値)を制御装置40へと送る第2の圧力計18cが配置されている。吸着ハンド18aに作用する負圧は、第2の吸引経路18bに設けられた第2のバルブ(第2の開閉手段)18dによって制御される。
制御装置40は、各種の情報を記憶する記憶部40aと、被加工物11が仮置きテーブル50(吸着面50a)又は第1の搬送ユニット18(吸着ハンド18a)に吸着されたか否かを判定する比較判定部40bと、を備えている。
記憶部40aには、被加工物11が仮置きテーブル50に吸着されたか否かを判定する際の基準となる第1の基準値と、被加工物11が第1の搬送ユニット18に吸着されたか否かを判定する際の基準となる第2の基準値と、が予め記憶されている。また、記憶部40aには、第1の圧力計50cから送られる第1の測定値と、第2の圧力計18cから送られる第2の測定値と、が記憶される。
第1の基準値は、仮置きテーブル50が被加工物11を正常に吸着した際の圧力値に相当し、比較判定部40bは、第1の測定値を第1の基準値と比較して、例えば、第1の測定値が第1の基準値以下である場合に、被加工物11が仮置きテーブル50に吸着されたと判定する。
また、第2の基準値は、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aが被加工物11を正常に吸着した際の圧力値に相当し、比較判定部40bは、第2の測定値を第2の基準値と比較して、例えば、第2の測定値が第2の基準値以下である場合に、被加工物11が第1の搬送ユニット18に吸着されたと判定する。
図5(A)は、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aが収容ケース8(本体58)の内部に挿入される様子を模式的に示す斜視図であり、図5(B)及び図5(C)は、収容ケース8に収容された被加工物11が吸着ハンド18aで吸着される様子を模式的に示す一部断面側面図である。
収容ケース8に収容された被加工物11を吸着ハンド18aで吸着するには、まず、図5(A)に示すように、搬出対象の被加工物11を支持する支持プレート62と、この支持プレート62の下方に隣接する隔壁プレート60との間に、吸着ハンド18aを挿入する。
次に、図5(B)及び図5(C)に示すように、吸着ハンド18aを収容ケース8に対して上昇させて(吸着ハンド18aに対して収容ケース8を下降させて)、支持プレート62の上方に隣接する本体58の内壁面又は隔壁プレート60に被加工物11を押し当てる。これにより、被加工物11は平坦に矯正されるので、第2のバルブ18dを開いて負圧を作用させれば、反っている被加工物11でも吸着ハンド18aで吸着できる。
図6(A)は、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aが位置検出ユニット6(筐体42)の内部に挿入される様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図6(B)は、被加工物11が仮置きテーブル50に載置される様子を模式的に示す斜視図である。
第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aに吸着された被加工物11を仮置きテーブル50に載置するには、まず、図6(A)に示すように、位置検出ユニット6の筐体42の内部に吸着ハンド18aを挿入する。
仮置きテーブル50の上方に吸着ハンド18aを位置付け、吸着ハンド18aを仮置きテーブル50に対して下降させれば(仮置きテーブル50を吸着ハンド18aに対して上昇させれば)、被加工物11を仮置きテーブル50に載置できる。図6(B)に示すように、本実施形態に係る仮置きテーブル50は、被加工物11より小径に形成されている。
次に、上述した切削装置2で実施される被加工物の受け渡し方法について説明する。第1の搬送ユニット18から仮置きテーブル50へと被加工物11を受け渡す際には、まず、収容ケース8に収容された被加工物11を第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aで吸着して搬出する搬出ステップを実施する。
この搬出ステップでは、上述したように、収容ケース8の内部に挿入した吸着ハンド18aを収容ケース8に対して上昇させ、本体58の内壁面又は隔壁プレート60に被加工物11を押し当てる(図5(A)、図5(B)、図5(C))。次に、第2のバルブ18dを開いて吸着ハンド18aで被加工物11を吸着し、この吸着ハンド18aを収容ケース8から引き出す。以上により、被加工物11は収容ケース8から搬出される。
搬出ステップを実施した後には、仮置きテーブル50による吸引を開始する仮置きテーブル吸引開始ステップ(保持テーブル吸引開始ステップ)を実施する。図7(A)は、仮置きテーブル吸引開始ステップを模式的に示す図である。
仮置きテーブル吸引開始ステップでは、図7(A)に示すように、第1のバルブ50dを開いて、吸着面50aに吸引源64の負圧を作用させる。これにより、仮置きテーブル50による吸引が開始される。なお、この段階で第1の圧力計50cから制御装置40に送られ記憶部40aに記憶される第1の測定値は、記憶部40aに記憶されている第1の基準値より大きくなる。
仮置きテーブル吸引開始ステップを実施した後には、被加工物11を仮置きテーブル50に載置する載置ステップを実施する。図7(B)は、載置ステップを模式的に示す図である。
載置ステップでは、上述したように、仮置きテーブル50の上方に吸着ハンド18aを位置付け、吸着ハンド18aを仮置きテーブル50に対して下降させる(図6(A)、図6(B))。図7(B)に示すように、被加工物11が仮置きテーブル50の吸着面50aに接触すると、第1の吸引経路50bの圧力は低下し始める。
載置ステップを実施した後には、被加工物11が仮置きテーブル50に吸着されたことを確認する第1の確認ステップを実施する。具体的には、比較判定部40bが、記憶部40aに記憶された第1の測定値と第1の基準値とを比較して、第1の測定値が第1の基準値以下の場合に、被加工物11が仮置きテーブル50に吸着されたと判定する。被加工物11が仮置きテーブル50に吸着されたと判定されると、第1の確認ステップは終了する。
第1の確認ステップを実施した後には、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aによる被加工物11の吸着を解除する第1の受け渡しステップを実施する。図7(C)は、第1の受け渡しステップを模式的に示す図である。この第1の受け渡しステップでは、図7(C)に示すように、第2のバルブ18dを閉じて吸着ハンド18aによる被加工物11の吸着を解除する。これにより、被加工物11は、第1の搬送ユニット18から仮置きテーブル50へと受け渡される。
一方で、仮置きテーブル50から第1の搬送ユニット18へと被加工物11を受け渡す際には、まず、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aによる吸引を開始する吸着ハンド吸引開始ステップ(吸着部吸引開始ステップ)を実施する。図8(A)は、吸着ハンド吸引開始ステップを模式的に示す図である。
吸着ハンド吸引開始ステップでは、図8(A)に示すように、第2のバルブ18dを開いて、吸着ハンド18aに吸引源64の負圧を作用させる。これにより、第1の搬送ユニット18の吸着ハンド18aによる吸引が開始される。なお、この段階で第2の圧力計18cから制御装置40に送られ記憶部40aに記憶される第2の測定値は、記憶部40aに記憶されている第2の基準値より大きくなる。
吸着ハンド吸引開始ステップを実施した後には、被加工物11に吸着ハンド18aを接触させて被加工物11を吸着ハンド18aに吸着させる吸着ステップを実施する。図8(B)は、吸着ステップを模式的に示す図である。
吸着ステップでは、仮置きテーブル50の下方に吸着ハンド18aを位置付け、吸着ハンド18aを仮置きテーブル50に対して上昇させる(仮置きテーブル50を吸着ハンド18aに対して下降させる)。図8(B)に示すように、被加工物11が吸着ハンド18aに接触すると、第2の吸引経路18bの圧力は低下し始める。
吸着ステップを実施した後には、被加工物11が吸着ハンド18aに吸着されたことを確認する第2の確認ステップを実施する。具体的には、比較判定部40bが、記憶部40aに記憶された第2の測定値と第2の基準値とを比較して、第2の測定値が第2の基準値以下の場合に、被加工物11が吸着ハンド18aに吸着されたと判定する。被加工物11が吸着ハンド18aに吸着されたと判定されると、第2の確認ステップは終了する。
第2の確認ステップを実施した後には、仮置きテーブル50による被加工物11の吸着を解除する第2の受け渡しステップを実施する。図8(C)は、第2の受け渡しステップを模式的に示す図である。この第2の受け渡しステップでは、図8(C)に示すように、第1のバルブ50dを閉じて仮置きテーブル50による被加工物11の吸着を解除する。これにより、被加工物11は、仮置きテーブル50から第1の搬送ユニット18へと受け渡される。
以上のように、本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法では、受け渡し先(仮置きテーブル(保持テーブル)50又は吸着ハンド(吸着部)18a)による吸引を開始してから被加工物11を受け渡し先に接触させ、被加工物11が受け渡し先に吸着されたことを確認した上で受け渡し元(吸着ハンド18a又は仮置きテーブル50)による被加工物11の吸着を解除するので、被加工物11が反っている場合にも受け渡し先で被加工物11を適切に吸着できる。
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。たとえば、上記実施形態では、被加工物11の下面側を吸着する吸着ハンド(吸着部)18aを用いる被加工物の受け渡し方法について説明しているが、本発明に係る被加工物の受け渡し方法は、被加工物11の上面側を吸着する吸着ハンド(吸着部)を用いて実施することもできる。
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 切削装置(加工装置)
4 基台
4a 切り欠き
4b 開口
6 位置検出ユニット
8 収容ケース(カセット)
10 移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
16 第1のレール
18 第1の搬送ユニット(搬送手段)
18a 吸着ハンド(吸着部)
18b 第2の吸引経路
18c 第2の圧力計
18d 第2のバルブ(第2の開閉手段)
20 第1の支持構造
22 第2のレール
24 第2の搬送ユニット
26 第3のレール
28 第3の搬送ユニット
30 第2の支持構造
32 移動ユニット
34 切削ユニット(加工手段)
36 切削ブレード
38 洗浄ユニット
40 制御装置(制御手段)
40a 記憶部
40b 比較判定部
42 筐体
44 支持台
44a ナット部
46 Z軸ボールネジ
48 Z軸パルスモータ
50 仮置きテーブル(保持テーブル)
50a 吸着面
50b 第1の吸引経路
50c 第1の圧力計
50d 第1のバルブ(第1の開閉手段)
52 外周縁検出ユニット
54 発光部
56 受光部
58 本体
60 隔壁プレート
62 支持プレート
62a 切り抜き部
64 吸引源
11 被加工物

Claims (2)

  1. 板状の被加工物を吸引し吸着する吸着面を備え、該吸着面によって吸着した状態で被加工物を保持する被加工物より径の小さい保持テーブルと、
    被加工物に加工を施す加工手段と、
    被加工物を収容する収容ケースと、
    被加工物を吸引し吸着する吸着部を備え、該収容ケースに収容された被加工物を搬出して該保持テーブルに載置し、該保持テーブルに保持された被加工物を該保持テーブルから搬出する機能を有する搬送手段と、
    各部を制御する制御手段と、を備えた加工装置において、
    該搬送手段と該保持テーブルとの間で被加工物を受け渡す際に適用される被加工物の受け渡し方法であって、
    該搬送手段から該保持テーブルへと被加工物を受け渡す際には、
    該収容ケースに収容された被加工物を該吸着部によって吸着して搬出する搬出ステップと、
    該保持テーブルによる吸引を開始する保持テーブル吸引開始ステップと、
    該搬出ステップによって搬出した被加工物を該保持テーブルに載置して吸着させる載置ステップと、
    該載置ステップで該保持テーブルに載置された被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認する第1の確認ステップと、
    該第1の確認ステップで被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認した後に該吸着部による被加工物の吸着を解除する第1の受け渡しステップと、を実施し、
    該保持テーブルから該搬送手段へと被加工物を受け渡す際には、
    該吸着部による吸引を開始する吸着部吸引開始ステップと、
    該保持テーブルに保持された被加工物に該吸着部を接触させて被加工物を該吸着部に吸着させる吸着ステップと、
    該吸着ステップで該吸着部に接触した被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認する第2の確認ステップと、
    該第2の確認ステップで被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認した後に該保持テーブルによる被加工物の吸着を解除する第2の受け渡しステップと、を実施することを特徴とする被加工物の受け渡し方法。
  2. 該保持テーブルは、
    負圧を発生する吸引源と該吸着面とを繋ぐ第1の吸引経路と、
    該第1の吸引経路に配設され該第1の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第1の圧力計と、
    該第1の吸引経路を開閉する第1の開閉手段と、を備え、
    該搬送手段は、
    負圧を発生する吸引源と該吸着部とを繋ぐ第2の吸引経路と、
    該第2の吸引経路に配設され該第2の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第2の圧力計と、
    該第2の吸引経路を開閉する第2の開閉手段と、を備え、
    該制御手段は、
    該保持テーブルが被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第1の基準値として記憶し、該吸着部が被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第2の基準値として記憶するとともに、該第1の圧力計から送られる第1の測定値と該第2の圧力計から送られる第2の測定値とを記憶する記憶手段と、
    該第1の測定値を該第1の基準値と比較し、該第2の測定値を該第2の基準値と比較する比較判定部と、を備え、
    該第1の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第1の測定値が該第1の基準値以下である場合に、被加工物が該保持テーブルに吸着されたと判定し、
    該第2の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第2の測定値が該第2の基準値以下である場合に、被加工物が該吸着部に吸着されたと判定することを特徴とする請求項1に記載の被加工物の受け渡し方法。
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