JPS6245142A - 円板物体の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［発明の属する分［］ 本発明は、半導体ウェハ等の円板状物体の微小切欠きを
検出することによりこの円板状物体を所定の向きに位置
決めする装置に関する。本発明は、特に、７スクアライ
ナ等の露光装置や・り１ハブローバ等の測定装置、検査
装置等に対して半導体ウェハを載置する際に使用する位
置決め装置に適用して好適なものである。 ［従来技術］ 従来、この種の装置は、ウェハの周囲の一部に設けられ
た切欠きを用いて位置決めを行なうように構成されてい
る。普通、この切欠きは円板状のウェハの周囲を直線状
に切欠いたらので、オリエンテーションフラット（以下
、オリフラと呼ぶ）と呼ばれている。 オリフラを用いて位置決めする一例として、特開昭５８
−１８７１３号１円板物体の位置決め装置Ｊに光電素子
を用いてウェハ端部変化を求め、そのｇｉヅ）値によっ
てオリフラの中心を求めて位置決めを行なう装置が示さ
れている１、また、特開昭５７−１９８６４２号「ウェ
ハ位置検出装置」には光電素子によってウェハ端部位置
を各回転位置ぐ比較し、回転位置変化に対Ｊるウェハ端
部位置の極１直を求めることによってウェハ位置を検出
する装置が示されている。 ところが、近年、オリフラに加えて微小切欠き（以下、
ノツチと呼ぶ）をもったウェハが出てきた。このノツチ
は、オリフラとともにウェハに備えられることが多い。 第７図は、オリフラおよびノツチを右づ゛るウェハの平
面図を示す。同図において、２１はウェハ、２２はノツ
チ、２３はオリフラである。その場合、上記の二側の公
知例に係る装置では、ノツチとオリフラを区別すること
ができずノツチ部での位置決めをプることは困難である
。 また、第８図に示すように、両側にフォトセンサ２５を
備えたビン２４をウェハ２１に押しつけなからウェハ２
１を回転し、ノツチにビン２４が入って両方のフォトセ
ンサが同時に遮光されたどさ、それを検出して位置決め
を行なう装置もある。しかし、この場合には、ビン２４
および２６を常に接触さＣながらウェハ２１を回転する
必要があるため、ウェハ２１に強い外力が加わることと
なる。従って、ウェハを破損しやすく、また高速にウェ
ハを回転することができないため位置決めに時間がかか
るという欠点があった。 ［発明の目的］ 本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、ノツチを備えた
ウェハ等の円板状物体においてノツチ部での位置決めを
行なうことができ、その際、ウェハに加わる外力を最小
に抑えてウェハを破損することがなく、さらに高速に位
置決めを行なうことが可能な円板物体の位置決め装置を
提供することを目的とする。さらに、ノツチとオリフラ
の両者を備えたつ１ハ等の円板状物体の位置決めにおい
ては、ノツプとオリフラの両者を正確に区別して、ノツ
チ部での位置決めを行なうことができる円板物体の位置
決め装置を提供することを目的とする。 ［実施例の説明］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。 第１図は、本発明の一実施例に係る位置決め装置の外観
を示す。同図において、１はウェハ、２はウェハ駆動ロ
ーラ、４はウェハ１をＩＩｙ、首するテーブルｅある。 テーブル４はウェハ１を浮上さ「るための］−アベアリ
ング機構を持っており、ざらに傾斜させることができる
。５は全体を保持する基台、６　Ｊ３よび７はウェハ１
の最終位置決め用押しつけローうである。この押しつけ
ローラ６および７は８１台５に装備されて４３す、押し
つけ時は内側に、その他のときは外側へ移動可能である
。押しつけローラ７の上部にはウェハ回転ローラ８が取
付番プである。このウェハ回転ローラ８は、テーブル４
を傾斜させた場合にウェハ駆動ローラ２とどもにウェハ
１を保持する。９はノツプ−センナユニットであり、微
小切欠きが位置すべぎ所定箇所に配置されている。 第２図は、上記実施例の装置の要部の平面図および側面
図を示す。ここで、第２図ａはテーブル４を傾斜させて
ノツチを゛検出している状態にお（）る平面図、第２図
すおよび第２図Ｃはとらに第２図ａの状態における側面
図である。特に、第２図すはノツチセンナユニット９の
部分を詳しく示し、第２図Ｃはウェハ駆動ローラ２の部
分を詳しく示す。また、第２図ｄ　Ｊ５よび第２図ｅは
、それぞれ、ノツチの検出が終了しテーブル４を水平に
して機械的な位置決めを行なう状態における平面図およ
び側面図を示す。 第２図にＪ３いて、１０は照明光源、１１は押しつ（ノ
ピン、１２は集光レンズ、１０１は光電素子でおる。 これらの部分はすべてノツヂヒンサユニット９に取付け
てあり、ノツチの検出時および機械的な位置決めのため
の押しつ番プ時は内側へ、その他の場合は外側へと移動
可能である。 照明光源１０はウェハ１の端部（外周部）を下部五り照
明するためのものであり、光電素子１０１はこれと対向
する上部に設けられている。この照明光源１０より出た
光は集光レンズ１２により集光される。この場合、ウェ
ハ端部における遮光の変化を光電素子１０１において１
ｎ（ｉｆに検出覆るため、光はウェハ面上にて長手方向
がウェハの半径方向となるような長方形に集光される。 光電素子１０１ＪＪよび集光された光の長手方向の寸法
はウェハの外径バラツキおよびノツプ、オリフラによる
遮光の変化を充分に満足する寸法になっている。 第２図Ｃにおいて、１１４はパルスジ１ネレータ、１１
５はウェハ１を回転するための駆動装置を構成する１−
夕である。このモータ１１５の回転軸には歯車１４が取
付りられており、ウェハ駆動ローラ２に取付（プられた
歯車１５と噛合しでいる。ずなわら、モータ１１５を駆
動することにより、ウェハ駆動ローラ２を回づことがで
きる。同時に歯車１５はパルスジェネレータ１１４に取
付

【〕られた歯車すると噛合している。これらの山車１
５およびするとパルスジ１ネレータ１１４は、例えばウ
ェハ駆動１コーラ２が１回転すると、パルスジェネレー
タ１１４が６００個のパルスを発生するというように適
当に選択されている。従って、パルスジェネレータ１１
４のパルスをカラン１〜することによりウェハ駆１ｊ＋
ローラ２の回転Ｆｌｉ−ｔなわちウェハの回転量を検出
することができる。 第３図は、本実施例の装置の制御系の構成を示すブロッ
ク図である。同図により、ウェハを回転しノツチを光重
検出する際の制御系の各部の機能を説明する。 まず、光電素子１０１より出力される光電流をプリアン
プ１０２により増幅する。これにより、光電素子１０１
で検出した光ωの変化は電圧の変化に変換して出力され
る。この信号をピーク値検出回路１０４に入力し、信号
の最大値を検出する。次に、レベルシフタ１２２はこの
最大値（ｉ号を所定の値だけレベルシフ１へし、その結
果を］ンバレータ１０３の一端へ入力する。コンパレー
タ１０３のらう一端には、プリアンプ１０２の出力信号
が直接人力されており、両者の大小に応じた信号出力が
］ンバレータ１０３より得られる。レベルシフタ１２２
のレベルシフト世については後述する。 モータ１１５はウェハ駆動ローラ２を回転する動力とな
るものであり、スイッチ１１７によりモータ１１５の回
転の向きと速度すなわちウェハの回転速度を高速あるい
は低速逆回転の２段階に切換えることができる。七−タ
１１５の回転はパルスジ１ネレータ１１４に伝えられ、
パルスジェネレータ１１４はウェハの回転に応じたパル
スを出力する。 カウンタ１０５はノツチを検出するために使用されるカ
ウンタである。アンドゲート１２１の作用により、コン
パレータ１０３の出力が’　Ｈ”レベルの時のみ、パル
スジェネレータ１１４の出力パルスがカウンタ１０５に
入力され４数が行なわれる。コンパレータ１０６は、こ
の計数値と設定器１０７に予め設定されている上限値お
よび下限値とをそれぞれ比較し、計数値がその上限値と
下限値の範囲内ならば計数を行なった時点に検知しでい
たウェハ端部にノツチが存在していたことを承り検出信
号を出力する。 アップダウンカウンタ１０８はノツチの中心位置を求め
るために使用されるカウンタである。このアップダウン
カウンタ１０８へ入力されるパルスは、カウンタ１０５
に入力されるパルスと同一のもので・あるが、スイッチ
１１０を切換えることにより、直接入力と１／２に分周
されたらのとのいずれか一方を選択できる。また、スイ
ッチ１１０の切換信号は同時にアップダウンカウンタ１
０８の７ツブダウン切換ら行なっている。Ｖなわら、カ
ラン１〜アップ時は１／２分周器を通したらのを５１数
し、カウントダウン時はｔ１接ｔｌ数を行なう。これは
、後述づるようにノツプ〜の中心に位置決めするためで
ある。アップダウンカウンタ１０８からは、カウントダ
ウン時、その値が零となったときにキ１？り一信号が出
力される。 カウンタ１１１は、ウェハが１回転したことを検知する
ためのものである。カウンタ１１１ｆｔ、パルスジェネ
レータ１１４の出力パルスをδｌｅ！する。設定器１１
３には、予めウェハが１回転した場合にパルスジェネレ
ータ１１４が出力づるパルス数よりも若干大ぎい値を設
定しておく。コンパレータ１１２は、このカウンタ１１
１の値と設定器１１３の設定値とを比較し、カウンタ１
１１の値の方が大きいとき１回転したことを示す検知信
号を出力する。 シーケンサ１２０は上記のカウンタ、モータ等の制御を
すべて行なう。 以上のような構成において、第１図〜第３図、第４図の
フローチャートおよび第５図のタイムチｊｚ　−ｌ−を
参照しながら、ウェハを位置決めするまでの全体のＤ作
について説明する。なお、第５図ａ−ｇは、それぞれ第
３図のブロック図のａ−ｇの位置にＪ３ける電圧変化を
示づタイムチャートである。以下、これらの信号を、そ
れぞれ、信号ａ。 信号ｂ、・・・・・・、信号ｑと呼ぶ。また、第５図ａ
〜Ｑのタイムチｐ−１−はすべて、時間を横軸としてい
る。この横軸は、ウェハが一定速度で回転している間に
おいては、ウェハの回転方向の位置を示す軸とみなすこ
とらできる。 まず、テーブル４を斜め位置にセット°し、エアベアリ
ング機構によりエアフローを行なう。ノツヂセンサコニ
ット９、押しつけローラ６および７ははち内側となる位
置にセットしておく。この状態でウェハ１が搬入されテ
ーブル４上に載置されると、エフベアリング効果により
ウェハ１は滑り、ウェハ回転ローラ８とウェハ駆動ロー
ラ２の両者に当って停止する（ステップＳ１）。 次に、ピーク値検出回路１０４、カウンタ１０５および
アップダウンカウンタ１１１の内容を零にクリアし、ス
イッチ１１７を高圧ＶＨ側にしてウェハ１の高速回転を
行なう。このとぎウェハ１とウェハ駆動ローラ２の間の
スリップを防止するため、モータ１１５の回転は急加速
へ５急減速をしないようにする。すなわち、モータ１１
５に対する印加電圧は徐々に昇圧し一定の電圧にもって
いく。し−タ１１５の回転を止めるときも同様である。 第５図ｑは、このようななだらかな加減速駆動を行なう
ためにモータ１１５に与える電圧を示している。 このようにウェハ１を回転すると、その外周部のノツチ
およびオリフラにより、照明光源１０から照光される光
の遮光間は変化づる。その光量変化を光電素子１０１に
より電気信号の変化に変換する。 第５図ａは、この電気信号をプリアンプ１０２により増
幅した（ｐの信号ａを示ず。同図ａにおいて、急激なピ
ークはノツチ部分を示し、なだらかなピークはオリフラ
部分を示している。この信号ａはピーク値検出回路１０
４により変化Ｉｆ１の最大値（ピーク値）が検出８れる
（ステップ３２）。 ウェハの回転量に応じたパルスジェネレータ１１４から
の出力パルスは、カウンタ１１１に人力し計数りる。コ
ンパレータ１１２は、このカウンタ１１１のａ］数値と
設定器１１３に設定されている値とを比較する。前述し
たように、設定器１１３の設定１「１としては、ウェハ
が１回転したときにパルスジェネレータ１１４から出力
されるパルス数に若干のパルス数を加えた値を、予め設
定しておく。従って、ウェハが１回転以上すると、コン
パレータ１１２より検知信号が出力され、これによりシ
ーケンサ１２０はウェハが１回転以上したことを検知す
る（ステップＳ３）。それと同時にシーケンサ１２０は
カウンタ１１１を再びクリアづる。 この時点でシーケンサ１２０はビーク１直検出回路１０
４の動作を停止し、ピーク値をボールドする。 第５図すは、ピーク値検出回路１０４の出力信号を示し
ている。このピーク値は、レベルシフタ１２２に入力さ
れ、あるレベルだけシフトダウンされる。 第５図ＣのにＪ５いて実線で示した信号が、レベルシフ
トされた信Ｆ４ｃを示している。このピーク値をレベル
シフトした（直が、以後、スライスレベルとしてノツチ
検出に用いられる（ステップ３４）。 このノツプ−検出の際には、侵述するように、まず光電
素子１０１の出力とスライスレベルとを比較してぞの大
小関係を１ｑ、光電素子１０１の出力を２１己化する。 この２値化の結果のパルスよりノツチおよびオリフラを
検出する。従って、スライスレベルは、ウェハの外径バ
ラツキにかかわらず、２値化により生成したパルスによ
りノツチやオリフラ部分の区別が可能となるような値で
ある必要があり、レベルシフ１〜最もそれに基づき設定
する。 なお、ステップＳ３において、未だウェハが１回転して
いないと判別した場合は、再びステップＳ２に戻り１回
転するまで、ピーク値の検出をする。 さらに、ウェハの回転は続いており、上述のスライスレ
ベル（信号Ｃ）と光電素子１０１からの信号ａ（第５図
Ｃの点線部分）とをコンパレータ１０３により比較する
。このとき、ノツチやオリフラにより光電素子１０１の
出力レベルが増大し、スライスレベルを越えた間、コン
パレータ１０３は”１１”レベルを出力する。第５図ｄ
は、このとさのコンパレータ１０３の出力を示す。この
出力信号ｄはアントゲ−１−１２１に入力し、パルスジ
ェネレータ１１４からの出力パルスがカウンタ１０５お
よびアップダウンカウンタ１０８に加えられるのを制御
する。すなわら、ノツチやオリフラが充電素子１０１の
下を通過している間のみ、コンパレータ１０３の出力は
゛Ｈ″レベルとなりアンドゲート１２１が開くため、カ
ウンタ１０５およびアップダウンカウンタ１０８が計数
される。第５図ｅは、カウンタ１０５の人力信号を示す
。 このとき、スイッｆ１１０は１／２分周器１０９側にな
ってｄ３す、アップダウンカウンタ１０Ｂはカウントア
ツプ可能となっている。従って、パルスジェネレータ１
１４から２パルス出力されるとアップダウンカウンタ１
０８の内容（３艮１力Ｃクンドアツブする。第５図ｆは
、このときのアップダウンカウンタ１０８への入力を承
り。信号ｅのパルス部分が信＠ｒでは半分のカラン１〜
数どなっている。 また、コンパレータ１０６は、カウンタ１０５の内容と
予め設定器１０７に設定された上限（ｆ＋　Ｊ３よび下
限値とをそれぞれ比較する。この上限（ｎはノツチが光
電素子１０１の下を通過したときにカウンタ１０５に人
力されるパルス数に所定値を加えた値であり、下限値は
同様に上記のパルス数から所定値を減じた値である。 ノツチまたはオリフラが光電素子１０１の下を通過した
後にアンドゲート１２１が閉じられるが、その際、カウ
ンタ１０５の内容が設定器１０７に予め設定された上記
の上限値および下限値の間に人っていればノツチと判断
される。「ノツチである」ことを示すコンパレータ１０
６からの信号はシーケンサ１２０に入力し、シーケンサ
１２０はこれによりノツチを検出する（ステップ３５）
。らし、ノツチが検出される前にコンパレータ１１２よ
り１回転の検知信号が出力された場合は、ウェハが１回
転したにしかかわらずノツチがみつからなかったことを
示し、この場合は再びステップＳ２より繰返す、。 なお、このとぎ、既に設定されているスライスレベルは
変更しないことにづれば、ステップ８２〜Ｓ４のスライ
スレベルを決定ザる処理を再度行むう必要はない。従っ
て、この場合はステップＳ２に分岐するのでなく、ステ
ップＳ５のノツチ検出を繰返す処理を行なう。 ステップＳ５でノツチが検出されると、シーケンサ１２
０は第５図Ｑに示ずようにし一夕１１５を減速停止し、
ウェハの回転を停止する。次にスイッチ１１７を低圧Ｖ
Ｌに切換えて、し−夕１１５を低速逆転する。すなわち
、モータ１１５には今までと逆向きの電圧をかける（第
５図ｇ）。これにより、充電素子１０１は先程下を通過
したノツチの後縁を検知する。このとき、スイッチ１１
０はパルスジェネレータ１１４の出力パルスが直接アッ
プダウンカウンタ１０８に入力されるとなっており、ア
ップダウンカウンタ１０８はダウンカウント可能となっ
ている。ここで、アップダウンカウンタ１０８には、ノ
ツチが通過するどきに発生したパルス数の１／２の値が
入っている。従って、ノツｆ゛の１ν縁を検知した時点
より、アップダウンカウンタ１０８の内容をパルスジェ
ネレータの出力で減Ｑしてゆき、７ツブグウンカウンタ
１０８の内容が零となりキ１７り一信号が出力された時
点で、し−タ１１５を停止Ｍる。これにより、ノツチの
中心を九電本子１０１の真下、づなわら押しつけビン１
１の位置にすることができる（ステップＳ６）、。 以上の手順ｒウェハのノツチの位置決めは（１な〕が、
さらに高精度にθ位置決めおよび１ビンタリングを行な
うため、機械的に押しつｔノ動作を行なう１、 まず、上述のようなノツチの位置決めの後、ウェハ１を
テーブル４に吸着し固定する。次にノツチはンリユニッ
ト９、押しつ【ノローラ６おＪ、び７を外側へ動かす。 これは、テーブル４を水平にするときの妨げにはならな
いようにするためである。 そうしてＪ３いて、デープル４を水平に号る。次に、押
しつけビン１１をよずノツチ部に挿入する。挿入完了模
、ウェハを再びエアフローにＪ、リテーブル４上でエア
ベアリングさせる。そして、押しつけローラ６ｄ３よび
７をウェハに押しつけることにより、θ位置決めおよび
中心位置決めを行なう。第２図ｄおにびＣは、以上のよ
うな押しつ（）動作の様子を示している。 次に、ウェハ１をデープル４に吸着し固定した後、押し
つけビン１１、押しつけローラ６　ａ３よび７を外側へ
動かし開放づる（ステップ８７）。 以ににより、本装置での位置決め動作は完了し、ウェハ
は露光装置、検査装置等のウェハ設ｉｆｆ台へ位置決め
された状態のまま搬出される。（ステップ３８）。 本実施例によれば、ウェハを１回転した際の光電素子の
出力の最大値からスライスレベルを決定し、光電素子１
０１の出力をこのスライスレベルと比較して２碩化して
いる。従って、ノツチとオリフラの両者を備えたウェハ
であっても、ウェハの外径バラツキにかかわらず、安定
してノツチおよびオリフラを検出することができる。 また、ノツチかオリフラかの判別は、ウェハを駆動する
ウェハ駆動ローラ２と連動して回転するパルスジェネレ
ータ１１４からの出力パルスにより、２値化された結果
のパルスの巾を計数し、その計数値と予め設定された設
定値とを比較することにより行なっている。この計数値
は、ウェハの回転速度とは無関係に常に一定値となるた
め、正確にノツチのみを検出することが可能である。 さらに、上記の設定値をオリフラのパルス１１】の５１
数値と等しくなるように設定するだけで、ノツプ−では
なくオリフラが検出できるという効果らある。 ウェハはスライスレベル検出時およびノツチ検出時まで
は高速で回転される。そして、ノツチが検出されると減
速停止し、次に低速で逆転し、ノツチの後縁が検出され
た時点から、予め求められた値だけパルスエンコーダの
パルス数を計数し停止してノツチの中心の位置決めを行
なっている。 従って、比較的短時間で位置決めを行なうことができる
し、高速回転から減速停止するときにウェハどウェハ駆
動ローラ間でスリップが起っても影響が生じない。 さらに、本実施例では、ウェハを照光している照明光源
１０より出た光は、集光レンズ１２により、ウェハ而」
−にて長手方向がウェハの半径方向となるよう＜１長方
形に集光されるため、この光を観測することでウェハの
端部の形状の変化を正確に得ることができ、正しく位置
決めを行なうことができる。 なお、このような集光レンズとして、シリンドリカルレ
ンズ等を用いれば、照明光源１０から出た光を簡ｌｉｔ
に長方形に集光することができる。第３図は、集光レン
ズとしてシリンドリカルレンズを用いた位置決め装置の
ウェハ端部検出系の斜視図である。 水実茄例では、全体のシーケンス制御にシーケンサ１２
０を用いており、ざらにウェハ１回転の検出、ノツチ判
定およびノツチ中心検出等にそれぞれハードウェアによ
るカウンタやコンパレータ、設定器を設けているが、こ
れに限ることなく、マイクロコンピュータを使用するこ
ともできる。りなわら、シーケンス制御、ウェハ１回転
の検出、ノツチ判定およびノツチ中心検出等はマイクロ
コンピュータのソフトウェアとマイクロコンピュータに
接続されたメモリーヒのソフト的なカウンタにより行な
うこともできる。 また、本実施例にＪ３いては、ウェハの端部の形状の変
化を検出する光電素子１０１としてフォトディテクタを
使用しているが、これはＣＯＤのようなフォトアレイで
も良いし、ｌＴ■のような１次元以上の光電素子に置き
代えても良い。さらに、七−夕としてパルスモータを使
用することもできる。このような場合、パルスエンコー
ダ１１４は不要となる。 ［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、ウエハ等の円板
物体の端部の形状の変化を検出する光電素子の出力を所
定のスライスレベルで２値化し、それにより１５ノられ
たパルスの＋ｌ」を所定値と比較づることによりノツプ
部分に対応するパルスであるか否かを判定して、微小切
欠きに対応するものど判定したパルスの中心に対応する
円板上の位置を所定箇所に合せて円板物体を停止するよ
うにしているので、ノツチ部における位置決めを行なう
ことができる。また、外力を加えながら円板物体を回転
させることもないので、円板物体を破１０することがな
く、ノツプを検出するまでは円板物体を高速で回転さＵ
ｏることができるので、比較的短時間で位置決めを行な
うことができる。さらに、ノツチとオリフラの両省を備
えた円板物体の位置決めにおいては、ノツチとオリフラ
の両省を正確に区別してノツチ部での位置決めを行なう
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る位置決め装置の外観
図、 第２図は、−に記実施例の装置の平面図および側面図、 第３図は、上記実施例の装置の制御系を示づブロック図
、 第４図は、上記実施例のＶｔ首の動作のシーケンスを示
すノ［］−チャート、 第５５図は、第３図の各部の信号の波形を示すタイムチ
１フー８図、 第６図は、集光レンズとしてシリンドリカルレンズを用
いた位置決め装置のウェハ端部検出系の斜視図、 第７図は、ノツチおよびオリフラを備えたウェハの平面
図、 第８図は、ビンをウェハに押しつけながら位置決めを行
なう様子を示す平面図である。 ９：ノツチセンサユニット、１０：照明光源、１２：集
光レンズ、１０１：光電素子、１０２：ブリアンプ、１
０３，１０６，１１２　：コンパレータ、１０４：ピー
ク値検出回路、 １０！１，１０８，１１１　：カウンタ、１０７，１１
３　：設定置、１１０．１１７　：スイッチ、　　　１
０９：１／２分周器、１１４：バルスジＩネレータ、１
１５：モータ、１する；ドライバ、　　　　　１２０：
シーケンサ、１２２ニレベルシフタ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、周囲の一部に微小切欠きを設けた円板物体を回転す
   る手段と、 該微小切欠きが位置すべき所定箇所に配置され、該円板
   物体を回転した際に該円板物体の端部の形状の変化を検
   出する一対の照明光源および光電素子と、 該円板物体の回転時の該光電素子の出力を所定のスライ
   スレベルで２値化する手段と、 該２値化手段により得られたパルスの巾を所定値と比較
   することにより該微小切欠きに対応するパルスであるか
   否かを判定する手段と、 該判定手段により該微小切欠きに対応するものと判定し
   たパルスの中心に対応する円板物体上の位置を上記所定
   箇所に合せて該円板物体を停止させる回転制御手段とを
   具備することを特徴とする円板物体の位置決め装置。 ２、前記２値化手段は、前記円板物体が少なくとも１回
   転した際の前記光電素子の出力のピーク値を求め、該ピ
   ーク値から自動的に決定したスライスレベルを基に２値
   化を行なうものである特許請求の範囲第１項記載の円板
   物体の位置決め装置。