JP2513697B2 - プリアラインメント装置 - Google Patents
プリアラインメント装置Info
- Publication number
- JP2513697B2 JP2513697B2 JP62148296A JP14829687A JP2513697B2 JP 2513697 B2 JP2513697 B2 JP 2513697B2 JP 62148296 A JP62148296 A JP 62148296A JP 14829687 A JP14829687 A JP 14829687A JP 2513697 B2 JP2513697 B2 JP 2513697B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- alignment
- laser light
- length
- lengths
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明はプリアラインメント装置であって、レーザ光
を用いてウエハのＸ方向長さ及び２つのＹ方向長さを求
め、Ｘ方向長さが最大でＹ方向長さが互いに等しくＸ方
向長さより小となるようウエハの移動及び回転を制御す
ることにより、位置合わせの誤差が小さくし、汎用性を
向上させる。
を用いてウエハのＸ方向長さ及び２つのＹ方向長さを求
め、Ｘ方向長さが最大でＹ方向長さが互いに等しくＸ方
向長さより小となるようウエハの移動及び回転を制御す
ることにより、位置合わせの誤差が小さくし、汎用性を
向上させる。
本発明はプリアラインメント装置に関し、投影露光装
置に搬送するウエハの位置合わせを行なうプリアライン
メント装置に関する。
置に搬送するウエハの位置合わせを行なうプリアライン
メント装置に関する。
フォトエッチング等を行なうために投影露光装置にウ
エハを搬送して装着する際には、プリアラインメント装
置を用いてウエハの位置合わせを行なう必要がある。こ
れはウエハがカセットに不揃いに収納されているためで
ある。
エハを搬送して装着する際には、プリアラインメント装
置を用いてウエハの位置合わせを行なう必要がある。こ
れはウエハがカセットに不揃いに収納されているためで
ある。
従来のプリアラインメント装置においては第４図に示
す如く、ウエハ10の下面を真空チャック11で吸着し、真
空チャック11を回転させ、かつＸ方向及びＹ方向に移動
させて、一直線上に並べられたフォトセンサ12,13,14で
ウエハ10のオリエンテーション・フラット（切欠）10a
のエッジを検出し、フォトセンサ15でウエハ10のエッジ
を検出することによりオリエンテーション・フラット10
aを基準とした位置合わせを行なっている。
す如く、ウエハ10の下面を真空チャック11で吸着し、真
空チャック11を回転させ、かつＸ方向及びＹ方向に移動
させて、一直線上に並べられたフォトセンサ12,13,14で
ウエハ10のオリエンテーション・フラット（切欠）10a
のエッジを検出し、フォトセンサ15でウエハ10のエッジ
を検出することによりオリエンテーション・フラット10
aを基準とした位置合わせを行なっている。
しかるに、従来のプリアラインメント装置はフォトセ
ンサ12〜15でウエハ10のエッジを検出しているため、フ
ォトセンサ12〜15夫々の取付位置の誤差によりウエハ10
の位置合わせに誤差を生じるという問題点があった。
ンサ12〜15でウエハ10のエッジを検出しているため、フ
ォトセンサ12〜15夫々の取付位置の誤差によりウエハ10
の位置合わせに誤差を生じるという問題点があった。
また、ウエハ10の直径が例えば４インチとしてフォト
センサ12〜15を設定しているプリアラインメント装置に
おいては直径が５インチ又は６インチのウエハ10の位置
合わせを行なうことがでぎず汎用性が低いという問題点
があった。
センサ12〜15を設定しているプリアラインメント装置に
おいては直径が５インチ又は６インチのウエハ10の位置
合わせを行なうことがでぎず汎用性が低いという問題点
があった。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、位置
合わせの誤差が小さく、かつ汎用性が高いプリアライン
メント装置を提供することを目的とする。
合わせの誤差が小さく、かつ汎用性が高いプリアライン
メント装置を提供することを目的とする。
本発明のプリアラインメント装置は、ウエハ（20）を
第１のレーザ光でＸ方向に走査してウエハ（20）の両端
を検出する検出手段（30〜33）と、 ウエハ（20）を第２及び第３のレーザ光でＹ方向に互
いに平行に走査してウエハ（20）の両端を検出する第２
及び第３の検出手段（35〜41）と、 第１の検出手段（30〜33）で検出された両端間のＸ方
向長さが最大で、第２及び第３の検出手段（35〜41）夫
々で検出された両端間のＹ方向長さが互いに等しくＸ方
向長さより小となるようウエハの移動及び回転を制御す
る制御手段（42）とを有する。
第１のレーザ光でＸ方向に走査してウエハ（20）の両端
を検出する検出手段（30〜33）と、 ウエハ（20）を第２及び第３のレーザ光でＹ方向に互
いに平行に走査してウエハ（20）の両端を検出する第２
及び第３の検出手段（35〜41）と、 第１の検出手段（30〜33）で検出された両端間のＸ方
向長さが最大で、第２及び第３の検出手段（35〜41）夫
々で検出された両端間のＹ方向長さが互いに等しくＸ方
向長さより小となるようウエハの移動及び回転を制御す
る制御手段（42）とを有する。
本発明装置においては、第１〜第３のレーザ光でウエ
ハ（20）を走査してウエハ（20）の両端を検出するた
め、精度が高く、位置合わせの誤差が小さくなる。ま
た、ウエハ（20）の大きさが異なってもウエハ（20）の
両端を検出でき、汎用性が向上する。
ハ（20）を走査してウエハ（20）の両端を検出するた
め、精度が高く、位置合わせの誤差が小さくなる。ま
た、ウエハ（20）の大きさが異なってもウエハ（20）の
両端を検出でき、汎用性が向上する。
第１図は本発明のプリアラインメント装置の一実施例
の概略構成図、第２図はその一部の平面図を示す。
の概略構成図、第２図はその一部の平面図を示す。
第１図中、ウエハ20は真空チャック21に吸着されて保
持されている。真空チャック21の軸22はモータ23により
回転駆動される。軸22及びモータ23はＸステージ24上に
設けられており、Ｘステージ24はモータ25によりＸ方向
に駆動される。Ｘステージ24及びモータ25はＹステージ
26上に設けられており、Ｙステージ26はモータ27により
Ｙ方向に駆動される。
持されている。真空チャック21の軸22はモータ23により
回転駆動される。軸22及びモータ23はＸステージ24上に
設けられており、Ｘステージ24はモータ25によりＸ方向
に駆動される。Ｘステージ24及びモータ25はＹステージ
26上に設けられており、Ｙステージ26はモータ27により
Ｙ方向に駆動される。
真空チャック21よりＸ方向に離間してレーザ光源30が
設けられている。レーザ光源30から発射されたレーザ光
は回転ミラー31に照射される。回転ミラー31は例えば正
八角柱であり、等速度で回転する。この回転ミラー31で
反射されたレーザ光はウエハ20をＸ方向に走査する。真
空チャック21のＸ方向両側のウエハ20の下方にはライン
センサ32,33が設けられている。ラインセンサ32と33は
Ｘ方向に並べられており、上記回転ミラー31の反射レー
ザ光のうちウエハ20外方を走査するレーザ光がラインセ
ンサ32,33に入射する。
設けられている。レーザ光源30から発射されたレーザ光
は回転ミラー31に照射される。回転ミラー31は例えば正
八角柱であり、等速度で回転する。この回転ミラー31で
反射されたレーザ光はウエハ20をＸ方向に走査する。真
空チャック21のＸ方向両側のウエハ20の下方にはライン
センサ32,33が設けられている。ラインセンサ32と33は
Ｘ方向に並べられており、上記回転ミラー31の反射レー
ザ光のうちウエハ20外方を走査するレーザ光がラインセ
ンサ32,33に入射する。
同様にして、第２図に示す如く、真空チャック21より
Ｙ方向に離間してレーザ光源35,36が並設されている。
レーザ光源35,36夫々から発射されたレーザ光は回転ミ
ラー37に照射される。回転ミラー37は例えば正八角柱で
あり、等速度で回転する。この回転ミラー37で反射され
たレーザ光はウエハ20をＹ方向に走査する。真空チャッ
ク21のＹ方向両側のウエハ20の下方にはレーザ光源35に
対応してラインセンサ38,39が設けられ、レーザ光源36
に対応してラインセンサ40,41が設けられている。ライ
ンセンサ38と39,40と41は夫々Ｙ方向に並べられてお
り、上記回転ミラー37の反射レーザ光のうちウエハ20外
方を走査するレーザ光がラインセンサ38〜41に入射す
る。
Ｙ方向に離間してレーザ光源35,36が並設されている。
レーザ光源35,36夫々から発射されたレーザ光は回転ミ
ラー37に照射される。回転ミラー37は例えば正八角柱で
あり、等速度で回転する。この回転ミラー37で反射され
たレーザ光はウエハ20をＹ方向に走査する。真空チャッ
ク21のＹ方向両側のウエハ20の下方にはレーザ光源35に
対応してラインセンサ38,39が設けられ、レーザ光源36
に対応してラインセンサ40,41が設けられている。ライ
ンセンサ38と39,40と41は夫々Ｙ方向に並べられてお
り、上記回転ミラー37の反射レーザ光のうちウエハ20外
方を走査するレーザ光がラインセンサ38〜41に入射す
る。
ラインセンサ32,33、38〜41夫々はレーザ光が照射さ
れた部分がＨレベルで照射されない部分がＬレベルとな
りウエハ20の端部を検出した受光信号を生成する。夫々
の受光信号は第１図に示す制御回路42に供給される。
れた部分がＨレベルで照射されない部分がＬレベルとな
りウエハ20の端部を検出した受光信号を生成する。夫々
の受光信号は第１図に示す制御回路42に供給される。
制御回路42は第３図に示す如く、ラインセンサ32と33
の受光信号からウエハ20のＸ方向長さX1を算出し（ステ
ップ50）、Ｘ方向長さX1をウエハ20の直径に対応した値
及び前回のＸ方向長さと比較してＸ方向長さX1が最大値
であるかどうかを判別する（ステップ51）。最大値でな
ければモータ25に制御信号を供給してウエハ20をＹ方向
に移動させるか、またはモータ23で回転させ（ステップ
52）、上記ステップ50,51を繰り返す。
の受光信号からウエハ20のＸ方向長さX1を算出し（ステ
ップ50）、Ｘ方向長さX1をウエハ20の直径に対応した値
及び前回のＸ方向長さと比較してＸ方向長さX1が最大値
であるかどうかを判別する（ステップ51）。最大値でな
ければモータ25に制御信号を供給してウエハ20をＹ方向
に移動させるか、またはモータ23で回転させ（ステップ
52）、上記ステップ50,51を繰り返す。
ステップ51でＸ方向長さX1が最大値であると判別され
ると、ラインセンサ38と39,40と41夫々の受光信号から
Ｙ方向長さY1,Y2夫々を算出し（ステップ53）、Ｙ方向
長さY1,Y2が等しいかどうかを判別する（ステップ5
4）。ここで、両者が等しくなければモータ27に制御信
号を供給してウエハ20をＸ方向に移動させるか、または
モータ23で回転させ（ステップ55）、上記ステップ53,5
4を繰り返す。この際、Ｘ方向長さX1は最大値を保持し
つつ、ウエハ20を動かす。
ると、ラインセンサ38と39,40と41夫々の受光信号から
Ｙ方向長さY1,Y2夫々を算出し（ステップ53）、Ｙ方向
長さY1,Y2が等しいかどうかを判別する（ステップ5
4）。ここで、両者が等しくなければモータ27に制御信
号を供給してウエハ20をＸ方向に移動させるか、または
モータ23で回転させ（ステップ55）、上記ステップ53,5
4を繰り返す。この際、Ｘ方向長さX1は最大値を保持し
つつ、ウエハ20を動かす。
ステップ54でＹ方向長さY1,Y2が等しいと判別される
とステップ56に移行し、ここでＹ方向長さY1,Y2がＸ方
向長さX1より所定値α以上短いかどうかが判別されこれ
を満足しない場合にはモータ23に制御信号を供給してウ
エハ20を回転させ（ステップ57）、Ｘ方向長さX1及びＹ
方向長さY1,Y2を算出する（ステップ58）。この所定値
αはウエハ20の直径とオリエンテーション・フラット20
aを通る径との差より僅かに小さい値である。なお、ス
テップ57の実行時にはＸ方向長さX1が最大値を維持し、
Ｙ方向長さY1,Y2が同一を維持するようモータ23,25の制
御を行なう。これは真空チャック21が必ずしもウエハ20
の中心を吸着しているとは限らないからである。
とステップ56に移行し、ここでＹ方向長さY1,Y2がＸ方
向長さX1より所定値α以上短いかどうかが判別されこれ
を満足しない場合にはモータ23に制御信号を供給してウ
エハ20を回転させ（ステップ57）、Ｘ方向長さX1及びＹ
方向長さY1,Y2を算出する（ステップ58）。この所定値
αはウエハ20の直径とオリエンテーション・フラット20
aを通る径との差より僅かに小さい値である。なお、ス
テップ57の実行時にはＸ方向長さX1が最大値を維持し、
Ｙ方向長さY1,Y2が同一を維持するようモータ23,25の制
御を行なう。これは真空チャック21が必ずしもウエハ20
の中心を吸着しているとは限らないからである。
このようにしてウエハ20は第２図に示す如く、オリエ
ンテーション・フラット20aをラインセンサ39,41に対応
させて位置合わせされ、ステップ56の満足により制御回
路42は位置合わせ処理を終了する。
ンテーション・フラット20aをラインセンサ39,41に対応
させて位置合わせされ、ステップ56の満足により制御回
路42は位置合わせ処理を終了する。
このように、レーザ光でウエハ20を走査してウエハ20
のエッジを検出しているため、誤差が小さく高精度の位
置合わせを行なうことができる。また、ラインセンサ3
2,33,38〜41夫々の長さが数インチであれば、ウエハ20
の直径が４インチ,5インチ,6インチと異なっても位置合
わせを行なうことができ、汎用性が非常に高い。
のエッジを検出しているため、誤差が小さく高精度の位
置合わせを行なうことができる。また、ラインセンサ3
2,33,38〜41夫々の長さが数インチであれば、ウエハ20
の直径が４インチ,5インチ,6インチと異なっても位置合
わせを行なうことができ、汎用性が非常に高い。
上述の如く、本発明のプリアラインメント装置によれ
ば、ウエハの位置合わせの精度が向上すると共に、ウエ
ハの直径が異なっても位置合わせを行なうことができ汎
用性が向上し、実用上きわめて有用である。
ば、ウエハの位置合わせの精度が向上すると共に、ウエ
ハの直径が異なっても位置合わせを行なうことができ汎
用性が向上し、実用上きわめて有用である。
第１図は本発明のプリアラインメント装置の概略構成
図、 第２図は第１図の装置の一部の平面図、 第３図は制御回路の動作説明用フローチャート、 第４図は従来装置の位置合わせを説明するための図であ
る。 図面中、 20はウエハ、20aはオリエンテーション・フラット、21
は真空チャック、22は軸、23,25,27はモータ、24はＸス
テージ、26はＹステージ、30,35,36はレーザ光源、31,3
7は回転ミラー、32,33,38〜41はラインセンサ、42は制
御回路、50〜58はステップである。
図、 第２図は第１図の装置の一部の平面図、 第３図は制御回路の動作説明用フローチャート、 第４図は従来装置の位置合わせを説明するための図であ
る。 図面中、 20はウエハ、20aはオリエンテーション・フラット、21
は真空チャック、22は軸、23,25,27はモータ、24はＸス
テージ、26はＹステージ、30,35,36はレーザ光源、31,3
7は回転ミラー、32,33,38〜41はラインセンサ、42は制
御回路、50〜58はステップである。
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハ（20）をＸ方向及び該Ｘ方向と直交
するＹ方向に移動し、かつ回転させて、該ウエハ（20）
のオリエンテーション・フラット（20a）を基準とした
位置合わせを行なうプリアラインメント装置において、 該ウエハ（20）を第１のレーザ光で該Ｘ方向に走査して
該ウエハ（20）の両端を検出する検出手段（30〜33）
と、 該ウエハ（20）を第２及び第３のレーザ光で該Ｙ方向に
互いに平行に走査して該ウエハ（20）の両端を検出する
第２及び第３の検出手段（35〜41）と、 該第１の検出手段（30〜33）で検出された両端間のＸ方
向長さが最大で、該第２及び第３の検出手段（35〜41）
夫々で検出された両端間のＹ方向長さが互いに等しく該
Ｘ方向長さより小となるよう該ウエハの移動及び回転を
制御する制御手段（42）とを有することを特徴とするプ
リアラインメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62148296A JP2513697B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | プリアラインメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62148296A JP2513697B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | プリアラインメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311736A JPS63311736A (ja) | 1988-12-20 |
| JP2513697B2 true JP2513697B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=15449604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62148296A Expired - Lifetime JP2513697B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | プリアラインメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513697B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0536837U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-05-18 | 株式会社アドバンテスト | ウエーハｏｆ位置検出装置 |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP62148296A patent/JP2513697B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63311736A (ja) | 1988-12-20 |
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