JP2013162048A - 板状物処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】板状物や搬出入手段の損傷を抑制することができる板状物処理装置を提供すること。
【解決手段】 収容カセット６０がカセット載置台７０に載置されると、通電ケーブル６７と通電手段７１とが電気的に接続され、光電センサ６６の発光部６６ａに電力が供給されるとともに、送信ケーブル６８と受信手段７２とが電気的に接続され、受光部６６ｂからの光量に応じた出力値Ｖの信号が制御装置１１０に出力される。制御装置１１０は、受信手段７２からの信号に基づいて受光部６６ｂが受光する光量を検出し、板状物Ｗが一対のガイドレール６４と、一対のガイドレール６４とは異なる一対のガイドレール６４に跨って斜めに収容されることで、発光部６６ａから照射された光Ｌｎが板状物Ｗによって遮断され、所定値ＶＴ以下の出力値を検出したと判断すると、報知装置１２０より報知を発する。
【選択図】図６

Description

本発明は、ウェーハ単体または粘着テープで環状フレームと一体となったウェーハを含む板状物を複数枚収納するための収納カセットを備える板状物処理装置に関するものである。

切削装置や研削装置は、ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハに対して切削加工や研削加工を施すための切削ブレードや研削ホイール等の加工手段を備えている。ウェーハは、収容カセットに複数枚収容された状態から加工手段まで搬送される。収容カセットは、１枚のウェーハを収容する収容部を複数備えるとともに、収容部にウェーハを搬出入可能とする開口部を前面に有している。具体的には、各収容部は、収容されるウェーハの外周部のみを支持するように対向する一対の側壁の内面に形成された複数対の収容棚から形成される。ウェーハは、装置内の搬出入手段により収容棚から装置内に搬出され、切削加工、研削加工などが行われ、加工終了後には搬出入手段により再度収容カセット内に搬入される。

特開２００３−１１００１４号公報

ところで、切削装置や研削装置で、収容カセットにウェーハを収容する際に、ウェーハを段違いの収容棚に跨って挿入しやすいという問題がある。ウェーハが段違いの収容棚に跨って収容されると、跨って収容されるウェーハや、ウェーハが跨って収容されている段違いの収容棚と隣接する収納棚に収容されるウェーハを搬出入手段により搬出する際に、円滑な搬出動作ができなかったり、搬出動作ができたとしても、搬出するウェーハや搬出入手段を損傷したりする虞がある。また、段違いの収容棚に跨っているウェーハは、本来他のウェーハが搬入される収容棚も使用していることとなり、搬出入手段がこの収容棚にウェーハを搬入しようすると、跨っているウェーハおよび搬入しようとするウェーハの双方を損傷する虞がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、板状物や搬出入手段の損傷を抑制することができる板状物処理装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、ウェーハ単体または粘着テープで環状フレームと一体となったウェーハを含む板状物を収容するための収容カセットと、前記収容カセットを載置するカセット載置台と、前記収容カセットに対して前記板状物を搬出入する搬出入手段と、前記搬出入手段で搬出された前記板状物を処理する板状物処理手段と、を備える板状物処理装置であって、前記収容カセットは、天井部と、底部と、前記天井部と前記底部とにより連結される一対の側壁と、前記板状物が搬出入される開口部と、前記一対の側壁の内側に前記天井部から前記底部まで所定の間隔で形成された前記板状物を支持する複数組の一対のガイドレールと、前記一対のガイドレールの一方に配設された発光部と、他方に配設され前記発光部から照射された光を受光する受光部とからなる光電センサと、前記発光部側の側壁に沿って配設され、前記発光部に通電する通電ケーブルと、前記受光部側の側壁に沿って配設され、前記受光部からの信号を送信する送信ケーブルとを備え、前記カセット載置台は、前記収容カセットが載置されると、前記通電ケーブルと電気的に接続され、前記発光部に電力を供給する通電手段と、前記収容カセットが載置されると、前記送信ケーブルと電気的に接続され、前記信号を受信する受信手段とを備え、前記受信手段からの前記信号に基づいて前記受光部が受光する光量を検出する検出手段と、前記検出手段により前記板状物が前記一対のガイドレールと、前記一対のガイドレールとは異なる一対のガイドレールに跨って斜めに収容されることで、前記発光部から照射された光を前記板状物によって遮断して、所定光量以下の光量を検出した場合に、報知を発する報知手段とを備えることを特徴とする。

本発明の板状物処理装置は、板状物が一対のガイドレールとは異なる他の一対のガイドレールに跨って斜めに収容されると、発光部から照射された光を板状物によって遮断して、検出手段が所定光量以下の光量を検出することになり、報知が発せられるので、板状物や搬出入手段の損傷を未然に防ぐことができ、板状物や搬出入手段の損傷を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、板状物処理装置の構成例を示す図である。 図２は、収容カセットの構成例を示す図である。 図３は、カセット載置台の構成例を示す図である。 図４は、板状物の収容異常検出方法のフロー図である。 図５は、板状物が正常収容された収容カセットの載置状態を示す図である。 図６は、板状物が異常収容された収容カセットの載置状態を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態〕
図１は、板状物処理装置の構成例を示す図である。図２は、収容カセットの構成例を示す図である。図３は、カセット載置台の構成例を示す図である。実施形態に係る板状物処理装置１は、切削装置であり、図１に示すように、板状物Ｗを保持したチャックテーブル１０と、切削ブレード２１を有する板状物処理手段２０とを相対移動させることで、板状物Ｗを切削する切削加工を行うものである。板状物処理装置１は、板状物処理手段２０と、収容カセット６０と、カセット載置台７０と、搬出入手段８０と、検出手段としても機能する制御装置１１０と、報知装置１２０とを含み、本実施形態では、さらにチャックテーブル１０と、撮像手段３０と、図示しないＸ軸移動手段と、Ｙ軸移動手段４０と、Ｚ軸移動手段５０と、仮置き手段９０と、洗浄・乾燥手段１００とを含んで構成されている。

ここで、板状物Ｗは、板状物処理装置１により処理、すなわち切削加工される加工対象であり、本実施形態ではシリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする半導体ウェーハや、ガラス、樹脂等からなる板状部材である。板状物Ｗは、本実施形態では、デバイスが複数形成されているデバイス側の表面と反対側の裏面に粘着テープＴが貼着され、板状物Ｗに貼着された粘着テープＴに環状フレームＦが貼着されることで、環状フレームＦと一体となっている。なお、板状物Ｗは、環状フレームＦと一体になっているものに限られず、ウェーハ単体であってもよい。

チャックテーブル１０は、板状物Ｗを保持するものである。チャックテーブル１０は、表面に載置された板状物Ｗを吸引することで、板状物Ｗの表面を露出させた状態で保持するものである。なお、チャックテーブル１０は、テーブル移動基台２に着脱可能に固定されている。また、チャックテーブル１０の周囲には、クランプ部１１が設けられており、クランプ部１１がエアーアクチュエータにより駆動することで、板状物Ｗの周囲の環状フレームＦを挟持する。

板状物処理手段２０は、搬出入手段８０で搬出された板状物Ｗを処理するものであり、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗに対して切削加工を行うものである。板状物処理手段２０は、切削ブレード２１と、スピンドル２２、ハウジング２３とを含んで構成されている。切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石であり、高速回転することで板状物Ｗに切削加工を施すものである。切削ブレード２１は、スピンドル２２に着脱自在に装着される。スピンドル２２は、円筒形状のハウジング２３に回転自在に支持され、ハウジング２３に連結されている図示しないブレード駆動源に連結されている。切削ブレード２１は、ブレード駆動源により発生した回転力により高速回転（数千〜数万ｒｐｍ）する。なお、切削加工は、切削液供給装置２４から切削液が切削ブレード２１と、板状物Ｗとの間に供給された状態で行われる。

撮像手段３０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗの表面を撮像するためのものである。撮像手段３０は、板状物処理手段２０に対して所定の位置関係となるように、板状物処理手段２０が支持されている支持部３に取り付けられている。撮像手段３０は、ボックス３２内に配設された顕微鏡３１に、板状物Ｗの表面からの反射光が入射されることで、保持された板状物Ｗの表面の画像データを生成し、制御装置１１０が生成された画像データに基づいて、板状物処理手段２０と板状物Ｗとの相対位置を調整するアライメント調整を行うために用いられる。

Ｘ軸移動手段は、切削ブレード２１に対してチャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを板状物処理装置１におけるＸ軸方向に相対移動させるものである。Ｘ軸移動手段は、図示しないＸ軸パルスモータにより発生した回転力により、テーブル移動基台２を図示しないＸ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体４に対してＸ軸方向に移動させる。ここで、テーブル移動基台２は、テーブル移動基台２の中心軸線を中心とする板状物処理装置１におけるθ方向に回転自在に支持されている。テーブル移動基台２の下方には、図示しないチャックテーブル回転源を有しており、チャックテーブル回転源が発生した回転力により、チャックテーブル１０をθ方向に任意の角度、例えば９０度回転や連続回転することができ、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを切削ブレード２１に対してチャックテーブル１０の中心軸線を中心に任意の角度回転や連続回転などの回転駆動させることができる。

Ｙ軸移動手段４０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗに対して切削ブレード２１を板状物処理装置１におけるＹ軸方向に相対移動させるものである。Ｙ軸移動手段４０は、Ｙ軸パルスモータ４１により発生した回転力により、板状物処理手段２０を図示しないＹ軸ガイドレールによりガイドしつつ、装置本体４に対してＹ軸方向に移動させる。

Ｚ軸移動手段５０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗに対して切削ブレード２１を板状物処理装置１におけるＺ軸方向に相対移動させるものである。Ｚ軸移動手段５０は、Ｚ軸パルスモータ５１により発生した回転力により、板状物処理手段２０をＺ軸ガイドレール５２ａ、５２ｂによりガイドしつつ、装置本体４に対してＺ軸方向に移動させる。

収容カセット６０は、板状物Ｗを１枚ずつ収容することで、複数の板状物Ｗを収容することができるものであり、カセット載置台７０に着脱自在に形成されている。収容カセット６０は、天井部６１と、底部６２と、一対の側壁６３と、複数組の一対のガイドレール６４と、光電センサ６６と、通電ケーブル６７と、送信ケーブル６８とを含んで構成されている。一対の側壁６３、すなわち第１側壁６３ａ、第２側壁６３ｂは、上端部が天井部６１と連結されており、下端部が底部６２と連結されている。また、収容カセット６０は、収容カセット６０をカセット載置台７０に載置した状態（以下、単に「カセット載置状態」と称する）において、搬出入手段８０と対向する側に開口部６９が形成されている。

一対のガイドレール６４は、一対の側壁６３の内側、すなわち第１側壁６３ａ、第２側壁６３ｂがそれぞれ対向する側に天井部６１から底部６２まで所定の間隔で複数組形成されている。一対のガイドレール６４は、第１側壁６３ａに設けられた第１ガイドレール６４ａと、第２側壁６３ｂに設けられた第２ガイドレール６４ｂとにより構成されており、板状物Ｗを支持、本実施形態では、環状フレームＦを支持することで、１枚の板状物Ｗを収容するものである。第１ガイドレール６４ａは、第１側壁６３ａの第２側壁６３ｂと対向する面から第２側壁６３ｂ側に向かって突出して形成され、第１側壁６３ａの開口部６９側端部から開口部６９と反対側の端部まで延在して形成されている。第２ガイドレール６４ｂは、第２側壁６３ｂの第１側壁６３ａと対向する面から第１側壁６３ａ側に向かって突出して形成され、第２側壁６３ｂの開口部６９側端部から開口部６９と反対側の端部まで延在して形成されている。また、一対のガイドレール６４は、収容された板状物Ｗが開口部６９側と反対側から落下しないように、板状物Ｗが開口部６９側と反対側に移動することを規制する規制部６５が形成されている。規制部６５は、第１ガイドレール６４ａの開口部６９側と反対側の端部近傍から上方に突出して形成された第１規制部６５ａと、第２ガイドレール６４ｂの開口部６９側と反対側の端部近傍から上方に突出して形成された第２規制部６５ｂとにより構成されている。ここで、所定の間隔とは、搬出入手段８０が収容カセット６０に対して板状物Ｗの搬出入を行う際に、一対のガイドレール６４に隣り合う一対のガイドレール６４に収容された板状物Ｗに少なくとも干渉しない間隔である。なお、収容カセット６０には、一対の側壁６３のうち、いずれかの一方に、各一対のガイドレール６４に収容された板状物Ｗが収容カセット６０の搬送時に開口部６９から落下しないように、板状物Ｗが開口部６９側に移動することを規制する図示しないストッパー機構が設けられている。ストッパー機構は、収容カセット６０の搬送時に、板状物Ｗが開口部６９側に移動することを規制し、カセット載置台７０に収容カセット６０を載置した時に、板状物Ｗが開口部６９側に移動することを許容する動作を行うことができるものである。

光電センサ６６は、板状物Ｗが収容カセット６０に異常収容されたことを検出するためのセンサであり、各一対のガイドレール６４にそれぞれ対応して設けられ、発光部６６ａと、受光部６６ｂとにより構成されている。発光部６６ａは、一対のガイドレール６４のうち一方である第１ガイドレール６４ａ、本実施形態では、第１ガイドレール６４ａの内部に配設されている。発光部６６ａは、照射された光を受光部６６ｂが受光できるように、第１ガイドレール６４ａのうち、第２ガイドレール６４ｂに対向する面から発光面が露出して配設されている。受光部６６ｂは、一対のガイドレール６４のうち他方である第２ガイドレール６４ｂ、本実施形態では、第２ガイドレール６４ｂの内部に配設されている。受光部６６ｂは、発光部６６ａが照射した光を受光できるように、第２ガイドレール６４ｂのうち、第１ガイドレール６４ａに対向する面から受光面が露出して配設されている。光電センサ６６は、第１ガイドレール６４ａから対となる第２ガイドレール６４ｂまで光を照射して、照射された光を受光し、光量に応じた出力値（例えば、電圧値）の信号を出力する。なお、光電センサ６６は、各一対のガイドレール６４に１つ以上配設されていればよく、板状物Ｗの異常収容を精度良く検出するためには、各一対のガイドレール６４に対して複数配設されている事が好ましい。

通電ケーブル６７は、発光部６６ａ側の側壁、すなわち第１側壁６３ａに沿って配設され、各発光部６６ａに通電するものである。通電ケーブル６７は、本実施形態では、第１側壁６３ａの内部に配設されており、一方の端部が各発光部６６ａと電気的に接続されており、他方の端部がカセット側通電端子６７ａと電気的に接続されている。カセット側通電端子６７ａは、第１側壁６３ａの底面から露出し、カセット載置状態で、後述する通電手段７１の載置台側通電端子７１ａと電気的に接続できる位置に形成されている。

送信ケーブル６８は、受光部６６ｂ側の側壁に、すなわち第２側壁６３ｂに沿って配設され、各受光部６６ｂからの信号を送信するものである。つまり、送信ケーブル６８は、すべての受光部６６ｂが受光した光量に基づいた出力値の信号を送信することとなる。送信ケーブル６８は、本実施形態では、第２側壁６３ｂの内部に配設されており、一方の端部が各受光部６６ｂと電気的に接続されており、他方の端部が送信端子６８ａと電気的に接続されている。送信端子６８ａは、第２側壁６３ｂの底面から露出し、カセット載置状態で、後述する受信手段７２の受信端子７２ａと電気的に接続できる位置に形成されている。

カセット載置台７０は、収容カセット６０を載置するものであり、装置本体４の内部に形成された空間部をＺ軸方向において昇降自在に構成されている。カセット載置台７０は、通電手段７１と、受信手段７２とを含んで構成されている。ここで、収容カセット６０とカセット載置台７０との間には、カセット載置台７０に対する収容カセット６０の位置決めを行う図示しない位置決め機構が設けられている。位置決め機構は、例えば、収容カセット６０およびカセット載置台７０のうち、一方に設けられた複数のピンと、他方に設けられた各ピンに対応するピン受けとで構成されている。

通電手段７１は、図３に示すように、カセット載置状態で、通電ケーブル６７と電気的に接続され、各発光部６６ａに電力を供給するものである。通電手段７１は、本実施形態では、カセット載置台７０の内部に配設されており、載置台側通電端子７１ａを含んで構成されている。載置台側通電端子７１ａは、制御装置１１０と電気的に接続されており、制御装置１１０を介して図示しない電源と接続されている。

受信手段７２は、図３に示すように、カセット載置状態で、送信ケーブル６８と電気的に接続され、各受光部６６ｂからの信号を受信するものである。受信手段７２は、本実施形態では、カセット載置台７０の内部に配設されており、受信端子７２ａを含んで構成されている。受信端子７２ａは、制御装置１１０と電気的に接続されており、受信手段７２が受信した信号は、制御装置１１０に入力される。

搬出入手段８０は、図１に示すように、収容カセット６０に対して板状物Ｗを搬出入するものであり、収容カセット６０に収容された加工前の板状物Ｗを処理領域（板状物処理手段２０により板状物Ｗを処理できる領域）まで搬送するために搬出し、板状物処理手段２０により加工された板状物Ｗを収容カセット６０に搬入するものである。搬出入手段８０は、本実施形態では、収容カセット６０と仮置き手段９０との間で板状物Ｗの搬送を行うものである。

仮置き手段９０は、一対のレール９１を有し、一対のレール９１上に加工前後の板状物Ｗを一時的に載置するものである。洗浄・乾燥手段１００は、スピンナテーブル１０１を有し、加工後の板状物Ｗが載置され、保持される。スピンナテーブル１０１は、装置本体４に収納されている図示しないスピンナテーブル駆動源と連結されている。洗浄・乾燥手段１００は、スピンナテーブル１０１に板状物Ｗが保持されると、スピンナテーブル駆動源が発生する回転力により、板状物Ｗを回転させ、図示しない洗浄液噴射装置から板状物Ｗに対して洗浄液を噴射することで洗浄し、洗浄後の板状物Ｗに対して図示しない気体噴射装置から気体を噴射することで乾燥させる。

制御装置１１０は、板状物処理装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御するものである。制御装置１１０は、切削ブレード２１を高速回転させ、チャックテーブル１０と切削ブレード２１とをＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、θ方向において相対移動させることで、板状物Ｗに対する切削加工を板状物処理手段２０に行わせるものである。また、制御装置１１０は、受光部６６ｂが受光した光量、本実施形態では、受光部６６ａが受光した光量に基づいた出力値を検出する検出手段としても機能する。制御装置１１０は、受光部６６ａが受光した光量が所定光量以下、本実施形態では、受光部６６ａが受光した光量に基づいた出力値が所定値以下であると判断すると、報知装置１２０に報知指令を出力する。なお、制御装置１１０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、板状物処理装置１の加工動作の状態を表示する表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。

報知装置１２０は、報知手段であり、制御装置１１０により所定光量以下の光量を検出した場合に、報知を発することで、オペレータに板状物Ｗが収容カセット６０に異常収容されていることを認識させるものである。報知装置１２０は、制御装置１１０と電気的に接続されており、出力値が所定値以下であると判断して制御装置１１０から出力された報知指令に基づいて報知を発する。報知の具体的方法は、音、光、振動など、人間が五感で感知することができればいずれの方法であってもよい。

ここで、板状物処理装置１の基本的動作について説明する。オペレータが加工内容情報を登録し、加工前の板状物Ｗが複数枚収容された収容カセット６０をカセット載置台７０に載置してあり、加工動作の開始指示があった場合に、切削加工動作を開始する。切削加工動作において、板状物Ｗは、搬出入手段８０により収容カセット６０から仮置き手段９０まで搬出され、仮置き手段９０の一対のレール９１上に載置された後、図示しない搬送手段によりチャックテーブル１０まで搬送され、チャックテーブル１０に保持される。

次に、アライメント調整が行われる。アライメント調整では、制御装置１１０は、板状物Ｗを保持したチャックテーブル１０を撮像位置までＸ軸方向に移動させ、撮像手段３０により保持された板状物Ｗの表面を撮像し、撮像した画像に基づいて、保持された板状物Ｗの板状物処理手段２０に対する相対位置を調整する。

次に、制御装置１１０は、撮像位置の板状物Ｗを保持したチャックテーブル１０を加工位置までＸ軸方向に移動し、加工内容情報に基づいて、板状物Ｗを分割予定ラインに沿って切削し複数のデバイスをそれぞれ小片化するための分割加工や板状物Ｗの外周を周方向に切削し、板状物Ｗの外周の一部を除去する加工などを実行する。切削加工が行われた板状物Ｗは、図示しない搬送手段によりチャックテーブル１０から洗浄・乾燥手段１００まで搬送され、洗浄・乾燥手段１００により洗浄・乾燥された後、図示しない搬送手段により仮置き手段９０まで搬送され、搬出入手段８０により仮置き手段９０から収容カセット６０に搬入され、収容カセット６０に再び収容される。

次に、本実施形態に係る板状物処理装置１による板状物Ｗの収容異常検出方法について説明する。図４は、板状物の収容異常検出方法のフロー図である。図５は、板状物が正常収容された収容カセットの載置状態を示す図である。図６は、板状物が異常収容された収容カセットの載置状態を示す図である。

まず、図４に示すように、収容カセット６０をカセット載置台７０に載置する（ステップＳＴ１）。ここでは、オペレータは、加工前の板状物Ｗが複数枚収容された収容カセットをカセット載置台７０に載置する。

次に、カセット載置状態となると、通電ケーブル６７と通電手段７１とが電気的に接続され、送信ケーブル６８と受信手段７２とが電気的に接続される（ステップＳＴ２）。ここでは、図５に示すように、位置決め機構によりカセット載置台７０に対する収容カセット６０の位置決めが行われているので、収容カセット６０がカセット載置台７０に載置されると、カセット側通電端子６７ａと載置台側通電端子７１ａとが電気的に接触するとともに、送信端子６８ａと受信端子７２ａとが電気的に接触する。なお、カセット載置状態における端子同士の接触を維持するために、例えば磁力による吸引によって端子同士の接触を維持してもよいし、収容カセット６０側の端子６７ａ、６８ａ、あるいはカセット載置台７０側の端子７１ａ，７２ａのうち、一方の端子が他方の端子を押圧した状態で接触を維持できるように押圧機構を設けてもよい。

次に、図４に示すように、光電センサ６６が駆動される（ステップＳＴ３）。ここでは、各発光部６６ａに通電ケーブル６７および通電手段７１を介して電力が供給されることで、図５に示すように、各発光部６６ａが対向する各受光部６６ｂに向けて光Ｌを照射する。また、各受光部６６ｂは、受光した光量に応じた出力値の信号を送信ケーブル６８および受信手段７２を介して制御装置１１０に出力する。

次に、制御装置１１０は、図４に示すように、出力値Ｖが所定値ＶＴ以下であるか否かを判断する（ステップＳＴ４）。ここで、所定値ＶＴとは、例えばすべての受光部６６ｂが発光部６６ａから照射された光Ｌを受光できた際の光量と、１つの受光部６６ｂを除き、他の受光部６６ｂが発光部６６ａから照射された光Ｌを受光できた際の光量との間に設定された所定光量に基づいた値である。つまり、制御装置１１０は、所定光量以下の光量を検出したか否かを判断する。図５に示すように、各一対のガイドレール６４に対して、板状物Ｗがすべて正常に収容されている場合、各発光部６６ａから照射された光Ｌは、板状物Ｗにより遮断されず、すべて対応する各受光部６６ｂにより受光されることとなるので、出力値Ｖが所定値ＶＴを超える。一方、図６に示すように、一部の板状物Ｗが一対のガイドレール６４と、この一対のガイドレール６４とは異なる一対のガイドレール６４に跨って、本実施形態では、最上段の一対のガイドレール６４の第１ガイドレール６４ａと、１つ下の段の一対のガイドレール６４の第２ガイドレール６４ｂとに跨って斜めに収容されると、最上段の一対のガイドレール６４に対応する光電センサ６６の発光部６６ａから照射された光Ｌｎは、斜めに収容された板状物Ｗによって遮断され、受光部６６ｂが光を受光することができないので、出力値Ｖが所定値ＶＴ以下となる。

次に、制御装置１１０は、出力値Ｖが所定値ＶＴ以下であると判断する（ステップＳＴ４肯定）と、所定光量以下の光量を検出したと判断し、異常収容であると検出し（ステップＳＴ５）、報知装置１２０に報知指令を出力し、報知装置１２０が報知を発する（ステップＳＴ６）。なお、出力値Ｖが所定値ＶＴ以下でないと判断する（ステップＳＴ４否定）と、出力値Ｖが所定値ＶＴ以下となるまで、ステップＳＴ４を繰り返す。

以上のように、本実施形態に係る板状物処理装置１では、板状物Ｗが一対のガイドレール６４とは異なる他の一対のガイドレール６４に跨って斜めに、すなわち２つの一対のガイドレール６４に段違いで収容されることで、一対のガイドレール６４に対応する発光部６６ａから照射された光が板状物Ｗによって遮断され、受光部６６ｂの光量が低下して、制御装置１１０が所定光量以下の光量を検出することになり、報知装置１２０が報知を発するので、オペレータは収容カセット６０をカセット載置台７０に載置した際に、板状物Ｗの一部が斜めに収容されている異常収容を即座に認識することができる。従って、収容カセット６０の異常収容を認識したオペレータは、異常収容を気がつかないまま、板状物処理装置１による板状物Ｗの処理を開始することはないので、オペレータが収容カセット６０に板状物Ｗを収容した際、板状物Ｗの一部が異常収容されていても、板状物Ｗや搬出入手段８０の損傷を未然に防ぐことができ、板状物Ｗや搬出入手段８０の損傷を抑制することができる。

また、板状物Ｗの収容異常検出方法は、板状物処理装置１による板状物Ｗの処理中も実行されているので、搬出入手段８０が加工済みの板状物Ｗを収容カセット６０に異常収容した場合も、報知装置１２０により報知が発せられる。従って、搬出入手段８０による搬出入動作に起因する板状物Ｗや搬出入手段８０の損傷を未然に防ぐことができ、板状物Ｗや搬出入手段８０の損傷を抑制することができる。なお、この場合は、制御装置１１０が所定光量以下の光量を検出することで、制御装置１１０が板状物Ｗの処理を中断することが好ましい。

なお、上記実施形態では、２以上の位置決め機構のピンとピン受けをそれぞれ収容カセット６０側の端子６７ａ，６８ａおよびカセット載置台７０側の端子７１ａ，７２ａとしてもよい。この場合は、新たに端子６７ａ，６８ａ，７１ａ，７２ａを設けることなく、光電センサ６６をカセット載置状態で駆動することができる。また、収容カセット６０の自重により、ピンとピン受けの接触は維持されるので、端子同士の接触を容易に維持することができる。

また、上記実施形態では、板状物処理装置１を切削装置として説明したが、研削装置などであっても良い。また、通電ケーブル６７、送信ケーブル６８、通電手段７１、受信手段７２は、一対の側壁６３およびカセット載置台７０の外周面に沿って配設されていてもよい。

また、上記実施形態では、送信ケーブル６７および受信手段７２は、受光部６６ｂごとに設けられていてもよく、この場合は、制御装置１１０に各受光部６６ｂにそれぞれ対応する信号が出力され、制御装置１１０は、受光部６６ｂごとに所定光量以下の光量であるか否かを判断してもよい。これにより、異常収容された板状物Ｗにより光が遮断された光電センサ６６を特定することができるので、オペレータに正確な報知を発することができる。

１ 板状物処理装置
１０ チャックテーブル
２０ 板状物処理手段
３０ 撮像手段
４０ Ｙ軸移動手段
５０ Ｚ軸移動手段
６０ 収容カセット
６１ 天井部
６２ 底部
６３ 一対の側壁
６３ａ 第１側壁
６３ｂ 第２側壁
６４ 一対のガイドレール
６４ａ 第１ガイドレール
６４ｂ 第２ガイドレール
６５ 規制部
６６ 光電センサ
６６ａ 発光部
６６ｂ 受光部
６７ 通電ケーブル
６７ａ カセット側通電端子
６８ 送信ケーブル
６８ａ 送信端子
７０ カセット載置台
７１ 通電手段
７１ａ 載置台側通電端子
７２ 受信手段
７２ａ 受信端子
８０ 搬出入手段
９０ 仮置き手段
１００ 洗浄・乾燥手段
１１０ 制御装置（検出手段）
１２０ 報知装置（報知手段）
Ｗ 板状物

Claims (1)

1. ウェーハ単体または粘着テープで環状フレームと一体となったウェーハを含む板状物を収容するための収容カセットと、前記収容カセットを載置するカセット載置台と、前記収容カセットに対して前記板状物を搬出入する搬出入手段と、前記搬出入手段で搬出された前記板状物を処理する板状物処理手段と、を備える板状物処理装置であって、
   前記収容カセットは、
   天井部と、底部と、前記天井部と前記底部とにより連結される一対の側壁と、前記板状物が搬出入される開口部と、
   前記一対の側壁の内側に前記天井部から前記底部まで所定の間隔で形成された前記板状物を支持する複数組の一対のガイドレールと、
   前記一対のガイドレールの一方に配設された発光部と、他方に配設され前記発光部から照射された光を受光する受光部とからなる光電センサと、
   前記発光部側の側壁に沿って配設され、前記発光部に通電する通電ケーブルと、
   前記受光部側の側壁に沿って配設され、前記受光部からの信号を送信する送信ケーブルとを備え、
   前記カセット載置台は、前記収容カセットが載置されると、前記通電ケーブルと電気的に接続され、前記発光部に電力を供給する通電手段と、前記収容カセットが載置されると、前記送信ケーブルと電気的に接続され、前記信号を受信する受信手段とを備え、
   前記受信手段からの前記信号に基づいて前記受光部が受光する光量を検出する検出手段と、
   前記検出手段により前記板状物が前記一対のガイドレールと、前記一対のガイドレールとは異なる一対のガイドレールに跨って斜めに収容されることで、前記発光部から照射された光を前記板状物によって遮断して、所定光量以下の光量を検出した場合に、報知を発する報知手段とを備えることを特徴とする板状物処理装置。

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