JPH05291381A

JPH05291381A - ウエハ検知装置

Info

Publication number: JPH05291381A
Application number: JP9250992A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nagashima; 洋永島
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1992-04-13
Filing date: 1992-04-13
Publication date: 1993-11-05

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、ペンシルがウエハを吸着して持ち上
げる移動動作に無関係な位置に検知センサを設けること
により、ペンシルに吸着されるウエハの有無を検出する
ことができるウエハ検知装置を提供することを目的とす
る。【構成】ウエハＷを一定間隔を隔てて各棚に段々に収納
可能なウエハカセット２５と、ウエハＷを一定間隔を隔
てて各棚に段々に収納可能なボ−ト１７と、上記ウエハ
Ｗを吸着可能なペンシル２３と、上記ペンシル２３に吸
着される上記ウエハＷを検出する検知センサ３３と、上
記ペンシル２３を支持する移動ロボット１９とを備えた
ものにおいて、上記ペンシル２３は上記ウエハＷを吸着
する領域に上記棚列方向に貫通する孔５０を有し、上記
検知センサ３３は、この検出光を上記孔５０の一方開口
から入射させ、この孔５０内面５０ａで反射される反射
光を他方開口から出射させて受光する光路を形成したこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハを加熱処
理するための反応炉を備えた表面処理装置におけるウエ
ハ検知装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】以下、従来の技術を図面を参照して説明
する。

【０００３】図１４は、半導体ウエハの表面処理を行な
う表面処理装置システムを示したものであり、１０は縦
型反応炉、１１は炉のシャッタ−、１２はボ−トエレベ
−タであって、縦型反応炉１０は、図１５に示す如く炉
体１３、ヒ−タ１４、石英管１５、支持フランジ１６を
備え、この石英管１５に処理流体（水素ガスと窒素ガス
の混合気体）が供給される。１７は表面処理される半導
体ウエハＷ_Pの多数枚を一定間隔を隔てて段々に収納す
るボ−トであって、移載装置１８によりボ−トエレベ−
タ１２の昇降台１２Ａ上のボ−ト支持台１２Ｂに載置さ
れる。

【０００４】このボ−ト１７は、図１０および図１１に
示す如く、上板１７Ａと下板１７Ｂとの間に４本の棚柱
２７〜３０を立てた構造を有し、各棚柱２７〜３０には
ウエハＷの周部を載せる凹部３１が上下方向に一定間隔
を隔てて形成されている。

【０００５】１９は移動ロボットであって、本体２０、
この本体２０に設けられたア−ム２１を有し、このア−
ム２１の端部には、回転可能に矩形状のハンド２２が設
けられている。２３は半導体ウエハＷ_Pを真空吸着する
ヘラ状のペンシルであって、この一端部をハンド２２に
片持ち支持されている。移載ロボット１９はその制御装
置２４がシステム全体を制御する図示しないシ−ケンス
からの指令を受けて作動する。

【０００６】半導体ウエハＷ_Pは、円形板状で、この半
径方向端部の１ヵ所に軸線方向に切断された端面３２ａ
（断面）を有するオリエンテ−ションフラット３２（以
下、単にフラット３２という）が形成されており、図１
２および図１３に示す如く、多段の一定間隔を隔てて形
成されている複数の棚をもつウエハカセット２５に、こ
のフラット３２の端面３２ａがウエハカセット２５の搬
入・搬出方向に対向するように収納され、ステ−ジ２６
上のウエハカセット２５から移載ロボット１９のペンシ
ル２３で１枚ずつ取り出されて、ボ−ト１７に移載され
る。

【０００７】この移動動作、即ち、ウエハカセット２５
からボ−ト１７の移載において、ウエハカセット２５か
らウエハＷを搬出する動作を図９を参照して説明する。

【０００８】図示しないシ−ケンサの開始指令が発生す
ると、ペンシル２３は、その待機位置Ｐ₁₀からウエハカ
セット２５の第１段目に棚番号NO.1の棚にアプロ−チ
し、点Ｐ₁₁‐Ｐ₁₂‐Ｐ₁₃の経路を移動し、Ｐ₁₁‐Ｐ₁₂を
移動する間に、この棚にウエハＷ₁が有るか無いかをハ
ンド２２の設けられている検知センサ３３でチェックす
る。この例では、ウエハカセット２１の第１段目の棚番
号NO.1にウエハＷ₁があるので、ペンシル２３は、この
ウエハＷ₁を吸着して棚から持ち上げ、そのまま所定経
路を移動し、ボ−ト１７の棚番号NO.1の棚（半導体ウエ
ハＷ_Pを収納する複数段の棚の最上段の棚とする）に載
置する。

【０００９】この移載サイクルが終了すると、ペンシル
２３は、ウエハカセット２５の棚番号NO.2の棚にアプロ
−チし、上述の如く、ペンシル２３はＰ₂₀‐Ｐ₂₁‐Ｐ₂₂
の移載経路を移動し、Ｐ₂₁‐Ｐ₂₂を移動する間に、この
棚にウエハＷ₂が有るか無いかを検知センサ３３でチェ
ックする。この棚にはウエハＷ₂が無いので、Ｐ₂₂に到
達したときに、ウエハカセット２５の棚番号NO.2の棚に
対する移載作動が中止され、Ｐ₂₂‐Ｐ₂₁に下降し、Ｐ₂₀
からＰ₃₀の経路を移動してウエハカセット２５の棚番号
NO.3に向かいアプロ−チする。

【００１０】次いで、ペンシル２３は、Ｐ₃₀‐Ｐ₃₁‐Ｐ
₃₂の経路を移動し、前記と同様Ｐ₃₁‐Ｐ₃₂を移動する間
に、この棚にウエハＷ₂が有るか無いかを検知センサ３
３でチェックする。この例では、ウエハカセット２５の
棚番号NO.3にウエハＷ₂があるので、ペンシル２３は、
このウエハＷ₂を吸着して棚から持ち上げて、そのまま
所定経路を移動して、ウエハＷ₂をボ−ト１７の棚番号N
O.2の棚に載置する。このようにして、ボ−ト１７の各
棚には、ウエハＷが順次移載される。

【００１１】ところで、上記ウエハＷの移載サイクルに
おいて、ペンシル２３に吸着して持ち上げられるウエハ
Ｗを検知する検知センサ３３は、一般的に、反射式セン
サ、または透過式センサが用いられており、以下、これ
らの検知センサ３３を、図５〜図８に基づいて説明す
る。尚、図５〜図８は、移載ロボット１９のア−ム２１
端部に設けられているハンド２２およびペンシル２３を
示す要部拡大図である。

【００１２】(1)図５、および図６において、３５は反
射式センサであって、ペンシル２３にウエハＷが吸着し
て持ち上げされたときに、反射式センサ３５からの検出
光がウエハＷのフラット３２端面３２ａに投射する位置
にブラケット３６を介在させてハンド２２の側壁２２ａ
に取付けられ、制御装置２４および図示しない光源体に
それぞれ接続されている。

【００１３】このような構成において、ペンシル２３
が、上述の如く、移動経路中の点Ｐ₁₁‐Ｐ₁₂、およびＰ
₃₁‐Ｐ₃₂の各々を移動する間に、ウエハＷ₁を吸着して
持ち上げるので、反射式センサ３５からの検出光がウエ
ハＷ₁（Ｗ₂）のフラット２７の端面２７ａに投射される
とともに、反射式センサ３５がこのフラット３２の端面
３２ａで反射される反射光を受光することになり、この
受光した反射光が検出信号として制御装置２４に送出さ
れる。これにより、ペンシル２３のウエハカセット２５
の棚に対する移載サイクルが継続実行される。

【００１４】また、ペンシル２３が、移動経路中のＰ₂₁
‐Ｐ₂₂を移動する間には、ウエハＷ₂を吸着して持ち上
げないので、反射式センサ３５からの検出光がウエハＷ
₂のフラット３２端面３２ａに投射されず、反射式セン
サ３５はこのフラット３２端面３２ａで反射される反射
光を受光しないことになり、検出信号が制御装置２４に
送出されない。これにより、ペンシル２３のウエハの移
載サイクルが中止される。 (2)また、図７および図８
において、３７は透過式センサであって、投光器３８と
受光器３９からなっており、この投光器３８と受光器３
９は、ペンシル２３を境にして、ペンシル長手方向に直
交する方向にそれぞれ配設されている。４０は支持管で
あって、ペンシル２３の長手方向に伸びる金属製の管部
４０Ａとこの管部４０Ａの一端部に金属製のＵ字管部４
０Ｂが一体形成されている。投光器３８は、支持管４０
のＵ字管部４０Ｂの先端に取付けられており、この支持
管４０中を通る光ファイバ−で図示しない光源体に接続
されている。

【００１５】支持管４０は、このＵ字管部４０Ｂに取付
けられた投光器３８からの検出光がハンド２２の側壁２
２ａに向かって、ペンシル２３により遮光されることな
く、且つペンシル２３がウエハＷを吸引して持ち上げた
際には、ウエハＷにより上記検出光が遮光されるよう
に、反Ｕ字部側をハンド２２の側壁２２ａに片持ち支持
されている。受光器３９は、投光器３８からの検出光の
光軸線上に位置（ペンシル２３を境にしてペンシル長手
方向に直交する方向の投光器３８とは逆の位置）して、
ハンド２２の側壁２２ａに取付けられ、制御装置２４に
接続されている。

【００１６】このような構成において、移動ロボット１
９のペンシル２３が、上述の図９の如く、移動経路中の
Ｐ₁₁‐Ｐ₁₂およびＰ₃₁‐Ｐ₃₂を移動する間に、ウエハＷ
₁（Ｗ₂）を吸着して持ち上げるので、このウエハＷ
₁（Ｗ₂）により投光器３８から受光器３９に投射される
検出光が遮光される。これにより、ペンシル２３の移載
が継続実行される。

【００１７】また、ペンシル２３が、移動経路中のＰ₂₁
‐Ｐ₂₂を移動する間にウエハＷ₁を吸着して持ち上げな
いので、受光器３９は投光器３８からの検出光を受光し
続ける。これにより、ペンシル２３のウエハカセット２
５の棚に対するウエハＷの移載が中止される。

【００１８】このように、ウエハＷは、ペンシル２３で
吸着されるウエハＷの有無を検知しながらウエハカセッ
ト２５からボ−ト１７への移載が順次行なわれる。

【００１９】また、ウエハＷの表面処理が行なわれて、
ボ−ト１７からウエハカセット２５にウエハＷを移載す
る際にも上記と同様の手順でペンシル２３に吸着される
ウエハＷの有無を検出しながら移載が行なわれる。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の技
術のウエハ検知装置において、反射式センサを用いてウ
エハの有無を検知するに際しては、ウエハをペンシルで
吸着して持ち上げた時に、ウエハのオリエンテ−ション
フラットが反射式センサの検出光の光軸に対して、直交
する位置に対向しないときには、反射式センサが受光す
る反射光の光量が変わり、また、表面処理されたウエハ
の膜質によっては、オリエンテ−ションフラットの端面
により反射される反射光の光量が変わるため、ペンシル
がウエハを吸着して持ち上げた状態においても、ウエハ
の移載が中止されるという誤動作を生じさせる問題があ
った。

【００２１】また、透過式センサを用いてウエハの有無
を検出するに際しては、投光器と受光器との間の光軸を
合わせることが困難であり、また、ウエハカセットおよ
びボ−トの各棚の間隔が極めて挟いためウエハの有無を
検出する位置に透過式センサの投光器を設置するのが困
難であるという問題があり、更に、ペンシルがウエハを
吸着して持ち上げたときには、光ファイバ−を通した金
属製の支持管がウエハに近接することになるので、ウエ
ハに帯電している静電気に影響されて、移動ロボットの
誤動作を誘発し易いとう問題があった。

【００２２】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、ペンシルがウエハカセットおよびボ
−トからウエハを吸着して持ち上げる移動動作に無関係
な位置（ウエハを授受する動作）に検知センサを設ける
ことにより、ペンシルに吸着されるウエハの有無を検出
することができるウエハ検知装置を提供することを目的
とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のウエハの検知装置は、所定枚数のウエハを
一定間隔を隔てて各棚に段々に収納可能であって所定位
置にあるステ−ジに対して搬入・搬出されるウエハカセ
ットと、一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて各棚に段
々に収納可能であって所定位置から表面処理炉内へまた
はこの逆に移送されるボ−トと、上記ウエハを吸着可能
なペンシルと、上記ペンシルに吸着される上記ウエハを
検出する検知センサと、上記ペンシルを片持ち支持する
移動ロボットとを備え、上記ペンシルは上記ウエハカセ
ットの棚へアプロ−チして若しくは上記ボ−トの棚へア
プロ−チして上記棚に載置されているウエハの有無を上
記検知センサで検出してウエハを上記ウエハカセットか
ら上記ボ−トへ若しくはその逆に移載する移載サイクル
を実行するものにおいて、上記ペンシルは上記ウエハを
吸着する領域に上記棚列方向に貫通する孔を有し、上記
検知センサは、この検出光を上記孔の一方開口から入射
させ、この孔の内面で反射される反射光を他方開口から
出射させて受光する光路を形成したことを特徴とする。

【００２４】また、検知センサは、投光器と受光器とか
らなるセンサであって、この投光器は上記孔の入射側の
光路上に設け、この受光器は上記孔の出射側の光路上に
設けたことを特徴とする。

【００２５】更に、ペンシルは、上記ウエハを吸着する
際、上記投光器から上記受光器に投射される検出光が上
記ウエハで遮光されたときには上記移載サイクルが継続
実行され、この検出光が上記ウエハで遮光されないとき
には当該移載サイクルを中止して次段の棚にアプロ−チ
することを特徴とする。

【００２６】

【作用】上述した本発明のウエハ検知装置では、ペンシ
ルがウエハを吸着する領域内に検知センサを設けること
無く、ペンシルで吸着されるウエハの有無を検出するこ
とができる。

【００２７】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。

【００２８】図１および図２は、前記に示した表面処理
装置システムにおける移動ロボット１９のア−ム２１端
部に設けられたハンド２２の要部拡大図である。

【００２９】図１および図２において、ペンシル２３
は、ペンシルの長手方向に直交する方向に貫通する孔５
０（φ３ｍｍ程度）を有し、この孔５０は、ペンシル２
３がウエハＷを吸着して持ち上げたときに、ウエハＷで
覆われる領域に設けられている。

【００３０】透過式センサ３７の投光器３８は、この投
光器３８から発する検出光が孔５０の一方の開口から内
周面５０ａに投射し、この孔５０の内周面５０ａで反射
させて、孔５０の他方の開口からペンシル２３外に出射
する光路を形成して、ブラケット５２を介してハンド２
２の側壁２２ａに取付けられている。透過式センサ３７
の受光器３９は、孔５０の内周面５０ａにより反射され
る反射光の光軸線上に位置（ペンシルの長手方向に直交
する方向のペンシル２３を境にして投光器３８とは逆の
位置）しており、ブラケット５３を介在させてハンド２
２の側壁２２ａに取付けられている。投光器３７は図示
しない光源体に、受光器３９は制御装置２４にそれぞれ
接続されている。

【００３１】尚、ペンシル２３がウエハＷを吸引持ち上
げする時に、図３に示す如く、ペンシル２３が、ウエハ
カセット２５またはボ−ト１７の棚と棚の間に位置した
ときには、ウエハカセット２５またはボ−ト１７に載置
されているウエハＷにより検出光、及び反射光が遮光さ
れない所定の角度を持って、投光器３８と受光器３９が
ハンド２２の側壁２２ａにそれぞれ設置されている。そ
の他は、従来の技術における構成と同様である。

【００３２】このような構成において、以下、ペンシル
２３がウエハカセット２５からウエハＷを吸着して持ち
上げるときに、ウエハＷの有無を検出する手順を説明す
る。尚、本実施例におけるペンシル２３の移動経路は従
来の技術のものと同一経路を移動するため、以下、従来
の技術の図９と同一の記号を用いて説明する。

【００３３】(1)図示しない移載シ−ケンスから開始指
令が移載ロボット１９の制御装置２４に対して発せられ
ると、ペンシル２３は、その待機位置Ｐ₁₀からウエハカ
セット２５の棚番号NO.1の棚にアプロ−チし、点Ｐ₁₀‐
Ｐ₁₁‐Ｐ₁₂の経路を移動し、Ｐ₁₁‐Ｐ₁₂を移動する間
に、この棚にウエハＷが有るか無いかを透過式センサ３
７で検出する。ペンシル２３が、移動経路中のＰ₁₁‐Ｐ
₁₂を移動する間に、この例では、ウエハＷ₁を吸着して
持ち上げるので、図４(A)の如く、透過式センサ３７の
投光器３８からペンシル２３の孔５０の内周面５０ａに
投射される検出光がウエハＷ₁で遮光され、受光器が
「ＯＦＦ」の状態（ペンシル２３の孔５０で反射される
反射光を受光しない状態）になる。これにより、受光器
３９からの反射光が制御装置２４に送出されず、制御装
置２４はこの受光器３９からの反射光を入力しないこと
を条件として、ペンシル２３に対してウエハの移載サイ
クルの継続実行指令を与える。そして、ペンシル２３
が、所定経路を移動して、ウエハＷ₁をボ−ト１７の棚
番号NO．1の棚に載置する。

【００３４】(2)この移載サイクルが終了すると、ペン
シル２３は、ウエハカセット２５の棚番号NO.2の棚にア
プロ−チし、上述の如く、ペンシル２３はＰ₂₀‐Ｐ₂₁‐
Ｐ₂₂の移載経路を移動し、Ｐ₂₁‐Ｐ₂₂を移動する間に、
この棚にウエハＷ₂が有るか無いかを透過式センサ３７
でチェックする。この棚にはウエハＷ₂が無いので、図
４(B)に示す如く、透過式センサ３７の投光器３８から
ペンシル２３の孔５０の内面５０ａで検出光が投射さ
れ、透過式センサ３７の受光器３９が「ＯＮ」の状態
（ペンシル２３の孔５０で反射される反射光を受光し続
ける状態）になる。これにより、制御装置２４は、ペン
シル２３がＰ₂₂に到達したときに、ペンシル２３に対し
てウエハの移載サイクルの中止指令を与えられる。そし
て、ペンシル２３はＰ₂₂‐Ｐ₂₁に下降し、Ｐ₂₀からＰ₃₀
の経路を移動してウエハカセット２５の棚番号NO.3の棚
に向かいアプロ−チする。

【００３５】(3)次いで、ペンシル２３は、Ｐ₃₀‐Ｐ₃₁
‐Ｐ₃₂の経路を移動し、前記と同様Ｐ₃₁‐Ｐ₃₂を移動す
る間に、この棚にウエハＷ₂が有るか無いかを透過式セ
ンサ３７でチェックする。この例では、ウエハカセット
２５の棚番号NO.3の棚にウエハＷ₁があるので、ペンシ
ル２３は、このウエハＷ₂を吸着して棚から持ち上げ
て、上記の如く、このウエハの移載サイクは継続実行さ
れるので、そのまま所定経路を移動して、ウエハＷをボ
−ト１７の棚番号NO.2の棚に載置する。

【００３６】このようにして、上述の如く、ペンシル２
３で吸着して持ち上げられるウエハＷを検知しながらウ
エハカセット２５からボ−ト１７への移載が順次行なわ
れる。また、ウエハＷの表面処理が行なわれて、ボ−ト
１７からウエハカセット２５にウエハＷを移載する際に
も上記と同様の手順でウエハＷの有無を検出しながら移
載が行なわれる。

【００３７】このように、本発明の実施例によれば、投
光器３８からの検出光は、ペンシル２３に設けられてい
る孔５０の内面５０ａに投射して、この孔５０の内面５
０ａで反射される反射光を受光器３９で受光する光路を
形成し、ペンシル２３に吸着されるウエハＷがこの検出
光を遮光するか否かにより、即ち、ウエハＷに直接検出
光を投射して、そのウエハＷで反射される反射光を受光
するものでないので、ペンシル２３に吸着されるウエハ
Ｗの位置関係、表面処理されたウエハＷの膜質により反
射される反射光の光量に影響されることなく、常に、受
光器３９が受光する反射光の光量が一定状態となり、ペ
ンシル２３に吸着されるウエハＷの有無を確実に検出す
ることができる。

【００３８】また、投光器３８および受光器３９は、ペ
ンシル２３がウエハＷを吸着して持ち上げる移載動作に
関係のない移載ロボット１９のハンド２２に取付けてあ
るので、ペンシル２３がウエハカセット２５からウエハ
Ｗを持ち上げる際に、投光器３８および受光器３９がウ
エハカセット２５の棚等に接触して破損することがなく
なり、更に、ウエハＷの帯電している静電気による影響
もなくなる。

【００３９】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のウエハ検
知装置によれば、ペンシルがウエハを吸着する位置とは
無関係の位置から検知センサの検出光をペンシルのウエ
ハを吸着する領域内の孔に投射し、この孔により反射さ
れる反射光を受光する光路を形成しているので、従来の
如く、ウエハに直接に検出光を投射して、そのウエハで
反射される反射光を受光してウエハの有無を検出するに
比して、受光する反射光が一定光量となり、確実にウエ
ハの有無を検出することができるとともに、受光する反
射光の光量の相違による移載ロボットの誤動作も防止す
ることができる。

【００４０】また、検知センサは、ペンシルの移載作動
と関係のない位置に設けられているので、例えば、ペン
シルがウエハを吸着して持ち上げたときにこのウエハに
帯電されている静電気等による影響を受けることがない
ので、移載ロボットの誤動作を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例としてのウエハ検知装置を示
す上面拡大図である。

【図２】本発明の一実施例としてのウエハ検知装置を示
す側面拡大図である。

【図３】図１および図２の実施例において、ペンシルが
ウエハカセットの棚に位置した時の状態を示す側面拡大
図である。

【図４】図１および図２の実施例において、ペンシルが
ウエハカセットからウエハを吸着した状態を示す側面拡
大図である。

【図５】従来技術の第１のウエハ検知装置を示す上面拡
大図である。

【図６】従来技術の第１のウエハ検知装置を示す側面拡
大図である。

【図７】従来技術の第２のウエハ検知装置を示す上面拡
大図である。

【図８】従来技術の第２のウエハ検知装置を示す側面拡
大図である。

【図９】ペンシルの移載経路を示す図である。

【図１０】ボ−トの構造を示す縦断面図である。

【図１１】ボ−トの構造を示す上面図である。

【図１２】ウエハカセットの構造を示す縦断面図であ
る。

【図１３】ウエハカセットの構造を示す上面図である。

【図１４】表面処理装置のシステムを示す矢視図であ
る。

【図１５】図１４における表面処理装置の細部を示す縦
断面図である。

【符号の説明】

１０縦型反応炉（表面処理炉）１７ボ−ト１９移載ロボット２３ペンシル２５ウエハカセット２６ステ−ジ３３検知センサ３７透過式センサ３８投光器３９受光器５０孔５０ａ孔内面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定枚数のウエハを一定間隔を隔てて各棚
に段々に収納可能であって所定位置にあるステ−ジに対
して搬入・搬出されるウエハカセットと、一定枚数のウ
エハを一定間隔を隔てて各棚に段々に収納可能であって
所定位置から表面処理炉内へまたはこの逆に移送される
ボ−トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルと、上記ペ
ンシルに吸着される上記ウエハを検出する検知センサ
と、上記ペンシルを片持ち支持する移動ロボットとを備
え、上記ペンシルは上記ウエハカセットの棚へアプロ−
チして若しくは上記ボ−トの棚へアプロ−チして上記棚
に載置されているウエハの有無を上記検知センサで検出
してウエハを上記ウエハカセットから上記ボ−トへ若し
くはその逆に移載する移載サイクルを実行するものにお
いて、上記ペンシルは上記ウエハを吸着する領域に上記棚列方
向に貫通する孔を有し、上記検知センサは、この検出光
を上記孔の一方開口から入射させ、この孔の内面で反射
される反射光を他方開口から出射させて受光する光路を
形成したことを特徴とするウエハ検知装置。
【請求項２】検知センサは、投光器と受光器とからなる
センサであって、この投光器は上記孔の入射側の光路上
に設け、この受光器は上記孔の出射側の光路上に設けた
ことを特徴とする請求項１記載のウエハ検知装置。
【請求項３】ペンシルは、上記ウエハを吸着する際、上
記投光器から上記受光器に投射される検出光が上記ウエ
ハで遮光されたときには上記移載サイクルが継続実行さ
れ、この検出光が上記ウエハで遮光されないときには当
該移載サイクルを中止して次段の棚にアプロ−チするこ
とを特徴とする請求項１および請求項２記載のウエハ検
知装置。