JPH05251546A - オリエンテーションフラットの位置合わせ方法とその装置 - Google Patents
オリエンテーションフラットの位置合わせ方法とその装置Info
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- JPH05251546A JPH05251546A JP4733892A JP4733892A JPH05251546A JP H05251546 A JPH05251546 A JP H05251546A JP 4733892 A JP4733892 A JP 4733892A JP 4733892 A JP4733892 A JP 4733892A JP H05251546 A JPH05251546 A JP H05251546A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単な構成によって短時間で高精度なオリエン
テーションフラットの位置合わせを行うことができる方
法および装置を提供することを目的とする。 【構成】パルスモータＭはウェハ４２を回転させる。オ
リエンテーションフラット検出センサ４５，４５Ａはウ
ェハ４２のオリエンテーションフラットORを検出する。
制御装置３３は、オリエンテーションフラット検出セン
サ４５，４５ＡがオリエンテーションフラットORを検出
するまでは高速信号発生手段としてのパルス発生器３１
を選択して高速指令信号としてのパルス信号Ｐ２にてパ
ルスモータＭを高速回転させ、オリエンテーションフラ
ットORを検出した後は低速信号発生手段としてのパルス
発生器４３を選択して低速指令信号Ｐ１としてのパルス
信号にてパルスモータＭを低速回転させる。
テーションフラットの位置合わせを行うことができる方
法および装置を提供することを目的とする。 【構成】パルスモータＭはウェハ４２を回転させる。オ
リエンテーションフラット検出センサ４５，４５Ａはウ
ェハ４２のオリエンテーションフラットORを検出する。
制御装置３３は、オリエンテーションフラット検出セン
サ４５，４５ＡがオリエンテーションフラットORを検出
するまでは高速信号発生手段としてのパルス発生器３１
を選択して高速指令信号としてのパルス信号Ｐ２にてパ
ルスモータＭを高速回転させ、オリエンテーションフラ
ットORを検出した後は低速信号発生手段としてのパルス
発生器４３を選択して低速指令信号Ｐ１としてのパルス
信号にてパルスモータＭを低速回転させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェハのオリエンテーシ
ョンフラット（以下、オリフラと略す）の位置合わせ方
法およびその装置に関するものである。
ョンフラット（以下、オリフラと略す）の位置合わせ方
法およびその装置に関するものである。
【０００２】近年、半導体チップの製造工程において
は、処理の均一化や正確なハンドリングを実現するため
に、オリフラの位置合わせを短時間で高精度に行うこと
が要求されている。
は、処理の均一化や正確なハンドリングを実現するため
に、オリフラの位置合わせを短時間で高精度に行うこと
が要求されている。
【０００３】
【従来の技術】図６に、従来のオリフラ位置合わせ装置
の例を示す。真空吸着式のチャック４１はセンタリング
されたウェハ４２の中心部を吸着して固定している。ま
た、チャック４１はパルスモータＭのモータ軸に固定さ
れている。従って、ウェハ４２とチャック４１とは一体
となり、ウェハ４２の中心Ｃを回転軸としてパルスモー
タＭによって回転駆動される。尚、パルスモータＭは時
計回り方向にのみ回転することができる。
の例を示す。真空吸着式のチャック４１はセンタリング
されたウェハ４２の中心部を吸着して固定している。ま
た、チャック４１はパルスモータＭのモータ軸に固定さ
れている。従って、ウェハ４２とチャック４１とは一体
となり、ウェハ４２の中心Ｃを回転軸としてパルスモー
タＭによって回転駆動される。尚、パルスモータＭは時
計回り方向にのみ回転することができる。
【０００４】パルス発生器４３はパルスモータＭを駆動
するための一定周期（例えば、５００パルス／秒）のパ
ルス信号Ｐ1 を出力する。モータドライバ４４は、パル
ス発生器４３のパルス信号Ｐ1 をパルスモータＭの励磁
方式および励磁相数に合ったパルス順序に分配し、増幅
してパルスモータＭに供給する。
するための一定周期（例えば、５００パルス／秒）のパ
ルス信号Ｐ1 を出力する。モータドライバ４４は、パル
ス発生器４３のパルス信号Ｐ1 をパルスモータＭの励磁
方式および励磁相数に合ったパルス順序に分配し、増幅
してパルスモータＭに供給する。
【０００５】オリフラ検出センサ４５はウェハ４２の外
周より若干中心よりの位置にあり、ウェハ４２のオリフ
ラORの部分とオリフラOR以外の部分とを検出できるセン
サである。例えば、オリフラ検出センサ４５を反射式フ
ォトセンサとすると、オリフラ検出センサ４５はウェハ
４２の外周より若干中心よりの位置にあるスポットａに
検出光を投射し、その反射光を検出する。すなわち、ウ
ェハ４２の平面図である図７〜９に示すように、ウェハ
４２のオリフラOR以外の部分にスポットａがあるとき、
オリフラ検出センサ４５の検出光はウェハ４２によって
反射する。一方、オリフラORの部分にスポットａがある
とき、オリフラ検出センサ４５の検出光は反射しない。
従って、オリフラ検出センサ４５は検出光の反射光を検
出することによって、検出光を投射した部分（スポット
ａ）がオリフラORかどうかを検出することができる。そ
して、オリフラ検出センサ４５は、オリフラORの部分に
スポットａがあるときはハイレベルの検出信号Ｓを出力
し、オリフラOR以外の部分にスポットａがあるときはロ
ーレベルの検出信号Ｓを出力する。
周より若干中心よりの位置にあり、ウェハ４２のオリフ
ラORの部分とオリフラOR以外の部分とを検出できるセン
サである。例えば、オリフラ検出センサ４５を反射式フ
ォトセンサとすると、オリフラ検出センサ４５はウェハ
４２の外周より若干中心よりの位置にあるスポットａに
検出光を投射し、その反射光を検出する。すなわち、ウ
ェハ４２の平面図である図７〜９に示すように、ウェハ
４２のオリフラOR以外の部分にスポットａがあるとき、
オリフラ検出センサ４５の検出光はウェハ４２によって
反射する。一方、オリフラORの部分にスポットａがある
とき、オリフラ検出センサ４５の検出光は反射しない。
従って、オリフラ検出センサ４５は検出光の反射光を検
出することによって、検出光を投射した部分（スポット
ａ）がオリフラORかどうかを検出することができる。そ
して、オリフラ検出センサ４５は、オリフラORの部分に
スポットａがあるときはハイレベルの検出信号Ｓを出力
し、オリフラOR以外の部分にスポットａがあるときはロ
ーレベルの検出信号Ｓを出力する。
【０００６】制御装置４６はオリフラ検出センサ４５の
検出信号Ｓに基づいてパルス発生器４３を制御する。す
なわち、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき
検出信号Ｓがハイレベルであれば、制御装置４６は、検
出信号Ｓがハイレベルからローレベルに反転するまでパ
ルス発生器４３を動作させ、検出信号Ｓのレベルが反転
した時点でパルス発生器４３の動作を停止させる。ま
た、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出
信号Ｓがローレベルであれば、制御装置４６は、検出信
号Ｓが２回反転（ローレベルからハイレベル、続いてハ
イレベルからローレベル）するまでパルス発生器４３を
動作させ、検出信号Ｓのレベルが２回反転した時点でパ
ルス発生器４３の動作を停止させる。
検出信号Ｓに基づいてパルス発生器４３を制御する。す
なわち、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき
検出信号Ｓがハイレベルであれば、制御装置４６は、検
出信号Ｓがハイレベルからローレベルに反転するまでパ
ルス発生器４３を動作させ、検出信号Ｓのレベルが反転
した時点でパルス発生器４３の動作を停止させる。ま
た、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出
信号Ｓがローレベルであれば、制御装置４６は、検出信
号Ｓが２回反転（ローレベルからハイレベル、続いてハ
イレベルからローレベル）するまでパルス発生器４３を
動作させ、検出信号Ｓのレベルが２回反転した時点でパ
ルス発生器４３の動作を停止させる。
【０００７】次に、このオリフラ位置合わせ装置による
オリフラORの位置合わせを行う際の手順と作用を説明す
る。オリフラORの位置合わせ操作の開始時において、例
えば、センタリングされたウェハ４２が図７に示す位置
にセットされているとする。すると、オリフラOR以外の
部分にスポットａがあるため、オリフラ検出センサ４５
の検出信号Ｓはハイレベルになる。そして、制御装置４
６はパルス発生器４３を動作させ、モータドライバ４４
に一定周期のパルス信号Ｐ1 を出力させる。モータドラ
イバ４４はそのパルス信号Ｐ1 を適宜分配して増幅しパ
ルスモータＭに供給する。そのため、パルスモータＭは
パルス信号Ｐ1 に基づいて一定速度で時計回り方向に回
転する。従って、ウェハ４２も一定速度で時計回り方向
に回転する。そして、図９に示すように、スポットａに
オリフラORがかかると、検出信号Ｓはハイレベルからロ
ーレベルに反転する。すると、制御装置４６はパルス発
生器４３の動作を停止させる。そのため、パルス信号Ｐ
1 が出力されなくなりパルスモータＭは停止する。従っ
て、ウェハ４２は図９に示す位置（オリフラ合わせ位
置）に停止する。
オリフラORの位置合わせを行う際の手順と作用を説明す
る。オリフラORの位置合わせ操作の開始時において、例
えば、センタリングされたウェハ４２が図７に示す位置
にセットされているとする。すると、オリフラOR以外の
部分にスポットａがあるため、オリフラ検出センサ４５
の検出信号Ｓはハイレベルになる。そして、制御装置４
６はパルス発生器４３を動作させ、モータドライバ４４
に一定周期のパルス信号Ｐ1 を出力させる。モータドラ
イバ４４はそのパルス信号Ｐ1 を適宜分配して増幅しパ
ルスモータＭに供給する。そのため、パルスモータＭは
パルス信号Ｐ1 に基づいて一定速度で時計回り方向に回
転する。従って、ウェハ４２も一定速度で時計回り方向
に回転する。そして、図９に示すように、スポットａに
オリフラORがかかると、検出信号Ｓはハイレベルからロ
ーレベルに反転する。すると、制御装置４６はパルス発
生器４３の動作を停止させる。そのため、パルス信号Ｐ
1 が出力されなくなりパルスモータＭは停止する。従っ
て、ウェハ４２は図９に示す位置（オリフラ合わせ位
置）に停止する。
【０００８】また、オリフラORの位置合わせ操作の開始
時において、例えば、センタリングされたウェハ４２が
図８に示す位置にセットされているとする。すると、オ
リフラORの部分にスポットａがあるため、オリフラ検出
センサ４５の検出信号Ｓはローレベルになる。そして、
制御装置４６は上記と同様に、ウェハ４２を一定速度で
時計回り方向に回転させる。すると、検出信号Ｓはロー
レベルからハイレベルに反転し、続いて、図９に示すよ
うにスポットａにオリフラORがかかり、検出信号Ｓはハ
イレベルからローレベルに反転する。すなわち、検出信
号Ｓが２回反転するため、制御装置４６はパルス発生器
４３の動作を停止させることによりパルスモータＭを停
止させる。従って、ウェハ４２は図９に示すオリフラ合
わせ位置に停止する。
時において、例えば、センタリングされたウェハ４２が
図８に示す位置にセットされているとする。すると、オ
リフラORの部分にスポットａがあるため、オリフラ検出
センサ４５の検出信号Ｓはローレベルになる。そして、
制御装置４６は上記と同様に、ウェハ４２を一定速度で
時計回り方向に回転させる。すると、検出信号Ｓはロー
レベルからハイレベルに反転し、続いて、図９に示すよ
うにスポットａにオリフラORがかかり、検出信号Ｓはハ
イレベルからローレベルに反転する。すなわち、検出信
号Ｓが２回反転するため、制御装置４６はパルス発生器
４３の動作を停止させることによりパルスモータＭを停
止させる。従って、ウェハ４２は図９に示すオリフラ合
わせ位置に停止する。
【０００９】このように、センタリングされたウェハ４
２がどの様な位置にセットされても、ウェハ４２をパル
スモータＭによって一定速度で回転させることにより、
オリフラORを常に一定位置であるオリフラ合わせ位置に
セットすることができる。
２がどの様な位置にセットされても、ウェハ４２をパル
スモータＭによって一定速度で回転させることにより、
オリフラORを常に一定位置であるオリフラ合わせ位置に
セットすることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、オリフ
ラORの位置合わせ操作の開始時において、図８に示すよ
うにオリフラORの部分にスポットａがある状態にセット
されたときは、ウェハ４２をほぼ１回転させなければオ
リフラORの位置合わせを行うことができない。
ラORの位置合わせ操作の開始時において、図８に示すよ
うにオリフラORの部分にスポットａがある状態にセット
されたときは、ウェハ４２をほぼ１回転させなければオ
リフラORの位置合わせを行うことができない。
【００１１】そこで、正逆転できるパルスモータＭを用
い、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出
信号Ｓがローレベルであれば、検出信号Ｓのレベルが反
転するまでパルスモータＭを反時計方向に回転させるこ
とにより、短時間でオリフラORの位置合わせを行うこと
が考えられる。
い、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出
信号Ｓがローレベルであれば、検出信号Ｓのレベルが反
転するまでパルスモータＭを反時計方向に回転させるこ
とにより、短時間でオリフラORの位置合わせを行うこと
が考えられる。
【００１２】ところで上記従来例においては、オリフラ
ORの位置合わせの精度を高めるため、ウェハ４２の回転
を瞬時に停止できる程度に、パルスモータＭを低速で回
転させる必要がある。もし、パルスモータＭを高速で回
転させると、ウェハ４２およびチャック４１の慣性モー
メントにより、オリフラ合わせ位置に達してパルス発生
器４３の動作が停止してもウェハ４２はすぐには停止せ
ず、オーバーランしてオリフラ合わせ位置からずれてし
まうため正確な位置合わせができなくなる。
ORの位置合わせの精度を高めるため、ウェハ４２の回転
を瞬時に停止できる程度に、パルスモータＭを低速で回
転させる必要がある。もし、パルスモータＭを高速で回
転させると、ウェハ４２およびチャック４１の慣性モー
メントにより、オリフラ合わせ位置に達してパルス発生
器４３の動作が停止してもウェハ４２はすぐには停止せ
ず、オーバーランしてオリフラ合わせ位置からずれてし
まうため正確な位置合わせができなくなる。
【００１３】しかしながら、ウェハ４２の外周において
オリフラORの部分が占める割合は１０〜１５％程度であ
るため、オリフラORの位置合わせ操作の開始時において
は、図９に示すようにオリフラOR以外の部分にスポット
ａがある状態にセットされることが多い。
オリフラORの部分が占める割合は１０〜１５％程度であ
るため、オリフラORの位置合わせ操作の開始時において
は、図９に示すようにオリフラOR以外の部分にスポット
ａがある状態にセットされることが多い。
【００１４】従って、上記のようにパルスモータＭを正
逆転させるようにしても、オリフラORの位置合わせに
は、例えば、１０００パルスで１回転するパルスモータ
Ｍを使用し、低速（例えば、５００パルス／秒）で回転
させた場合、最大で約２秒を要することになる。半導体
の製造工程においては複数の処理でオリフラの位置合わ
せが必要である。従って、１回の位置合わせに要する時
間を少しでも短縮することにより、製造工期を大幅に短
縮することができる。
逆転させるようにしても、オリフラORの位置合わせに
は、例えば、１０００パルスで１回転するパルスモータ
Ｍを使用し、低速（例えば、５００パルス／秒）で回転
させた場合、最大で約２秒を要することになる。半導体
の製造工程においては複数の処理でオリフラの位置合わ
せが必要である。従って、１回の位置合わせに要する時
間を少しでも短縮することにより、製造工期を大幅に短
縮することができる。
【００１５】そのため本発明は、簡単な構成によって短
時間で高精度なオリフラの位置合わせを行うことができ
る方法および装置を提供することを目的とする。
時間で高精度なオリフラの位置合わせを行うことができ
る方法および装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するため、ウェハを回転させてオリエンテーションフ
ラットを所定位置にオリエンテーションフラット検出セ
ンサを用いて合わせる際、オリエンテーションフラット
検出センサがオリエンテーションフラットを検出するま
ではウェハを高速回転させ、オリエンテーションフラッ
トを検出した後はウェハを低速回転させてオリエンテー
ションフラットを所定位置に合わせるようにしたことを
その要旨とする。
決するため、ウェハを回転させてオリエンテーションフ
ラットを所定位置にオリエンテーションフラット検出セ
ンサを用いて合わせる際、オリエンテーションフラット
検出センサがオリエンテーションフラットを検出するま
ではウェハを高速回転させ、オリエンテーションフラッ
トを検出した後はウェハを低速回転させてオリエンテー
ションフラットを所定位置に合わせるようにしたことを
その要旨とする。
【００１７】
【作用】従って本発明によれば、先ず、ウェハを高速で
回転させてオリエンテーションフラットの位置を粗判定
し、次に、ウェハを低速で回転させてオリエンテーショ
ンフラットを正確に所定の位置に合わせるようにしたこ
とにより、ウェハを低速でしか回転させることができな
い従来例に比べて、短時間にオリエンテーションフラッ
トを所定の位置に合わせることができる。
回転させてオリエンテーションフラットの位置を粗判定
し、次に、ウェハを低速で回転させてオリエンテーショ
ンフラットを正確に所定の位置に合わせるようにしたこ
とにより、ウェハを低速でしか回転させることができな
い従来例に比べて、短時間にオリエンテーションフラッ
トを所定の位置に合わせることができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図１〜
図５に従って説明する。尚、本実施例において、図６に
示す従来例と同じ構成については符号を等しくしてその
詳細な説明を省略する。
図５に従って説明する。尚、本実施例において、図６に
示す従来例と同じ構成については符号を等しくしてその
詳細な説明を省略する。
【００１９】パルス発生器４３はパルスモータＭを駆動
するための一定周期（５００パルス／秒）のパルス信号
Ｐ1 を出力する。また、パルス発生器３１もパルスモー
タＭを駆動するための一定周期（１０００パルス／秒）
のパルス信号Ｐ2 を出力する。尚、パルスモータＭが１
回転するのに要するパルス数は１０００パルスである。
従って、パルス発生器４３のパルス信号Ｐ1 でパルスモ
ータＭを駆動する場合、パルスモータＭが１回転するに
は２秒かかる。一方、パルス発生器３１のパルス信号Ｐ
2 でパルスモータＭを駆動する場合、パルスモータＭが
１回転するには１秒かかる。すなわち、パルス信号Ｐ1
よりパルス信号Ｐ2 の方が周期が短いため、パルス信号
Ｐ1 よりパルス信号Ｐ2 の方が高速でパルスモータＭを
回転させることができる。
するための一定周期（５００パルス／秒）のパルス信号
Ｐ1 を出力する。また、パルス発生器３１もパルスモー
タＭを駆動するための一定周期（１０００パルス／秒）
のパルス信号Ｐ2 を出力する。尚、パルスモータＭが１
回転するのに要するパルス数は１０００パルスである。
従って、パルス発生器４３のパルス信号Ｐ1 でパルスモ
ータＭを駆動する場合、パルスモータＭが１回転するに
は２秒かかる。一方、パルス発生器３１のパルス信号Ｐ
2 でパルスモータＭを駆動する場合、パルスモータＭが
１回転するには１秒かかる。すなわち、パルス信号Ｐ1
よりパルス信号Ｐ2 の方が周期が短いため、パルス信号
Ｐ1 よりパルス信号Ｐ2 の方が高速でパルスモータＭを
回転させることができる。
【００２０】切り換え装置３２は制御装置３３によって
制御され、パルス発生器４３側あるいはパルス発生器３
１側に切り換えられることにより、パルス発生器４３の
パルス信号Ｐ1 あるいはパルス発生器３１のパルス信号
Ｐ2 のいずれか一方をモータドライバ４４に出力する。
制御され、パルス発生器４３側あるいはパルス発生器３
１側に切り換えられることにより、パルス発生器４３の
パルス信号Ｐ1 あるいはパルス発生器３１のパルス信号
Ｐ2 のいずれか一方をモータドライバ４４に出力する。
【００２１】オリフラ検出センサ４５A はオリフラ検出
センサ４５と並設されたオリフラ検出センサ４５と同じ
反射式フォトセンサである。オリフラ検出センサ４５A
は、ウェハ４２の平面図である図２〜図５に示すように
オリフラ検出センサ４５のスポットａに近接したスポッ
トｂに検出光を投射し、その反射光を検出する。そし
て、オリフラ検出センサ４５A は、オリフラORの部分に
スポットｂがあるときはローレベルの検出信号ＳA を出
力し、オリフラOR以外の部分にスポットｂがあるときは
ハイレベルの検出信号ＳA を出力する。
センサ４５と並設されたオリフラ検出センサ４５と同じ
反射式フォトセンサである。オリフラ検出センサ４５A
は、ウェハ４２の平面図である図２〜図５に示すように
オリフラ検出センサ４５のスポットａに近接したスポッ
トｂに検出光を投射し、その反射光を検出する。そし
て、オリフラ検出センサ４５A は、オリフラORの部分に
スポットｂがあるときはローレベルの検出信号ＳA を出
力し、オリフラOR以外の部分にスポットｂがあるときは
ハイレベルの検出信号ＳA を出力する。
【００２２】制御装置３３は各オリフラ検出センサ４
５，４５A の検出信号Ｓ，ＳA に基づいて、各パルス発
生器４３，３１および切り換え装置３２を制御する。す
なわち、制御装置３３は、オリフラORの位置合わせ操作
が開始されたとき検出信号ＳA がハイレベルであれば、
切り換え装置３２をパルス発生器３１側に切り換えて各
パルス発生器４３，３１を動作させ、パルス信号Ｐ2 を
モータドライバ４４に出力させる。そして、検出信号Ｓ
A がハイレベルからローレベルに反転した時点で、切り
換え装置３２をパルス発生器４３側に切り換え、パルス
信号Ｐ1 をモータドライバ４４に出力させる。そして、
検出信号Ｓがハイレベルからローレベルに反転した時点
で各パルス発生器４３，３１の動作を停止させる。
５，４５A の検出信号Ｓ，ＳA に基づいて、各パルス発
生器４３，３１および切り換え装置３２を制御する。す
なわち、制御装置３３は、オリフラORの位置合わせ操作
が開始されたとき検出信号ＳA がハイレベルであれば、
切り換え装置３２をパルス発生器３１側に切り換えて各
パルス発生器４３，３１を動作させ、パルス信号Ｐ2 を
モータドライバ４４に出力させる。そして、検出信号Ｓ
A がハイレベルからローレベルに反転した時点で、切り
換え装置３２をパルス発生器４３側に切り換え、パルス
信号Ｐ1 をモータドライバ４４に出力させる。そして、
検出信号Ｓがハイレベルからローレベルに反転した時点
で各パルス発生器４３，３１の動作を停止させる。
【００２３】また、制御装置３３は、オリフラORの位置
合わせ操作が開始されたとき検出信号ＳA がローレベル
であれば、切り換え装置３２をパルス発生器４３側に切
り換えて各パルス発生器４３，３１を動作させ、パルス
信号Ｐ1 をモータドライバ４４に出力させる。そして、
検出信号Ｓがハイレベルからローレベルに反転した時点
で各パルス発生器４３，３１の動作を停止させる。
合わせ操作が開始されたとき検出信号ＳA がローレベル
であれば、切り換え装置３２をパルス発生器４３側に切
り換えて各パルス発生器４３，３１を動作させ、パルス
信号Ｐ1 をモータドライバ４４に出力させる。そして、
検出信号Ｓがハイレベルからローレベルに反転した時点
で各パルス発生器４３，３１の動作を停止させる。
【００２４】次に、上記のように構成されたオリフラ位
置合わせ装置によるオリフラORの位置合わせを行う際の
手順と作用を説明する。オリフラORの位置合わせ操作の
開始時において、例えば、センタリングされたウェハ４
２が図２に示す位置にセットされているとする。する
と、オリフラOR以外の部分にスポットｂがあるため、オ
リフラ検出センサ４５A の検出信号ＳA はハイレベルに
なる。従って、制御装置３３は切り換え装置３２をパル
ス発生器３１側に切り換えて各パルス発生器４３，３１
を動作させ、パルス信号Ｐ2 をモータドライバ４４に出
力させる。モータドライバ４４はそのパルス信号Ｐ2 を
適宜分配して増幅しパルスモータＭに供給する。そのた
め、パルス信号Ｐ2 に基づいてパルスモータＭは高速な
一定速度で時計回り方向に回転する。従って、ウェハ４
２も一定速度で時計回り方向に回転する。そして、図３
に示すように、スポットｂにオリフラORがかかると、検
出信号ＳA はハイレベルからローレベルに反転する。そ
の時点で制御装置３３は切り換え装置３２をパルス発生
器４３側に切り換え、パルス信号Ｐ1 をモータドライバ
４４に出力させる。モータドライバ４４はそのパルス信
号Ｐ1 を適宜分配して増幅しパルスモータＭに供給す
る。そのため、パルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータ
Ｍは一定速度で時計回り方向に回転する。従って、ウェ
ハ４２は一定速度で時計回り方向に回転する。そして、
図５に示すように、スポットａにオリフラORがかかる
と、検出信号Ｓはハイレベルからローレベルに反転す
る。その時点で制御装置３３は各パルス発生器４３，３
１の動作を停止させる。そのため、パルスモータＭは停
止し、ウェハ４２は図５に示す位置（オリフラ合わせ位
置）に停止する。
置合わせ装置によるオリフラORの位置合わせを行う際の
手順と作用を説明する。オリフラORの位置合わせ操作の
開始時において、例えば、センタリングされたウェハ４
２が図２に示す位置にセットされているとする。する
と、オリフラOR以外の部分にスポットｂがあるため、オ
リフラ検出センサ４５A の検出信号ＳA はハイレベルに
なる。従って、制御装置３３は切り換え装置３２をパル
ス発生器３１側に切り換えて各パルス発生器４３，３１
を動作させ、パルス信号Ｐ2 をモータドライバ４４に出
力させる。モータドライバ４４はそのパルス信号Ｐ2 を
適宜分配して増幅しパルスモータＭに供給する。そのた
め、パルス信号Ｐ2 に基づいてパルスモータＭは高速な
一定速度で時計回り方向に回転する。従って、ウェハ４
２も一定速度で時計回り方向に回転する。そして、図３
に示すように、スポットｂにオリフラORがかかると、検
出信号ＳA はハイレベルからローレベルに反転する。そ
の時点で制御装置３３は切り換え装置３２をパルス発生
器４３側に切り換え、パルス信号Ｐ1 をモータドライバ
４４に出力させる。モータドライバ４４はそのパルス信
号Ｐ1 を適宜分配して増幅しパルスモータＭに供給す
る。そのため、パルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータ
Ｍは一定速度で時計回り方向に回転する。従って、ウェ
ハ４２は一定速度で時計回り方向に回転する。そして、
図５に示すように、スポットａにオリフラORがかかる
と、検出信号Ｓはハイレベルからローレベルに反転す
る。その時点で制御装置３３は各パルス発生器４３，３
１の動作を停止させる。そのため、パルスモータＭは停
止し、ウェハ４２は図５に示す位置（オリフラ合わせ位
置）に停止する。
【００２５】このように、オリフラORの位置合わせ操作
の開始時において検出信号ＳA がハイレベルのときは、
先ず、周期の短いパルス信号Ｐ2 に基づいてパルスモー
タＭを高速で回転させることによりウェハ４２を高速で
回転させる。そして、スポットｂがオリフラORの部分に
かかった（検出信号ＳA がローレベルに反転した）時点
で、パルス信号Ｐ2 からパルス信号Ｐ1 に切り換え、周
期の長いパルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭを低
速で回転させる。そして、スポットａがオリフラORの部
分にかかった（検出信号Ｓがローレベルに反転した）時
点で、両パルス発生器４３，３１の動作を停止させてパ
ルスモータＭを停止させる。この時、パルスモータＭは
ウェハ４２を瞬時に停止できる程度の速度で回転してい
るため、ウェハ４２およびチャック４１の慣性モーメン
トに関係なく、ウェハ４２を正確にオリフラ合わせ位置
にセットすることができる。
の開始時において検出信号ＳA がハイレベルのときは、
先ず、周期の短いパルス信号Ｐ2 に基づいてパルスモー
タＭを高速で回転させることによりウェハ４２を高速で
回転させる。そして、スポットｂがオリフラORの部分に
かかった（検出信号ＳA がローレベルに反転した）時点
で、パルス信号Ｐ2 からパルス信号Ｐ1 に切り換え、周
期の長いパルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭを低
速で回転させる。そして、スポットａがオリフラORの部
分にかかった（検出信号Ｓがローレベルに反転した）時
点で、両パルス発生器４３，３１の動作を停止させてパ
ルスモータＭを停止させる。この時、パルスモータＭは
ウェハ４２を瞬時に停止できる程度の速度で回転してい
るため、ウェハ４２およびチャック４１の慣性モーメン
トに関係なく、ウェハ４２を正確にオリフラ合わせ位置
にセットすることができる。
【００２６】すなわち、オリフラORの位置合わせ操作の
開始時において、オリフラOR以外の部分にスポットｂが
ある状態にセットされたときは、パルスモータＭを先ず
高速で回転させてオリフラORの位置を粗判定し、次にパ
ルスモータＭを従来例と同様に低速で回転させてオリフ
ラORの位置を正確に合わせる。
開始時において、オリフラOR以外の部分にスポットｂが
ある状態にセットされたときは、パルスモータＭを先ず
高速で回転させてオリフラORの位置を粗判定し、次にパ
ルスモータＭを従来例と同様に低速で回転させてオリフ
ラORの位置を正確に合わせる。
【００２７】また、オリフラORの位置合わせ操作の開始
時において、例えば、センタリングされたウェハ４２が
図４に示す位置にセットされているとする。すると、オ
リフラORの部分にスポットｂがあるため、オリフラ検出
センサ４５A の検出信号ＳAはローレベルになる。従っ
て、制御装置３３は切り換え装置３２をパルス発生器４
３側に切り換えて各パルス発生器４３，３１を動作さ
せ、パルス信号Ｐ1 をモータドライバ４４に出力させ
る。モータドライバ４４はそのパルス信号Ｐ1 を適宜分
配して増幅しパルスモータＭに供給する。そのため、パ
ルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭは一定速度で時
計回り方向に回転する。従って、ウェハ４２は一定速度
で時計回り方向に回転する。そして、図５に示すよう
に、スポットａにオリフラORがかかると、検出信号Ｓは
ハイレベルからローレベルに反転する。その時点で制御
装置３３は各パルス発生器４３，３１の動作を停止させ
る。そのため、パルスモータＭは停止し、ウェハ４２は
図５に示すオリフラ合わせ位置に停止する。
時において、例えば、センタリングされたウェハ４２が
図４に示す位置にセットされているとする。すると、オ
リフラORの部分にスポットｂがあるため、オリフラ検出
センサ４５A の検出信号ＳAはローレベルになる。従っ
て、制御装置３３は切り換え装置３２をパルス発生器４
３側に切り換えて各パルス発生器４３，３１を動作さ
せ、パルス信号Ｐ1 をモータドライバ４４に出力させ
る。モータドライバ４４はそのパルス信号Ｐ1 を適宜分
配して増幅しパルスモータＭに供給する。そのため、パ
ルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭは一定速度で時
計回り方向に回転する。従って、ウェハ４２は一定速度
で時計回り方向に回転する。そして、図５に示すよう
に、スポットａにオリフラORがかかると、検出信号Ｓは
ハイレベルからローレベルに反転する。その時点で制御
装置３３は各パルス発生器４３，３１の動作を停止させ
る。そのため、パルスモータＭは停止し、ウェハ４２は
図５に示すオリフラ合わせ位置に停止する。
【００２８】このように、オリフラORの位置合わせ操作
の開始時において検出信号ＳA がローレベルのときは、
周期の長いパルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭを
低速で回転させる。そして、スポットａがオリフラORの
部分にかかった（検出信号Ｓがローレベルに反転した）
時点で、両パルス発生器４３，３１の動作を停止させて
パルスモータＭを停止させる。従って、上記と同様にウ
ェハ４２およびチャック４１の慣性モーメントに関係な
く、ウェハ４２を正確にオリフラ合わせ位置にセットす
ることができる。
の開始時において検出信号ＳA がローレベルのときは、
周期の長いパルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭを
低速で回転させる。そして、スポットａがオリフラORの
部分にかかった（検出信号Ｓがローレベルに反転した）
時点で、両パルス発生器４３，３１の動作を停止させて
パルスモータＭを停止させる。従って、上記と同様にウ
ェハ４２およびチャック４１の慣性モーメントに関係な
く、ウェハ４２を正確にオリフラ合わせ位置にセットす
ることができる。
【００２９】すなわち、オリフラORの位置合わせ操作の
開始時において、オリフラORの部分にスポットｂがある
状態にセットされたときは、パルスモータＭを従来例と
同様に低速で回転させてオリフラORの位置を正確に合わ
せる。
開始時において、オリフラORの部分にスポットｂがある
状態にセットされたときは、パルスモータＭを従来例と
同様に低速で回転させてオリフラORの位置を正確に合わ
せる。
【００３０】従って、パルスモータＭを低速でしか回転
させることができない従来例に比べて、パルスモータＭ
の回転速度を高速および低速に適宜変更できる本実施例
の方が、短時間にオリフラORの位置合わせを行うことが
できる。
させることができない従来例に比べて、パルスモータＭ
の回転速度を高速および低速に適宜変更できる本実施例
の方が、短時間にオリフラORの位置合わせを行うことが
できる。
【００３１】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、例えば、正逆転できるパルスモータＭを用
い、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出
信号Ｓがローレベルであれば、検出信号Ｓのレベルが反
転するまでパルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭを
低速で反時計方向に回転させ停止させるようにしてもよ
い。
ではなく、例えば、正逆転できるパルスモータＭを用
い、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出
信号Ｓがローレベルであれば、検出信号Ｓのレベルが反
転するまでパルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモータＭを
低速で反時計方向に回転させ停止させるようにしてもよ
い。
【００３２】また、オリフラ検出センサ４５A を省いて
オリフラ検出センサ４５のみを設けると共に、正逆転で
きるパルスモータＭを用いてもよい。その場合は、オリ
フラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出信号Ｓが
ハイレベルであれば、パルス信号Ｐ2 に基づいてパルス
モータＭを高速で時計方向に回転させ、検出信号Ｓのレ
ベルが反転した時点で、パルス信号Ｐ2 からパルス信号
Ｐ1 に切り換え、パルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモー
タＭを低速で反時計方向に回転させ、検出信号Ｓのレベ
ルが反転した時にパルスモータＭを停止させればよい。
また、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検
出信号Ｓがローレベルであれば、パルス信号Ｐ1 に基づ
いてパルスモータＭを低速で反時計方向に回転させ、検
出信号Ｓのレベルが反転した時にパルスモータＭを停止
させればよい。
オリフラ検出センサ４５のみを設けると共に、正逆転で
きるパルスモータＭを用いてもよい。その場合は、オリ
フラORの位置合わせ操作が開始されたとき検出信号Ｓが
ハイレベルであれば、パルス信号Ｐ2 に基づいてパルス
モータＭを高速で時計方向に回転させ、検出信号Ｓのレ
ベルが反転した時点で、パルス信号Ｐ2 からパルス信号
Ｐ1 に切り換え、パルス信号Ｐ1 に基づいてパルスモー
タＭを低速で反時計方向に回転させ、検出信号Ｓのレベ
ルが反転した時にパルスモータＭを停止させればよい。
また、オリフラORの位置合わせ操作が開始されたとき検
出信号Ｓがローレベルであれば、パルス信号Ｐ1 に基づ
いてパルスモータＭを低速で反時計方向に回転させ、検
出信号Ｓのレベルが反転した時にパルスモータＭを停止
させればよい。
【００３３】さらに、オリフラ検出センサ４５，４５A
は反射式フォトセンサだけでなく、ウェハ４２の外周に
当接するタッチスイッチ等、オリフラORの位置を検出で
きる手段であればどのようなものでもよい。
は反射式フォトセンサだけでなく、ウェハ４２の外周に
当接するタッチスイッチ等、オリフラORの位置を検出で
きる手段であればどのようなものでもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、簡
単な構成によって短時間で高精度なオリフラの位置合わ
せを行うことができる優れた効果がある。
単な構成によって短時間で高精度なオリフラの位置合わ
せを行うことができる優れた効果がある。
【図１】本発明を具体化した一実施例のオリフラ位置合
わせ装置を示すブロック回路図である。
わせ装置を示すブロック回路図である。
【図２】一実施例の操作を説明するための説明図であ
る。
る。
【図３】一実施例の操作を説明するための説明図であ
る。
る。
【図４】一実施例の操作を説明するための説明図であ
る。
る。
【図５】一実施例の操作を説明するための説明図であ
る。
る。
【図６】従来例のオリフラ位置合わせ装置を示すブロッ
ク回路図である。
ク回路図である。
【図７】従来例の操作を説明するための説明図である。
【図８】従来例の操作を説明するための説明図である。
【図９】従来例の操作を説明するための説明図である。
３１ 高速信号発生手段としてのパルス発生器 ３３ 制御装置 ４２ ウェハ ４３ 低速信号発生手段としてのパルス発生器 ４５，４５A オリエンテーションフラット検出センサ OR オリエンテーションフラット Ｐ1 低速指令信号としてのパルス信号 Ｐ2 高速指令信号としてのパルス信号 Ｍ パルスモータ
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェハ（４２）を回転させてオリエンテ
ーションフラット（OR）を所定位置にオリエンテーショ
ンフラット検出センサ（４５等）を用いて合わせる際、
オリエンテーションフラット検出センサ（４５等）がオ
リエンテーションフラット（OR）を検出するまではウェ
ハ（４２）を高速回転させ、オリエンテーションフラッ
ト（OR）を検出した後はウェハ（４２）を低速回転させ
てオリエンテーションフラット（OR）を所定位置に合わ
せるようにしたことを特徴とするオリエンテーションフ
ラットの位置合わせ方法。 - 【請求項２】 ウェハ（４２）を回転させるモータ
（Ｍ）と、 前記ウェハ（４２）のオリエンテーションフラット（O
R）を検出するオリエンテーションフラット検出センサ
（４５等）と、 前記モータ（Ｍ）を高速回転させるための高速指令信号
（Ｐ２）を出力する高速信号発生手段（３１）と、 前記モータ（Ｍ）を低速回転させるための低速指令信号
（Ｐ１）を出力する低速信号発生手段（４３）と、 前記オリエンテーションフラット検出センサ（４５等）
がオリエンテーションフラット（OR）を検出するまでは
高速信号発生手段（３１）を選択して高速指令信号（Ｐ
２）にてモータ（Ｍ）を高速回転させ、オリエンテーシ
ョンフラット（OR）を検出した後は低速信号発生手段
（４３）を選択して低速指令信号（Ｐ１）にてモータ
（Ｍ）を低速回転させる制御装置（３３）とを設けたこ
とを特徴とするオリエンテーションフラットの位置合わ
せ装置。 - 【請求項３】 制御装置（３３）は低速信号発生手段
（４３）を選択して低速指令信号（Ｐ１）にてモータ
（Ｍ）を低速回転させた後、オリエンテーションフラッ
ト検出センサ（４５等）がオリエンテーションフラット
（OR）の縁を検出したとき、該モータ（Ｍ）を停止させ
るようにしたことを特徴とする請求項２のオリエンテー
ションフラットの位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4733892A JPH05251546A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | オリエンテーションフラットの位置合わせ方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4733892A JPH05251546A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | オリエンテーションフラットの位置合わせ方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251546A true JPH05251546A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12772409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4733892A Withdrawn JPH05251546A (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | オリエンテーションフラットの位置合わせ方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251546A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10335429A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板整列方法およびその装置 |
| KR100472959B1 (ko) * | 2002-07-16 | 2005-03-10 | 삼성전자주식회사 | 언로딩구조가 개선된 반도체 웨이퍼의 표면평탄화설비 |
| JP2011181849A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Koyo Mach Ind Co Ltd | ウェーハの位置決め方法およびその装置 |
| CN107283497A (zh) * | 2016-04-01 | 2017-10-24 | 上海基菱自动化科技有限公司 | 一种转盘单向旋转180度定位技术 |
| CN107283496A (zh) * | 2016-04-01 | 2017-10-24 | 上海基菱自动化科技有限公司 | 一种转盘正反旋转180度定位技术 |
| US11396075B2 (en) * | 2018-12-26 | 2022-07-26 | Fanuc Corporation | Method of detecting origin point of machine tool and tool magazine |
-
1992
- 1992-03-04 JP JP4733892A patent/JPH05251546A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10335429A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板整列方法およびその装置 |
| KR100472959B1 (ko) * | 2002-07-16 | 2005-03-10 | 삼성전자주식회사 | 언로딩구조가 개선된 반도체 웨이퍼의 표면평탄화설비 |
| JP2011181849A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Koyo Mach Ind Co Ltd | ウェーハの位置決め方法およびその装置 |
| CN107283497A (zh) * | 2016-04-01 | 2017-10-24 | 上海基菱自动化科技有限公司 | 一种转盘单向旋转180度定位技术 |
| CN107283496A (zh) * | 2016-04-01 | 2017-10-24 | 上海基菱自动化科技有限公司 | 一种转盘正反旋转180度定位技术 |
| US11396075B2 (en) * | 2018-12-26 | 2022-07-26 | Fanuc Corporation | Method of detecting origin point of machine tool and tool magazine |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |