JPH08102484A

JPH08102484A - 基板有無検知装置

Info

Publication number: JPH08102484A
Application number: JP23765194A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Shimaji; 克己嶋治; Yasumasa Shima; 泰正志摩; Satoshi Taniguchi; 訓谷口; Masashi Nakayama; 正志中山
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-09-30
Filing date: 1994-09-30
Publication date: 1996-04-16

Abstract

(57)【要約】【目的】基板の有無を検知するために特別の時間を必
要とすることなく簡単な構成でカセット内の全ての棚に
おける基板の有無を検知することが可能な基板有無検知
装置を提供すること。【構成】移動部材１２は、複数の棚６ｃが配列されて
いるカセット６の開口６ａに対して進退自在である。フ
ォトセンサ８は、カセット６内の棚６ｃに応じた配置間
隔で移動部材１２に固定され、移動部材１２がカセット
６の開口６ｃ側に前進した場合に、各棚６ｃ上の基板４
の有無を検出する。したがって、搬送ロボットに搬送動
作を開始させる前に予め搬送ロボットに基板の有無を検
出させるための走査が必要でなくなる。したがって、こ
のような走査によって搬送ロボットの本来の搬送動作が
中断してロスタイムが生じるといったことを防止でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や液晶
基板製造装置などに用いられる基板有無検知装置であっ
て、多数の基板を収納可能なカセット内の各棚に基板が
収納されているか否かを検出する基板有無検知装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、スクラバ、コータ、オーブンなど
の処理装置において、処理されるべき多数の基板が収納
されたカセットが載置され、カセットから基板を１枚ず
つ取り出して処理装置に渡すローダや、処理装置におい
て処理された基板を１枚ずつ受け取って空カセットに収
容するアンローダは種々知られている。また、これらロ
ーダ・アンローダを一体化して未処理基板をカセットか
ら取り出し処理済基板をカセットに入れるインデクサも
知られている。このような装置において、カセットから
の未処理基板の搬出及びカセットへの処理済基板の搬入
にはロボットが用いられる。

【０００３】ここで、ローダ用カセットの全ての棚に未
処理基板が収納されているとは限らず、またアンローダ
用カセットの全ての棚には基板が入っていないとも限ら
ないので、各カセットの各棚における基板の有無を検出
する必要がある。そこで、従来、基板の搬入・搬出を行
う搬送ロボットのハンドにセンサを取り付け、搬送ロボ
ットが基板の搬送動作を実行する前に予め各カセットの
全棚を走査し、各棚における基板の有無を検知すること
が行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、搬送ロボットが基板の搬送という本来の
機能を達成する動作以外にカセットの棚の走査という動
作を行わねばならず、この動作によるロスタイムが生じ
てしまう。

【０００５】そこで、本発明は、基板の有無を検知する
ために特別の時間を必要とすることなく簡単な構成でカ
セット内の全ての棚における基板の有無を検知すること
が可能な基板有無検知装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】また、本発明は、対応しない棚に段違いで
収納されている基板を識別し得る基板有無検知装置を提
供することを目的とする。

【０００７】また、本発明は、基板の光学的特性をも判
定し得る基板有無検知装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の基板有無検知装置は、カセット内に
おける基板の有無を検知する基板有無検知装置におい
て、基板収納位置が複数配列されているカセットの開口
に対して進退自在である移動部材と、カセット内の各基
板収納位置に応じた配置で移動部材に固定され、移動部
材がカセットの開口側に前進した場合に、各基板収納位
置における基板の有無を検出するセンサとを有すること
を特徴とする。

【０００９】また、請求項２記載の基板有無検知装置
は、カセットの開口が、カセット内の基板の整列用に形
成された基板整列用開口であり、移動部材が、カセット
内の基板を押圧してカセット内の基板を整列させる基板
押圧部材であることを特徴とする。

【００１０】また、請求項３記載の基板有無検知装置
は、基板押圧部材が、カセット内に収納された多数の基
板を同一方向に押圧することによって多数の基板の整列
を行うことを特徴とする。

【００１１】また、請求項４記載の基板有無検知装置
は、基板押圧部材の押圧方向と相対する方向にカセット
内に収納された多数の基板を押圧する基板整列部材を有
することを特徴とする。

【００１２】また、請求項５記載の基板有無検知装置
は、基板整列部材にもカセット内の各基板収納位置にお
ける基板の有無を検出するセンサが固定されていること
を特徴とする。

【００１３】また、請求項６記載の基板有無検知装置
は、センサが、光学的に基板の有無を検出することを特
徴とする。

【００１４】

【作用】請求項１の基板有無検知装置では、センサが、
カセット内の各基板収納位置に応じた配置で移動部材に
固定され、移動部材がカセットの開口側に前進した場合
に、各基板収納位置における基板の有無を検出するの
で、搬送ロボットに搬送動作を開始させる前に予め搬送
ロボットに基板の有無を検出させるための走査が必要で
なくなる。したがって、このような走査によって搬送ロ
ボットの本来の搬送動作が中断してロスタイムが生じる
といったことを防止できる。

【００１５】請求項２の基板有無検知装置では、カセッ
トの開口が、カセット内の基板の整列用に形成された基
板整列用開口であり、移動部材が、カセット内の基板を
押圧してカセット内の基板を整列させる基板押圧部材で
あるので、センサを移動させる専用の移動部材を特別に
設ける必要がなくなるので、装置の構成が簡単なものと
なる。

【００１６】請求項３の基板有無検知装置では、基板押
圧部材によって基板の整列動作を行うので基板有無検知
動作と基板整列動作とを同時に行うことができるととも
に、従来の基板整列用の基板押圧部材にセンサを取り付
けるだけの簡単な構成で基板の有無検知を行うことが可
能となる。

【００１７】請求項４の基板有無検知装置では、基板押
圧部材と基板整列部材とによって基板を互いに相対する
方向から押圧して基板の整列動作を行うので、その方向
に沿った中央に基板を整列させることが可能となる。

【００１８】請求項５の基板有無検知装置では、基板整
列部材にもカセット内の各基板収納位置における基板の
有無を検出するセンサが固定されているので、基板収納
位置に対応する一対のセンサからの基板の有無の情報に
基づいて、対応しない棚に段違いで収納されている基板
を識別することもできる。

【００１９】請求項６の基板有無検知装置では、センサ
が光学的に基板の有無を検出するので、その検出出力か
ら基板の光学的特性を判定することもできる。

【００２０】

【実施例】図１は、第１実施例の基板有無検知装置を説
明する図である。図１（ａ）は、基板有無検知装置２と
被検物である液晶用のガラス角型基板４を収容している
ローダ用カセット６の正面図であり、図１（ｂ）は、基
板有無検知装置２とローダ用カセット６の平面図であ
る。

【００２１】ローダ用カセット６は、基板収納位置に基
板４を支持する多数の棚６ｃを備えるとともに、図示を
省略するカセットステージ上に基板４の搬出のために載
置されている。また、基板有無検知装置２を構成する左
右一対の移動部材１２、２２も、このカセットステージ
上に互いに近接及び離間可能に取り付けられている。

【００２２】図示のように、左右一対の移動部材１２、
２２のうち一方の移動部材１２は、一対の基板押圧用ポ
ール１１２、１１２とこれらを相互に固定する支持部材
２１２とを備える。これら一対の基板押圧用ポール１１
２、１１２は、図示を省略する駆動機構によって、ロー
ダ用カセット６の図面右側面に形成された一対の整列用
開口６ａに対して進退自在となっている。

【００２３】他方の移動部材２２も、一対の基板押圧用
ポール１１２、１１２と同一形状の一対の基板整列用ポ
ール１２２、１２２と、これらを相互に固定する支持部
材２２２とを備える。これら一対の基板整列用ポール１
２２、１２２は、図示を省略する駆動機構によって、ロ
ーダ用カセット６の図面左側面に形成された一対の整列
用開口６ｂに対して進退自在となっている。

【００２４】ローダ用カセット６から基板４を搬出する
際には、ローダ用カセット６内の基板４を予め整列させ
る。この整列に際しては、一対の移動部材１２、２２を
ローダ用カセット６の両側から挟むように近接させ、基
板押圧用ポール１１２、１１２を整列用開口６ａに挿入
すると同時に、基板整列用ポール１２２、１２２を整列
用開口６ｂに挿入する。この結果、基板押圧用ポール１
１２、１１２と基板整列用ポール１２２、１２２とに挟
まれた基板４は、ローダ用カセット６の中央に位置合わ
せされ、互いに整列される。

【００２５】移動部材１２の一方の基板押圧用ポール１
１２には、透過式フォトセンサである複数のフォトカプ
ラ８が垂直方向に等間隔で固定されている。各フォトカ
プラ８は、投光部８ａと受光部８ｂを備え、図示を省略
する駆動回路によって、投光部８ａと受光部８ｂの間に
遮光物があるか否かを検出する。

【００２６】フォトカプラ８の数は、ローダ用カセット
６の各棚６ｃに支持し得る基板４の最大枚数となってい
る。また、フォトカプラ８の垂直方向の間隔は、ローダ
用カセット６の各棚６ｃの垂直方向の間隔に対応する。
したがって、基板４の整列に際して、移動部材１２をロ
ーダ用カセット６に近接させて一対の基板押圧用ポール
１１２、１１２を整列用開口６ａに挿入すると、基板４
が載置されている棚６ｃに関しては、これに対応する投
光部８ａと受光部８ｂの間に基板４の図面右端が入り込
み、その棚６ｃ上に基板４が存在することが電気信号と
して検出される。逆に、基板４が載置されていない棚６
ｃに関しては、これに対応する投光部８ａと受光部８ｂ
の間に基板４が入り込まず、その棚６ｃ上に基板４が存
在しないことが電気信号として検出される。

【００２７】図２は、一対の移動部材１２、２２による
整列動作を説明する図である。図２（ａ）は、基板有無
検知装置２の正面図であり、図２（ｂ）は、基板有無検
知装置２の平面図である。なお、点線は整列動作前を示
し、実線は整列動作後を示す。基板４の整列時には、一
対の移動部材１２、２２が近接して、基板押圧用ポール
１１２、１１２と基板整列用ポール１２２、１２２と
が、それぞれ整列用開口６ａ、６ｂに挿入される。な
お、この状態では、基板４が整列されセンタリングされ
ているので、整列前の基板４の位置に拘らず、基板４の
位置を確実に判定できる。

【００２８】以上説明のように、第１実施例の基板有無
検知装置２によれば、基板４の搬出前に一対の移動部材
１２、２２を近接させる整列動作の際に各フォトカプラ
８の出力をモニタするだけで、各棚６ｃ上に基板４が存
在するか否かを一度に判定できる。したがって、各フォ
トカプラ８の検出出力に基づいて基板搬送装置の搬送ハ
ンドを動作させることにより、基板４の存在しない棚６
ｃにアクセスすることなく迅速に基板４をローダ用カセ
ット６外に取り出すことができる。よって、基板搬送装
置を常時搬送に従事させることができ、基板搬送装置の
動作に無駄がなくなる。

【００２９】図３は、第２実施例の基板有無検知装置を
説明する正面図である。なお、第２実施例の装置は、第
１実施例の変形例であるので同一部分には同一の符号を
付して説明を省略する。第２実施例の場合、移動部材２
２の一方の基板整列用ポール１２２にも、透過式フォト
センサである複数のフォトカプラ１８が垂直方向に等間
隔で固定されている。各フォトカプラ１８は、移動部材
１２の基板押圧用ポール１１２に固定されているフォト
カプラ８と同一構造を有する。基板４の整列に際して、
一対の移動部材１２、２２をローダ用カセット１６に近
接させて基板押圧用ポール１１２と基板整列用ポール１
２２をそれぞれ整列用開口６ａ、１６ｂに挿入すると、
基板４が載置されている棚６ｃに関しては、これに対応
するフォトカプラ８、１８の間隙に基板４の図面右端が
入り込み、その棚６ｃ上に基板４が存在することが電気
信号として検出される。よって、第２実施例の基板有無
検知装置によれば、基板４の整列時に一対の移動部材１
２、２２を近接させる際に各フォトカプラ８の出力をモ
ニタするだけで、各棚６ｃ上に基板４が存在するか否か
を一度に判定できる。しかも、第２実施例の場合、基板
４の有無を基板押圧用ポール１１２側及び基板整列用ポ
ール１２２側の双方向から検出するので、基板４の有無
のみならず、基板４の傾きをも判別できる。例えば、図
示のカセット１６の上から３枚目の基板４については、
基板押圧用ポール１１２の上から３段目のフォトカプラ
８の検出出力がオフ（基板あり）となり、４段目のフォ
トカプラ８の検出出力がオン（基板なし）となる。ま
た、基板整列用ポール１２２の上から３段目のフォトカ
プラ１８の検出出力がオンとなり、４段目のフォトカプ
ラ８の検出出力がオフとなる。したがって、左右の対応
するフォトカプラ８、１８で検出出力が一致しない場合
には、基板４が傾いていることを検知できる。

【００３０】図４は、第３実施例の基板有無検知装置を
説明する正面図である。第３実施例では、投光器３８ａ
及び受光器３８ｂを一対として、これらをローダ用カセ
ット６内の各棚６ｃの位置に対応させて基板押圧用ポー
ル１１２と基板整列用ポール１２２とのそれぞれに固定
する。この場合、ローダ用カセット６内を図中点線で示
すようにコリメートされた検出光ｃが透過するか否かに
基づいて、基板４の有無を判定する。このように、透過
式のセンサとすることで、基板押圧用ポール１１２と基
板整列用ポール１２２が離間している間もローダ用カセ
ット６内に投光することができ、ローダ用カセット６内
から出射する検出光ｃの断続を判別することができるの
で、基板４の検出動作と基板４の整列動作とを分離する
ことができ、基板４の有無を常時センシングすることが
できる。

【００３１】以上、実施例に即して本発明を説明した
が、この発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば、ローダ用カセット６の代わりにアンローダ用カ
セットをカセットステージ上に載置して、その両側面に
形成された図１の整列用開口６ａ、６ｂと同一形状の開
口に、一対の移動部材１２、２２を近接させて、基板押
圧用ポール１１２、１１２と基板整列用ポール１２２、
１２２とをそれぞれ挿入する。このような動作により、
アンローダ用カセット内における基板の有無を確認でき
る。アンローダ用カセット内には本来基板が収納されて
いないはずであるが、オペレータがミスすることもあ
り、基板の存在する位置に基板を載置した搬送ハンドを
挿入した場合には基板が破損することもある。このよう
な事態を回避するために、アンローダ用カセットでも事
前に基板の有無を判定することが必要となる。

【００３２】また、上記実施例では、基板４の検出のた
めにフォトカプラ８を用いているが、これに代えて基板
４のエッジを機械的に検出する変位部材とこの変位部材
に取り付けられた接点とを備えるリミットスイッチなど
も用いることができる。

【００３３】また、上記実施例では、ローダ用カセット
６の左右両側に形成されている整列用開口６ａ、６ｂに
移動部材１２、２２を挿入して基板４の有無を検出して
いるが、インデクサなどのバッファカセットの前後部に
形成されている基板の搬入・搬出用開口に移動部材１
２、２２を挿入して基板４の有無を検出することもでき
る。

【００３４】また、上記実施例では、フォトカプラ８で
基板４のエッジによって基板４の有無を検出するのみで
あったが、その感度の調節や、分光特性の変更によっ
て、カセット６内の基板４上に形成されている膜種を検
出することもできる。例えば、素ガラスの基板、クロム
膜を形成したもの、アルミニウム膜を形成したもの、Ｉ
ＴＯ膜を形成したものなどでは、その透過率が大きく異
なることを利用して基板４上に形成されている膜の種類
を検知することもできる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明のように、請求項１の基板有無
検知装置によれば、カセット内の各基板収納位置に応じ
た配置で移動部材に固定されたセンサが、移動部材がカ
セットの開口側に前進した場合に、各基板収納位置にお
ける基板の有無を検出するので、搬送ロボットに搬送動
作を開始させる前に予め搬送ロボットに基板の有無を検
出させるための走査が必要でなくなる。したがって、こ
のような走査によって搬送ロボットの本来の搬送動作が
中断してロスタイムが生じるといったことを防止でき
る。

【００３６】また、請求項２の基板有無検知装置によれ
ば、カセットの開口が、カセット内の基板の整列用に形
成された基板整列用開口であり、移動部材が、カセット
内の基板を押圧してカセット内の基板を整列させる基板
押圧部材であるので、センサを移動させる専用の移動部
材を特別に設ける必要がなくなるので、装置の構成が簡
単なものとなる。

【００３７】請求項３の基板有無検知装置によれば、基
板押圧部材によって基板の整列動作を行うので基板有無
検知動作と基板整列動作とを同時に行うことができると
ともに、従来の基板整列用の基板押圧部材にセンサを取
り付けるだけの簡単な構成で基板の有無検知を行うこと
が可能となる。

【００３８】請求項４の基板有無検知装置によれば、基
板押圧部材と基板整列部材とによって基板を互いに相対
する方向から押圧して基板の整列動作を行うので、その
方向に沿った中央に基板を整列させることが可能とな
る。

【００３９】また、請求項５の基板有無検知装置によれ
ば、基板整列部材にもカセット内の各基板収納位置にお
ける基板の有無を検出するセンサが固定されているの
で、基板収納位置に対応する一対のセンサからの基板の
有無の情報に基づいて、対応しない棚に段違いで収納さ
れている基板を識別することもできる。

【００４０】また、請求項６の基板有無検知装置によれ
ば、センサが光学的に基板の有無を検出するので、その
検出出力から基板の光学的特性を判定することもでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の基板有無検知装置の正面図及び平
面図である。

【図２】図１の装置の検知動作を説明する図である。

【図３】第２実施例の基板有無検知装置の正面図であ
る。

【図４】第３実施例の基板有無検知装置の正面図であ
る。

【符号の説明】

２基板有無検知装置４基板６ローダカセット８フォトセンサ１２、２２移動部材１１２基板押圧用ポール１２２基板整列用ポール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者谷口訓滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者中山正志滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カセット内における基板の有無を検知す
る基板有無検知装置において、基板収納位置が複数配列されているカセットの開口に対
して進退自在である移動部材と、カセット内の各基板収納位置に応じた配置で移動部材に
固定され、移動部材がカセットの開口側に前進した場合
に、各基板収納位置における基板の有無を検出するセン
サと、を有することを特徴とする基板有無検知装置。
【請求項２】カセットの開口は、カセット内の基板の
整列用に形成された基板整列用開口であり、移動部材
は、カセット内の基板を押圧してカセット内の基板を整
列させる基板押圧部材であることを特徴とする請求項１
記載の基板有無検知装置。
【請求項３】基板押圧部材は、カセット内に収納され
た多数の基板を同一方向に押圧することによって多数の
基板の整列を行うことを特徴とする請求項２記載の基板
有無検知装置。
【請求項４】さらに、基板押圧部材の押圧方向と相対
する方向にカセット内に収納された多数の基板を押圧す
る基板整列部材を有することを特徴とする請求項３記載
の基板有無検知装置。
【請求項５】基板整列部材にもカセット内の各基板収
納位置における基板の有無を検出するセンサが固定され
ていることを特徴とする請求項４記載の基板有無検知装
置。
【請求項６】センサは、光学的に基板の有無を検出す
ることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか記
載の基板有無検知装置。