JPH01214041A - 板状物の位置合わせ方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウェハー等の少なくともｌ側縁に切
欠部を有する板状物を回転台上に載置して回転させなが
らその切欠部を検出して位置合わせを行う板状物の位置
合わせ方法及び装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の板状物の位置合わせ方法としては、例えば特公昭
５５−３９９０１号公報（以下、第１従来例と称す）及
び特開昭６０−８０２４１号公報（以下、第２従来例と
称す）に記載されたものがある。

第１従来例は、板状物の中心部又はその近傍を軸として
回転させながら、板状物から離れて設置した少なくとも
２個所の受光部に対して投光し、受光部の出力によって
上記板状物を所定位置で停止させるようにしている。

第２従来例は、切欠きを有する基板を回転駆動する回転
手段と、該手段を駆動する駆動手段と、該手段を制御す
る制御手段と、前記回転手段で回転する前記基板の有無
を検出する基板検出手段と、前記回転手段の回転角を検
出する回転角検出手段とで構成され、基板検出手段の検
出出力と回転角検出手段の検出出力とに基づいて制４２
１）手段によって基板の位置合わせを行うようにしてい
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記第１従来例にあっては、複数の受光
部の出力を比較することにより、板状物の切欠部を切欠
き部の面積に応じた光束により検出するようにしている
ので、切欠部の中央を高速で検出する場合には誤差が大
きく、この誤差をできるだけ小さ（ためには、Ｓ／Ｎ比
を大きくする必要があり、そのための構成が複雑で、調
整に手間を要するなどの未解決の課題があった。

また、第２従来例にあっても、基板検出手段で基板の有
無を光学的に検出し、この基板検出手段の検出出力によ
って中心回転角に相当する中心パルス数を算出し、この
中心パルス数に任意の位置までの移動パルス数を加算し
て基板の位置合わせをするようにしているので、第１従
来例と同様に、高速且つ正確な位置合わせを行うには誤
差が大きく且つ構造が複雑になるという未解決の課題が
あった。

そこで、この発明は、上記従来例の未解決の課題に着目
してしなされたものであり、切欠部を有する板状物の位
置合わせを、簡易な構成で迅速且つ高精度で行うことが
可能な板状物の位置合わせ方法及び装置を提供すること
を目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、第１の発明は、少なくとも
１側縁に切欠部を有する板状物を回転台上に載置して回
転させながらその切欠部を検出して位置合わせを行う板
状物の位置合わせ方法において、前記板状物の周縁にコ
ヒーレント光を照射し、当該板状物の周縁で回折される
０次光以外の回折光を光電変換し、その光電変換出力に
基づいて板状物の切欠部以外の周縁から切欠開始位置を
経た後切欠中央位！を検知したときに回転台を停止させ
ることを特徴としている。

また、板状物・の切欠部以外の周縁部を検知していると
きに回転台を高速回転させ、切欠開始位置及び切欠中央
位置間で回転台を低速回転させ、切欠中央位置を検知し
たときに回転台を停止させる。

さらに、第２の発明は、少なくとも１側縁に切欠部を有
する板状物を回転台上に載置して回転させながらその切
欠部を検出して位置合わせを行う板状物の位置合わせ装
置において、前記板状物の周縁にコヒーレント光を照射
する光源と、前記板状物の周縁部より回折されるＯ次光
以外の回折光を受光する光電変換器と、該光電変換器の
出力に基づいて前記板状物の切欠部以外の周縁から切欠
部開始位置を経た後切欠部中央位置を検出したとき、前
記回転台の回転を、回転停止に制御する制御装置とを備
えたことを特徴としている。

またさらに、制御装置は、板状物の切欠部以外の周縁を
検出しているときに回転台を高速回転駆動し、切欠開始
位置及び切欠中央位置間を検出しているときに回転台を
低速回転駆動し、切欠中央位置を検出したときに回転台
を回転停止にそれぞれ制御する。

（作用〕 この発明においては、少なくとも１側縁に切欠部を有す
る板状物の周縁に光源からのコヒーレント光を照射し、
その板状物の周縁におけるＯ次光以外の例えば１次回折
光を光電変換器で受光することにより、コヒーレント光
が板状物の切欠部を除く周縁を照射しているときには、
１次回折光が光電変換器に入射し、この状態から切欠部
を照射する状態となると、光電変換器に１次回折光が入
射されなくなり、この状態から切欠部の中央部を照射す
る状態となると、再度光電変換器に１次回折光が入射さ
れる。したがって、光電変換器の出力を制御装置に入力
することにより、この制御装置で、板状物の位置を監視
することができ、その監視結果に基づいて切欠中央位置
を検出したときに回転台を回転停止させて高精度の位置
合わせを行う。

また、板状物の周縁部を検出している間は板状物を回転
駆動する回転台の回転を高速とし、板状物の切欠部を検
出した時点で回転台を低速に切換え、その後切欠部の中
央部を検出した時点で回転台の回転を停止することによ
り、板状物を高速且つ高精度で位置合わせする。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成図である。

図中、１は回転台であって、駆動モータ２の回転軸２ａ
が直結されて、駆動モータ２の回転に応じて所定方向に
回転駆動される。

回転台１上には、第２図に示すように、板状物としての
半導体ウェハー３が載置されている。この半導体ウェハ
ー３は、その周縁が円弧状部４ａとその１側縁を直線状
に切欠いた所謂オリエンテーションフラット（ＯＦ）と
称される切欠部４ｂとで形成されている。

また、回転台１の上方には、レーザー光又は単波長光で
なるコヒーレント光を半導体ウェハー３の周縁部に照射
する光源５が配設されている。この光源５は、コヒーレ
ント光が半導体ウェハー３の周縁に対して垂直に照射さ
れ、且つ切欠部４に対しても確実に照射するように、光
束が長方形に選定されている。

そして、光源５からのコヒーレント光が半導体ウェハー
３の周縁部を照射したときに生じる０次光以外の例えば
１次回折光を受光可能な位置にフォトダイオード等の光
電変換器６が配設され、この光電変換器６の光電変換出
力Ｓ、が制御装置７に入力される。

制御装置７は、回転台１の駆動モータ２の回転を制御す
るものであり、第３図に示す構成を有する。すなわち、
制御装置７は、光電変換器６の光電変換出力Ｓ１が一方
の入力側に供給され、他方の入力側に電圧設定器８から
の闇値となる設定電圧■、が供給された比較器９と、位
置合わせを開始するスイッチ等で構成される開始信号発
生器１０とを有し、比較器９の比較出力Ｓ２がＤ型フリ
フブフロップ１）のＤ入力側に直接、Ｔ入力側に単安定
回路１２及びトリガ信号形成回路１３を介してそれぞれ
入力され、Ｄ型フリップフロップ１）の肯定出力Ｓ、が
、一方の反転入力側に比較器９の比較出力Ｓ２が供給さ
れるＡＮＤ回路１４の他方の入力側に供給されている。

ここで、単安定回路１２の出力パルス幅すは、後述する
ように半導体ウェハー３の切欠部４ｂの中央部Ｏが光源
５からのコヒーレント光Ｃ８位置に達したときに光電変
換器６から出力される出力パルス幅ａより長く選定され
、且つトリガ信号形成回路１３は、単安定回路１２の出
力パルスＳ、が高レベルから低レベルに反転する時点で
幅狭のトリガパルスＳ４を出力する。

そして、ＡＮＤ回路１４の出力Ｓ、がモータ駆動回路２
０に介装されたスイッチングトランジスタ２１Ｌのベー
スに供給されると共に、Ｒ３型フリップフロップ１５の
リセット側端子及びＲ３型フリップフロップ１６のセッ
ト側端子にそれぞれ入力されている。一方、フリップフ
ロップ１５のセット側端子及びフリップフロップ１６の
リセット側端子には、それぞれ開始信号発生回路１０の
開始パルスＳ３が入力される。

そして、フリップフロップ１５の肯定出力Ｓ７が高速指
令信号としてモータ駆動回路２０に介装されたスイッチ
ングトランジスタ２１　Ｈのベースに供給され、且つフ
リップフロップ１６の肯定出力Ｓ、が前記比較器９の比
較出力Ｓ２が一方の入力側に供給されるＡＮＤ回路１７
の他方の入力側に供給され、ＡＮＤ回路１７の出力Ｓ、
がクリア信号としてＤ型フリップフロップ１）のクリア
端子に供給される。

モータ駆動回路２０は、直流電源２２にスイッチングト
ランジスタ２１Ｈを介して直列に駆動モータ２が接続さ
れ、スイッチングトランジスタ２１Ｈと並列にスイッチ
ングトランジスタ２１Ｌ及び抵抗２３の直列回路が接続
された構成を有する。

次に、上記実施例の動作を第４図に示す制御装置７の各
部の信号波形図を伴って説明する。

まず、回転台ｌが停止状態にあるものとして、この回転
台１上に時点ｔ１で半導体ウェハー３を例えば第２図（
ａ）に示すように光源５からのコヒーレント光ＣＢが切
欠部４ｂより時計方向の円弧部４ａを照射するように載
置する。

このように半導体ウェハー３が回転台１上に載置される
と、光源５からのコヒーレント光ＣＢが半導体ウェハー
３の円弧部４ａを照射しているので、その円弧部４ａに
よる１次回折光ＤＢが法線方向に向かいその位置に配設
された光電変換器６に入射される。このため、光電変換
器６の出力Ｓ、は、第４図ｔａ＋に示す如（、高レベル
となり、比較器９の比較出力Ｓ２も第４図（Ｃ）に示す
如く高レベルとなる。これに応じて単安定回路１２から
第４図（ｄ）に示す出力パルスＳ３が出力され、その高
レベルから低レベルに反転する時点１ｔで、トリガ信号
形成回路１３からトリガパルスＳ４が第４図（ｅ）に示
す如く出力され、この時点で、比較器９の比較出力Ｓ！
が高レベルであるので、Ｄ型フリフブフロップ１）がセ
ント状態となって、その肯定出力Ｓ、が第４図（ｆｌに
示す如く高レベルとなり、これがＡＮＤ回路１４に供給
される。しかしながら、比較器９の出力Ｓ！が高レベル
を維持しているので、ＡＮＤ回路１４の出力Ｓ６は、第
４図（ｇ）に示す如く低レベルを維持し、モータ駆動回
路２０のスイッチングトランジスタ２１Ｌはオフ状態を
維持する。しかも、Ｒ３型フリップフロップ１５も開始
信号発生回路１０からの開始信号Ｓ３が入力されていな
いので、リセット状態を維持し、その肯定出力Ｓ、が第
４図（ｈ）に示す如く低レベルを維持し、モータ駆動回
路２０のスイッチングトランジスタ２１Ｈもオフ状態を
維持し、したがって駆動モータ２は第４図（ｋ）に示す
如く停止状態を維持している。

この状態から、時点ｔ、で開始信号発生器１０を操作し
て、開始パルスＳ、を出力すると、これに応じてＲ３型
フリップフロップ１５がセットされてその肯定出力Ｓ、
が第４図［ｈｌに示す如く高レベルに反転する。このた
め、モータ駆動回路２０のスイッチングトランジスタ２
１Ｈがオン状態となって、駆動モータ２に高駆動電流が
供給されて駆動モータ２が第４図Ｃｋ）に示す如（平面
からみて時計方向に高速回転駆動される。

そして、時点ｔ４で第２図（ｂ）に示す如く、半導体ウ
ェハー３の切欠部４ｂが光源５からのコヒーレント光Ｃ
８位置に達すると、切欠部４ｂにより、コヒーレント光
の１次回折光ＤＢの方向がずれることになって、光電変
換器６に入射される１次回折光ＤＢの量が急激に減少し
、これに応じてその光電変換出力Ｓ１も第４図（ａ）に
示す如く急激に低下する。そして、光電変換出力Ｓｌが
閾値となる電圧設定器８の設定電圧■、以下となる時点
ｔＳで、比較器９の比較出力Ｓ！が第４図ｆｃ）に示す
如く低レベルに反転する。しかしながら、Ｄ型フリフブ
フロップ１）には既にトリガ出力Ｓ４と比較出力Ｓ２と
が立ち上がっていることにより、その肯定出力Ｓ、は高
レベルを維持しており、このためＡＮＤ回路１４の出力
Ｓ６が第４図（ｇ）に示す如（高レベルに反転し、モー
タ駆動回路２０のスイッチングトランジスタ２１Ｌがオ
ン状態となる。

これと同時に、ＡＮＤ回路１４の出力Ｓ、がＲ３型フリ
ップフロップ１５のリセット端子に入力されるので、こ
のフリップフロップ１５がリセット状態となり、その肯
定出力Ｓ？が第４図（ｈ）に示す如く低レベルに反転し
、これに応じてモータ駆動回路２０のスイッチングトラ
ンジスタ２１Ｈがオフ状態となり、且つ駆動モータ２に
は、直流電源２２からの駆動電流がスイッチングトラン
ジスタ２１Ｌ及び抵抗２３を介して供給されることにな
り、駆動モータ２が第４図（ｋ）に示す如く高速回転状
態から低速回転状態に移行する。

その後、時点ｔ、で第２図（Ｃ）に示す如く、半導体ウ
ェハー３の切欠部４ｂの中央部０が光源５からのコヒー
レント光Ｃ８位置近傍に達すると、コヒーレント光の１
次回折光ＤＢが充電変換ａ６に再度入射されることにな
り、光電変換出力Ｓ、は第４図（ａ）に示す如く急激に
上昇する。

そして、光電変換出力Ｓ１が電圧設定器８の設定電圧■
、を越える時点【、で、比較器９の比較出力Ｓ２が第４
図（Ｃ１に示す如く高レベル状態に反転し、且つ単安定
回路１２がトリガされるので、その出力Ｓ３が第４図ｆ
ｄ）に示す如く高レベルに反転する。しかしながら、Ｒ
３型フリップフロップ１６はそのリセット端子にＲ３型
フリップフロップ１６のリセット信号である開始信号発
生回路１０からの開始信号が入力されないので、その肯
定出力Ｓ６は第４図（ｉ）に示す如く高レベル状態を維
持し、その肯定出力Ｓ、と比較器９の高レベルの比較出
力ＳｔとがＡＮＤ回路１７に入力されるので、その出力
Ｓ、が第２図（」）に示す如く低レベルから高レベルに
反転し、これがＤ型フリップフロンプ１）のクリア端子
Ｃに入力されるので、このＤ型フリップフロップ１）が
クリア状態となって、その肯定出力Ｓ、が第４図（ｆ）
に示す如く低レベルに反転する。したがって、ＡＮＤ＠
路１４の出力Ｓ６も、第４図ｆｇ）に示す如（高レベル
状態から低レベル状態に反転する。これに応じてモータ
駆動回路２０のスイッチングトランジスタ２１Ｌがオフ
状態となって、駆動モータ２への供給電流が遮断されて
、駆動モータ２が第４図（ト））に示す如く回転停止さ
れ、半導体ウェハー３の位置合わせを完了する。

仮に半導体ウェハ３が少し惰性回転し、単安定回路１２
の出力パルスＳ３が高レベルから低レベルに反転する時
点ｔ８に達しトリガ信号形成回路１３からトリガパルス
Ｓ４が出力されても、Ｄ型フリップフロップ１）には、
ＡＮＤ回路１７からのクリア信号が継続して入力されて
いるので、リセット状態を維持し、ＡＮＤ回路１４の出
力Ｓ。

も低レベルを維持してモータ駆動回路２０は電流遮断状
態を維持する。

この状態で、半導体ウェハー３の露光或いは検査を行っ
てから、時点ｔ、で回転台１上から取り外し、時点ｔ、
。で新たな半導体ウェハー３を回転台１に載置する。こ
のとき、載置された半導体ウェハー３が、第２図（ｂ）
に示す如く、その切欠部４ｂの中央Ｏより左側４ｂ＋に
光源５からのコヒーレント光ＣＢが照射されているもの
とすると、この状態では、コヒーレント光の１次回折光
ＤＢが光電変換器６に入射されず、その光電変換出力Ｓ
１は第４図（ａ）に示す如く低レベルを維持することに
なり、単安定回路１２及びトリガ信号形成回路１３から
パルス出力は得られず、Ｄ型フリップフロップエ１の肯
定出力Ｓ、も第４図（ｆ）に示す如く低レベルを維持し
、Ｒ３型フリップフロップ１５も開始信号Ｓ３が入力さ
れないので、その肯定出力Ｓ、は第４図（ｈ）に示す如
く低レベルを維持し、駆動モータ２は第４図（ｋ）に示
す如く停止状態を維持する。

この状態から、時点ｔｌｌで開始信号発生回路１０を操
作して、開始信号Ｓｓを出力すると、これによってＲ３
型フリップフロップ１６がリセットされると共に、Ｒ３
型フリップフロップ１５がセットされる。したがって、
比較器出力Ｓ２は未だ低レベルにありＡＮＤ回路１７の
出力Ｓ、は第４図（Ｊ）に示す如く低レベルにあり、Ｄ
型フリップフロップ１）に対するクリア信号が消失する
。また、Ｒ３型フリップフロップ１５がセントされるこ
とにより、モータ駆動回路２０のスイッチングトランジ
スタ２１Ｈがオン状態となり、駆動モータ２が第４図（
ｋ）に示す如く平面からみて時計方向に高速回転駆動さ
れる。

そして、時点ｔ＋ｚで半導体ウェハー３の切欠部４ｂの
中央部Ｏが光源５からのコヒーレント光ＣＢ位置に達す
ると、前述したように中央部０での１次回折光ＤＢが光
電変換器６に入射されるので、その光電変換出力Ｓ１は
、第４図［ａ）に示すように急激に高レベルに上昇し、
電圧設定器８の設定電圧■、を越えた時点ｔ１３で比較
器９の比較出力Ｓ２が第４図（Ｃ）に示す如く高レベル
に反転する。このため、単安定回路１２がトリガされて
、その出力パルスＳ３が高レベルに反転するが、トリガ
信号形成回路１３からはトリガパルスＳ４が未だ出力さ
れず、Ｄ型フリソブフロンプ１）はクリア状態を維持し
、駆動モータ２は高速回転状態に維持される。

その後、第２図（ｄ）に示す如く、半導体ウェハー３の
切欠部４ｂの中央Ｏより右側４ｂｚがコヒーレント光Ｃ
Ｂ位置に達し、その１次回折光ＤＢが光電変換器６から
ずれることになると、光電変換出力Ｓ１が設定電圧■、
以下となる時点ｔ１４で比較器９の比較出力Ｓ２が低レ
ベルに反転し、次いで時点ｔｔｓで単安定回路１２の出
力パルスＳ３が低レベルに反転し、トリガ信号形成回路
１３からトリガパルスＳ４が出力されるが、この時点で
は比較器９の比較出力Ｓ２が低レベルであるので、Ｄ型
フリップフロップ１）はクリア状態を維持する。

その後、時点ｔｌ＆で半導体ウェハー３の円弧状部４ａ
がコヒーレント光ＣＢ位置に達すると、再度コヒーレン
ト光ＣＢの円弧状部４ａでの１次回折光ＤＢが光電変換
器６に入射されることになるので、その光電変換出力Ｓ
１が第４図（ａ）に示す如く急激に上昇し、これが設定
電圧■、を越えた時点ｔｌ？で比較器９の比較出力Ｓ２
が第４図（Ｃ）に示す如く高レベルに反転し、これに応
じて単安定回路１２の出力パルスＳ、が高レベルに反転
する。

このとき、トリガ信号形成回路１３のトリガパルスＳ４
が高レベルであるので、Ｄ型フリップフロップ１）の肯
定出力Ｓ、が第４図（ｆ）に示す如く、高レベルに反転
するが、この状態では、比較器９の比較出力Ｓ２が高レ
ベルであるので、ＡＮＤ回路１４の出力Ｓｈは第４図（
ｇｌに示す如く低レベルを維持し、駆動モータ２は高速
回転駆動状態を継続する。同様に、時点ｔｅａで単安定
回路１２の出力パルスＳ３が低レベルに反転し、トリガ
信号形成回路１３からトリガパルスＳ４が出力されるが
、既にＤ型フリップフロップ１）の肯定出力Ｓ、が高レ
ベルにあるのでこの状態が保持され、且つ比較出力Ｓ２
も高レベルにあるので、駆動モータ２は高速回転駆動状
態を継続する。

その後、時点ｔ１９で半導体ウェハー３の切欠部４ｂの
中央部Ｏより左側４ｂ＋が光源５からのコヒーレント光
に対向する状態となり、時点ｔ２゜で比較器９の比較出
力Ｓ２が低レベルに反転すると、前記時点ｔ、の場合と
同様に、ＡＮＤ回路１４の出力Ｓ６が高レベルに反転し
て、Ｒ３型フリップフロップ１５がリセット状態となっ
てモータ駆動回路２０のスイッチングトランジスタ２１
　Ｈがオフ状態となると共に、スイッチングトランジス
タ２１Ｌがオン状態となって、駆動モータ２が第４図（
ト））に示す如（低速回転駆動状態に切換えられ、且つ
Ｒ３型フリップフロップ１６がセント状態となる。

その後、時点ｔｚ＋で半導体ウェハー３の切欠部４ｂの
中央部Ｏが光源５からのコヒーレント光に対向する状態
となり、続く時点１ｔ□で比較器９の比較出力Ｓ２が高
レベルに反転すると、前述した時点ｔ、と同様に、ＡＮ
Ｄ回路１７の出力Ｓ、が高レベルに反転して、Ｄ型フリ
ップフロップ１）がクリア状態となり、ＡＮＤ回路１４
の出力Ｓ。

が低レベルとなって、モータ駆動回路２０のスイッチン
グトランジスタ２１Ｌがオフ状態となり、駆動モータ２
の回転が第４図（ｋｌに示す如く停止されて位置合わせ
を完了する。

さらに、第２図（Ｃ）又は（ｄ＋に示すように半導体ウ
ェハー３を回転台１に載置した場合も、開始信号発生回
路１０での開始信号ＳＳによって駆動モータ２が高速回
転駆動され、切欠部４ｂの左側４ｂ１がコヒーレント光
ＣＢの照射位置に達した後に低速回転駆動に切換えられ
、切欠部４ｂの中央Ｏがコヒーレント光ＣＢの照射位置
に達した後に回転停止される。

なお、半導体ウェハー３の位置合わせ完了後に、別途メ
カニカルストッパーを設けてこれによって半導体ウェハ
ー３を強固に固定するようにしてもよい。

このように、上記実施例によると、回転台１に対して半
導体ウェハー３を任意の位置に載置しても、半導体ウェ
ハー３の切欠部４ｂの中央部Ｏが光源５からのコヒーレ
ント光に対向する位置に達した時点で回転台ｌの駆動が
停止されて、正値な位置合わせを行うことができ、しか
もその位置合わせか、円弧状部４ａを走査している状態
では、回転台１が高速回転駆動され、この状態から切欠
部４ｂを走査する状態となると、回転台１が低速回転駆
動に切換えられ、切欠部４ｂの中央部０を検出した時点
で回転台１の回転が停止されるので、回転台１の停止時
における慣性力を小さくして高精度の位置合わせを行う
ことができると共に、光源５からのコヒーレント光ＣＢ
の光束を半径方向に長くし、これに応じて光電変換器６
の受光面を長くすることにより、サイズの異なる半導体
ウェハーであっても、確実に位置合わせを行うことがで
きる。

なお、上記実施例においては、コヒーレント光の半導体
ウェハー周縁での１次回指光ＤＢを光電変換器６で受光
する場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、０次回指光以外の高次回折光を検出するように
してもよいことば言うまでもない。

また、上記実施例においては、制御装置を電子回路で構
成する場合について説明したが、これに限らずマイクロ
コンピュータを適用して演算処理するようにしてもよい
。

さらに、板状物としては、半導体ウェハーに限定される
ものではなく、他の切欠部を有する任意の板状物を適用
し得るものである。

〔発明の効果〕

以上説明したように、第１及び第２の発明によれば、光
源からのコヒーレント光を板状物の周縁に照射し、その
周縁でのＯ次回指光を除く任意次数の回折光を光電変換
器で受光し、その光電変換出力に基づいて制御装置で板
状物を載置した回転台の駆動制御を行うようにしている
ので、１つの光源からのコヒーレント光の回折光を光電
変換器で受光するだけで、板状物の円弧部、これに連接
する切欠部及びその中央部とを的確に認識することがで
き、しかも回折光はディジ゛タル的な鋭さを持っている
から検出精度を向上させることができるから、回転台の
回転制御を容易且つ正確に行うことが可能となり、板状
物の位置合わせを高精度で行うことができる。また、制
御装置で、板状物の円弧部がコヒーレント光と対向して
いるときには、回転台を高速に、切欠部がコヒーレント
光と対向する状態となると回転台を低速に、切欠部の中
央部がコヒーレント光と対向する状態となると回転台を
回転停止に制御するので、位置合わせを高速で行うこと
ができると共に、回転台の回転停止時の慣性力をすくな
くすることができ、位置合わせ精度をより向上すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成図、第２図
（ａ）〜（ｄ）はこの発明の詳細な説明に供する半導体
ウェハーの位置と回折光との関係を示す説明図、第３図
は制御装置の具体的構成を示すブロック図、第４図はこ
の発明の詳細な説明に供する信号波形図である。 図中、１は回転台、２は駆動モータ、３は半導体ウェハ
ー、４ａは円弧状部、４ｂは切欠部、０は切欠部の中央
部、５は光源、６は光電変換器、７は制御装置、８は電
圧設定器、９は比較器、１０は開始信号発生回路、１）
はＤ型フリップフロップ、１２は単安定回路、１３はト
リガ信号形成回路、１４はＡＮＤ回路、１５．１６はＲ
３型フリップフロップ、１７はＡＮＤ回路、２０はモー
タ駆動回路である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも１側縁に切欠部を有する板状物を回転
   台上に載置して回転させながらその切欠部を検出して位
   置合わせを行う板状物の位置合わせ方法において、前記
   板状物の周縁にコヒーレント光を照射し、当該板状物の
   周縁で回折される０次光以外の回折光を光電変換し、そ
   の光電変換出力に基づいて板状物の切欠部以外の周縁か
   ら切欠開始位置を経た後切欠中央位置を検知したときに
   、回転台を停止させるようにしたことを特徴とする板状
   物の位置合わせ方法。
2. （２）少なくとも１側縁に切欠部を有する板状物を回転
   台上に載置して回転させながらその切欠部を検出して位
   置合わせを行う板状物の位置合わせ方法において、前記
   板状物の周縁にコヒーレント光を照射し、当該板状物の
   周縁で回折される０次光以外の回折光を光電変換し、そ
   の光電変換出力に基づいて板状物の切欠部以外の周縁、
   切欠開始位置及び切欠中央位置を検知し、切欠部以外の
   周縁部を検知しているときに前記回転台を高速回転駆動
   し、次いで切欠開始位置を検知したときに回転台を低速
   回転駆動し、次いで切欠中央位置を検知したときに回転
   台を停止させるようにしたことを特徴とする板状物の位
   置合わせ方法。
3. （３）少なくとも１側縁に切欠部を有する板状物を回転
   台上に載置して回転させながらその切欠部を検出して位
   置合わせを行う板状物の位置合わせ装置において、前記
   板状物の周縁にコヒーレント光を照射する光源と、前記
   板状物の周縁部より回折される０次光以外の回折光を受
   光する光電変換器と、該光電変換器の出力に基づいて前
   記板状物の切欠部以外の周縁から切欠部開始位置を経た
   後切欠部中央位置を検出したとき前記回転台の回転を回
   転停止に制御する制御装置とを備えたことを特徴とする
   板状物の位置合わせ装置。
4. （４）少なくとも１側縁に切欠部を有する板状物を回転
   台上に載置して回転させながらその切欠部を検出して位
   置合わせを行う板状物の位置合わせ装置において、前記
   板状物の周縁にコヒーレント光を照射する光源と、前記
   板状物の周縁部より回折される０次光以外の回折光を受
   光する光電変換器と、該光電変換器の出力に基づいて前
   記板状物の切欠部以外の周縁、切欠部開始位置及び切欠
   部中央位置を監視し、且つその監視結果に応じて前記回
   転台の回転を、板状物の切欠部以外の周縁であるときに
   高速、切欠部開始位置であるときに低速及び切欠部中央
   位置であるときに回転停止にそれぞれ制御する制御装置
   とを備えたことを特徴とする板状物の位置合わせ装置。