JP2000353730A - 搬送システム - Google Patents
搬送システムInfo
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- JP2000353730A JP2000353730A JP16295299A JP16295299A JP2000353730A JP 2000353730 A JP2000353730 A JP 2000353730A JP 16295299 A JP16295299 A JP 16295299A JP 16295299 A JP16295299 A JP 16295299A JP 2000353730 A JP2000353730 A JP 2000353730A
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- Japan
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- position sensor
- station
- transfer robot
- cassette
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ティーチングを行わなくても搬送ロボットをカ
セットステーションなどステーションに正対させること
が可能な搬送システムを提供すること。 【解決手段】Ｙ軸ライン１上を走行する搬送ロボット２
をカセットステーション３1 、３2 に正対させ（厳密に
は、カセット４1 〜４4 に正対させ）、該正対状態の下
で該カセット４1 〜４4 に対して半導体ウエハ５を搬
入、搬出させる搬送システムにおいて、Ｙ軸ライン１上
において搬送ロボット２がカセット４1 〜４ 4 に正対す
る位置を検出する停止位置センサ６1 〜６4 と、Ｙ軸ラ
イン１上において正対位置を中心とする両側の位置を検
出する減速位置センサ７1 〜７8 とを設け、減速位置セ
ンサ７1 〜７8 の検出信号により、搬送ロボット２の走
行速度を減速し、停止位置センサ６1 〜６4 の検出信号
により、減速後の搬送ロボット２を停止するよう構成さ
れる。
セットステーションなどステーションに正対させること
が可能な搬送システムを提供すること。 【解決手段】Ｙ軸ライン１上を走行する搬送ロボット２
をカセットステーション３1 、３2 に正対させ（厳密に
は、カセット４1 〜４4 に正対させ）、該正対状態の下
で該カセット４1 〜４4 に対して半導体ウエハ５を搬
入、搬出させる搬送システムにおいて、Ｙ軸ライン１上
において搬送ロボット２がカセット４1 〜４ 4 に正対す
る位置を検出する停止位置センサ６1 〜６4 と、Ｙ軸ラ
イン１上において正対位置を中心とする両側の位置を検
出する減速位置センサ７1 〜７8 とを設け、減速位置セ
ンサ７1 〜７8 の検出信号により、搬送ロボット２の走
行速度を減速し、停止位置センサ６1 〜６4 の検出信号
により、減速後の搬送ロボット２を停止するよう構成さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送システム、詳
しくは、所定のライン上を走行する搬送ロボットによっ
てカセットステーションなどステーションに対し半導体
ウエハなど搬送物を搬入、搬出させる搬送システムに関
する。
しくは、所定のライン上を走行する搬送ロボットによっ
てカセットステーションなどステーションに対し半導体
ウエハなど搬送物を搬入、搬出させる搬送システムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、所定のライン上を走行する搬送ロ
ボットによってカセットステーション上のカセットに半
導体ウエハを搬入、搬出させる搬送システムにおいて、
搬送ロボットをカセットステーションに正対させる方法
としてティーチングが採用され、ティーチングされた位
置まで搬送ロボットが到達したとき搬送ロボットを停止
させ、カセットステーションに正対させている。
ボットによってカセットステーション上のカセットに半
導体ウエハを搬入、搬出させる搬送システムにおいて、
搬送ロボットをカセットステーションに正対させる方法
としてティーチングが採用され、ティーチングされた位
置まで搬送ロボットが到達したとき搬送ロボットを停止
させ、カセットステーションに正対させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ティー
チングには熟練を要するため、特定の者でないとティー
チングが困難であり、また、ティーチングに要する時間
は比較的長い。特に、カセットステーションなどの配置
を必要に応じて変更させたい場合、その都度煩雑なティ
ーチングを行い、各ティーチングに長時間をかけなけれ
ばならないという問題があった。
チングには熟練を要するため、特定の者でないとティー
チングが困難であり、また、ティーチングに要する時間
は比較的長い。特に、カセットステーションなどの配置
を必要に応じて変更させたい場合、その都度煩雑なティ
ーチングを行い、各ティーチングに長時間をかけなけれ
ばならないという問題があった。
【０００４】本発明は、上記のような従来の問題点を解
決し、ティーチングを行わなくても搬送ロボットをカセ
ットステーションなどステーションに正対させることが
可能な搬送システムを提供することを目的とする。
決し、ティーチングを行わなくても搬送ロボットをカセ
ットステーションなどステーションに正対させることが
可能な搬送システムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による搬送システ
ムは、所定のライン上を走行する搬送ロボットをステー
ションに正対させ、該正対状態の下で該ステーションに
対して搬送物を搬入、搬出させる搬送システムにおい
て、前記ライン上において前記搬送ロボットが前記ステ
ーションに正対する位置を検出する停止位置センサと、
前記ライン上において前記正対位置を中心とする両側の
位置のうち少なくとも一方の位置を検出する減速位置セ
ンサとを設け、前記減速位置センサの検出信号により、
前記搬送ロボットの走行速度を減速し、前記停止位置セ
ンサの検出信号により、前記減速後の搬送ロボットを停
止するよう構成されることを特徴とする。
ムは、所定のライン上を走行する搬送ロボットをステー
ションに正対させ、該正対状態の下で該ステーションに
対して搬送物を搬入、搬出させる搬送システムにおい
て、前記ライン上において前記搬送ロボットが前記ステ
ーションに正対する位置を検出する停止位置センサと、
前記ライン上において前記正対位置を中心とする両側の
位置のうち少なくとも一方の位置を検出する減速位置セ
ンサとを設け、前記減速位置センサの検出信号により、
前記搬送ロボットの走行速度を減速し、前記停止位置セ
ンサの検出信号により、前記減速後の搬送ロボットを停
止するよう構成されることを特徴とする。
【０００６】ここで、前記減速位置センサが検出信号を
出力した時点における搬送ロボットの位置と、前記停止
位置センサが検出信号を出力した時点における搬送ロボ
ットの位置とを記憶する。
出力した時点における搬送ロボットの位置と、前記停止
位置センサが検出信号を出力した時点における搬送ロボ
ットの位置とを記憶する。
【０００７】また、前記ステーションは、前記ラインに
対して任意の位置に設置可能なステーションである。
対して任意の位置に設置可能なステーションである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一
実施形態を説明する。
実施形態を説明する。
【０００９】図１は、一実施形態に係る搬送システムの
構成を示す。
構成を示す。
【００１０】図１において、搬送システムは、床上に設
置されたＹ軸ライン１と、Ｙ軸ライン１上を走行可能な
搬送ロボット２と、Ｙ軸ライン１に沿って床上に設置さ
れた二台のカセットステーション３1 、３2 と、カセッ
トステーション３1 、３2 上の所定位置に固定された四
台のカセット４1 、４2 、４3 、４4 とを備える。
置されたＹ軸ライン１と、Ｙ軸ライン１上を走行可能な
搬送ロボット２と、Ｙ軸ライン１に沿って床上に設置さ
れた二台のカセットステーション３1 、３2 と、カセッ
トステーション３1 、３2 上の所定位置に固定された四
台のカセット４1 、４2 、４3 、４4 とを備える。
【００１１】搬送ロボット２は、本体部２１とアーム部
２２とを備え、本体部２１はＹ軸ライン１上を往復駆動
され、また、アーム部２２は、Ｚ軸方向に昇降駆動さ
れ、かつ、θ軸方向に回転駆動される。また、アーム部
２２のハンド２２ａは、Ｘ軸方向に直線駆動される。
２２とを備え、本体部２１はＹ軸ライン１上を往復駆動
され、また、アーム部２２は、Ｚ軸方向に昇降駆動さ
れ、かつ、θ軸方向に回転駆動される。また、アーム部
２２のハンド２２ａは、Ｘ軸方向に直線駆動される。
【００１２】カセット４1 、４2 、４3 、４4 内には複
数枚の半導体ウエハ５が収納されており、搬送ロボット
２によって各カセット４1 、４2 、４3 、４4 間におい
て半導体ウエハ５の搬入、搬出が行われる。
数枚の半導体ウエハ５が収納されており、搬送ロボット
２によって各カセット４1 、４2 、４3 、４4 間におい
て半導体ウエハ５の搬入、搬出が行われる。
【００１３】各カセットステーション３1 、３2 には、
各カセット４1 、４2 、４3 、４4毎に一個の停止位置
センサ６1 又は６2 又は６3 又は６4 と二個の減速位置
センサ７1 、７2 又は７3 、７4 又は７5 、７6 又は７
7 、７8 が設けられている。停止位置センサ６1 、６
2 、６3 、６4 は、対応するカセット４1 、４2 、
４3、４4 のＹ軸方向の中心を通るＸ軸上に配置されて
いる。また、二個の減速位置センサ７1 、７2 又は７
3 、７4 又は７5 、７6 又は７7 、７8 は、停止位置セ
ンサ６1 又は６2 又は６3 又は６4 を通るＹ軸上におい
て停止位置センサ６1 又は６2 又は６3 又は６4 からの
距離が等しくなる位置に配置されている。上記位置セン
サ６1 〜６4 、７1 〜７8 は、光電変換素子を有する光
センサ又は超音波センサなどにより構成される。
各カセット４1 、４2 、４3 、４4毎に一個の停止位置
センサ６1 又は６2 又は６3 又は６4 と二個の減速位置
センサ７1 、７2 又は７3 、７4 又は７5 、７6 又は７
7 、７8 が設けられている。停止位置センサ６1 、６
2 、６3 、６4 は、対応するカセット４1 、４2 、
４3、４4 のＹ軸方向の中心を通るＸ軸上に配置されて
いる。また、二個の減速位置センサ７1 、７2 又は７
3 、７4 又は７5 、７6 又は７7 、７8 は、停止位置セ
ンサ６1 又は６2 又は６3 又は６4 を通るＹ軸上におい
て停止位置センサ６1 又は６2 又は６3 又は６4 からの
距離が等しくなる位置に配置されている。上記位置セン
サ６1 〜６4 、７1 〜７8 は、光電変換素子を有する光
センサ又は超音波センサなどにより構成される。
【００１４】一方、搬送ロボット２の本体部２１には、
上記位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8 が光センサであ
る場合には、光センサに向けて光を発する投光器８が配
設され、また、上記位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8
が超音波センサである場合には、超音波を発生する超音
波発生器８が配設されている。なお、投光器８又は超音
波発生器８から発せられる光又は超音波は十分な指向性
をもつようにする。また、投光器８又は超音波発生器８
は、ハンドのＹ座標位置と同じＹ座標位置に配設されて
いる。また、各位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8 と投
光器８又は超音波発生器８の各高さ位置（Ｚ座標位置）
は、同一レベルに設定されることが望ましい。
上記位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8 が光センサであ
る場合には、光センサに向けて光を発する投光器８が配
設され、また、上記位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8
が超音波センサである場合には、超音波を発生する超音
波発生器８が配設されている。なお、投光器８又は超音
波発生器８から発せられる光又は超音波は十分な指向性
をもつようにする。また、投光器８又は超音波発生器８
は、ハンドのＹ座標位置と同じＹ座標位置に配設されて
いる。また、各位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8 と投
光器８又は超音波発生器８の各高さ位置（Ｚ座標位置）
は、同一レベルに設定されることが望ましい。
【００１５】次に、上記のように構成される搬送システ
ムの動作例を、図２に示すフローチャートに基づいて説
明する。なお、図２は、搬送ロボット２がＹ軸ライン１
上の定位置Ｙ0 から動作を開始し、カセット４1 内から
半導体ウエハ５を搬出し、この搬出した半導体ウエハ５
を別のカセット内４4 に搬入し、再び定位置Ｙ0 に戻る
までの一連の動作に対応する。ただし、定位置Ｙ0 にい
る搬送ロボット２のアーム部２２は、屈状態でしかも図
１に示すようにカセットステーション３1 、３ 2 に向い
ているものとする。
ムの動作例を、図２に示すフローチャートに基づいて説
明する。なお、図２は、搬送ロボット２がＹ軸ライン１
上の定位置Ｙ0 から動作を開始し、カセット４1 内から
半導体ウエハ５を搬出し、この搬出した半導体ウエハ５
を別のカセット内４4 に搬入し、再び定位置Ｙ0 に戻る
までの一連の動作に対応する。ただし、定位置Ｙ0 にい
る搬送ロボット２のアーム部２２は、屈状態でしかも図
１に示すようにカセットステーション３1 、３ 2 に向い
ているものとする。
【００１６】まず、定位置Ｙ0 にいる搬送ロボット２を
カセット４1 に正対させるべくＹ軸ライン１上で移動開
始させる（Ｓ１）。そして、この移動中、カセット４1
に対応する減速位置センサ７2 の出力に基づいて搬送ロ
ボット２がカセット４1 に対する減速位置Ｙ1 まで移動
してきたかどうかを判定する（Ｓ２）。減速位置センサ
７2 が検出信号を出力すると、搬送ロボット２の走行速
度を減速させ（Ｓ３）、このときの減速位置Ｙ1 をメモ
りに記憶する（Ｓ４）。次に、カセット４1 に対応する
停止位置センサ６1 の出力に基づいて搬送ロボット２が
カセット４1 に対する停止位置Ｙ2 まで移動してきたか
どうかを判定する（Ｓ５）。停止位置センサ６1 が検出
信号を出力すると、搬送ロボット２を停止させ（Ｓ
６）、このときの停止位置Ｙ2 をメモりに記憶する（Ｓ
７）。そして、搬送ロボット２のアーム部２２の駆動を
制御し、カセット４1 内から半導体ウエハ５を搬出する
（Ｓ８）。
カセット４1 に正対させるべくＹ軸ライン１上で移動開
始させる（Ｓ１）。そして、この移動中、カセット４1
に対応する減速位置センサ７2 の出力に基づいて搬送ロ
ボット２がカセット４1 に対する減速位置Ｙ1 まで移動
してきたかどうかを判定する（Ｓ２）。減速位置センサ
７2 が検出信号を出力すると、搬送ロボット２の走行速
度を減速させ（Ｓ３）、このときの減速位置Ｙ1 をメモ
りに記憶する（Ｓ４）。次に、カセット４1 に対応する
停止位置センサ６1 の出力に基づいて搬送ロボット２が
カセット４1 に対する停止位置Ｙ2 まで移動してきたか
どうかを判定する（Ｓ５）。停止位置センサ６1 が検出
信号を出力すると、搬送ロボット２を停止させ（Ｓ
６）、このときの停止位置Ｙ2 をメモりに記憶する（Ｓ
７）。そして、搬送ロボット２のアーム部２２の駆動を
制御し、カセット４1 内から半導体ウエハ５を搬出する
（Ｓ８）。
【００１７】次に、搬送ロボット２をカセット４4 に正
対させるべくカセット４4 に向けて移動開始させる（Ｓ
９）。そして、この移動中、カセット４4 に対応する減
速位置センサ７7 の出力に基づいて搬送ロボット２がカ
セット４4 に対する減速位置Ｙ3 まで移動してきたかど
うかを判定する（Ｓ１０）。減速位置センサ７7 が検出
信号を出力すると、搬送ロボット２の走行速度を減速さ
せ（Ｓ１１）、このときの減速位置Ｙ3 をメモりに記憶
する（Ｓ１２）。次に、カセット４4 に対応する停止位
置センサ６4 の出力に基づいて搬送ロボット２がカセッ
ト４4 に対する停止位置Ｙ4 まで移動してきたかどうか
を判定する（Ｓ１３）。停止位置センサ６4 が検出信号
を出力すると、搬送ロボット２を停止させ（Ｓ１４）、
このときの停止位置Ｙ4 をメモりに記憶する（Ｓ１
５）。そして、搬送ロボット２のアーム部２２の駆動を
制御し、カセット４4 内に半導体ウエハ５を搬入する
（Ｓ１６）。そして、搬送ロボット２を定位置Ｙ0 まで
戻し（Ｓ１７）、動作を終了する。
対させるべくカセット４4 に向けて移動開始させる（Ｓ
９）。そして、この移動中、カセット４4 に対応する減
速位置センサ７7 の出力に基づいて搬送ロボット２がカ
セット４4 に対する減速位置Ｙ3 まで移動してきたかど
うかを判定する（Ｓ１０）。減速位置センサ７7 が検出
信号を出力すると、搬送ロボット２の走行速度を減速さ
せ（Ｓ１１）、このときの減速位置Ｙ3 をメモりに記憶
する（Ｓ１２）。次に、カセット４4 に対応する停止位
置センサ６4 の出力に基づいて搬送ロボット２がカセッ
ト４4 に対する停止位置Ｙ4 まで移動してきたかどうか
を判定する（Ｓ１３）。停止位置センサ６4 が検出信号
を出力すると、搬送ロボット２を停止させ（Ｓ１４）、
このときの停止位置Ｙ4 をメモりに記憶する（Ｓ１
５）。そして、搬送ロボット２のアーム部２２の駆動を
制御し、カセット４4 内に半導体ウエハ５を搬入する
（Ｓ１６）。そして、搬送ロボット２を定位置Ｙ0 まで
戻し（Ｓ１７）、動作を終了する。
【００１８】このように、減速位置センサ７1 〜７8 を
用いて搬送ロボット２を減速させ、その後、停止位置セ
ンサ６1 〜６4 を用いて停止させるようにしたため、テ
ィーチングが全く不要になり、特に、カセットステーシ
ョン３1 、３2 の配置を必要に応じて変更させた場合に
従来必要とされていた煩雑なティーチングを行わなくて
済む。
用いて搬送ロボット２を減速させ、その後、停止位置セ
ンサ６1 〜６4 を用いて停止させるようにしたため、テ
ィーチングが全く不要になり、特に、カセットステーシ
ョン３1 、３2 の配置を必要に応じて変更させた場合に
従来必要とされていた煩雑なティーチングを行わなくて
済む。
【００１９】また、減速位置Ｙ1 、Ｙ3 及び停止位置Ｙ
2 、Ｙ4 を記憶させるようにしたため、次回、搬送ロボ
ット２に同一の動作をさせる際には、位置センサ６1 〜
６4、７1 〜７8 を用いなくても上記記憶データを用い
ることで搬送ロボット２を正確に減速、停止させること
ができる。
2 、Ｙ4 を記憶させるようにしたため、次回、搬送ロボ
ット２に同一の動作をさせる際には、位置センサ６1 〜
６4、７1 〜７8 を用いなくても上記記憶データを用い
ることで搬送ロボット２を正確に減速、停止させること
ができる。
【００２０】なお、上述した動作例はあくまでも動作の
一例に過ぎず、他のカセット同士での半導体ウエハ５の
搬出、搬入も同様に行うことができる。また、減速位置
Ｙ1、Ｙ3 及び停止位置Ｙ2 、Ｙ4 の記憶は必ずしも必
須のものではなく、位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8
を常時使用し位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8 からの
出力に基づいて搬送ロボット２の減速、停止を行わせる
ようにしてもよい。
一例に過ぎず、他のカセット同士での半導体ウエハ５の
搬出、搬入も同様に行うことができる。また、減速位置
Ｙ1、Ｙ3 及び停止位置Ｙ2 、Ｙ4 の記憶は必ずしも必
須のものではなく、位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8
を常時使用し位置センサ６1 〜６4 、７1 〜７8 からの
出力に基づいて搬送ロボット２の減速、停止を行わせる
ようにしてもよい。
【００２１】また、本発明の搬送システムは、上記実施
形態のような、カセットステーション３1 、３2 上のカ
セット４1 〜４4 に対して半導体ウエハ５を搬出、搬入
させるシステムに限定されるものではなく、スパッタリ
ング等の処理ステーションや、オリフラ合わせのための
ステーションなどに対して搬送物を搬入、搬送させるシ
ステムに対しても適用可能である。また、ラインは上記
のような直線状のＹ軸ライン１に限定されるものではな
く、円弧状などのラインに対しても本発明は適用可能で
ある。また、Ｙ軸ライン１の両端に位置するカセット４
1 、４4 に対する減速位置センサ７1 、７8 は、不可欠
のものではない。
形態のような、カセットステーション３1 、３2 上のカ
セット４1 〜４4 に対して半導体ウエハ５を搬出、搬入
させるシステムに限定されるものではなく、スパッタリ
ング等の処理ステーションや、オリフラ合わせのための
ステーションなどに対して搬送物を搬入、搬送させるシ
ステムに対しても適用可能である。また、ラインは上記
のような直線状のＹ軸ライン１に限定されるものではな
く、円弧状などのラインに対しても本発明は適用可能で
ある。また、Ｙ軸ライン１の両端に位置するカセット４
1 、４4 に対する減速位置センサ７1 、７8 は、不可欠
のものではない。
【００２２】
【発明の効果】本発明の搬送システムによると、ライン
上において搬送ロボットがステーションに正対する位置
を検出する停止位置センサと、ライン上において正対位
置を中心とする両側の位置のうち少なくとも一方の位置
を検出する減速位置センサとを設け、減速位置センサの
検出信号により、搬送ロボットの走行速度を減速し、停
止位置センサの検出信号により、減速後の搬送ロボット
を停止するよう構成したため、ティーチングを行わなく
ても搬送ロボットをカセットステーションなどステーシ
ョンに正対させることが可能になる。
上において搬送ロボットがステーションに正対する位置
を検出する停止位置センサと、ライン上において正対位
置を中心とする両側の位置のうち少なくとも一方の位置
を検出する減速位置センサとを設け、減速位置センサの
検出信号により、搬送ロボットの走行速度を減速し、停
止位置センサの検出信号により、減速後の搬送ロボット
を停止するよう構成したため、ティーチングを行わなく
ても搬送ロボットをカセットステーションなどステーシ
ョンに正対させることが可能になる。
【００２３】また、減速位置センサが検出信号を出力し
た時点における搬送ロボットの位置と、停止位置センサ
が検出信号を出力した時点における搬送ロボットの位置
とを記憶するようにしたため、次回、搬送ロボットに同
一の動作をさせる際には、減速位置センサ及び停止位置
センサを用いなくても上記記憶データを用いることで搬
送ロボットを正確に減速、停止させることができる。
た時点における搬送ロボットの位置と、停止位置センサ
が検出信号を出力した時点における搬送ロボットの位置
とを記憶するようにしたため、次回、搬送ロボットに同
一の動作をさせる際には、減速位置センサ及び停止位置
センサを用いなくても上記記憶データを用いることで搬
送ロボットを正確に減速、停止させることができる。
【００２４】また、ステーションが、ラインに対して任
意の位置に設置可能なステーションである場合、設置位
置変更に伴うティーチングが不要となり、作業負担の軽
減を図ることができる。
意の位置に設置可能なステーションである場合、設置位
置変更に伴うティーチングが不要となり、作業負担の軽
減を図ることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送システムの構成
図である。
図である。
【図２】同搬送システムの動作例を示すフローチャート
である。
である。
１ Ｙ軸ライン（ライン） ２ 搬送ロボット ３1 、３2 カセットステーション（ステーション） ４1 〜４4 カセット ５ 半導体ウエハ（搬送物） ６1 〜６4 停止位置センサ ７1 〜７8 減速位置センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F059 AA01 BA04 BB05 DA02 DC08 DD12 DD18 DE06 FB00 FB01 FC02 5F031 CA02 FA11 GA43 GA48 JA14 JA45 PA02
Claims (3)
- 【請求項１】 所定のライン上を走行する搬送ロボット
をステーションに正対させ、該正対状態の下で該ステー
ションに対して搬送物を搬入、搬出させる搬送システム
において、 前記ライン上において前記搬送ロボットが前記ステーシ
ョンに正対する位置を検出する停止位置センサと、前記
ライン上において前記正対位置を中心とする両側の位置
のうち少なくとも一方の位置を検出する減速位置センサ
とを設け、 前記減速位置センサの検出信号により、前記搬送ロボッ
トの走行速度を減速し、前記停止位置センサの検出信号
により、前記減速後の搬送ロボットを停止するよう構成
されることを特徴とする搬送システム。 - 【請求項２】 請求項１において、前記減速位置センサ
が検出信号を出力した時点における搬送ロボットの位置
と、前記停止位置センサが検出信号を出力した時点にお
ける搬送ロボットの位置とを記憶することを特徴とする
搬送システム。 - 【請求項３】 請求項２において、前記ステーション
は、前記ラインに対して任意の位置に設置可能なステー
ションであることを特徴とする搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16295299A JP2000353730A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16295299A JP2000353730A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000353730A true JP2000353730A (ja) | 2000-12-19 |
Family
ID=15764397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16295299A Pending JP2000353730A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000353730A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012026018A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | C Uyemura & Co Ltd | 表面処理装置 |
| JP2012046783A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Almex Pe Inc | 表面処理装置 |
-
1999
- 1999-06-09 JP JP16295299A patent/JP2000353730A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012026018A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | C Uyemura & Co Ltd | 表面処理装置 |
| JP2012046783A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Almex Pe Inc | 表面処理装置 |
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