JP3175082B2 - ディスク搬送装置 - Google Patents
ディスク搬送装置Info
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- JP3175082B2 JP3175082B2 JP4814297A JP4814297A JP3175082B2 JP 3175082 B2 JP3175082 B2 JP 3175082B2 JP 4814297 A JP4814297 A JP 4814297A JP 4814297 A JP4814297 A JP 4814297A JP 3175082 B2 JP3175082 B2 JP 3175082B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子のウェ
ハ、ＣＤ、丸鋸歯等のディスクタイプの物品を搬送する
ディスク搬送装置に関するものである。
ハ、ＣＤ、丸鋸歯等のディスクタイプの物品を搬送する
ディスク搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のディスク搬送装置は、本発明の一
実施の形態例から透過型センサ及び反射型センサが除去
されたものであるから、紙面を節約する便宜上図１，図
２及び図４を借用して従来の技術を説明する。
実施の形態例から透過型センサ及び反射型センサが除去
されたものであるから、紙面を節約する便宜上図１，図
２及び図４を借用して従来の技術を説明する。
【０００３】従来のディスク搬送装置においては、アー
ムの位置の検出は、第２アーム２を駆動するモータ１４
に内蔵されたエンコーダ（図示せず）と第１アーム１を
駆動するエアシリンダ８のストロークエンドを検出する
センサ（図示せず）によって行われ、異常な場合には、
インターロックが働いた。
ムの位置の検出は、第２アーム２を駆動するモータ１４
に内蔵されたエンコーダ（図示せず）と第１アーム１を
駆動するエアシリンダ８のストロークエンドを検出する
センサ（図示せず）によって行われ、異常な場合には、
インターロックが働いた。
【０００４】従来のディスクの搬送装置では、第２アー
ム２とモータ１４との間を回転連結しているベルト１２
がゆるんだり切れたりした場合や、機械的なガタが発生
した場合に、第２アーム２の位置とエンコーダの関係が
くずれ、第２アーム２の正確な位置を検出することがで
きない。また、エアシリンダ８の駆動部で故障が発生し
ても、第１アーム１の正確な位置を検出することができ
ない。両アームの位置が正常でない状態でウェハ６が搬
送された場合、両アームとウェハとが干渉するから、ウ
ェハを破損する重大なトラブルが起きる。
ム２とモータ１４との間を回転連結しているベルト１２
がゆるんだり切れたりした場合や、機械的なガタが発生
した場合に、第２アーム２の位置とエンコーダの関係が
くずれ、第２アーム２の正確な位置を検出することがで
きない。また、エアシリンダ８の駆動部で故障が発生し
ても、第１アーム１の正確な位置を検出することができ
ない。両アームの位置が正常でない状態でウェハ６が搬
送された場合、両アームとウェハとが干渉するから、ウ
ェハを破損する重大なトラブルが起きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、前
記従来のディスク搬送装置の欠点を改良し、ディスクを
挟持搬送する一対のアームの位置をセンサを使用して直
接的に正確に検出し、トラブルの発生を防止しようとす
るものである。
記従来のディスク搬送装置の欠点を改良し、ディスクを
挟持搬送する一対のアームの位置をセンサを使用して直
接的に正確に検出し、トラブルの発生を防止しようとす
るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、次の手段を採用する。
決するため、次の手段を採用する。
【０００７】１．ハウジング内にディスクのチャック位
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記アーム装置の各前記アームが
相対的に回転可能で、かつ、前記第１アームと前記第２
アームのそれぞれにセンサ光が通過可能な小孔を有し、
前記アーム装置の一方の前記アーム側の前記ハウジング
に透過型センサ発光部を設置し、前記アーム装置の他方
の前記アーム側の前記ハウジングに透過型センサ受光部
を設置し、前記センサ光が前記第１アームと前記第２ア
ームのそれぞれの小孔を通過することにより前記第１ア
ームと前記第２アームからなる前記一対のアームの相対
的な位置を検出するディスク搬送装置。
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記アーム装置の各前記アームが
相対的に回転可能で、かつ、前記第１アームと前記第２
アームのそれぞれにセンサ光が通過可能な小孔を有し、
前記アーム装置の一方の前記アーム側の前記ハウジング
に透過型センサ発光部を設置し、前記アーム装置の他方
の前記アーム側の前記ハウジングに透過型センサ受光部
を設置し、前記センサ光が前記第１アームと前記第２ア
ームのそれぞれの小孔を通過することにより前記第１ア
ームと前記第２アームからなる前記一対のアームの相対
的な位置を検出するディスク搬送装置。
【０００８】２．ハウジング内にディスクのチャック位
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームが相対的に回転可能で、か
つ、それぞれセンサ光が通過可能な小孔を有し、前記第
１アームと前記第２アームからなる前記一対のアームの
一方の前記アーム側の前記ハウジングに反射型センサを
設置し、前記第１アームと前記第２アームからなる前記
一対のアームの他方の前記アーム側の前記ハウジングに
反射部材を設置し、前記センサ光が前記両小孔を通過す
ることにより前記第１アームと前記第２アームからなる
前記一対のアームの相対的な位置を検出するディスク搬
送装置。
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームが相対的に回転可能で、か
つ、それぞれセンサ光が通過可能な小孔を有し、前記第
１アームと前記第２アームからなる前記一対のアームの
一方の前記アーム側の前記ハウジングに反射型センサを
設置し、前記第１アームと前記第２アームからなる前記
一対のアームの他方の前記アーム側の前記ハウジングに
反射部材を設置し、前記センサ光が前記両小孔を通過す
ることにより前記第１アームと前記第２アームからなる
前記一対のアームの相対的な位置を検出するディスク搬
送装置。
【０００９】３．ハウジング内にディスクのチャック位
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームが相対的に回転可能で、か
つ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離隔可能
な爪を有し、前記第１アームと前記第２アームからなる
前記一対のアームの一方の前記アーム側の前記ハウジン
グに２個の透過型センサ発光部を設置し、前記第１アー
ムと前記第２アームからなる前記一対のアームの他方の
前記アーム側の前記ハウジングに２個の透過型センサ受
光部を設置し、センサ光が前記両爪で遮断されることに
より前記第１アームと前記第２アームからなる前記一対
のアームの相対的な位置を検出するディスク搬送装置。
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームが相対的に回転可能で、か
つ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離隔可能
な爪を有し、前記第１アームと前記第２アームからなる
前記一対のアームの一方の前記アーム側の前記ハウジン
グに２個の透過型センサ発光部を設置し、前記第１アー
ムと前記第２アームからなる前記一対のアームの他方の
前記アーム側の前記ハウジングに２個の透過型センサ受
光部を設置し、センサ光が前記両爪で遮断されることに
より前記第１アームと前記第２アームからなる前記一対
のアームの相対的な位置を検出するディスク搬送装置。
【００１０】４．ハウジング内にディスクのチャック位
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームが相対的に回転可能で、か
つ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離隔可能
な爪を有し、前記第１アームと前記第２アームからなる
前記一対のアームの一方の前記アーム側の前記ハウジン
グに２個の反射型センサを設置し、前記第１アームと前
記第２アームからなる前記一対のアームの他方の前記ア
ーム側の前記ハウジングに２個の反射部材を設置し、セ
ンサ光が前記両爪で遮断されることにより前記第１アー
ムと前記第２アームからなる前記一対のアームの相対的
な位置を検出するディスク搬送装置。
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送する装置において、前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームが相対的に回転可能で、か
つ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離隔可能
な爪を有し、前記第１アームと前記第２アームからなる
前記一対のアームの一方の前記アーム側の前記ハウジン
グに２個の反射型センサを設置し、前記第１アームと前
記第２アームからなる前記一対のアームの他方の前記ア
ーム側の前記ハウジングに２個の反射部材を設置し、セ
ンサ光が前記両爪で遮断されることにより前記第１アー
ムと前記第２アームからなる前記一対のアームの相対的
な位置を検出するディスク搬送装置。
【００１１】５．前記第１アームと前記第２アームから
なる前記一対のアームの位置が異常であることを検出し
たとき、シーケンス制御により前記第１アームと前記第
２アームからなる前記一対のアームの作動を停止する前
記１，２，３又は４記載のディスク搬送装置。
なる前記一対のアームの位置が異常であることを検出し
たとき、シーケンス制御により前記第１アームと前記第
２アームからなる前記一対のアームの作動を停止する前
記１，２，３又は４記載のディスク搬送装置。
【００１２】６．ハウジング内にディスクのチャック位
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送するディスク搬送装置において、前記アーム装置の各
前記アームが相対的に回転可能で、かつ、前記第１アー
ムと前記第２アーム及び一方の前記アーム側の前記ハウ
ジングに、前記第１アームと前記第２アームのそれぞれ
の位置を検出するセンサによる位置検出装置を設け、前
記位置検出装置により前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームの相対的な位置を検出するよ
う構成するとともに、前記第１アームと前記第２アーム
にて挟持した前記ディスクを、前記第１アームを伴った
前記第２アームにより、前記ハウジング内の前記サポー
ト装置から、前記ハウジング外の次工程への供給のため
の前記リリース位置に向かって垂直方向で回転すること
により前記ディスクを搬送するように構成したディスク
搬送装置。
置と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリー
ス位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディ
スクを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハ
ウジングに収納された複数の前記ディスクを第１アーム
と第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアーム
を有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬
送するディスク搬送装置において、前記アーム装置の各
前記アームが相対的に回転可能で、かつ、前記第１アー
ムと前記第２アーム及び一方の前記アーム側の前記ハウ
ジングに、前記第１アームと前記第２アームのそれぞれ
の位置を検出するセンサによる位置検出装置を設け、前
記位置検出装置により前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームの相対的な位置を検出するよ
う構成するとともに、前記第１アームと前記第２アーム
にて挟持した前記ディスクを、前記第１アームを伴った
前記第２アームにより、前記ハウジング内の前記サポー
ト装置から、前記ハウジング外の次工程への供給のため
の前記リリース位置に向かって垂直方向で回転すること
により前記ディスクを搬送するように構成したディスク
搬送装置。
【００１３】７．前記サポート装置には、サポートロッ
ドを前記ハウジング内の上部にスライド可能に配置し、
複数のサポートプレートを前記サポートロッド上に、垂
直方向に一定の間隔で固定するよう設け、複数の前記デ
ィスクを略垂直方向の姿勢で各前記サポートプレート上
に保持するよう設け、前記サポートロッドの一定間隔の
間欠的なスライド駆動により複数の前記ディスクを前記
アーム装置に対して順次搬送するよう構成し、前記アー
ム装置には、前記第１アームと前記第２アームとを前記
ハウジングの前記上部から下部までにわたって重ねて設
置し、各前記ディスクをチャックするための爪を有する
前記第２アームは前記ハウジングに支軸を中心に回転可
能に支持され、各前記ディスクをチャックするための爪
を有する前記第１アームは前記第２アームに支軸で相対
的に回転可能に設けられ、前記第１アームは、前記第１
アームの下端部に配設する駆動機構によって駆動するよ
う構成し、前記第２アームは、前記ハウジングの前記下
部の一方側に支持されたドライブシャフトを支点として
構成される動力伝達機構によって回転するよう構成した
前記６記載のディスク搬送装置。
ドを前記ハウジング内の上部にスライド可能に配置し、
複数のサポートプレートを前記サポートロッド上に、垂
直方向に一定の間隔で固定するよう設け、複数の前記デ
ィスクを略垂直方向の姿勢で各前記サポートプレート上
に保持するよう設け、前記サポートロッドの一定間隔の
間欠的なスライド駆動により複数の前記ディスクを前記
アーム装置に対して順次搬送するよう構成し、前記アー
ム装置には、前記第１アームと前記第２アームとを前記
ハウジングの前記上部から下部までにわたって重ねて設
置し、各前記ディスクをチャックするための爪を有する
前記第２アームは前記ハウジングに支軸を中心に回転可
能に支持され、各前記ディスクをチャックするための爪
を有する前記第１アームは前記第２アームに支軸で相対
的に回転可能に設けられ、前記第１アームは、前記第１
アームの下端部に配設する駆動機構によって駆動するよ
う構成し、前記第２アームは、前記ハウジングの前記下
部の一方側に支持されたドライブシャフトを支点として
構成される動力伝達機構によって回転するよう構成した
前記６記載のディスク搬送装置。
【００１４】８．所定位置から支点を中心に前記サポー
ト装置上の各前記ディスク側へ前記第２アームを駆動回
転し、前記第２アームの爪を前記ディスクと接触させ、
支点を中心に前記第１アームを駆動回転し、前記第１ア
ームの爪を前記サポート装置上の前記ディスクに接触さ
せ、前記第１アームと前記第２アームとの両方の爪にて
前記ディスクを挟むようにチャックするよう構成した前
記６記載のディスク搬送装置。
ト装置上の各前記ディスク側へ前記第２アームを駆動回
転し、前記第２アームの爪を前記ディスクと接触させ、
支点を中心に前記第１アームを駆動回転し、前記第１ア
ームの爪を前記サポート装置上の前記ディスクに接触さ
せ、前記第１アームと前記第２アームとの両方の爪にて
前記ディスクを挟むようにチャックするよう構成した前
記６記載のディスク搬送装置。
【００１５】９．前記第１アームと前記第２アームとの
両方の爪が前記ディスクを離して次工程に受け渡すリリ
ース時には、前記第１アームは、駆動により支点を中心
にチャッキングのときとは逆方向に回転し、前記第１ア
ームの爪が前記ディスクから離隔するよう構成し、前記
第２アームは、駆動により支点を中心に前記チャッキン
グのときとは逆方向に更に回転し、前記第２アームの爪
が前記ディスクから離隔し、前記ディスクを完全にリリ
ースして、前記第１アームと前記第２アームを、それぞ
れ駆動制御して前記ディスクの前記チャック位置に戻す
よう構成した前記６記載のディスク搬送装置。
両方の爪が前記ディスクを離して次工程に受け渡すリリ
ース時には、前記第１アームは、駆動により支点を中心
にチャッキングのときとは逆方向に回転し、前記第１ア
ームの爪が前記ディスクから離隔するよう構成し、前記
第２アームは、駆動により支点を中心に前記チャッキン
グのときとは逆方向に更に回転し、前記第２アームの爪
が前記ディスクから離隔し、前記ディスクを完全にリリ
ースして、前記第１アームと前記第２アームを、それぞ
れ駆動制御して前記ディスクの前記チャック位置に戻す
よう構成した前記６記載のディスク搬送装置。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態例について
図１〜図４を参照して説明する。
図１〜図４を参照して説明する。
【００１７】まず、本実施の形態例の基本的な構造につ
いて図１と図２を参照して説明する。
いて図１と図２を参照して説明する。
【００１８】ハウジング内の上部にサポートロッド１５
がスライド可能に配置され、サポートロッド１５上に多
数のサポートプレート１６が垂直方向に一定の間隔で固
定されている。多数の半導体素子のウェハ６は、各サポ
ートプレート１６に垂直方向に対してわずかに傾斜した
姿勢で立てかけられて支えられている。後述するよう
に、多数のウェハ６は、サポートロッド１５の前記間隔
（ピッチ）の間欠的なスライドにより順次搬送される。
がスライド可能に配置され、サポートロッド１５上に多
数のサポートプレート１６が垂直方向に一定の間隔で固
定されている。多数の半導体素子のウェハ６は、各サポ
ートプレート１６に垂直方向に対してわずかに傾斜した
姿勢で立てかけられて支えられている。後述するよう
に、多数のウェハ６は、サポートロッド１５の前記間隔
（ピッチ）の間欠的なスライドにより順次搬送される。
【００１９】ハウジング７の上部から下部までにわたっ
て、第１アーム１と第２アーム２が重なって設置され、
第２アーム２はハウジング７に支点Ａを中心に回転可能
に支持され、第１アーム１は第２アーム２に支点Ｂで相
対的に回転可能に取り付けられている。第１アーム１に
は、ウェハ６をチャックするための爪３Ａが１個所に取
り付けられ、また、第２アーム２には、ウェハ６をチャ
ックするための爪３Ｂ，３Ｃが２個所に取り付けられて
いる。第１アーム１と第２アーム２の間には、バネ４が
取り付けられ、第１アーム１は、バネ４により常にウェ
ハ６を挟む方向に負荷をかけられている。
て、第１アーム１と第２アーム２が重なって設置され、
第２アーム２はハウジング７に支点Ａを中心に回転可能
に支持され、第１アーム１は第２アーム２に支点Ｂで相
対的に回転可能に取り付けられている。第１アーム１に
は、ウェハ６をチャックするための爪３Ａが１個所に取
り付けられ、また、第２アーム２には、ウェハ６をチャ
ックするための爪３Ｂ，３Ｃが２個所に取り付けられて
いる。第１アーム１と第２アーム２の間には、バネ４が
取り付けられ、第１アーム１は、バネ４により常にウェ
ハ６を挟む方向に負荷をかけられている。
【００２０】第２アーム２は、モータ１４、小プーリ１
３、ベルト１２、大プーリ１１及びハウジング７の下部
の一方側に支持されたドライブシャフト１０（支点Ａ）
から構成される動力伝達機構によって回転させられる。
３、ベルト１２、大プーリ１１及びハウジング７の下部
の一方側に支持されたドライブシャフト１０（支点Ａ）
から構成される動力伝達機構によって回転させられる。
【００２１】ハウジング７の下部のドライブシャフト１
０の他方側には、クランクシャフト５が支持され、クラ
ンクシャフト５には、ベルクランク機構５Ａが固定され
いてる。ベルクランク機構５Ａの一端部は、第１アーム
１の下端部に当接し、ベルクランク機構５Ａの他端部
は、エアシリンダ８のプランジャ８Ａに連結している。
０の他方側には、クランクシャフト５が支持され、クラ
ンクシャフト５には、ベルクランク機構５Ａが固定され
いてる。ベルクランク機構５Ａの一端部は、第１アーム
１の下端部に当接し、ベルクランク機構５Ａの他端部
は、エアシリンダ８のプランジャ８Ａに連結している。
【００２２】ウェハ６のチャッキングについて説明する
と、まず、第２アーム２は、モータ１４の駆動により所
定位置（図２の実線の状態）から支点Ａを中心に角度θ
１（約１°）だけウェハ６側へ回転し、２箇所の爪３
Ｂ，３Ｃがウェハ６と接触する。次に、第１アーム１
は、エアシリンダ８の駆動により支点Ｂを中心に回転
し、爪３Ａがウェハ６に接触し、３箇所の爪３Ａ，３
Ｂ，３Ｃがウェハ６を挟むようにチャックする。
と、まず、第２アーム２は、モータ１４の駆動により所
定位置（図２の実線の状態）から支点Ａを中心に角度θ
１（約１°）だけウェハ６側へ回転し、２箇所の爪３
Ｂ，３Ｃがウェハ６と接触する。次に、第１アーム１
は、エアシリンダ８の駆動により支点Ｂを中心に回転
し、爪３Ａがウェハ６に接触し、３箇所の爪３Ａ，３
Ｂ，３Ｃがウェハ６を挟むようにチャックする。
【００２３】続いて、第２アーム２は、角度θ１ ＋θ
２ だけ前記チャッキングのときと逆方向へ第１アーム
１を伴い、図２（ａ）に二点鎖線で示された位置に向か
って回転する。このとき、モータ１４の駆動とエアシリ
ンダ８の駆動は、同期するように制御される。
２ だけ前記チャッキングのときと逆方向へ第１アーム
１を伴い、図２（ａ）に二点鎖線で示された位置に向か
って回転する。このとき、モータ１４の駆動とエアシリ
ンダ８の駆動は、同期するように制御される。
【００２４】爪３Ａ，３Ｂ，３Ｃがウェハ６を離すいわ
ゆるリリースのときには、まず、第１アーム１は、エア
シリンダ８の駆動により支点Ｂを中心に前記チャッキン
グのときとは逆方向に回転し、爪３Ａがウェハ６から離
隔する。次に、第２アーム２は、モータ１４の駆動によ
り支点Ａを中心に更に角度θ１ だけ前記チャッキング
のときとは逆方向に回転し、２箇所の爪３Ｂ，３Ｃがウ
ェハ６から離隔し、図２（ａ）に二点鎖線で示された位
置に至る。
ゆるリリースのときには、まず、第１アーム１は、エア
シリンダ８の駆動により支点Ｂを中心に前記チャッキン
グのときとは逆方向に回転し、爪３Ａがウェハ６から離
隔する。次に、第２アーム２は、モータ１４の駆動によ
り支点Ａを中心に更に角度θ１ だけ前記チャッキング
のときとは逆方向に回転し、２箇所の爪３Ｂ，３Ｃがウ
ェハ６から離隔し、図２（ａ）に二点鎖線で示された位
置に至る。
【００２５】これから先のウェハ６のイオン注入装置に
おける真空容器への搬送についての説明を省略する。
おける真空容器への搬送についての説明を省略する。
【００２６】以後は、第１アーム１と第２アーム２を、
それぞれモータ１４とエアシリンダ８により制御して図
２の実線位置に戻す。また、サポートロッド１５は、図
１における左方へ１ピッチ（２枚のサポートプレート１
６の間隔）だけスライドし、２枚目のウェハ６を搬送開
始位置に移動する。
それぞれモータ１４とエアシリンダ８により制御して図
２の実線位置に戻す。また、サポートロッド１５は、図
１における左方へ１ピッチ（２枚のサポートプレート１
６の間隔）だけスライドし、２枚目のウェハ６を搬送開
始位置に移動する。
【００２７】以上でウェハ６の搬送の１サイクルが終了
し、この後は同じサイクルを繰り返す。
し、この後は同じサイクルを繰り返す。
【００２８】次に、本実施の形態例における特有な透過
型センサ機構について図１と図２を参照して説明する。
型センサ機構について図１と図２を参照して説明する。
【００２９】透過型センサを使用する場合には、ハウジ
ング７の下部の一面側に透過型センサ発光部１８Ａと小
孔７Ａを、ハウジング７の下部の他面側に透過型センサ
受光部１８Ｂと小孔７Ｂを、それぞれ設ける。また、第
１アーム１に小孔１Ａを、第２アーム２に小孔２Ａを、
それぞれ開ける。
ング７の下部の一面側に透過型センサ発光部１８Ａと小
孔７Ａを、ハウジング７の下部の他面側に透過型センサ
受光部１８Ｂと小孔７Ｂを、それぞれ設ける。また、第
１アーム１に小孔１Ａを、第２アーム２に小孔２Ａを、
それぞれ開ける。
【００３０】ウェハ６のチャッキングのとき、第１アー
ム１の爪３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６
を正確にチャックすると、透過型センサ発光部１８Ａが
照射したレーザ光等のセンサ光は、ハウジング７の小孔
７Ａ、第１アーム１の小孔１Ａ、第２アーム２の小孔２
Ａ及びハウジングの小孔７Ｂを通過して透過型センサ受
光部１８Ｂに受光される。したがって、ウェハ６の正確
なチャッキングの完了を検出することができる。
ム１の爪３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６
を正確にチャックすると、透過型センサ発光部１８Ａが
照射したレーザ光等のセンサ光は、ハウジング７の小孔
７Ａ、第１アーム１の小孔１Ａ、第２アーム２の小孔２
Ａ及びハウジングの小孔７Ｂを通過して透過型センサ受
光部１８Ｂに受光される。したがって、ウェハ６の正確
なチャッキングの完了を検出することができる。
【００３１】続いて、本実施の形態例における特有な反
射型センサ機構について図１と図３を参照して説明す
る。
射型センサ機構について図１と図３を参照して説明す
る。
【００３２】反射型センサを使用する場合には、ハウジ
ング７の上部の一面側の窓９に反射型センサ１７Ａ，１
７Ｂを、ハウジング７の上部の前記窓９に対向している
他面側に反射テープ１９Ａ，１９Ｂを、それぞれ設け
る。
ング７の上部の一面側の窓９に反射型センサ１７Ａ，１
７Ｂを、ハウジング７の上部の前記窓９に対向している
他面側に反射テープ１９Ａ，１９Ｂを、それぞれ設け
る。
【００３３】ウェハ６のリリースのとき、反射型センサ
１７Ａ，１７Ｂが照射したセンサ光は、図３（ａ）に示
されるように、それぞれウェハ６の周端と第１アーム１
の爪３Ａとの隙間（約３ｍｍ）内のセンサ光通過点Ｄ、
ウェハ６の周端と第２アーム２の爪３Ｃとの隙間内のセ
ンサ光通過点Ｅを通過し、反射テープ１９Ａ，１９Ｂに
よって反射され、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂに戻って
受光される。
１７Ａ，１７Ｂが照射したセンサ光は、図３（ａ）に示
されるように、それぞれウェハ６の周端と第１アーム１
の爪３Ａとの隙間（約３ｍｍ）内のセンサ光通過点Ｄ、
ウェハ６の周端と第２アーム２の爪３Ｃとの隙間内のセ
ンサ光通過点Ｅを通過し、反射テープ１９Ａ，１９Ｂに
よって反射され、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂに戻って
受光される。
【００３４】ウェハ６のチャッキングのとき、第１アー
ム１の爪３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６
を正確にチャックすると、前記両隙間は、図３（ｂ）に
示されるように、それぞれなくなる。したがって、反射
型センサ１７Ａ，１７Ｂが照射したセンサ光は、それぞ
れ第１アームの爪３Ａ、第２アームの爪３Ｃによって遮
断されるから、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂに戻らな
い。よって、ウェハ６の正確なチャッキングの完了を検
出することができる。なお、爪３Ａ，３Ｃには、センサ
光を反射しない材質を採用する。
ム１の爪３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６
を正確にチャックすると、前記両隙間は、図３（ｂ）に
示されるように、それぞれなくなる。したがって、反射
型センサ１７Ａ，１７Ｂが照射したセンサ光は、それぞ
れ第１アームの爪３Ａ、第２アームの爪３Ｃによって遮
断されるから、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂに戻らな
い。よって、ウェハ６の正確なチャッキングの完了を検
出することができる。なお、爪３Ａ，３Ｃには、センサ
光を反射しない材質を採用する。
【００３５】第１アーム１の爪３Ａ、第２アーム２の爪
３Ｃとウェハ６の周端との隙間にセンサ光を通過させる
方式（反射型センサか透過型センサかを問わない。）
は、第１アーム１、第２アーム２にそれぞれ小孔１Ａ，
２Ａを開けてこれらの小孔の一致によって形成される通
路を通るセンサ光により両アームの位置を検出する方式
（透過型センサか反射型センサかを問わない。）と対比
して、両アーム先端側で変形が生じた場合のトラブルを
一掃することができるので、好適である。
３Ｃとウェハ６の周端との隙間にセンサ光を通過させる
方式（反射型センサか透過型センサかを問わない。）
は、第１アーム１、第２アーム２にそれぞれ小孔１Ａ，
２Ａを開けてこれらの小孔の一致によって形成される通
路を通るセンサ光により両アームの位置を検出する方式
（透過型センサか反射型センサかを問わない。）と対比
して、両アーム先端側で変形が生じた場合のトラブルを
一掃することができるので、好適である。
【００３６】また、反射型センサ方式は、透過型センサ
方式と対比してシール性が良好である。すなわち、透過
型センサ方式は、第１アーム１と第２アーム２を挟む両
側のハウジング７にシール手段を要するが、反射型セン
サ方式は、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂを取り付けられ
る一方側のみのハウジング７にシール手段を要するため
である。
方式と対比してシール性が良好である。すなわち、透過
型センサ方式は、第１アーム１と第２アーム２を挟む両
側のハウジング７にシール手段を要するが、反射型セン
サ方式は、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂを取り付けられ
る一方側のみのハウジング７にシール手段を要するため
である。
【００３７】更に、本実施の形態例におけるアーム等の
動作のシーケンスについて図４を参照して説明する。
動作のシーケンスについて図４を参照して説明する。
【００３８】一点鎖線で囲んだ部分は、従来の技術に対
して新規に追加されるシーケンスを示す。本実施の形態
例においては、アーム位置確認センサ（反射型センサ１
７Ａ，１７Ｂ、透過型センサ発光部１８Ａ、透過型セン
サ受光部１８Ｂ）を設けることによりアーム（第１アー
ム１、第２アーム２）の位置を直接検出し、その結果を
シーケンスに採用することによってアーム位置確認の信
頼性が向上した。
して新規に追加されるシーケンスを示す。本実施の形態
例においては、アーム位置確認センサ（反射型センサ１
７Ａ，１７Ｂ、透過型センサ発光部１８Ａ、透過型セン
サ受光部１８Ｂ）を設けることによりアーム（第１アー
ム１、第２アーム２）の位置を直接検出し、その結果を
シーケンスに採用することによってアーム位置確認の信
頼性が向上した。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、従来の
技術は、一対のアームを直接的に検出する構造ではない
ため、一対のアームや駆動部に異常があっても、検出す
ることができなかった。異常を検出しないと、ウェハや
チャックを破損する重大なトラブルが起きる。本発明に
よれば、一対のアームがそれぞれ有する小孔を通過する
センサ光を、透過型センサ又は反射型センサを使用して
検出する構成、一対のアームがそれぞれ有する爪とディ
スクの周端との隙間を、センサ光の通過が遮断されるこ
とを透過型センサ又は反射型センサを使用して検出する
構成、及び、一対のアームの相対的な位置をセンサを使
用して検出し、しかも、第１アームを伴った第２アーム
が垂直方向で回転する構成を、それぞれ採用したので、
一対のアームがディスクをチャックしたか否かを正確に
確認することができるから、ディスク搬送装置の信頼性
が向上し、また、ウェハやチャックを破損するトラブル
を回避できる。更に、本発明によれば、ディスクを搬送
し易く、しかも、搬送装置のコンパクト化を図れる。
技術は、一対のアームを直接的に検出する構造ではない
ため、一対のアームや駆動部に異常があっても、検出す
ることができなかった。異常を検出しないと、ウェハや
チャックを破損する重大なトラブルが起きる。本発明に
よれば、一対のアームがそれぞれ有する小孔を通過する
センサ光を、透過型センサ又は反射型センサを使用して
検出する構成、一対のアームがそれぞれ有する爪とディ
スクの周端との隙間を、センサ光の通過が遮断されるこ
とを透過型センサ又は反射型センサを使用して検出する
構成、及び、一対のアームの相対的な位置をセンサを使
用して検出し、しかも、第１アームを伴った第２アーム
が垂直方向で回転する構成を、それぞれ採用したので、
一対のアームがディスクをチャックしたか否かを正確に
確認することができるから、ディスク搬送装置の信頼性
が向上し、また、ウェハやチャックを破損するトラブル
を回避できる。更に、本発明によれば、ディスクを搬送
し易く、しかも、搬送装置のコンパクト化を図れる。
【図１】本発明の一実施の形態例の側面から見た断面図
である。
である。
【図２】本発明の一実施の形態例の正面から見た全部及
び一部の断面図であり、（ａ）は全部のもの、（ｂ）は
エアシリンダから第１アームへの動力伝達部のものを、
それぞれ示す。
び一部の断面図であり、（ａ）は全部のもの、（ｂ）は
エアシリンダから第１アームへの動力伝達部のものを、
それぞれ示す。
【図３】本発明の一実施の形態例における一対のアーム
とそれらの爪の各位置を正面から見た断面図であり、
（ａ）はリリース位置のもの、（ｂ）はチャック位置の
ものを、それぞれ示す。
とそれらの爪の各位置を正面から見た断面図であり、
（ａ）はリリース位置のもの、（ｂ）はチャック位置の
ものを、それぞれ示す。
【図４】本発明の一実施の形態例の一対のアーム等の動
作のシーケンスを示すフローチャートである。
作のシーケンスを示すフローチャートである。
１ 第１アーム １Ａ 小孔 ２ 第２アーム ２Ａ 小孔 ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ 爪 ４ バネ ５ クランクシャフト ５Ａ ベルクランク機構 ６ ウェハ ７ ハウジング ７Ａ，７Ｂ 小孔 ８ エアシリンダ ８Ａ プランジャ ９ 窓 １０ ドライブシャフト １１ 大プーリ １２ ベルト １３ 小プーリ １４ モータ １５ サポートロッド １６ サポートプレート １７Ａ，１７Ｂ 反射型センサ １８Ａ 透過型センサ発光部 １８Ｂ 透過型センサ受光部 １９Ａ，１９Ｂ 反射テープ Ａ，Ｂ 支点 Ｄ，Ｅ センサ光通過点
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B25J 9/10 B25J 19/02 H01L 21/68
Claims (9)
- 【請求項１】 ハウジング内にディスクのチャック位置
と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリース
位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディス
クを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハウ
ジングに収納された複数の前記ディスクを第１アームと
第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアームを
有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬送
する装置において、 前記アーム装置の各前記アームが相対的に回転可能で、
かつ、前記第１アームと前記第２アームのそれぞれにセ
ンサ光が通過可能な小孔を有し、前記アーム装置の一方
の前記アーム側の前記ハウジングに透過型センサ発光部
を設置し、前記アーム装置の他方の前記アーム側の前記
ハウジングに透過型センサ受光部を設置し、前記センサ
光が前記第１アームと前記第２アームのそれぞれの小孔
を通過することにより前記第１アームと前記第２アーム
からなる前記一対のアームの相対的な位置を検出するこ
とを特徴とするディスク搬送装置。 - 【請求項２】 ハウジング内にディスクのチャック位置
と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリース
位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディス
クを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハウ
ジングに収納された複数の前記ディスクを第１アームと
第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアームを
有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬送
する装置において、 前記第１アームと前記第２アームからなる前記一対のア
ームが相対的に回転可能で、かつ、それぞれセンサ光が
通過可能な小孔を有し、前記第１アームと前記第２アー
ムからなる前記一対のアームの一方の前記アーム側の前
記ハウジングに反射型センサを設置し、前記第１アーム
と前記第２アームからなる前記一対のアームの他方の前
記アーム側の前記ハウジングに反射部材を設置し、前記
センサ光が前記両小孔を通過することにより前記第１ア
ームと前記第２アームからなる前記一対のアームの相対
的な位置を検出することを特徴とするディスク搬送装
置。 - 【請求項３】 ハウジング内にディスクのチャック位置
と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリース
位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディス
クを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハウ
ジングに収納された複数の前記ディスクを第１アームと
第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアームを
有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬送
する装置において、 前記第１アームと前記第２アームからなる前記一対のア
ームが相対的に回転可能で、かつ、それぞれ前記ディス
クの周端に対して接触離隔可能な爪を有し、前記第１ア
ームと前記第２アームからなる前記一対のアームの一方
の前記アーム側の前記ハウジングに２個の透過型センサ
発光部を設置し、前記第１アームと前記第２アームから
なる前記一対のアームの他方の前記アーム側の前記ハウ
ジングに２個の透過型センサ受光部を設置し、センサ光
が前記両爪で遮断されることにより前記第１アームと前
記第２アームからなる前記一対のアームの相対的な位置
を検出することを特徴とするディスク搬送装置。 - 【請求項４】 ハウジング内にディスクのチャック位置
と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリース
位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディス
クを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハウ
ジングに収納された複数の前記ディスクを第１アームと
第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアームを
有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬送
する装置において、 前記第１アームと前記第２アームからなる前記一対のア
ームが相対的に回転可能で、かつ、それぞれ前記ディス
クの周端に対して接触離隔可能な爪を有し、前記第１ア
ームと前記第２アームからなる前記一対のアームの一方
の前記アーム側の前記ハウジングに２個の反射型センサ
を設置し、前記第１アームと前記第２アームからなる前
記一対のアームの他方の前記アーム側の前記ハウジング
に２個の反射部材を設置し、センサ光が前記両爪で遮断
されることにより前記第１アームと前記第２アームから
なる前記一対のアームの相対的な位置を検出することを
特徴とするディスク搬送装置。 - 【請求項５】 前記第１アームと前記第２アームからな
る前記一対のアームの位置が異常であることを検出した
とき、シーケンス制御により前記第１アームと前記第２
アームからなる前記一対のアームの作動を停止すること
を特徴とする請求項１，２，３又は４記載のディスク搬
送装置。 - 【請求項６】 ハウジング内にディスクのチャック位置
と前記ハウジング外の次工程への供給のためのリリース
位置をもつアーム装置と、前記アーム装置に前記ディス
クを供給するためのサポート装置とを配設し、前記ハウ
ジングに収納された複数の前記ディスクを第１アームと
第２アームからなるそれぞれ回転可能な一対のアームを
有する前記アーム装置により１枚ずつ順次挟持して搬送
するディスク搬送装置において、 前記アーム装置の各前記アームが相対的に回転可能で、
かつ、前記第１アームと前記第２アーム及び一方の前記
アーム側の前記ハウジングに、前記第１アームと前記第
２アームのそれぞれの位置を検出するセンサによる位置
検出装置を設け、前記位置検出装置により前記第１アー
ムと前記第２アームからなる前記一対のアームの相対的
な位置を検出するよう構成するとともに、 前記第１アームと前記第２アームにて挟持した前記ディ
スクを、前記第１アームを伴った前記第２アームによ
り、前記ハウジング内の前記サポート装置から、前記ハ
ウジング外の次工程への供給のための前記リリース位置
に向かって垂直方向で回転することにより前記ディスク
を搬送するように構成したことを特徴とするディスク搬
送装置。 - 【請求項７】 前記サポート装置には、サポートロッド
を前記ハウジング内の上部にスライド可能に配置し、複
数のサポートプレートを前記サポートロッド上に、垂直
方向に一定の間隔で固定するよう設け、複数の前記ディ
スクを略垂直方向の姿勢で各前記サポートプレート上に
保持するよう設け、前記サポートロッドの一定間隔の間
欠的なスライド駆動より複数の前記ディスクを前記アー
ム装置に対して順次搬送するよう構成し、前記アーム装
置には、前記第１アームと前記第２アームとを前記ハウ
ジングの前記上部から下部までにわたって重ねて設置
し、各前記ディスクをチャックするための爪を有する前
記第２アームは前記ハウジングに支軸を中心に回転可能
に支持され、各前記ディスクをチャックするための爪を
有する前記第１アームは前記第２アームに支軸で相対的
に回転可能に設けられ、前記第１アームは、前記第１ア
ームの下端部に配設する駆動機構によって駆動するよう
構成し、前記第２アームは、前記ハウジングの前記下部
の一方側に支持されたドライブシャフトを支点として構
成される動力伝達機構によって回転するよう構成したこ
とを特徴とする請求項６記載のディスク搬送装置。 - 【請求項８】 所定位置から支点を中心に前記サポート
装置上の各前記ディスク側へ前記第２アームを駆動回転
し、前記第２アームの爪を前記ディスクと接触させ、支
点を中心に前記第１アームを駆動回転し、前記第１アー
ムの爪を前記サポート装置上の前記ディスクに接触さ
せ、前記第１アームと前記第２アームとの両方の爪にて
前記ディスクを挟むようにチャックするよう構成したこ
とを特徴とする請求項６記載のディスク搬送装置。 - 【請求項９】 前記第１アームと前記第２アームとの両
方の爪が前記ディスクを離して次工程に受け渡すリリー
ス時には、前記第１アームは、駆動により支点を中心に
チャッキングのときとは逆方向に回転し、前記第１アー
ムの爪が前記ディスクから離隔するよう構成し、前記第
２アームは、駆動により支点を中心に前記チャッキング
のときとは逆方向に更に回転し、前記第２アームの爪が
前記ディスクから離隔し、前記ディスクを完全にリリー
スして、前記第１アームと前記第２アームを、それぞれ
駆動制御して前記ディスクの前記チャック位置に戻すよ
う構成したことを特徴とする請求項６記載のディスク搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4814297A JP3175082B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | ディスク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4814297A JP3175082B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | ディスク搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10244479A JPH10244479A (ja) | 1998-09-14 |
| JP3175082B2 true JP3175082B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=12795110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4814297A Expired - Fee Related JP3175082B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | ディスク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175082B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2349204B (en) * | 1999-04-19 | 2004-03-03 | Applied Materials Inc | A method of detecting the position of a wafer |
| CN101911274B (zh) * | 2007-12-27 | 2012-07-04 | 爱发科股份有限公司 | 传送机器人的诊断系统 |
-
1997
- 1997-03-03 JP JP4814297A patent/JP3175082B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10244479A (ja) | 1998-09-14 |
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