JPH0410639A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、基板処理装置に関する。

（従来の技術） 従来から、基板例えば半導体基板（半導体ウェハ）、液
晶表示装置用ガラス基板等の処理工程においては、これ
らの基板を複数枚収容可能に構成された基板搬送用カセ
ットを用いて各工程間の基板搬送を行っている。

例えば半導体製造工程では、樹脂等からなり、複数枚（
例えば２５枚程度）の半導体ウェハを各ウェハ面が互い
にほぼ平行となる如く収容するウェハカセット等と称さ
れる基板搬送用カセットが用いられている。

このため、半導体ウェハの処理工程においては、上記ウ
ェハカセット内から半導体ウェハを取り出し、所定の処
理部へ搬送するとともに、処理が終了した半導体ウェハ
を処理部から搬送してウェハカセット内に収容する必要
がある。そこで、従来から半導体ウェハに所定の処理を
施す基板処理装置、例えば半導体ウェハにフォトレジス
トの塗布、現像処理等を施す塗布、現像装置等において
は、ウェハカセットと処理部との間で半導体ウェハを自
動搬送する自動搬送機構を備えたものが多い。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述したような半導体ウェハの製造工程
では、搬送中等にウェハカセット内において半導体ウェ
ハが移動し、この半導体ウェハがウェハカセットから飛
び出した状態となることがある。このため、基板処理装
置例えば塗布、現像装置等においては、このような状態
で自動搬送機構が通常の搬送動作を実施すると、半導体
ウェハを破損させる等のトラブルが発生するので、従来
からこのようなウェハカセットからの半導体ウェハの飛
び出しを正確に検知し、対処することのできる基板処理
装置の開発が望まれていた。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、基板搬送用カセット内からの基板の飛び出しを確実に
検知することができ、基板の破損等のトラブルの発生を
防止することのできる基板処理装置を提供しようとする
ものである。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） すなわち本発明は、基板面が互いにほぼ平行になる如く
複数枚の基板を収容した基板搬送用カセットから、上記
基板を順次所定の処理部に自動搬送して処理を行う基板
処理装置において、前記基板搬送用カセットの基板搬出
入側であって、該基板搬送用カセット内の所定位置に収
容された基板列の側方位置にレーザビームを射出するレ
ーザ光源と、このレーザ光源に対向する如く設けられ該
レーザ光源からのレーザビームを検出する受光素子と、
この受光素子の出力から前記レーザビムが前記基板によ
って遮断されていることを検知し、該基板が前記基板搬
送用カセット内から飛び出していることを検知する検知
手段とを具備したことを特徴とする。

（作　用） 本発明の基板処理装置では、基板搬送用カセット内に収
容された基板の基板搬出入側前方位置にレーザビームを
射出し、このレーザ光源に対向する如く設けられた受光
素子によりレーザビームを検出する。そして、この受光
素子の出力により、レーザビームが基板によって遮断さ
れているか否かを検知し、レーザビームが遮断されてい
る場合は、基板が基板搬送用カセット内から飛び出して
いると認識する。

すなわち、レーザ光源からのレーザビームの透過光によ
り基板の飛び出しを検知する。したがって、例えば反射
光を用いた場合等に較べて反射角度の影響等を受けにく
く、また、例えばＬＥＤ等を用いた場合に較べて鋭いビ
ーム（ビーム径の細い平行光）を得ることができるので
、基板搬送用カセット内からの基板の飛び出しを確実に
検知することができ、基板の破損等のトラブルの発生を
防止することができる。

（実施例） 以下、本発明を半導体ウェハにフォトレジストの塗布、
現像処理等を施す塗布、現像装置に適用した一実施例を
図面を参照して説明する。

第１図に示すように、塗布、現像装置１には、ウェハ面
が互いにほぼ平行になる如く複数枚（例えば２５枚）の
半導体ウェハ２を収容可能に構成されたウェハカセット
３を収納するカセット収納部４が設けられている。この
カセット収納部４には、例えば昇降自在に構成されたー
または複数のカセットエレベータ５が設けられており、
このカセットエレベータ５上にウェハカセット３を載置
し、ウェハカセット３をステップ状に昇降させるよう構
成されている。

また、このカセット収納部４の側方には、半導体ウェハ
２にフォトレジストの塗布、現像処理等を施す塗布、現
像処理部６が設けられている。

なお、この塗布、現像処理部６は、例えば半導体ウェハ
２にフォトレジストを滴下し、この後、半導体ウェハ２
を高速回転させて半導体ウェハ２全面に均一にフォトレ
ジストを拡散させるスピンコーティング装置、例えばホ
ットプレート等により半導体ウェハ２を加熱処理するベ
ーキング装置、例えばパドル現像等により露光されたフ
オトレジストを現像処理する現像装置等の機器、および
これらの機器の間で半導体ウェハ２の搬送を行う搬送機
構等が設けられている。

そして、上記カセット収納部４と塗布、現像処理部６と
の間には、ウェハカセット３から未処理の半導体ウェハ
２を取り出し、塗布、現像処理部６の図示しない搬送機
構に渡すとともに、この搬送機構から処理の終了した半
導体ウェハ２を受は取り、ウェハカセット３の所定部位
に収容する自動搬送機構７が設けられている。

上記カセット収納部４、塗布、現像処理部６、自動搬送
機構７は、主制御部８によって統括的に制御される如く
構成されている。

さらに、上記カセット収納部４には、次のように構成さ
れ、ウェハカセット３からの半導体ウェハ２の飛び出し
を検知するための機構が設けられている。

すなわち、カセット収納部４のウェハカセット３前方（
半導体ウェハ２搬出入側）には、上部から下方へ向けて
半導体ウェハ２のやや前方位置に図示矢印の如くレーザ
ビーム１０を射出するレーザ光源１１が設けられている
。また、このレーザ光源１１に対向する如く、受光素子
１２が設けられており、ウェハカセット３内の所定位置
に半導体−ウェハ２が収容されている場合は、この受光
素子１２にレーザ光源１１からのレーザビーム１０が入
射するよう配列されている。この受光素子１２の出力信
号は、例えばマイクロプロセッサ等からなる検知部１３
に入力されるよう構成されている。

そして、この検知部１３は、受光素子１２の出力信号の
レベルにより、受光素子１２にレーザ光源１１からのレ
ーザビーム１０が入射しているか否かを判定し、入射し
ていないと判定された場合は、飛び出し検出信号を主制
御部８に送出する。

主制御部８は、この飛び出し検出信号を受けて、少なく
ともこのウェハカセット３に対する自動搬送機構７によ
る半導体ウェハ２の搬出入を停止するとともに、アラー
ムを発生させるよう構成されている。

なお、自動搬送機構７による半導体ウェハ２の搬出入の
際にも、この搬出入を実施する半導体ウェハ２により、
レーザ光源１１からのレーザビム１０が遮られるが、こ
の場合は、主制御部８が半導体ウェハ２の搬出人中であ
ることを認識し、自動搬送機構７を停止させたり、アラ
ームを発生させたりすることはない。

また、上述したレーザ光源１１と受光素子１２は、例え
ば８インチ半導体ウェハに対応したものであり、カセッ
ト収納部４には、この他に、径の異なる半導体ウェハ例
えば５インチ半導体ウェハに対応してレーザ光源１１ａ
と受光素子１２ａが設けられている。

上記構成のこの実施例では、カセット収納部４のカセッ
トエレベータ５上に載置されたウェハカセット３から、
自動搬送機構７により一枚ずつ半導体ウェハ２を取り出
し、塗布、現像処理部６に搬送して所定の処理を施し、
処理済みの半導体ウェハ２をウェハカセット３に収容す
る。

この時、例えばウェハカセット３を搬送する際の振動等
により、ウェハカセット３内の半導体ウェハ２が飛び出
していた場合、この半導体ウェハ２により、レーザ光源
１１からのレーザビーム１０が遮られ受光素子１２にレ
ーザビーム１０が入射しなくなるので、検知部１３は受
光素子１２の出力信号のレベルから、この半導体ウェハ
２の飛び出しを検知して、飛び出し検出信号を主制御部
８に送出する。

なお、この飛び出し検出は、レーザ光源１１からのレー
ザビーム１０の透過光により行うので、例えば反射光を
用いた場合等に較べて反射角度の影響等を受けにくく、
また、例えばＬＥＤ等を用いた場合に較べて鋭いビーム
（ビーム径の細い平行光）を得ることができるので、確
実に飛び出し検出を行うことができる。

そして、主制御部８により、少なくともこのウェハカセ
ット３に対する自動搬送機構７による半導体ウェハ２の
搬出入を停止するとともに、アラムを発生させる。

したがって、例えば半導体ウェハ２がウニバカセット３
から飛び出した状態で自動搬送機構７による搬送動作が
実施され、半導体ウェハ２に破損を与える等のトラブル
の発生を、確実に防止することができる。飛び出しウェ
ハ有りを検出した時、上記カセット内ウェハ列を光走査
し、何番目のウェハが飛び出しているか上記コンピュー
タに入力し、このコンピュータ指示により飛び出してい
るウェハを押し込むように板部材を当接させて自動的に
修正できる。この操作はカセットをセットした後自動的
に実行するように構成するとよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の基板処理装置によれば、
基板搬送用カセット内からの基板の飛び出しを確実に検
知することができ、基板の破損等のトラブルの発生を防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成を示す図である。 １・・・・・・塗布、現像装置、２・・・・・・半導体
ウェハ、３・・・・・・ウェハカセット、４・・・・・
・カセット収納部、５・・・・・・カセットエレベータ
、６・・・・・・塗布、現像処理部、７・・・・・・自
動搬送機構、８・・・・・・主制御部、１０・・・・・
・レーザビーム、１１，１１ａ・・・・・・レーザ光源
、１２，１２ａ・・・・・・受光素子、１３・・・・・
・検知部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板面が互いにほぼ平行になる如く複数枚の基板
   を収容した基板搬送用カセットから、上記基板を順次所
   定の処理部に自動搬送して処理を行う基板処理装置にお
   いて、 前記基板搬送用カセットの基板搬出入側であって、該基
   板搬送用カセット内の所定位置に収容された基板列の側
   方位置にレーザビームを射出するレーザ光源と、 このレーザ光源に対向する如く設けられ該レーザ光源か
   らのレーザビームを検出する受光素子と、この受光素子
   の出力から前記レーザビームが前記基板によって遮断さ
   れていることを検知し、該基板が前記基板搬送用カセッ
   ト内から飛び出していることを検知する検知手段とを具
   備したことを特徴とする基板処理装置。