JPH0475362A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH0475362A JPH0475362A JP2187898A JP18789890A JPH0475362A JP H0475362 A JPH0475362 A JP H0475362A JP 2187898 A JP2187898 A JP 2187898A JP 18789890 A JP18789890 A JP 18789890A JP H0475362 A JPH0475362 A JP H0475362A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- slot
- detection means
- protruding
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 68
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、キャリアに対しウニへの搬出入を行なうウェ
ハ搬送装置に関する。
ハ搬送装置に関する。
［従来の技術］
従来、ウェハ搬送装置は、キャリア載置台と、キャリア
を上下動させる手段と、キャリアの各スロット内のウェ
ハを検出する装置と、ウェハを搬送するハンドとから構
成さゎ、各スロットをハンドによる所定の搬出入位置に
位置させ、ハンドによって各スロットからのウェハ搬出
および各スロットへのウェハ搬入を行なうようにしてい
る。
を上下動させる手段と、キャリアの各スロット内のウェ
ハを検出する装置と、ウェハを搬送するハンドとから構
成さゎ、各スロットをハンドによる所定の搬出入位置に
位置させ、ハンドによって各スロットからのウェハ搬出
および各スロットへのウェハ搬入を行なうようにしてい
る。
［発明が解決しようとしている課題］
しかしながら、上記従来例では、キャリア載置台上にキ
ャリアを置くときゃ、ハンドによりてハノド上のウェハ
をキャリアに収納する際にウェハがキャリア奥まで入り
きらなかったときなどに、キャリアに収納されたウェハ
が飛び出した状態となる場合がある。そしてこの状態で
キャリア載置台を上下動させた場合、あるいは、飛び出
したことにより所定位置よりずれた状態でハンドがウェ
ハを保持し搬送した場合、ウェハが載置台周辺の装置や
ハンドに接触して破損されるという欠点がある。
ャリアを置くときゃ、ハンドによりてハノド上のウェハ
をキャリアに収納する際にウェハがキャリア奥まで入り
きらなかったときなどに、キャリアに収納されたウェハ
が飛び出した状態となる場合がある。そしてこの状態で
キャリア載置台を上下動させた場合、あるいは、飛び出
したことにより所定位置よりずれた状態でハンドがウェ
ハを保持し搬送した場合、ウェハが載置台周辺の装置や
ハンドに接触して破損されるという欠点がある。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点に鑑み、
ウェハ搬送装置において、ウェハが載置台周辺の装置や
ハンドに接触して破損することのないようにすることに
ある。
ウェハ搬送装置において、ウェハが載置台周辺の装置や
ハンドに接触して破損することのないようにすることに
ある。
ＥＨ題を解決するための手段コ
上記目的を達成するため本発明のウェハ搬送装置は、ウ
ェハが搬出入される複数スロットを有するキャリアを載
せる載置台と、この載置台を上下動させる上下動手段と
、この上下動手段によって所定の搬出入位置に位置され
たキャリアのスロットに対しウニへの搬出入を行なうウ
ェハ搬送手段と、キャリアの各スロット内におけるウエ
ノ＼の有無を検出する有無検出手段と、キャリアから突
出しているウェハを検出する突出検出手段とを備えてい
る。
ェハが搬出入される複数スロットを有するキャリアを載
せる載置台と、この載置台を上下動させる上下動手段と
、この上下動手段によって所定の搬出入位置に位置され
たキャリアのスロットに対しウニへの搬出入を行なうウ
ェハ搬送手段と、キャリアの各スロット内におけるウエ
ノ＼の有無を検出する有無検出手段と、キャリアから突
出しているウェハを検出する突出検出手段とを備えてい
る。
この突出検出手段としては例えば、発光素子とこれと対
をなす受光素子とからなる光センサを有するものや、あ
るいはキャリアから突出したウェハの裏面と接触しうる
部材を介してキャリアから突出しているウェハを検出す
るものを用いることができる。
をなす受光素子とからなる光センサを有するものや、あ
るいはキャリアから突出したウェハの裏面と接触しうる
部材を介してキャリアから突出しているウェハを検出す
るものを用いることができる。
［作用］
この構成において、キャリアに対しウニへの搬出入を行
なう場合は、必要に応じて各スロット内のウェハ有無が
有無検出手段によって確認された後、各スロットがウェ
ハ搬送手段による所定の搬出入位置に位置するように載
置台が位置され、ウェハ搬送手段によってウェハが各ス
ロットに搬入されあるいは各スロットから搬出されが、
この問、継続的に、あるいは所定のタイミングで突出検
出手段によりキャリアからのウェハの突出有無がモニタ
されており、もし突出が検知された場合は、警報を発し
て装置の動作を停止する等の対策を講じることが可能な
ため、突出したウェハが載置台周辺の装置やウェハ搬送
手段などに接触して破損することが未然に防止される。
なう場合は、必要に応じて各スロット内のウェハ有無が
有無検出手段によって確認された後、各スロットがウェ
ハ搬送手段による所定の搬出入位置に位置するように載
置台が位置され、ウェハ搬送手段によってウェハが各ス
ロットに搬入されあるいは各スロットから搬出されが、
この問、継続的に、あるいは所定のタイミングで突出検
出手段によりキャリアからのウェハの突出有無がモニタ
されており、もし突出が検知された場合は、警報を発し
て装置の動作を停止する等の対策を講じることが可能な
ため、突出したウェハが載置台周辺の装置やウェハ搬送
手段などに接触して破損することが未然に防止される。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例に係るウェハ搬送装置を示し
ており、本発明の特徴を最もよく表わす図面である。同
図において、１はウェハを収納するキャリア、２はキャ
リア１を載せるキャリア載置台、３はウェハをキャリア
１に対して搬出入するハンド、４はキャリア１内に正常
に収納されているウェハ、５はキャリア内から飛び出し
ているウェハ、６ （６ａ、６ｂ）はキャリア内から飛
び出しているウェハ５を検出する飛び出し検知センサ、
７ （７ａ、７ｂ）はウェハ有無検知センサである。キ
ャリア載置台２は、不図示の駆動手段によって矢印Ｙ１
方向に駆動されるようになっている。
ており、本発明の特徴を最もよく表わす図面である。同
図において、１はウェハを収納するキャリア、２はキャ
リア１を載せるキャリア載置台、３はウェハをキャリア
１に対して搬出入するハンド、４はキャリア１内に正常
に収納されているウェハ、５はキャリア内から飛び出し
ているウェハ、６ （６ａ、６ｂ）はキャリア内から飛
び出しているウェハ５を検出する飛び出し検知センサ、
７ （７ａ、７ｂ）はウェハ有無検知センサである。キ
ャリア載置台２は、不図示の駆動手段によって矢印Ｙ１
方向に駆動されるようになっている。
センサ６と７はそれぞれ一対の投受光素子６ａと６ｂお
よび７ａと７ｂからなり、６ａ、７ａはＬＥＤ等の投光
素子、６ｂ、７ｂはホトディテクタ等の受光素子である
。そして、飛び出しているウェハ５が存在しない場合は
センサ６は透光状態になっており、ウェハ５が存在する
場合はセンサ６は遮光状態になり、これによフてウェハ
５の存在が検知されるようになフている。また、センサ
６は、キャリア載置台２の上下動範囲において、キャリ
ア１から飛び出しているウェハが検出可能なように配置
されている。このことにより、ハンド３により収納した
時にウェハが飛び出していることも検知される。
よび７ａと７ｂからなり、６ａ、７ａはＬＥＤ等の投光
素子、６ｂ、７ｂはホトディテクタ等の受光素子である
。そして、飛び出しているウェハ５が存在しない場合は
センサ６は透光状態になっており、ウェハ５が存在する
場合はセンサ６は遮光状態になり、これによフてウェハ
５の存在が検知されるようになフている。また、センサ
６は、キャリア載置台２の上下動範囲において、キャリ
ア１から飛び出しているウェハが検出可能なように配置
されている。このことにより、ハンド３により収納した
時にウェハが飛び出していることも検知される。
これら装置の各動作は不図示の制御手段によって制御さ
れる。
れる。
この構成において、キャリア１のあるスロットからウェ
ハを搬出入する場合は、そのスロットがハンド３による
搬出入位置に位置するようにキャリア載置台２を位置さ
せてからハンド３を矢印Ｙ２方向に移動させることによ
りそのスロットからウェハを搬出入する。ただし、その
搬出入に先立ち、必要に応じて、そのスロット内にウェ
ハが存在するか否かを確認する。この確認は、そのスロ
ットがウェハ有無検知センサ７による検知位置に位置す
るようにキャリア載置台２を位置させ、ウェハ有無検知
センサ７によって行なう。
ハを搬出入する場合は、そのスロットがハンド３による
搬出入位置に位置するようにキャリア載置台２を位置さ
せてからハンド３を矢印Ｙ２方向に移動させることによ
りそのスロットからウェハを搬出入する。ただし、その
搬出入に先立ち、必要に応じて、そのスロット内にウェ
ハが存在するか否かを確認する。この確認は、そのスロ
ットがウェハ有無検知センサ７による検知位置に位置す
るようにキャリア載置台２を位置させ、ウェハ有無検知
センサ７によって行なう。
そしてこのようなウェハ振出人動作の間、継続的に、あ
るいは所定のタイミングでセンサ６によりキャリア１か
らのウェハの突出の有無をモニタし、突出が検知された
場合は、警報を発して装置の動作を停止する等の対策が
講じられる。
るいは所定のタイミングでセンサ６によりキャリア１か
らのウェハの突出の有無をモニタし、突出が検知された
場合は、警報を発して装置の動作を停止する等の対策が
講じられる。
［発明の効果コ
以上説明したように、キャリアから突出しているウェハ
を検出する突圧検出手段を設けるようにしたため、突出
したウェハが載置台周辺の装置やウェハ搬送手段などに
接触して破損するのを未然に防止することができる。
を検出する突圧検出手段を設けるようにしたため、突出
したウェハが載置台周辺の装置やウェハ搬送手段などに
接触して破損するのを未然に防止することができる。
第１図は、本発明の一実施例に係るウェハ搬送装置の側
面図である。 １：キャリア、２；キャリア載置台、３：ハンド、４，
５：ウェハ、６ａ：飛び出し検知センサ投光部、６ｂ＝
飛び出し検知センサ受光部、７ａ：ウエハ有無検知セサ
投光部、７ｂ、ウェハ有無検知センサ受光部。 特許出願人 キャノン株式会社
面図である。 １：キャリア、２；キャリア載置台、３：ハンド、４，
５：ウェハ、６ａ：飛び出し検知センサ投光部、６ｂ＝
飛び出し検知センサ受光部、７ａ：ウエハ有無検知セサ
投光部、７ｂ、ウェハ有無検知センサ受光部。 特許出願人 キャノン株式会社
Claims (3)
- （１）ウェハが搬出入される複数スロットを有するキャ
リアを載せる載置台と、この載置台を上下動させる上下
動手段と、この上下動手段によって所定の搬出入位置に
位置されたキャリアのスロットに対しウェハの搬出入を
行なうウェハ搬送手段と、キャリアの各スロット内にお
けるウェハの有無を検出する有無検出手段と、キャリア
から突出しているウェハを検出する突出検出手段とを具
備することを特徴とするウェハ搬送装置。 - （２）前記突出検出手段は、発光素子とこれと対をなす
受光素子とからなる光センサを有するものである、請求
項１記載のウェハ搬送装置。 - （３）前記突出検出手段は、キャリアから突出したウェ
ハの裏面と接触しうる部材を介してキャリアから突出し
ているウェハを検出するものである、請求項１記載のウ
ェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187898A JPH0475362A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187898A JPH0475362A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475362A true JPH0475362A (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=16214129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2187898A Pending JPH0475362A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0475362A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5540098A (en) * | 1993-02-16 | 1996-07-30 | Tokyo Electron Limited | Transfer device |
| US5642978A (en) * | 1993-03-29 | 1997-07-01 | Jenoptik Gmbh | Device for handling disk-shaped objects in a handling plane of a local clean room |
| EP0827185A2 (en) * | 1996-08-29 | 1998-03-04 | Tokyo Electron Limited | Substrate treatment system, substrate transfer system, and substrate transfer method |
| EP0886302A2 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Philips Patentverwaltung GmbH | Reaktor zur Verarbeitung von Wafern mit einer Schutzvorrichtung |
| US5964564A (en) * | 1996-07-15 | 1999-10-12 | B-W Controls, Inc. | Method and apparatus for detecting cross-slotted objects |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59128125A (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-24 | Nec Home Electronics Ltd | ロ−ダ・アンロ−ダ |
| JPS62199029A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
-
1990
- 1990-07-18 JP JP2187898A patent/JPH0475362A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59128125A (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-24 | Nec Home Electronics Ltd | ロ−ダ・アンロ−ダ |
| JPS62199029A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5540098A (en) * | 1993-02-16 | 1996-07-30 | Tokyo Electron Limited | Transfer device |
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| EP0827185A2 (en) * | 1996-08-29 | 1998-03-04 | Tokyo Electron Limited | Substrate treatment system, substrate transfer system, and substrate transfer method |
| EP0827185A3 (en) * | 1996-08-29 | 2000-04-05 | Tokyo Electron Limited | Substrate treatment system, substrate transfer system, and substrate transfer method |
| EP0886302A2 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Philips Patentverwaltung GmbH | Reaktor zur Verarbeitung von Wafern mit einer Schutzvorrichtung |
| EP0886302A3 (de) * | 1997-06-17 | 2004-04-07 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Reaktor zur Verarbeitung von Wafern mit einer Schutzvorrichtung |
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