JPH10244479A - ディスク搬送装置 - Google Patents

ディスク搬送装置

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JPH10244479A
JPH10244479A JP4814297A JP4814297A JPH10244479A JP H10244479 A JPH10244479 A JP H10244479A JP 4814297 A JP4814297 A JP 4814297A JP 4814297 A JP4814297 A JP 4814297A JP H10244479 A JPH10244479 A JP H10244479A
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arms
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arm
sensor light
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Masafumi Mori
雅史 森
Keiji Okada
慶二 岡田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスクを挟持搬送する一対のアームの位置
をセンサを使用して直接的に正確に検出し、トラブルの
発生を防止する。 【解決手段】 一対の第１アーム１と第２アーム２と
は、それぞれモータ１４の駆動とエアシリンダ８の駆動
とにより回転可能であり、また、相対的に回転可能であ
る。ウェハ６のチャッキングのとき、第１アーム１の爪
３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６を正確に
チャックすると、透過型センサ発光部１８Ａが照射した
センサ光は、ハウジング７の小孔７Ａ、第１アーム１の
小孔１Ａ、第２アーム２の小孔２Ａ及びハウジング７の
小孔７Ｂを通過して透過型センサ受光部１８Ｂに受光さ
れる。したがって、ウェハ６の正確なチャッキングの完
了を検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子のウエ
ハ、ＣＤ、丸鋸歯等のディスクタイプの物品を搬送する
ディスク搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のディスク搬送装置は、本発明の一
実施の形態例から透過型センサ及び反射型センサが除去
されたものであるから、紙面を節約する便宜上図１，図
２及び図４を借用して従来の技術を説明する。
【０００３】従来のディスク搬送装置においては、アー
ムの位置の検出は、第２アーム２を駆動するモータ１４
に内蔵されたエンコーダ（図示せず）と第１アーム１を
駆動するエアシリンダ８のストロークエンドを検出する
センサ（図示せず）によって行われ、異常な場合には、
インターロックが働いた。
【０００４】従来のディスクの搬送装置では、第２アー
ム２とモータ１４との間を回転連結しているベルト１２
がゆるんだり切れたりした場合や、機械的なガタが発生
した場合に、第２アーム２の位置とエンコーダの関係が
くずれ、第２アーム２の正確な位置を検出することがで
きない。また、エアシリンダ８の駆動部で故障が発生し
ても、第１アーム１の正確な位置を検出することができ
ない。両アームの位置が正常でない状態でウェハ６が搬
送された場合、両アームとウェハとが干渉するから、ウ
ェハを破損する重大なトラブルが起きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、前
記従来のディスク搬送装置の欠点を改良し、ディスクを
挟持搬送する一対のアームの位置をセンサを使用して直
接的に正確に検出し、トラブルの発生を防止しようとす
るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、次の手段を採用する。
【０００７】（１）ハウジングに収納された多数のディ
スクを１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送す
る装置において、前記一対のアームが相対的に回転可能
で、かつ、それぞれセンサ光が通過可能な小孔を有し、
前記一対のアームの一方側の前記ハウジングに透過型セ
ンサ発光部を設置し、前記一対のアームの他方側の前記
ハウジングに透過型センサ受光部を設置し、前記センサ
光が前記両小孔を通過することにより前記一対のアーム
の正確な位置を検出するディスク搬送装置。
【０００８】（２）ハウジングに収納された多数のディ
スクを１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送す
る装置において、前記一対のアームが相対的に回転可能
で、かつ、それぞれセンサ光が通過可能な小孔を有し、
前記一対のアームの一方側の前記ハウジングに反射型セ
ンサを設置し、前記一対のアームの他方側の前記ハウジ
ングに反射部材を設置し、前記センサ光が前記両小孔を
通過することにより前記一対のアームの正確な位置を検
出するディスク搬送装置。
【０００９】（３）ハウジングに収納された多数のディ
スクを１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送す
る装置において、前記一対のアームが相対的に回転可能
で、かつ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離
隔可能な爪を有し、前記一対のアームの一方側の前記ハ
ウジングに２個の透過型センサ発光部を設置し、前記一
対のアームの他方側の前記ハウジングに２個の透過型セ
ンサ受光部を設置し、センサ光が前記両爪で遮断される
ことにより前記一対のアームの正確な位置を検出するデ
ィスク搬送装置。
【００１０】（４）ハウジングに収納された多数のディ
スクを１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送す
る装置において、前記一対のアームが相対的に回転可能
で、かつ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離
隔可能な爪を有し、前記一対のアームの一方側の前記ハ
ウジングに２個の反射型センサを設置し、前記一対のア
ームの他方側の前記ハウジングに２個の反射部材を設置
し、センサ光が前記両爪で遮断されることにより前記一
対のアームの正確な位置を検出するディスク搬送装置。
【００１１】（５）前記一対のアームの位置が異常であ
ることを検出したとき、シーケンス制御により前記一対
のアームの作動を停止する前記（１），（２），（３）
又は（４）記載のディスク搬送装置。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態例について
図１〜図４を参照して説明する。
【００１３】まず、本実施の形態例の基本的な構造につ
いて図１と図２を参照して説明する。
【００１４】ハウジング内の上部にサポートロッド１５
がスライド可能に配置され、サポートロッド１５上に多
数のサポートプレート１６が垂直方向に一定の間隔で固
定されている。多数の半導体素子のウェハ６は、各サポ
ートプレート１６に垂直方向に対してわずかに傾斜した
姿勢で立てかけられて支えられている。後述するよう
に、多数のウェハ６は、サポートロッド１５の前記間隔
（ピッチ）の間欠的なスライドにより順次搬送される。
【００１５】ハウジング７の上部から下部までにわたっ
て、第１アーム１と第２アーム２が重なって設置され、
第２アーム２はハウジング７に支点Ａを中心に回転可能
に支持され、第１アーム１は第２アーム２に支点Ｂで相
対的に回転可能に取り付けられている。第１アーム１に
は、ウェハ６をチャックするための爪３Ａが１個所に取
り付けられ、また、第２アーム２には、ウェハ６をチャ
ックするための爪３Ｂ，３Ｃが２個所に取り付けられて
いる。第１アーム１と第２アーム２の間には、バネ４が
取り付けられ、第１アーム１は、バネ４により常にウェ
ハ６を挟む方向に負荷をかけられている。
【００１６】第２アーム２は、モータ１４、小プーリ１
３、ベルト１２、大プーリ１１及びハウジング７の下部
の一方側に支持されたドライブシャフト１０（支点Ａ）
から構成される動力伝達機構によって回転させられる。
【００１７】ハウジング７の下部のドライブシャフト１
０の他方側には、クランクシャフト５が支持され、クラ
ンクシャフト５には、ベルクランク機構５Ａが固定され
ている。ベルクランク機構５Ａの一端部は、第１アーム
１の下端部に当接し、ベルクランク機構５Ａの他端部
は、エアシリンダ８のプランジャ８Ａに連結している。
【００１８】ウェハ６のチャッキングについて説明する
と、まず、第２アーム２は、モータ１４の駆動により所
定位置（図２の実線の状態）から支点Ａを中心に角度θ
1 （約１°）だけウェハ６側へ回転し、２箇所の爪３
Ｂ，３Ｃがウェハ６と接触する。次に、第１アーム１
は、エアシリンダ８の駆動により支点Ｂを中心に回転
し、爪３Ａがウェハ６に接触し、３箇所の爪３Ａ，３
Ｂ，３Ｃがウェハ６を挟むようにチャックする。
【００１９】続いて、第２アーム２は、角度θ1 ＋θ2
だけ前記チャッキングのときと逆方向へ第１アーム１を
伴い、図２（ａ）に二点鎖線で示された位置に向かって
回転する。このとき、モータ１４の駆動とエアシリンダ
８の駆動は、同期するように制御される。
【００２０】爪３Ａ，３Ｂ，３Ｃがウェハ６を離すいわ
ゆるリリースのときには、まず、第１アーム１は、エア
シリンダ８の駆動により支点Ｂを中心に前記チャッキン
グのときとは逆方向に回転し、爪３Ａがウェハ６から離
隔する。次に、第２アーム２は、モータ１４の駆動によ
り支点Ａを中心に更に角度θ1 だけ前記チャッキングの
ときとは逆方向に回転し、２箇所の爪３Ｂ，３Ｃがウェ
ハ６から離隔し、図２（ａ）に二点鎖線で示された位置
に至る。
【００２１】これから先のウェハ６のイオン注入装置に
おける真空容器への搬送についてのの説明を省略する。
【００２２】以後は、第１アーム１と第２アーム２を、
それぞれモータ１４とエアシリンダ８により制御して図
２の実線位置に戻す。また、サポートロッド１５は、図
１における左方へ１ピッチ（２枚のサポートプレート１
６の間隔）だけスライドし、２枚目のウェハ６を搬送開
始位置に移動する。
【００２３】以上でウェハ６の搬送の１サイクルが終了
し、この後は同じサイクルを繰り返す。
【００２４】次に、本実施の形態例における特有な透過
型センサ機構について図１と図２を参照して説明する。
【００２５】透過型センサを使用する場合には、ハウジ
ング７の下部の一面側に透過型センサ発光部１８Ａと小
孔７Ａを、ハウジング７の下部の他面側に透過型センサ
受光部１８Ｂと小孔７Ｂを、それぞれ設ける。また、第
１アーム１に小孔１Ａを、第２アーム２に小孔２Ａを、
それぞれ開ける。
【００２６】ウェハ６のチャッキングのとき、第１アー
ム１の爪３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６
を正確にチャックすると、透過型センサ発光部１８Ａが
照射したレーザ光等のセンサ光は、ハウジング７の小孔
７Ａ、第１アーム１の小孔１Ａ、第２アーム２の小孔２
Ａ及びハウジングの小孔７Ｂを通過して透過型センサ受
光部１８Ｂに受光される。したがって、ウェハ６の正確
なチャッキングの完了を検出することができる。
【００２７】続いて、本実施の形態例における特有な反
射型センサ機構について図１と図３を参照して説明す
る。
【００２８】反射型センサを使用する場合には、ハウジ
ング７の上部の一面側の窓９に反射型センサ１７Ａ，１
７Ｂを、ハウジング７の上部の前記窓９に対向している
他面側に反射テープ１９Ａ，１９Ｂを、それぞれ設け
る。
【００２９】ウェハ６のリリースのとき、反射型センサ
１７Ａ，１７Ｂが照射したセンサ光は、図３（ａ）に示
されるように、それぞれウェハ６の周端と第１アーム１
の爪３Ａとの隙間（約３ｍｍ）内のセンサ光通過点Ｄ，
ウェハ６の周端と第２アーム２の爪３Ｃとの隙間内のセ
ンサ光通過点Ｅを通過し、反射テープ１９Ａ，１９Ｂに
よって反射され、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂに戻って
受光される。
【００３０】ウェハ６のチャッキングのとき、第１アー
ム１の爪３Ａと第２アーム２の爪３Ｂ，３Ｃがウェハ６
を正確にチャックすると、前記両隙間は、図３（ｂ）に
示されるように、それぞれなくなる。したがって、反射
型センサ１７Ａ，１７Ｂが照射したセンサ光は、それぞ
れ第１アームの爪３Ａ，第２アームの爪３Ｃによって遮
断されるから、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂに戻らな
い。よって、ウェハ６の正確なチャッキングの完了を検
出することができる。なお、爪３Ａ，３Ｃには、センサ
光を反射しない材質を採用する。
【００３１】第１アーム１の爪３Ａ、第２アーム２の爪
３Ｃとウェハ６の周端との隙間にセンサ光を通過させる
方式（反射型センサか透過型センサかを問わない。）
は、第１アーム１、第２アーム２にそれぞれ小孔１Ａ，
２Ａを開けてこれらの小孔の一致によって形成される通
路を通るセンサ光により両アームの位置を検出する方式
（透過型センサか反射型センサかを問わない。）と対比
して、両アーム先端側で変形が生じた場合のトラブルを
一掃することができるので、好適である。
【００３２】また、反射型センサ方式は、透過型センサ
方式と対比してシール性が良好である。すなわち、透過
型センサ方式は、第１アーム１と第２アーム２を挟む両
側のハウジング７にシール手段を要するが、反射型セン
サ方式は、反射型センサ１７Ａ，１７Ｂを取り付けられ
る一方側のみのハウジング７にシール手段を要するため
である。
【００３３】更に、本実施の形態例におけるアーム等の
動作のシーケンスについて図４を参照して説明する。
【００３４】一点鎖線で囲んだ部分は、従来の技術に対
して新規に追加されるシーケンスを示す。本実施の形態
例においては、アーム位置確認センサ（反射型センサ１
７Ａ，１７Ｂ、透過型センサ発光部１８Ａ、透過型セン
サ受光部１８Ｂ）を設けることによりアーム（第１アー
ム１、第２アーム２）の位置を直接検出し、その結果を
シーケンスに採用することによってアーム位置確認の信
頼性が向上した。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、従来の
技術は、一対のアームを直接的に検出する構造ではない
ため、一対のアームや駆動部に異常があっても、検出す
ることができなかった。異常を検出しないと、ウェハや
チャックを破損する重大なトラブルが起きる。本発明に
よれば、一対のアームの位置を検出するセンサを設ける
ことにより、一対のアームの位置を確認するから、信頼
性が向上し、トラブルの回避に役立つ。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態例の側面から見た断面図
である。
【図２】本発明の一実施の形態例の正面から見た全部及
び一部の断面図であり、（ａ）は全部のもの、（ｂ）は
エアシリンダから第１アームへの動力伝達部のものを、
それぞれ示す。
【図３】本発明の一実施の形態例における一対のアーム
とそれらの爪の各位置を正面から見た断面図であり、
（ａ）はリリース位置のもの、（ｂ）はチャック位置の
ものを、それぞれ示す。
【図４】本発明の一実施の形態例の一対のアーム等の動
作のシーケンスを示すフローチャートである。
【符号の説明】
１ 第１アーム １Ａ 小孔 ２ 第２アーム ２Ａ 小孔 ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ 爪 ４ バネ ５ クランクシャフト ５Ａ ベルクランク機構 ６ ウェハ ７ ハウジング ７Ａ，７Ｂ 小孔 ８ エアシリンダ ８Ａ プランジャ ９ 窓 １０ ドライブシャフト １１ 大プーリ １２ ベルト １３ 小プーリ １４ モータ １５ サポートロッド １６ サポートプレート １７Ａ，１７Ｂ 反射型センサ １８Ａ 透過型センサ発光部 １８Ｂ 透過型センサ受光部 １９Ａ，１９Ｂ 反射テープ Ａ，Ｂ 支点 Ｄ，Ｅ センサ光通過点
【手続補正書】
【提出日】平成９年３月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ハウジングに収納された多数のディスク
    を１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送する装
    置において、前記一対のアームが相対的に回転可能で、
    かつ、それぞれセンサ光が通過可能な小孔を有し、前記
    一対のアームの一方側の前記ハウジングに透過型センサ
    発光部を設置し、前記一対のアームの他方側の前記ハウ
    ジングに透過型センサ受光部を設置し、前記センサ光が
    前記両小孔を通過することにより前記一対のアームの正
    確な位置を検出することを特徴とするディスク搬送装
    置。
  2. 【請求項２】 ハウジングに収納された多数のディスク
    を１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送する装
    置において、前記一対のアームが相対的に回転可能で、
    かつ、それぞれセンサ光が通過可能な小孔を有し、前記
    一対のアームの一方側の前記ハウジングに反射型センサ
    を設置し、前記一対のアームの他方側の前記ハウジング
    に反射部材を設置し、前記センサ光が前記両小孔を通過
    することにより前記一対のアームの正確な位置を検出す
    ることを特徴とするディスク搬送装置。
  3. 【請求項３】 ハウジングに収納された多数のディスク
    を１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送する装
    置において、前記一対のアームが相対的に回転可能で、
    かつ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離隔可
    能な爪を有し、前記一対のアームの一方側の前記ハウジ
    ングに２個の透過型センサ発光部を設置し、前記一対の
    アームの他方側の前記ハウジングに２個の透過型センサ
    受光部を設置し、センサ光が前記両爪で遮断されること
    により前記一対のアームの正確な位置を検出することを
    特徴とするディスク搬送装置。
  4. 【請求項４】 ハウジングに収納された多数のディスク
    を１枚ずつ一対のアームにより順次挟持して搬送する装
    置において、前記一対のアームが相対的に回転可能で、
    かつ、それぞれ前記ディスクの周端に対して接触離隔可
    能な爪を有し、前記一対のアームの一方側の前記ハウジ
    ングに２個の反射型センサを設置し、前記一対のアーム
    の他方側の前記ハウジングに２個の反射部材を設置し、
    センサ光が前記両爪で遮断されることにより前記一対の
    アームの正確な位置を検出することを特徴とするディス
    ク搬送装置。
  5. 【請求項５】 前記一対のアームの位置が異常であるこ
    とを検出したとき、シーケンス制御により前記一対のア
    ームの作動を停止することを特徴とする請求項１，２，
    ３又は４記載のディスク搬送装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001068531A (ja) * 1999-04-19 2001-03-16 Applied Materials Inc ウェーハ位置の検出方法
WO2009084630A1 (ja) * 2007-12-27 2009-07-09 Ulvac, Inc. 搬送ロボットの診断システム

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