JP3009243B2 - Ｖノッチウエハの位置決め機構 - Google Patents
Ｖノッチウエハの位置決め機構Info
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- JP3009243B2 JP3009243B2 JP3114030A JP11403091A JP3009243B2 JP 3009243 B2 JP3009243 B2 JP 3009243B2 JP 3114030 A JP3114030 A JP 3114030A JP 11403091 A JP11403091 A JP 11403091A JP 3009243 B2 JP3009243 B2 JP 3009243B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｖノッチを有するウ
エハを検査ステージに対して位置決めする方法と、その
機構に関するものである。
エハを検査ステージに対して位置決めする方法と、その
機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣの素材に用いられるウエハ
は、表面に異物が付着すると品質が劣化するので光学式
の異物検査装置により検査される。検査は流れ作業によ
り行われ、ウエハカセットに収納されたウエハは検査ス
テージに搬送されてチャック部にエア吸着され、回転し
て行われる。
は、表面に異物が付着すると品質が劣化するので光学式
の異物検査装置により検査される。検査は流れ作業によ
り行われ、ウエハカセットに収納されたウエハは検査ス
テージに搬送されてチャック部にエア吸着され、回転し
て行われる。
【０００３】図３の（ａ）はウエハの形状を示し、Ｏは
ウエハ１の中心である。ウエハ１には、以前は円周の一
部を点線のように切り欠いてオリエンティション・フラ
ット（ＯＦまたはＯＦ′）が設けられていた。しかし、
ＯＦ，ＯＦ′は切り取られた部分がロスとなり、また切
り欠きによりウエハにストレスが生じて特性に影響する
などの欠点があるので、最近では円周にＶ字形の溝（Ｖ
ノッチ）を設けることが行われている。最近ではＶノッ
チの深さが浅くなり、そのＶノッチの深さは約１ｍｍと
される。検査においては図の（ｂ）に示すように、ウエ
ハ１の中心Ｏを検査ステージ２の回転中心Ｏ′に位置合
わせするとともに、Ｖノッチを一定の角度方向（図の場
合はｙ軸方向）に載置して吸着することが必要である。
このような、中心の位置合わせとＶノッチの角度合わせ
を、検査ステージで行うことは勿論可能であるが、この
ために検査ステージの稼働率が低くなるので、検査の前
の段階で予め行うことが好ましい。これに対して、この
発明の発明者によりプリアライメント方式が考案され、
「ウエハのプリアライメント方式」として特許出願（特
開昭４−２９０４５５号）されている。
ウエハ１の中心である。ウエハ１には、以前は円周の一
部を点線のように切り欠いてオリエンティション・フラ
ット（ＯＦまたはＯＦ′）が設けられていた。しかし、
ＯＦ，ＯＦ′は切り取られた部分がロスとなり、また切
り欠きによりウエハにストレスが生じて特性に影響する
などの欠点があるので、最近では円周にＶ字形の溝（Ｖ
ノッチ）を設けることが行われている。最近ではＶノッ
チの深さが浅くなり、そのＶノッチの深さは約１ｍｍと
される。検査においては図の（ｂ）に示すように、ウエ
ハ１の中心Ｏを検査ステージ２の回転中心Ｏ′に位置合
わせするとともに、Ｖノッチを一定の角度方向（図の場
合はｙ軸方向）に載置して吸着することが必要である。
このような、中心の位置合わせとＶノッチの角度合わせ
を、検査ステージで行うことは勿論可能であるが、この
ために検査ステージの稼働率が低くなるので、検査の前
の段階で予め行うことが好ましい。これに対して、この
発明の発明者によりプリアライメント方式が考案され、
「ウエハのプリアライメント方式」として特許出願（特
開昭４−２９０４５５号）されている。
【０００４】図４により上記のプリアライメント方式の
概要を説明する。ウエハカセット１′に収納された被検
査のウエハ１は、中心Ｏの位置とＶノッチ（単にＶで示
す）の方向はランダムである。ウエハ１はハンドリング
アーム３によりプリアライメント・ステージ４に搬送さ
れ、まず、中心の位置合わせがなされ、ついでＶがＶ′
の位置まで角度θ回転されてプリアライメントが終了
し、ウエハ１はハンドリングアーム３により検査ステー
ジ２まで搬送されて載置される。
概要を説明する。ウエハカセット１′に収納された被検
査のウエハ１は、中心Ｏの位置とＶノッチ（単にＶで示
す）の方向はランダムである。ウエハ１はハンドリング
アーム３によりプリアライメント・ステージ４に搬送さ
れ、まず、中心の位置合わせがなされ、ついでＶがＶ′
の位置まで角度θ回転されてプリアライメントが終了
し、ウエハ１はハンドリングアーム３により検査ステー
ジ２まで搬送されて載置される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のプリアライメン
ト方式は、ＯＦを有するウエハに対して開発されたもの
で、Ｖノッチウエハに対してもかなりの程度有効ではあ
るが、最近の半導体ＩＣはますます高集積化しているた
め、検査ステージにおける位置合わせには従来以上の高
精度が要求されており、Ｖノッチウエハに対しては上記
のプリアライメント方式はいま一つ満足できない。そこ
で、プリアライメントされたか否かに拘らず、Ｖノッチ
ウエハ１を検査ステージ２において高精度にアライメン
トすることが必要となった。すなわち、Ｖノッチの深さ
は約１ｍｍか、それ以下となる高精度な位置決めになる
ために、Ｖノッチにピンが嵌入したときのウエハの移動
量が微小になる。そのため１個の光学センサをウエハの
エッジに対応させて配置してウエハを回転させたときに
そのＯＮ／ＯＦＦの状態によりＶノッチ検出あるいは位
置決め検出をするとＶノッチの部分でも光学センサがＯ
Ｎ／ＯＦＦするために誤検出が発生する問題がある。こ
の発明は以上に鑑みてなされたもので、検査ステージに
載置されたＶノッチウエハを、簡単な構成で高精度で位
置決めするＶノッチウエハの位置決め機構を提供するこ
とを目的とするものである。
ト方式は、ＯＦを有するウエハに対して開発されたもの
で、Ｖノッチウエハに対してもかなりの程度有効ではあ
るが、最近の半導体ＩＣはますます高集積化しているた
め、検査ステージにおける位置合わせには従来以上の高
精度が要求されており、Ｖノッチウエハに対しては上記
のプリアライメント方式はいま一つ満足できない。そこ
で、プリアライメントされたか否かに拘らず、Ｖノッチ
ウエハ１を検査ステージ２において高精度にアライメン
トすることが必要となった。すなわち、Ｖノッチの深さ
は約１ｍｍか、それ以下となる高精度な位置決めになる
ために、Ｖノッチにピンが嵌入したときのウエハの移動
量が微小になる。そのため１個の光学センサをウエハの
エッジに対応させて配置してウエハを回転させたときに
そのＯＮ／ＯＦＦの状態によりＶノッチ検出あるいは位
置決め検出をするとＶノッチの部分でも光学センサがＯ
Ｎ／ＯＦＦするために誤検出が発生する問題がある。こ
の発明は以上に鑑みてなされたもので、検査ステージに
載置されたＶノッチウエハを、簡単な構成で高精度で位
置決めするＶノッチウエハの位置決め機構を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明のＶノッチウエ
ハの位置決め機構の特徴は、Ｖノッチウエハを載置／吸
着して回転するチャック部を有する検査ステージにおけ
る、Ｖノッチウエハの位置決め機構であって、チャック
部に載置されるウエハの円周の分散した３点に、それぞ
れスプリングにより内方に付勢され、ウエハ円周のエッ
ジを押圧する２個の押圧ピンと、エッジを押圧するとと
もにＶノッチに嵌入する角度決めピンとを有し、この角
度決めピンの近傍の両側においてこの角度決めピンが前
記Ｖノッチに嵌入した状態でエッジに内接する位置およ
びこの位置よりもさらに角度決めピンがＶノッチに嵌入
したときにウエハが移動する量に対応するＶノッチの深
さだけ内方の位置とにそれぞれ配設された２個の光セン
サを備えていて、ウエハの中心および角度位置決めを２
個の光センサがエッジの内側になっていることを検出す
ることにより行うものである。
ハの位置決め機構の特徴は、Ｖノッチウエハを載置／吸
着して回転するチャック部を有する検査ステージにおけ
る、Ｖノッチウエハの位置決め機構であって、チャック
部に載置されるウエハの円周の分散した３点に、それぞ
れスプリングにより内方に付勢され、ウエハ円周のエッ
ジを押圧する２個の押圧ピンと、エッジを押圧するとと
もにＶノッチに嵌入する角度決めピンとを有し、この角
度決めピンの近傍の両側においてこの角度決めピンが前
記Ｖノッチに嵌入した状態でエッジに内接する位置およ
びこの位置よりもさらに角度決めピンがＶノッチに嵌入
したときにウエハが移動する量に対応するＶノッチの深
さだけ内方の位置とにそれぞれ配設された２個の光セン
サを備えていて、ウエハの中心および角度位置決めを２
個の光センサがエッジの内側になっていることを検出す
ることにより行うものである。
【０００７】
【作用】上記の位置決め機構においては、チャック部に
載置されたウエハはまず吸着が解放される。これに対し
て、それぞれスプリングにより内方に付勢された角度決
めピンと２個の押圧ピンが、ウエハ円周の３等分点のエ
ッジを押圧し、ウエハの中心が正しく位置決めされる。
これにより中心が位置決めされたウエハに対して２個の
光センサが動作し、両者がともにＯＦＦであるときはＶ
ノッチはすでに位置決めされている。しかし、一般に
は、一方がＯＮ、他方がＯＦＦとなるので、そのときは
ウエハを吸着していずれかの方向に回転し、両者がとも
にＯＦＦとなる角度位置で停止すると角度決めされる。
ただしこの回転により、両者がともにＯＮとなるとき
は、Ｖノッチが一方の光センサと一致したことを示すの
で、その光センサと角度決めピンのなす角度だけさらに
回転するとともにＯＦＦとなって角度決めされる。なお
前記の２個の光センサが動作における中心および角度
位置決めの判定条件のＯＮとＯＦＦは逆であってもよ
い。この場合、２個の光センサが角度決めピンの近傍の
両側においてこの角度決めピンがＶノッチに嵌入した状
態でウエハのエッジに内接する位置およびこの位置より
もさらに角度決めピンがＶノッチに嵌入したときにウエ
ハが移動する量に対応するＶノッチの深さだけ内方の位
置とにそれぞれ配設され、特に、２つの光センサがＶノ
ッチの深さに対応する位置関係にあるので２つの光セン
サの検出状態でウエハの現在の位置決め状態が確実に得
られ、たとえＶノッチの深さが浅くなっても角度決めピ
ンのＶノッチへの嵌入と同時に高い精度でのウエハの中
心位置決めが簡単な構成で誤検出なくできる。
載置されたウエハはまず吸着が解放される。これに対し
て、それぞれスプリングにより内方に付勢された角度決
めピンと２個の押圧ピンが、ウエハ円周の３等分点のエ
ッジを押圧し、ウエハの中心が正しく位置決めされる。
これにより中心が位置決めされたウエハに対して２個の
光センサが動作し、両者がともにＯＦＦであるときはＶ
ノッチはすでに位置決めされている。しかし、一般に
は、一方がＯＮ、他方がＯＦＦとなるので、そのときは
ウエハを吸着していずれかの方向に回転し、両者がとも
にＯＦＦとなる角度位置で停止すると角度決めされる。
ただしこの回転により、両者がともにＯＮとなるとき
は、Ｖノッチが一方の光センサと一致したことを示すの
で、その光センサと角度決めピンのなす角度だけさらに
回転するとともにＯＦＦとなって角度決めされる。なお
前記の２個の光センサが動作における中心および角度
位置決めの判定条件のＯＮとＯＦＦは逆であってもよ
い。この場合、２個の光センサが角度決めピンの近傍の
両側においてこの角度決めピンがＶノッチに嵌入した状
態でウエハのエッジに内接する位置およびこの位置より
もさらに角度決めピンがＶノッチに嵌入したときにウエ
ハが移動する量に対応するＶノッチの深さだけ内方の位
置とにそれぞれ配設され、特に、２つの光センサがＶノ
ッチの深さに対応する位置関係にあるので２つの光セン
サの検出状態でウエハの現在の位置決め状態が確実に得
られ、たとえＶノッチの深さが浅くなっても角度決めピ
ンのＶノッチへの嵌入と同時に高い精度でのウエハの中
心位置決めが簡単な構成で誤検出なくできる。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明によるＶノッチウエハの位置
決め機構の一実施例を示し、（ａ）は全体図、（ｂ）は
部分図で、これらによりまず構成を説明する。図１の
（ａ）において、検査ステージ２はチャック部２１と、
これを回転するモータ２２、およびチャック部に吸着さ
れたウエハ１を上下に移動するＺ機構２３とにより構成
される。ただしＺ機構２３はこの発明には関係ない。５
は位置決め機構を示し、ウエハ１の円周の３等分点に角
度決めピン５２ａと押圧ピン５２ｂ，５２ｃ、および各
ピンをウエハの正しい位置に停止する３個のストッパ５
２１ａ，５２１ｂ，５２１ｃとをそれぞれ配設し、各ピ
ンをスプリング５４ａ，５４ｂ，５４ｃによりそれぞれ
内方に付勢する。これに対して各ピンが挿入されるカム
溝５３ａ，５３ｂ，５３ｃを有するカム板５１を設け、
これを４個のローラー５５ａ，５５ｂ，５５ｃおよび５
５ｄにより支持し、駆動輪５７の駆動により一定の角度
範囲を回転させる。ここで各カム溝の形状などについて
述べると、各カム溝の幅は各ピンの直径よりやや大きく
して動作に余裕を持たせる。カム溝５３ａ，５３ｂ内方
で円周に沿う“く”の字形とし、カム溝５３ｃは直線状
で斜め方向とし、ウエハ１のエッジを横切るように設け
る。また各スプリングの付勢力はスプリング５４ａと５
４ｂは同一とするが、５４ｃはこれより弱く設定する。
次に、角度決めピン５２ａの近傍の両側の、ウエハ１の
エッジに内接する位置と、エッジよりＶノッチの深さだ
け内方の位置とに２個の光センサ５６ａ，５６ｂを配設
する。光センサは投受光方式でも反射光方式でもよい
が、その光ビームの直径はＶノッチの大きさ程度、例え
ば１ｍｍのものを用いる。なお、以下の説明では、Ｖノ
ッチに嵌入する角度決めピン５２ａと押圧ピン５２ｂ，
５２ｃ、カム溝５３ａ，５３ｂ，５３ｃ、スプリング５
４ａ，５４ｂ，５４ｃ、ローラー５５ａ，５５ｂ，５５
ｃおよび５５ｄなどについては、必要に応じてａ，ｂ，
ｃの各添え字をない符号をもって代表して説明する。
決め機構の一実施例を示し、（ａ）は全体図、（ｂ）は
部分図で、これらによりまず構成を説明する。図１の
（ａ）において、検査ステージ２はチャック部２１と、
これを回転するモータ２２、およびチャック部に吸着さ
れたウエハ１を上下に移動するＺ機構２３とにより構成
される。ただしＺ機構２３はこの発明には関係ない。５
は位置決め機構を示し、ウエハ１の円周の３等分点に角
度決めピン５２ａと押圧ピン５２ｂ，５２ｃ、および各
ピンをウエハの正しい位置に停止する３個のストッパ５
２１ａ，５２１ｂ，５２１ｃとをそれぞれ配設し、各ピ
ンをスプリング５４ａ，５４ｂ，５４ｃによりそれぞれ
内方に付勢する。これに対して各ピンが挿入されるカム
溝５３ａ，５３ｂ，５３ｃを有するカム板５１を設け、
これを４個のローラー５５ａ，５５ｂ，５５ｃおよび５
５ｄにより支持し、駆動輪５７の駆動により一定の角度
範囲を回転させる。ここで各カム溝の形状などについて
述べると、各カム溝の幅は各ピンの直径よりやや大きく
して動作に余裕を持たせる。カム溝５３ａ，５３ｂ内方
で円周に沿う“く”の字形とし、カム溝５３ｃは直線状
で斜め方向とし、ウエハ１のエッジを横切るように設け
る。また各スプリングの付勢力はスプリング５４ａと５
４ｂは同一とするが、５４ｃはこれより弱く設定する。
次に、角度決めピン５２ａの近傍の両側の、ウエハ１の
エッジに内接する位置と、エッジよりＶノッチの深さだ
け内方の位置とに２個の光センサ５６ａ，５６ｂを配設
する。光センサは投受光方式でも反射光方式でもよい
が、その光ビームの直径はＶノッチの大きさ程度、例え
ば１ｍｍのものを用いる。なお、以下の説明では、Ｖノ
ッチに嵌入する角度決めピン５２ａと押圧ピン５２ｂ，
５２ｃ、カム溝５３ａ，５３ｂ，５３ｃ、スプリング５
４ａ，５４ｂ，５４ｃ、ローラー５５ａ，５５ｂ，５５
ｃおよび５５ｄなどについては、必要に応じてａ，ｂ，
ｃの各添え字をない符号をもって代表して説明する。
【０００９】図１の(b) は各ピン52における一部の垂直
断面を示し、モータ22に固定されたベース221 にはロー
ラー55によりカム板51が支持される。ベース221 にはウ
エハの正しい位置に対応して、各ピンに対するストッパ
521 を固定し、さらにベース221 に固定部581 と、これ
にリンク583 により結合した移動部582 よりなる斜め移
動機構58が取り付けられる。移動部582 には各ピン52が
取り付けられ、これらがカム溝53に沿って移動すると
き、リンク583 の作用により矢印Ｄのように斜め上下方
向に移動する。また移動部582 に光センサ59を設ける。
断面を示し、モータ22に固定されたベース221 にはロー
ラー55によりカム板51が支持される。ベース221 にはウ
エハの正しい位置に対応して、各ピンに対するストッパ
521 を固定し、さらにベース221 に固定部581 と、これ
にリンク583 により結合した移動部582 よりなる斜め移
動機構58が取り付けられる。移動部582 には各ピン52が
取り付けられ、これらがカム溝53に沿って移動すると
き、リンク583 の作用により矢印Ｄのように斜め上下方
向に移動する。また移動部582 に光センサ59を設ける。
【００１０】以上の位置決め機構の動作と機能を説明す
ると、チャック部21に載置されたウエハ１に対してカム
板51が回転し、各ピン52が内方に移動して押圧を開始す
ると、光センサ59によりピン52の押圧位置が検出され、
そのタイミングでチャック部21よりエアを噴射してウエ
ハが解放される。ついで、スプリング54の付勢力により
エッジが押圧されてウエハが移動し、各ピンがストッパ
521 の位置で停止して中心Ｏが位置決めされる。この場
合、スプリング54a,54b と54c の前記した付勢力の差に
より、ピン52a,52b に対してピン52c はやや自由である
のでウエハに対して無理な力がかからない。中心が位置
決めされたウエハに対して２個の光センサ56a,56b が動
作し、次に述べる方法によりＶノッチの角度決めがなさ
れる。なお、各ピン52は押圧しない間は斜め移動機構58
の動作により下方に退避して検査に支障しない。
ると、チャック部21に載置されたウエハ１に対してカム
板51が回転し、各ピン52が内方に移動して押圧を開始す
ると、光センサ59によりピン52の押圧位置が検出され、
そのタイミングでチャック部21よりエアを噴射してウエ
ハが解放される。ついで、スプリング54の付勢力により
エッジが押圧されてウエハが移動し、各ピンがストッパ
521 の位置で停止して中心Ｏが位置決めされる。この場
合、スプリング54a,54b と54c の前記した付勢力の差に
より、ピン52a,52b に対してピン52c はやや自由である
のでウエハに対して無理な力がかからない。中心が位置
決めされたウエハに対して２個の光センサ56a,56b が動
作し、次に述べる方法によりＶノッチの角度決めがなさ
れる。なお、各ピン52は押圧しない間は斜め移動機構58
の動作により下方に退避して検査に支障しない。
【００１１】以下、図２により両光センサによるＶノッ
チの角度決めを説明する。２個の光センサ５６ａ，５６
ｂを投受光方式のものとし、ウエハ１により投光側ある
いは受光側のいずれかが遮られることでウエハ１のエッ
ジ部分を検出するものとする。そして、これらをｓａ，
ｓｂで表す。上記により中心が位置決めされとき両光セ
ンサがともにＯＦＦであれば、（ａ）のようにピンｐａ
がＶに丁度嵌入して角度決めがなされた状態である。こ
の場合、前記したプリアライメント方式が適用された場
合は上記のように直ちに角度決めされることが多いが、
たまにはなされないことがあり、またウエハカセットよ
り直接検査ステージに搬送する場合は、そのまま角度決
めされなくて図の（ｂ）の（イ）の状態となることが殆
どで、光センサｓａはＯＮ、光センサｓｂはＯＦＦとな
る。いま、Ｖノッチが実線のＶの位置にあるとし、ウエ
ハをθ１の方向に回転してＶがピンｐａの位置にくる
と、ピンｐａは絶えず押圧されているのでＶに嵌入する
とともに、ウエハは微小距離上方に移動して（ハ）の状
態となり、両光センサはともにＯＦＦとなる。ここでウ
エハの回転を停止して角度決めされる。また、もしＶノ
ッチが点線のＶ′の位置にあるときは、θ１の回転を続
けるとＶ′は一回りして（ロ）に示すように光センサｓ
ｂの位置にきて両光センサはともにＯＮとなる。この位
置より、光センサｓｂとピンｐａのなす角度θ２だけさ
らにウエハを回転すれば、（ハ）の状態となって角度決
めが終了する。角度θ２は予め判明している。以上にお
いて、両光センサとして反射方式のものを使用すること
は勿論差し支えないが、そのときは上記の判定条件のＯ
ＮとＯＦＦは逆となる。以上の場合、２個の光センサｓ
ａ ，ｓ ｂ は、角度決めピン５２ａの近傍の両側において
この角度決めピン５２ａがＶノッチに嵌入した状態でウ
エハ１のエッジに内接する位置およびこの位置よりもさ
らに角度決めピン５２ａがＶノッチに嵌入したときにウ
エハ１が移動する量に対応するＶノッチの深さだけ内方
の位置とにそれぞれ配設されている。このように２つの
光センサｓ ａ ，ｓ ｂ がＶノッチの深さに対応する位置関
係にあるので２つの光センサｓ ａ ，ｓ ｂ の検出状態でウ
エハの現在の位置決め状態が確実に得られ、たとえＶノ
ッチの深さが浅くなっても角度決めピン５２ａのＶノッ
チへの嵌入と同時にウエハ１の高い精度での中心位 置決
めが誤検出なく簡単な構造で実現できる。
チの角度決めを説明する。２個の光センサ５６ａ，５６
ｂを投受光方式のものとし、ウエハ１により投光側ある
いは受光側のいずれかが遮られることでウエハ１のエッ
ジ部分を検出するものとする。そして、これらをｓａ，
ｓｂで表す。上記により中心が位置決めされとき両光セ
ンサがともにＯＦＦであれば、（ａ）のようにピンｐａ
がＶに丁度嵌入して角度決めがなされた状態である。こ
の場合、前記したプリアライメント方式が適用された場
合は上記のように直ちに角度決めされることが多いが、
たまにはなされないことがあり、またウエハカセットよ
り直接検査ステージに搬送する場合は、そのまま角度決
めされなくて図の（ｂ）の（イ）の状態となることが殆
どで、光センサｓａはＯＮ、光センサｓｂはＯＦＦとな
る。いま、Ｖノッチが実線のＶの位置にあるとし、ウエ
ハをθ１の方向に回転してＶがピンｐａの位置にくる
と、ピンｐａは絶えず押圧されているのでＶに嵌入する
とともに、ウエハは微小距離上方に移動して（ハ）の状
態となり、両光センサはともにＯＦＦとなる。ここでウ
エハの回転を停止して角度決めされる。また、もしＶノ
ッチが点線のＶ′の位置にあるときは、θ１の回転を続
けるとＶ′は一回りして（ロ）に示すように光センサｓ
ｂの位置にきて両光センサはともにＯＮとなる。この位
置より、光センサｓｂとピンｐａのなす角度θ２だけさ
らにウエハを回転すれば、（ハ）の状態となって角度決
めが終了する。角度θ２は予め判明している。以上にお
いて、両光センサとして反射方式のものを使用すること
は勿論差し支えないが、そのときは上記の判定条件のＯ
ＮとＯＦＦは逆となる。以上の場合、２個の光センサｓ
ａ ，ｓ ｂ は、角度決めピン５２ａの近傍の両側において
この角度決めピン５２ａがＶノッチに嵌入した状態でウ
エハ１のエッジに内接する位置およびこの位置よりもさ
らに角度決めピン５２ａがＶノッチに嵌入したときにウ
エハ１が移動する量に対応するＶノッチの深さだけ内方
の位置とにそれぞれ配設されている。このように２つの
光センサｓ ａ ，ｓ ｂ がＶノッチの深さに対応する位置関
係にあるので２つの光センサｓ ａ ，ｓ ｂ の検出状態でウ
エハの現在の位置決め状態が確実に得られ、たとえＶノ
ッチの深さが浅くなっても角度決めピン５２ａのＶノッ
チへの嵌入と同時にウエハ１の高い精度での中心位 置決
めが誤検出なく簡単な構造で実現できる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置決め機構においては、２個の光センサが角度決めピン
の近傍の両側においてこの角度決めピンがＶノッチに嵌
入した状態でウエハのエッジに内接する位置およびこの
位置よりもさらに角度決めピンがＶノッチに嵌入したと
きにウエハが移動する量に対応するＶノッチの深さだけ
内方の位置とにそれぞれ配設され、特に、２つの光セン
サがＶノッチの深さに対応する位置関係にあるので２つ
の光センサの検出状態でウエハの現在の位置決め状態が
確実に得られ、たとえＶノッチの深さが浅くなっても角
度決めピンのＶノッチへの嵌入と同時に高い精度でのウ
エハの中心位置決めが簡単な構成で誤検出なくできる。
置決め機構においては、２個の光センサが角度決めピン
の近傍の両側においてこの角度決めピンがＶノッチに嵌
入した状態でウエハのエッジに内接する位置およびこの
位置よりもさらに角度決めピンがＶノッチに嵌入したと
きにウエハが移動する量に対応するＶノッチの深さだけ
内方の位置とにそれぞれ配設され、特に、２つの光セン
サがＶノッチの深さに対応する位置関係にあるので２つ
の光センサの検出状態でウエハの現在の位置決め状態が
確実に得られ、たとえＶノッチの深さが浅くなっても角
度決めピンのＶノッチへの嵌入と同時に高い精度でのウ
エハの中心位置決めが簡単な構成で誤検出なくできる。
【図１】 この発明による位置決め方法の一実施例の構
成図で、(a) は全体図、(b) は部分図である。
成図で、(a) は全体図、(b) は部分図である。
【図２】 図１におけるＶノッチの角度決めの説明図で
ある。分図である。
ある。分図である。
【図３】 ウエハのＶノッチと、検査ステージに対する
ウエハの位置決めの説明図である。
ウエハの位置決めの説明図である。
【図４】 特許出願中のプリアライメント方式の概要説
明図である。
明図である。
１…ウエハ（またはＶノッチウエハ）、１′…ウエハカ
セット、２…検査ステージ、21…チャック部、22…モー
タ、221 …ベース、23…Ｚ機構、３…ハンドリングアー
ム、４…プリアライメント・ステージ、５…位置決め機
構、51…カム板、52…各ピン、52a …角度決めピン、52
b,52c …押圧ピン、521a,521b,521c…ストッパ、53a,53
b,53c …カム溝、54a,54b,54c…スプリング、55a,55b,5
5c,55d …ローラー、56a,56b …光センサ、57…駆動
輪、58…斜め移動機構、581 …固定部、582 …移動部、
583 …リンク、59…光センサ。
セット、２…検査ステージ、21…チャック部、22…モー
タ、221 …ベース、23…Ｚ機構、３…ハンドリングアー
ム、４…プリアライメント・ステージ、５…位置決め機
構、51…カム板、52…各ピン、52a …角度決めピン、52
b,52c …押圧ピン、521a,521b,521c…ストッパ、53a,53
b,53c …カム溝、54a,54b,54c…スプリング、55a,55b,5
5c,55d …ローラー、56a,56b …光センサ、57…駆動
輪、58…斜め移動機構、581 …固定部、582 …移動部、
583 …リンク、59…光センサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 二宮 孝浩 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 細江 卓朗 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日立電子エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−134814（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−45039（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−45142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−45145（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｖノッチウエハを載置／吸着して回転す
るチャック部を有する検査ステージにおいて、該チャッ
ク部に載置されるウエハの円周の分散した３点に、それ
ぞれスプリングにより内方に付勢され、該円周のエッジ
を押圧する２個の押圧ピンと、該エッジを押圧するとと
もに該Ｖノッチに嵌入する角度決めピンを有し、この角
度決めピンの近傍の両側においてこの角度決めピンが前
記Ｖノッチに嵌入した状態で前記エッジに内接する位置
およびこの位置よりもさらに前記角度決めピンが前記Ｖ
ノッチに嵌入したときに前記ウエハが移動する量に対応
するＶノッチの深さだけ内方の位置とにそれぞれ配設さ
れた２個の光センサを備え、前記ウエハの中心および角
度位置決めを前記２個の光センサが前記エッジの内側に
なっていることを検出することにより行うＶノッチウエ
ハの位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3114030A JP3009243B2 (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | Ｖノッチウエハの位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3114030A JP3009243B2 (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | Ｖノッチウエハの位置決め機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04320043A JPH04320043A (ja) | 1992-11-10 |
| JP3009243B2 true JP3009243B2 (ja) | 2000-02-14 |
Family
ID=14627280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3114030A Expired - Fee Related JP3009243B2 (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | Ｖノッチウエハの位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3009243B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4603209B2 (ja) * | 2001-08-23 | 2010-12-22 | 株式会社アドバンテスト | ウエハ搬送用の位置決め固定装置 |
| CN108766926B (zh) * | 2018-05-28 | 2024-06-04 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 晶圆吸盘及其工作方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0610775B2 (ja) * | 1984-12-05 | 1994-02-09 | 株式会社ニコン | 円形基板の位置決め装置 |
| JPS61184841A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-18 | Canon Inc | ウエハの位置決め方法および装置 |
| JPS6245145A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Canon Inc | 円板物体の位置決め装置 |
| JPS6245142A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Canon Inc | 円板物体の位置決め装置 |
| JPS6245039A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Canon Inc | 円形板状物体の角度位置決め装置 |
-
1991
- 1991-04-18 JP JP3114030A patent/JP3009243B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04320043A (ja) | 1992-11-10 |
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