JP3067614B2 - レ−ザ−マ−キング装置及びそのマ−キング方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はレ−ザ−マ−キング
装置及びそのマ−キング方法に関し、特に非同期動作す
る第１，第２の作業系のタイミングに応じてワ−クに所
望の表示記号をマ−キングできるレ−ザ−マ−キング装
置及びそのマ−キング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種レ−ザ−マ−キング装置
は、例えば図４に示すように構成されている。同図にお
いて、１は第１の作業系であって、例えば間欠的に回転
しポジション＃Ａでワ−ク（例えばモ−ルド形半導体装
置）が供給される第１の作業テ−ブル２と、第１の作業
テ−ブル２に同期し、ポジション＃Ｂにてワ−クの受け
渡しが行なわれた後、適宜のポジションにて順次にワ−
クのリ−ド成形，特性測定などが行なわれる第２の作業
テ−ブル３と、第２の作業テ−ブル３に同期し、ポジシ
ョン＃Ｃにてワ−クの受け渡しが行なわれた後、ポジシ
ョン＃Ｄにて、第２の作業テ−ブル３での特性測定結果
に基づく特性ランク，製造者名などの表示記号がレ−ザ
−マ−キングされる第３の作業テ−ブル４と、第３の作
業テ−ブル４に同期し、ポジション＃Ｅにてワ−クの受
け渡しが行なわれた後、適宜のポジション＃Ｆ，＃Ｇ，
＃Ｈにて第２の作業テ−ブル３での特性測定結果に基づ
く特性ランクに応じて図示しないトレイなどに排出され
る第４の作業テ−ブル５とから構成されている。

【０００３】一方、１Ａは第２の作業系であって、第１
の作業系１とは基本的に同じであり、異なる点は双方が
非同期で動作することである。従って、第２の作業系１
Ａの各構成要素には末尾に「Ａ」が付されている。特
に、第３の作業テ−ブル４，４Ａのポジション＃Ｄには
後述するレ−ザ−発生装置の第１，第２の光学系６，６
Ａが配置されている。尚、この光学系には例えば特性ラ
ンク，製造者名などに対応するマスクが切り替え可能に
配置されている。又、第１，第２の作業系１，１Ａに
は、例えば第３の作業テ−ブル４，４Ａが間欠回転した
後にポジション＃Ｄにワ−クが存在するか否かを検出
し、存在する場合にマ−キング要求に対応する制御信号
を出力する第１，第２の制御装置７，７Ａが装備されて
いる。

【０００４】上述の第１，第２の制御装置７，７Ａが出
力する制御信号はそれぞれ単一のレ−ザ−発生装置８に
供給される。このレ−ザ−発生装置８は、例えば第１，
第２の制御装置７，７Ａからの制御信号が入力されるコ
ントロ−ラ８ａと、コントロ−ラ８ａからの制御信号に
基づいて動作するレ−ザ−発生部８ｂと、レ−ザ−供給
系に配置され、かつコントロ−ラ８ａからの制御信号に
基づいてレ−ザ−光のガイド方向を切り替え変更するミ
ラ−などの切替手段８ｃと、切替手段８ｃを介してレ−
ザ−供給系に選択的に結合される第１，第２の光学系
６，６Ａとから構成されている。

【０００５】この装置によるワ−クへの表示記号のマ−
キングは次のように行なわれる。まず、ワ−クがポジシ
ョン＃Ａにて第１の作業テ−ブル２，２Ａに供給される
と、ポジション＃Ｂにて第２の作業テ−ブル３，３Ａに
受け渡しされる。そして、それぞれのワ−クは第２の作
業テ−ブル３，３Ａにてリ−ド成形，特性測定などが行
なわれてポジション＃Ｃにて第３の作業テ−ブル４，４
Ａに受け渡される。間欠回転によって第３の作業テ−ブ
ル４，４Ａのワ−クがポジション＃Ｄに移動して停止す
ると、第１，第２の制御装置７，７Ａのワ−ク検出セン
サ−によってワ−クの有無が検出される。

【０００６】ここで、第１の制御装置７による「ワ−ク
有り」の検出が第２の制御装置７Ａより早く行なわれた
と仮定すると、第１の制御装置７からレ−ザ−発生装置
８のコントロ−ラ８ａにマ−キング要求信号が入力され
る。これに基づいて、切替手段８ｃが切り替えられ、第
１の光学系６が切替手段８ｃを介してレ−ザ−発生部８
ｂに結合されると共に、レ−ザ−発生部８ｂからレ−ザ
−光が第１の光学系６を経て第３の作業テ−ブル４に位
置するワ−クに供給される。これによって、ワ−クの表
面には特性ランク，製造者名などの表示記号がレ−ザ−
マ−キングされる。

【０００７】第３の作業テ−ブル４に位置するワ−クへ
のマ−キングが完了すると、既に、第２の制御装置７Ａ
が第３の作業テ−ブル４Ａで「ワ−ク有り」を検出して
おり、コントロ−ラ８ａにはマ−キング要求信号が供給
されていることから、切替手段８ｃが切り替えられ、第
２の光学系６Ａが切替手段８ｃを介してレ−ザ−発生部
８ｂに結合されると共に、レ−ザ−発生部８ｂからレ−
ザ−光が第２の光学系６Ａを経て第３の作業テ−ブル４
Ａに位置するワ−クに供給される。これによって、第３
の作業テ−ブル４Ａに位置するワ−クの表面には特性ラ
ンク，製造者名などの表示記号がレ−ザ−マ−キングさ
れる。

【０００８】尚、作業テ−ブルのポジション＃Ｄにおい
て、検出結果が「ワ−ク無し」の場合には、第１又は第
２の光学系の切り替えはパスされ、次の検出結果に基づ
いて制御されることになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このレ−ザ
−マ−キング装置によれば、第１，第２の作業系１，１
Ａの作業インデックスが遅い（長い）場合にはお互いが
非同期動作するものであっても、第３の作業テ−ブル
４，４Ａに位置するワ−クに所望の表示記号を確実にマ
−キングできるものである。

【００１０】しかしながら、作業系の能率改善のために
作業インデックスが高速化されると、単一のレ−ザ−マ
−キング装置では対応できなくなる。即ち、この装置で
は、間欠回転しワ−クが所定のポジションに停止した
後、一方の作業系からのマ−キング要求信号に基づいて
一方の光学系に切り替えてレ−ザ−照射し、その後、他
方の光学系に切り替えてレ−ザ−照射される関係で、１
作業インデックス内に占める切替手段８ｃの切り替え時
間の割合が大きい。このために、作業系の高速化が難し
いという問題がある。

【００１１】それ故に、本発明の目的は、比較的に簡単
な構成によって単一のレ−ザ−発生装置を用いても非同
期動作する作業系の高速化に対応できるレ−ザ−マ−キ
ング装置及びそのマ−キング方法を提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】従って、本発明は上述の
目的を達成するために、レ−ザ−光の供給系に切替手段
を介して結合された第１，第２の光学系を含むレ−ザ−
発生装置と、間欠的にワ−クを搬送し、かつそれの所定
の作業ポジションに第１，第２の光学系を配置した第
１，第２の作業系と、第１，第２の作業系におけるワ−
クの有無及び搬送のタイミングに基づく制御信号を発生
し、レ−ザ−発生装置に供給する第１，第２の制御装置
とを具備し、前記第１又は第２の制御装置からの制御信
号に基づいてレ−ザ−発生装置の切替手段を、第１又は
第２の作業系の搬送期間に切替動作させると共に、第１
又は第２の作業系の停止期間に第１又は第２の光学系か
らレ−ザ−光をワ−クに供給し、ワ−クに所望の表示記
号をマ−キングするものである。

【００１３】又、本発明の第２の発明は、第１，第２の
作業系において間欠的に搬送され、停止状態のそれぞれ
のワ−クに、単一のレ−ザ−発生装置から分岐された第
１，第２の光学系に選択的に供給されるレ−ザ−光によ
って表示記号をマ−キングするレ−ザ−マ−キング方法
において、前記レ−ザ−発生装置のレ−ザ−供給系と第
１又は第２の光学系との選択的結合を、少なくとも第１
又は第２の作業系の搬送期間に行なうことを特徴とす
る。

【００１４】さらに、本発明の第３の発明は、第１，第
２の作業系において間欠的に搬送され、停止状態のそれ
ぞれのワ−クに、単一のレ−ザ−発生装置から分岐され
た第１，第２の光学系に選択的に供給されるレ−ザ−光
によって表示記号をマ−キングするレ−ザ−マ−キング
方法において、前記ワ−クに表示記号をマ−キングする
に先立って、予め、第１，第２の作業系のワ−ク搬送状
況を確認し、この確認に基づいてレ−ザ−発生装置のレ
−ザ−供給系と第１又は第２の光学系とを選択的に切替
結合することを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
１を参照して説明する。尚、図４に示す従来例と同一部
分には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略す
る。同図において、本発明の特徴部分は第１，第２の作
業系１，１Ａに、同作業系１，１Ａにおけるワ−クの有
無及び搬送のタイミングに基づく制御信号を発生する第
１，第２の制御装置７１，７１Ａが備えられ、第１の制
御装置７１又は第２の制御装置７１Ａからの制御信号に
基づいてレ−ザ−発生装置８の切替手段８ｃを、第１の
作業系１又は第２の作業系１Ａの搬送期間に切替動作さ
せると共に、第１の作業系１又は第２の作業系１Ａの停
止期間に第１の光学系６又は第２の光学系６Ａからレ−
ザ−光をワ−クに供給し、ワ−クに所望の表示記号をマ
−キングすることである。

【００１６】この第１，第２の制御装置７１，７１Ａ
は、例えば第３の作業テ−ブル４，４Ａの間欠回転（搬
送）のタイミングを検出するタイミングセンサ−７ａ
と、ポジション＃Ｄにおいてワ−クの有無を検出するワ
−クセンサ−７ｂと、タイミングセンサ−７ａ及びワ−
クセンサ−７ｂからの信号に基づいてレ−ザ−発生装置
８のコントロ−ラ８ａに切替手段８ｃの切り替え要求信
号及びマ−キング（レ−ザ−照射）要求信号を付与する
ＣＰＵなどの制御部７ｃとから構成されている。

【００１７】この装置によるワ−クへの表示記号のマ−
キング方法について図２に示すタイミングチャ−トを参
照して説明する。尚、この方法は、ワークが第３の作業
テーブル４，４Ａのポジション＃Ｄに近似したタイミン
グで搬送された場合の例である。まず、ワ−クがポジシ
ョン＃Ａにて第１の作業テ−ブル２，２Ａに供給される
と、適宜のインデックスにて間欠回転してポジション＃
Ｂに搬送されると共に、第２の作業テ−ブル３，３Ａに
受け渡しされる。尚、この第２の作業テ−ブル３，３Ａ
にもワ−クセンサ−が配置されており、ワ−クの有無が
検出され、その結果が第１の制御装置７１に入力され
る。そして、それぞれのワ−クは第２の作業テ−ブル
３，３Ａにてリ−ド成形，特性測定などが行なわれてポ
ジション＃Ｃにて第３の作業テ−ブル４，４Ａに受け渡
される。

【００１８】次に、第３の作業テーブル４，４Ａが同図
ａ，ｅに示すように、若干のタイミングずれをもって回
転（０−１期間）すると共に、ワークがポジション＃Ｄ
に搬送され停止（１−２期間）する。第３の作業テーブ
ル４，４Ａが回転を始めると第１，第２の制御装置７
１，７１Ａのタイミングセンサー７ａ，７ａが検出し制
御部７ｃ，７ｃから同図ｂ，ｆに示すような切替手段８
ｃの切り替え要求信号（ミラー切り替え要求信号）が出
力され、レーザー発生装置８のコントローラ８ａに入力
される。しかしながら、第３の作業テーブル４からの検
出タイミングが第３の作業テーブル４Ａの方が若干早い
ために、切替手段８ｃは第３の作業テーブル４からの切
り替え要求信号に基づいて同図ｃに示すように、第３の
作業テーブル４の回転中に重なって切り替えられれる
（０−１期間）。これによって、第１の光学系６は切替
手段８ｃを介してレーザー発生部８ｂに結合される。そ
して、ワークのポジション＃Ｄへの搬送に伴ってワーク
検出センサー７ｂによってワークの有無が検出される。
「ワーク有り」と判断されると、コントローラ８ａから
レーザー発生部８ｂに同図ｄに示すようにレーザー照射
要求がなされ、ポジション＃Ｄのワーク表面には特性ラ
ンク，製造者名などの所定の表示記号がマーキングされ
る。

【００１９】一方、第３の作業テーブル４のワークに対
するレーザー照射が完了すると、切替手段８ｃは、待機
状態にある第２の制御装置７１Ａからの切り替え要求信
号に基づいて同図ｃに示すように、第３の作業テーブル
４，４Ａの停止期間（１−２期間）に切り替えられる
（１−２期間）。これによって、第２の光学系６Ａは切
替手段８ｃを介してレーザー発生部８ｂに結合される。
そして、ワークのポジション＃Ｄへの搬送に伴って第２
の制御装置７Ａのワーク検出センサー７ｂが「ワーク有
り」と判断していると、コントローラ８ａからレーザー
発生部８ｂに同図ｇに示すようにレーザー照射要求がな
され、ポジション＃Ｄのワーク表面には特性ランク，製
造者名などの所定の表示記号がマーキングされる。以
下、同様にして検出順位に応じて順次に作業が行なわれ
る。

【００２０】又、第２の作業系１Ａが第１の作業系１に
比べて動作タイミングがかなり遅れている場合につい
て、図３のタイミングチャートを参照して説明する。ま
ず、第１，第２の作業系１，１Ａの第３の作業テーブル
４，４Ａは、同図ａ，ｅに示すように、０−１期間で回
転し、１−２期間で停止するように駆動・制御されてい
る。第３の作業テーブル４が回転を始めると、第１の制
御装置７１のタイミングセンサー７ａが回転を検出し制
御部７ｃから同図ｂに示すような切替手段８ｃの切り替
え要求信号（ミラー切り替え要求信号）が出力され、レ
ーザー発生装置８のコントローラ８ａに入力される。切
替手段８ｃは第３の作業テーブル４からの切り替え要求
信号に基づいて同図ｃに示すように、第３の作業テーブ
ル４の回転中に重なって切り替えられれる（０−１期
間）。これによって、第１の光学系６は切替手段８ｃを
介してレーザー発生部８ｂに結合される。そして、ワー
クのポジション＃Ｄへの搬送に伴ってワーク検出センサ
ー７ｂによってワークの有無が検出される。「ワーク有
り」と判断されると、コントローラ８ａからレーザー発
生部８ｂに同図ｄに示すようにレーザー照射要求がなさ
れ、ポジション＃Ｄのワーク表面には特性ランク，製造
者名などの所定の表示記号がマーキングされる。

【００２１】一方、第２の作業系１Ａにおいて、第３の
作業テーブル４Ａは、同図ｅに示すように、切替手段８
ｃの停止期間（１−２期間）の後半部分から０−１期間
で回転し始めると、第２の制御装置７１Ａのタイミング
センサー７ａが回転を検出し制御部７ｃから同図ｆに示
すような切替手段８ｃの切り替え要求信号（ミラー切り
替え要求信号）が出力され、レーザー発生装置８のコン
トローラ８ａに入力される。これにより、切替手段８ｃ
はこの切り替え要求信号に基づいて同図ｃに示すよう
に、第３の作業テーブル４Ａの回転タイミングに重なっ
て切り替えられれる（２−３期間）。これによって、第
２の光学系６Ａは切替手段８ｃを介してレーザー発生部
８ｂに結合される。そして、ワークのポジション＃Ｄへ
の搬送に伴って第２の制御装置７１Ａのワーク検出セン
サー７ｂによってワークの有無が検出される。「ワーク
有り」と判断されると、コントローラ８ａからレーザー
発生部８ｂに同図ｇに示すようにレーザー照射要求がな
され、ポジション＃Ｄのワーク表面には特性ランク，製
造者名などの所定の表示記号がマーキングされる。

【００２２】次いで、１サイクル目の停止期間（１−２
期間）を経過して２サイクル目において、再び、第３の
作業テーブル４が３−４期間で回転し始めると、第１の
制御装置７１のタイミングセンサー７ａが回転を検出し
制御部７ｃから同図ｂに示すような切替手段８ｃの切り
替え要求信号（ミラー切り替え要求信号）が出力され
る。この信号に基づいて、切替手段８ｃは、同図ｃに示
すように、第３の作業テーブル４の回転タイミングに重
なって４−５期間で切り替えられれる。これによって、
再び、第１の光学系６は切替手段８ｃを介してレーザー
発生部８ｂに結合される。そして、ワークのポジション
＃Ｄへの搬送に伴って第１の制御装置７１のワーク検出
センサー７ｂによって「ワーク有り」と判断されると、
コントローラ８ａからレーザー発生部８ｂに同図ｄに示
すようにレーザー照射要求がなされ、ポジション＃Ｄの
ワーク表面には所定の表示記号がマーキングされる。以
下、同様にして順次に作業が行なわれる。

【００２３】尚、本発明は、何ら上記実施例に制約され
ることなく、例えば作業テーブルにおけるマーキングは
ワークの有無を検出した後、検出ポジションとは異なっ
たポジションにて行なうこともできる。又、それぞれの
作業系は、回転テーブル以外に、直線的にワークを搬送
する構成にも適用できる。

【００２４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、第１，第
２の作業系におけるワークの有無及び搬送のタイミング
に基づく制御信号によりレーザー発生装置の切替手段
を、第１又は第２の作業系の搬送に関連して搬送期間中
に切替動作させるように構成されているために、作業系
における１作業インデックスの停止期間に占めるレーザ
ー発生装置の切替手段の切り替えに要する時間を抑制で
きる。従って、その分だけ作業インデックスを高速化す
ることができる。

【００２５】又、それぞれの作業系に近似したタイミン
グでワークが搬送された場合には、作業系の搬送に関連
してそれぞれから切替手段の切り替え要求が出される
が、最先の要求信号に応じて処理が行なわれ、その処理
が終了すると、直ちに他の作業系に対して処理が行なわ
れるために、１作業インデックス内の時間を有効に利用
でき、設備の高速化が可能となる。

【００２６】さらには、ワークに表示記号をマーキング
する場合には、マーキングに先立って、予め、第１，第
２の作業系のワーク搬送状況を確認し、この確認に基づ
いてレーザー発生装置のレーザー供給系と第１又は第２
の光学系とを選択的に切替結合されるために、レーザー
照射によるワークへのマーキングを確実に行なうことが
できる上、それぞれの作業系が非同期であっても適切に
適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明装置の概略構成を示す平面図。

【図２】近似したタイミングでワークが搬送される場合
のタイミングチャート。

【図３】異なったタイミングでワークが搬送される場合
のタイミングチャート。

【図４】従来例装置の概略構成を示す平面図。

【符号の説明】

１ 第１の作業系 １Ａ 第２の作業系 ４，４Ａ 第３の作業テーブル ６ 第１の光学系 ６Ａ 第２の光学系 ７１ 第１の制御装置 ７１Ａ 第２の制御装置 ７ａ タイミングセンサー ７ｂ ワークセンサー ８ レーザー発生装置 ８ａ コントローラ ８ｂ レーザー発生部 ８ｃ 切替手段

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レ−ザ−光の供給系に切替手段を介して
   結合された第１，第２の光学系を含むレ−ザ−発生装置
   と、間欠的にワ−クを搬送し、かつそれの所定の作業ポ
   ジションに第１，第２の光学系を配置した第１，第２の
   作業系と、第１，第２の作業系におけるワ−クの有無及
   び搬送のタイミングに基づく制御信号を発生し、レ−ザ
   −発生装置に供給する第１，第２の制御装置とを具備
   し、前記第１又は第２の制御装置からの制御信号に基づ
   いてレ−ザ−発生装置の切替手段を、第１又は第２の作
   業系の搬送期間に切替動作させると共に、第１又は第２
   の作業系の停止期間に第１又は第２の光学系からレ−ザ
   −光をワ−クに供給し、ワ−クに所望の表示記号をマ−
   キングすることを特徴とするレ−ザ−マ−キング装置。
2. 【請求項２】 第１，第２の作業系において間欠的に搬
   送され、停止状態のそれぞれのワ−クに、単一のレ−ザ
   −発生装置から分岐された第１，第２の光学系に選択的
   に供給されるレ−ザ−光によって表示記号をマ−キング
   するレ−ザ−マ−キング方法において、前記レ−ザ−発
   生装置のレ−ザ−供給系と第１又は第２の光学系との選
   択的結合を、少なくとも第１又は第２の作業系の搬送期
   間に行なうことを特徴とするレ−ザ−マ−キング方法。
3. 【請求項３】 第１，第２の作業系において間欠的に搬
   送され、停止状態のそれぞれのワ−クに、単一のレ−ザ
   −発生装置から分岐された第１，第２の光学系に選択的
   に供給されるレ−ザ−光によって表示記号をマ−キング
   するレ−ザ−マ−キング方法において、前記ワ−クに表
   示記号をマ−キングするに先立って、予め、第１，第２
   の作業系のワ−ク搬送状況を確認し、この確認に基づい
   てレ−ザ−発生装置のレ−ザ−供給系と第１又は第２の
   光学系とを選択的に切替結合することを特徴とするレ−
   ザ−マ−キング方法。