JPS6245145A - 円板物体の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の属する分野］ 本発明は、半導体つＪハ等の円板状物体の微小切欠ぎを
検出することによりこの円板状物体を所定の向きに位置
決めする装置に関する。本発明は、特に、マスクアライ
ナ等の露光装置やウエハブローバ等の測定装置、検査装
置等に対して半導体つ」、ハを＃１．置プる際に使用す
る位置決め装置に適用して好適なしのＣある。

し従来技術］ 従来、この種の装置は、ウェハの周囲の一部に設けられ
たり欠きを用いて位置決めを行なうように構成されてい
る。酋通、この切欠きは円板状のウェハの周囲を直線状
に切欠いたもので、オリエンテーションフラット（以下
、オリフラと呼ぶ）と呼ばれている。

オリフラを用いて位置決めする一例として、特開昭５８
−１８７１３号［円板物体の位置決め装置」に光電素子
を用いてウェハ端部変化を求め、゛その微分値によって
オリフラの中心を求めて位置決めを行なう装置が示され
ている。また、特開昭５７−１９８６４２号「ウェハ位
置検出装置」には光電素子によってウェハ端部位置を各
回転位置で比較し、回転位置変化に対するウェハ端部位
置の極値を求めることによってウェハ位置を検出する装
置が示されている。

ところが、近年、オリフラに加えて微小切欠き（以下、
ノツチと呼ぶ）をもったウェハが出てきた。このノツチ
は、オリフラとともにウェハに備えられることが多い。

第７図は、オリフラおよびノツチを有するウェハの平面
図を示ず。同図において、２１はウェハ、２２はノツチ
、２３はオリフラである。その場合、上記の二個の公知
例に係る装置では、ノツチ−とオリフラを区別すること
ができずノツチ部での位置決めをすることは困難である
。

また、第８図に示すように、両側にフォトセンサ２５を
備えたビン２４をウェハ２１に押しつけながらウェハ２
１を回転し、ノツチにビン２４が入って両方のフォトセ
ンサが同時に遮光されたとき、それを検出して位置決め
を行なう装置もある。しかし、この場合には、ビン２４
および２６を常に接触させながらウェハ２１を回転する
必要があるため、ウェハ２１に強い外力が加わることと
なる。従って、つ１ハを破罰しやすく、また高速にウェ
ハを回転することができないため位置決めに時間がかか
るという欠点があった。

［発明の目的］ 本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、ノツチを備えた
ウェハ等の円板状物体においてノツチ部での位置決めを
正しく行なうことができ、その際、ウェハに加わる外力
を最小に抑えてウェハを破損することがなく、さらに高
速に位置決めを行４ｒうことが可能な円板物体の位置決
め装置を促ｕ（することを目的とする。ざらに、ノツチ
とオリフラの両者を備えたウェハ等の円板状物体の位置
決めにおいては、ノツチとオリフラの両者を正確に区別
して、ノツチ部での位置決めを行なうことができる円板
物体の位置決め装置を提供することを目的とする。

［実施例の説明］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る位置決め装置の外観
を示す。同図において、１はウェハ、２はウェハ駆動ロ
ーラ、４はウェハ１を載置するテーブルである。テーブ
ル４はウェハ１を浮上させるためのエアベアリング機構
を持っており、さらに傾斜させることができる。５は全
体を保持する基台、６および７はウェハ１の最終位置決
め用押しつ【ノローラである。この押しつけローラ６お
よび７は基台５に装備されており、押しっけ時は内側に
、その他のときは外側へ移動可能である。押しつけロー
ラ７の上部には「ウェハ回転ローラ８が取付Ｇノである
。このウェハ回転ローラ８は、テーブル４を傾斜させた
場合にウェハ駆動ローラ２とともにウェハ１を保持する
。９はノツチセンナユニットであり、微小切欠きが位置
ずべき所定箇所に配コされている。

第２図は、上記実施例の装置の要部の平面図および側面
図を示ず。ここで、第２図ａはテーブル４を傾斜ざＩて
ノツチを検出している状態における平面図、第２図すお
よび第２図Ｃはともに第２図ａの状態にお番ノる側面図
である。特に、第２図すはノツチセンサユニット９の部
分を詳しく示し、第２図Ｃはウェハ駆動ローラ２の部分
を詳しく示す。また、第２図ｄ　Ｊ−３よび第２図ｅは
、それぞれ、ノツチの検出が終了しテーブル４を水平に
して機械的な位置決めを行なう状態における平面図およ
び側面図を承り。

第２図にＪ３いて、１０は照明光源、１１は押しつ【ノ
ピン、１２は集光レンズ、１０１は光電索子である。

これらの部分はすべてノッチレンサユニツ１〜９に取付
けてあり、ノツチの検出時Ｊ′３よび機械的な位置決め
のための押しつけ時は内側へ、その他の場合は外側へと
移動可能である。

照明光源１０はウェハ１の端部（外周部）を下部より照
明するためのものであり、光電索子１０１はこれと対向
する上部に設けられている。この照明光源１０より出た
光は集光レンズ１２により集光される。この場合、ウェ
ハ端部における遮光の変化を光電索子１０１において正
確に検出するため、光はウェハ面上にて長手方向がウェ
ハの半径方向となるような長方形に集光される。光°電
索子１０１　ｉ１３よび集光された光の長手方向の寸法
はウェハの外径バラツキＪ３よびノツチ、オリフラによ
る遮光の変化を充分に満足する寸法になっている。

第２図Ｃにおいて、１１４はパルスジェネレータ、１１
５はウェハ１を回転するための駆ｉ１’７１装置を構成
づるモータである。このモータ１１５の回転軸には歯車
１４が取付けられてＪ３す、ウェハ駆動ローラ２に取付
けられた歯車１５と噛合している。ずなわら、モータ１
１５を駆動することにより、ウェハ駆動ローラ２を回す
ことができる。同時に歯車１５はパルスジェネレータ１
１４に取付けられた歯４１１６と噛合している。これら
の歯車１５および１６とパルスジェネレータ１１４は、
例えばウェハ駆動ローラ２が１回転すると、パルスジェ
ネレータ１１４が６００個のパルスを発生するというよ
うに適当に選択されている。従って、パルスジェネレー
タ１１４のパルスをカウントすることによりウェハ駆動
ローラ２の回転ｍ　ｔなりらウェハの回転量を検出する
ことができる。

第３図は、本実施例の装置の制御系の構成を示すブロッ
ク図である。同図により、ウェハを回転しノツチを光電
検出する際の制御系の各部の機能を説明する。

まず、光電素子１０１より出力される光電流をプリアン
プ１０２により増幅する。これにより、光電索子１０１
で検出した光間の変化は電圧の変化に変換して出力され
る。この信号をピーク値検出回路１０４に入力し、信号
の最大値を検出する。次に、レベルシフタ１２２はこの
最大可信号を所定の値ｔごけレベルシフトし、その結果
を」ンパレータ１０３の一端へ入力する。コンパレータ
１０３の６う一端には、プリアンプ１０２の出力信号が
直接入力されており、両者の大小に応じた信号出力がコ
ンパレータ１０３より１！７られる。レベルシフタ１２
２のレベルシフト澁については後述する。

モータ１１５はウェハ駆動ローラ２を回転する動力とな
るものであり、スイッチ１１７によりモータ１１５の回
転の向きと速度すなわちウェハの回転速度を高速あるい
は低速逆回転の２段階に切換えることができる。モータ
１１５の回転はパルスジェネレータ１１４に伝えられ、
パルスジェネレータ１１４はウェハの回転に応じたパル
スを出力する。

カウンタ１０５はノツチを検出するために使用されるカ
ウンタである。アンドグー１〜１２１の作用により、コ
ンパレータ１０３の出力が“１」″レベルの時のみ、パ
ルスジェネレータ１１４の出力パルスがカウンタ１０５
に入力され計数が行なわれる。コンパレータ１０６は、
この計数値と設定器１０７に予め設定されている上限値
および下限値とをそれぞれ比較し、計数値がその上限値
と下限値の範囲内ならば計数を行なった時点に検知して
いたウェハ端部にノツチが存在していたことを示づ検出
信号を出力する。

アップダウンカウンタ１０８はノツチの中心位間を求め
るために使用されるカウンタである。このアップダウン
カウンタ１０８へ入ノｊされるパルスは、カウンタ１０
５に入力されるパルスと同一のものであるが、スイッチ
１１０を切換えることにより、直接入力と１／２に分周
されたものとのいずれか一方を選択できる。また、スイ
ッチ１１０の切換信号は同時にアップダウンカウンタ１
０８のアップダウン切換も行なっている。すなわち、カ
ウントアツプ時は１／２分周器を通したものをπ１数し
、カラン］・ダウン時は直接計数を行なう。これは、後
述するようにノツチの中心に位置決めするためである。

アップダウンカウンタ１０８からは、カウントダウン時
、その値が零となったときにキャリー信号が出力される
。

カウンタ１１１は、ウェハが１回転したことを検知する
ためのものである。カウンタ１１１は、パルスジェネレ
ータ１１４の出力パルスを計数する。設定器１１３には
、予めウェハが１回転した揚台にパルスジェネレータ１
１４が出力するパルス数よりも若干大きい値を設定して
おく。コンパレータ１１２は、このカウンタ１１１の値
と設定器１１３の設定値とを比較し、カウンタ１１１の
値の方が大きいとき１回転したことを示す検知信号を出
力する。

シーケンサ１２０は上記のカウンタ、モータ等の制御を
すべて行なう。

以上のような構成において、第１図〜第３図、第４図の
フローチャートおよび第５図のタイムチレートを参照し
ながら、ウェハを位置決めするまでの全体の動作につい
て説明する。なお、第５図ａ−ｇは、それぞれ第３図の
ブロック図のａ−ｇの位置における電圧変化を示すタイ
ムチャートである。以下、これらの信号を、それぞれ、
信号ａ、信号ｂ、・・・・・・、信号Ｑと呼ぶ。また、
第５図ａ〜Ｑのタイムチャートはすべて、時間を横軸と
している。この横軸は、ウェハが一定ｙＡ位で回転して
いる間においては、ウェハの回転方向の位置を示す軸と
みなすこともできる。

まず、テーブル４を斜め位置にセットし、エアベアリン
グ機構によりエアフローを行なう。ノツチセンナユニッ
ト９、押しつけローラ６および７は最も内側となる位置
にセットしておく。この状態でウェハ１が搬入されテー
ブル４上に載置されると、エアベアリング効果によりＣ
ウェハ１は滑り、ウェハ回転ローラ８とウェハ駆動ロー
ラ２の両者に当って停止する（ステップ８１）。

次に、ピーク値検出回路１０４、カウンタ１０５および
アップダウンカウンタ１１１の内容を零にクリアし、ス
イッチ１１γを高圧ＶＨ側にしてウェハ１の高速回転を
行なう。このときウェハ１とウェハ駆動ローラ２の間の
スリップを防止するため、モータ１１５の回転は急加速
や急減速をしないようにする。すなわち、モータ１１５
に対する印加電圧は徐々に昇圧し一定の電圧にちってい
く。Ｌ−タ１１５の回転を止めるときも同様である。第
５図０は、このようななだらかな加減速駆動を行なうた
めにモータ１１５に与える電圧を示している。

このようにウェハ１を回転すると、その外周部のノツチ
およびオリフラにより、照明光源１０から照光される光
の遮光量は変化する。その光量変化を光電素子１０１に
より電気信号の変化に変換する。

第５図ａは、この電気信号をプリアンプ１０２により増
幅した後の信号ａを示す。同図ａにおいて、急激なピー
クはノツチ部分を示し、なだらかなビ一りはオリフラ部
分を示している。この信号ａはピーク値検出回路１０４
により変化量のａ天領（ピーク値）が検出される（ステ
ップ８２）。

ウェハの回転量に応じたパルスジェネレータ１１４から
の出力パルスは、カウンタ１１１に入力し３１数する。

コンパレータ１１２は、このカウンタ１１１の計数１直
と設定器１１３に設定されている値とを比較する。前述
したように、設定器１１３の設定値としては、ウェハが
１回転したときにパルスジェネレータ１１４から出力さ
れるパルス数に若干のパルス数を加えた値を、予め設定
しておく。従って、ウェハが１回転以上すると、コンパ
レータ１１２より検知信号が出力され、これによりシー
ケンサ１２０はウェハが１回転以上したことを検知する
（ステップ８３）。それと同時にシーケンサ１２０はカ
ークンタ１１１を再びクリアする。

この時点でシーケンサ１２０はピーク値検出回路１０４
の動作を停止し、ピーク値をホールドする。

第５図すは、ピーク値検出回路１０４の出力信号を示し
ている。このピーク値は、レベルシフタ１２２に人力さ
れ、あるレベルだけシフトダウンされる。

第５図Ｃのにおいて実線で示した信号が、レベルシフト
された信＠Ｃを示している。このピーク値をレベルシフ
トした値が、以後、スライスレベルとしてノツチ検出に
用いられる（ステップ８４）。

このノツチ検出の際には、後述するように、まず光電素
子１０１の出力とスライスレベルどを比較してその大小
関係を１９、光電素子１０１の出力を２値化づる。この
２（ＩｔＩ化の結果のパルスよりノツチＪ３よびオリフ
ラを検出する。従って、スライスレベルは、ウェハの外
径バラツキにかかわらず、２（白化により生成したパル
スによりノツチやオリフラ８］；分の区別が可能となる
ような値である必要があり、レベルシフト量もそれに基
づき設定する。

なお、ステップＳ３において、未だウェハが１回転して
いないと判別した場合は、再びステップ＄２に戻り１回
転するまで、ビーク飴の検出をづる。

さらに、ウェハの回転は続いており、上述のスライスレ
ベル（信ＱＣ）と光電素子１０１からの信号ａ（第５図
Ｃの点線８１５分）とをコンパレータ１０３により比較
する。このとき、ノツチやオリフラにより光電索子１０
１の出力レベルが増大し、スライスレベルを越えた間、
コンパレータ１０３は”　）−１”レベルを出力する。

第５図ｄは、このときのコンパレータ１０３の出力を示
す。この出力信号ｄはアンドゲート１２１に入力し、パ
ルスジェネレータ１１４からの出力バルスがカウンタ１
０５およびアツブダ「クンカウンタ１０８に加えられる
のを制御する。すなわち、ノツチやオリフラが光電素子
１０１の下を通過している間のみ、コンパレータ１０３
の出力は°’　ｌ−１”レベルとなりアンドゲート１２
１がＩ；ｉｌ　＜ため、カウンタ１０５ｊ３よびアップ
ダウンカウンタ１０８が計数される。第５図ｅは、カウ
ンタ１０５の入力信号を示す。

このとぎ、スイッチ１１０は１／２分周５１０９側にな
っており、アップダウンカウンタ１０８はカウントアツ
プ可能となっている。従って、パルスジェネレータ１１
４から２パルス出力されるとアップダウンカウンタ１０
８の内容は１カウントアツプする。第５図ｆは、このと
きのアップダウンカウンタ１０８への入力を示す。信号
ｅのパルス部分が信号ｒでは半分のカラン１〜数となっ
ている。

また、コンパレータ１０６は、カウンタ１０５の内容と
予め設定Ｊ１０７に設定された上限値Ｊ３よび下限値と
をそれぞれ比較する。この上限値はノツチが光電索子１
０１の下を通過したときにカウンタ１０５に入力される
パルス数に所定値を加えた値であり、下限値は同様に上
記のパルス数から所定値を減じた値である。

ノツチまたはオリフラが光電索子１０１の下を通過した
後にアンドゲート１２１が閉じられるが、その際、カウ
ンタ１０５の内容が設定器１０７に予め設定された上記
の上限値および下限値の間に入っていればノツチと判断
される。「ノツチである」ことを示すコンパレータ１０
６からの信号はシーケンサ１２０に入力し、シーケンサ
１２０はこれによりノツチを検出する（ステップＳ５）
。もし、ノツチが検出される前にコンパレータ１１２よ
り１回転の検知信号が出力された場合は、ウェハが１回
転したにもかかわらずノツチがみつからなかったことを
示し、この場合は再びステップＳ２より繰返す。

なお、このとき、既に設定されているスライスレベルは
変更しないことに１れば、ステップ＄２〜Ｓ４のスライ
スレベルを決定する処理を再度行なう必要（よない。従
って、この場合はステップＳ２に分岐するのでなく、ス
テップＳ５のノツチ検出を繰返す処理を行なう。

ステップＳ５でノツチが検出されると、シーケン奢す１
２０は第５図９に示すようにモータ１１５を減速停止し
、ウェハの回転を停止する。次にスイッチ１１７を低圧
Ｖ　＋−に切換えて、［−タ１１５を低速逆転する。１
ｊ′なわち、モータ１１５には今までと逆向きの電圧を
かける（第５図ｑ）。これにより、光電索子１０１は先
程下を通過したノツチの後縁を検知する。このとぎ、ス
イッチ１１０はパルスジェネレータ１１４の出力パルス
が直接アップダウンカウンタ１０８に入力されるとなっ
ており、アップダウンカウンタ１０８はダウンカｆクン
１〜可能となフている。ここで、アップダウンカウンタ
１０８には、ノツチが通過するとぎに発生したパルス数
の１／２の値が入っている。従って、ノツチの復縁を検
知した時点より、アップダウンカウンタ１０８−　　　
の内容をパルスジ１ネレータの出力で減算してゆき、ア
ップダウンカウンタ１０８の内容が零となりキ１？り一
信号が出力された時点で、モータ１１５を停止する。こ
れにより、ノツチの中心を光電素子１０１の真下、すな
わら押しつけビン１１の位置にすることができる（ステ
ップＳ６）。

以上の手順でウェハのノツチの位置決めは行なうが、さ
らに高粘度にθ位置決めおよびセンタリングを行なうた
め、機械的に押しつけ動作を行なう。

まず、上述のようなノツチの位置決めの（ν、ウェハ１
をテーブル４に吸着し固定する。次にノツチセン１ナユ
ニツト９、押しつけローラ６および７を外側へ動かす。

これは、テーブル４を水平にするどさの妨げにはならな
いようにするためである。

そうしてＪ３いて、テーブル４を水平にづる。次に、押
しつけビン１１をまずノツチ部に挿入する。挿入完了後
、ウェハを再びエア７０−によりテーブル４上でエアベ
アリングさせる。そして、押しつけローラ６および７を
ウニ［ハに１申しつけることにより、θ位置決めおよび
中心位置決めを行なう。第２図ｄおよびｅは、以上のよ
うな押しつけ動作の様子を示している。

次に、ウェハ１をテーブル４に吸着し固定した後、押し
つけビン１１、押しつけローラ６および７を外側へ動か
し開放する（ステップＳ７）。

以上により、本装置での位置決め動作は完了し、ウェハ
は露光装置、検査装置等のウェハ設置台へ位置決めされ
た状態のまま搬出される。（ステップ８８）。

本実施例によれば、ウェハを１回転した際の光電素子の
出力の最大値からスライスレベルを決定し、光電素子１
０１の出力をこのスライスレベルと比較して２値化して
いる。従って、ノツチとオリフラの両者を備えたウェハ
であっても、ウェハの外径バラツキにかかわらず、安定
してノツチおよびオリフラを検出することができる。

また、ノツチかオリフラかの判別は、ウェハを駆動する
ウェハ駆動ローラ２と連動して回転するパルスジェネレ
ータ１１４からの出力パルスにより、２圃化された結果
のパルスの巾を計数し、その計数値と予め設定された設
定値とを比較することにより行なっている。この計数値
は、ウェハの回転速度とは無関係に常に一定値となるた
め、正確にノツチのみを検出することが可能である。

さらに、上記の設定値をオリフラのパルス１１Ｊの計数
値と等しくなるように設定するだけで、ノツチではなく
オリフラが検出できるという効果ムある。

ウェハはスライスレベル検出時およびノツチ検出時まで
は高速で回転される。そして、ノツチが検出されると減
速停止し、次に低速で逆転し、ノツチの後縁が検出され
た時点から、予め求められた値だ【ブバルスエンコーダ
のパルス数を計数し停止してノツチの中心の位置決めを
行なっている。

従って、比較的短時間で位置決めを行なうことができる
し、高速回転から減速停止するときにウェハとウェハ駆
動ローラ間でスリップが起っても影響が生じない。

さらに、本実施例では、ウェハを照光している照明光源
１０より出た光は、集光レンズ１２により、ウェハ面上
にて長手方向がウェハの半径方向となるような長方形に
集光されるため、この光を観測することでウェハの端部
の形状の変化を正確に１ｑることができ、正しく位置決
めを行なうことができる。

なお、このような集光レンズとして、シリンドリカルレ
ンズ等を用いれば、照明光源１０から出た光を簡単に長
方形に集光することができる。第３図は、集光レンズと
してシリンドリカルレンズを用いた位置決め装置のウェ
ハ端部検出系の斜視図である。

本実施例では、全体のシーケンス制御にシーケンサ１２
０を用いており、さらにウェハ１回転の検出、ノツチ判
定およびノツチ中心検出等にそれぞれハードウェアによ
るカウンタやコンパレータ、設定鼎を設けているが、こ
れに限ることなく、マイクロコンピュータを使用するこ
ともできる。ザなわら、シーケンス制御、ウェハ１回転
の検出、ノツチ判定およびノツチ中心検出等はマイクロ
コンピュータのソフトウェアとマイクロコンピュータに
接続されたメモリ上のソフト的なカウンタにより行なう
こともできる。

また、本実施例においては、ウェハの端部の形状の変化
を検出する光電素子１０１　としてフォトディアクタを
使用しているが、これはＣＣＤのようなフＡドアレイで
も良いし、ＩＴのような１次元以上の光電素子に置き代
えても良い。さらに、［−夕としてパルスモータを使用
することもできる。このような場合、パルスエンコーダ
１１４は不要となる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、ウニ［ハ等の円
板物体の端部の形状の変化を検出する光電素ｒの出力を
所定のスライスレベルで２　ｆ＋ＣＪ化し、それにより
得られたパルスの巾を所定（直と比較することによりノ
ツチ部分に対応するパルスであるか否かを判定し、微小
切欠きに対応するパルスを検出したとき円板物体の回転
を逆転して、そのパルスの中心に対応する白板上の位置
を所定箇所に合せて円板物体を停止するようにしている
ので、ノツチ部にお番〕る位置決めを正しく行なうこと
ができる。また、外力を加えながら円板物体を回転させ
ることもないので、円板物体を破損することがなく、ノ
ツチを検出するまでは円板物体を高速ぐ回転させること
ができるので、比較的短時間で位置決めを行なうことが
できる。ざらに、ノツチとオリフラの両者を備えた円板
物体の位置決めにおいては、ノツチとオリフラの両者を
正確に区別してノツチ部での位置決めを行なうことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の〜実施例に係る位置決め装置の外観
図、 第２図は、上記実施例の装置の平面図および側面図、 第３図は、上記実施例の装置の制御系を示すブロック図
、 第４図は、上記実施例の装置の動作のシーケンスを示ず
フローチャート、 第５図は、第３図の各部の信号の波形をポリタイムチＶ
−ト図、 第６図は、集光レンズとし【シリンドリカルレンズを用
いた位置決め装置のウェハ端部検出系の斜視図、 第７図は、ノツチおよびオリフラを備えたウェハの平面
図、 第８図は、ビンをウェハに押しつけながら位置決めを行
なう様子を示す平面図である。 ９：ノップレンサユニツ１〜．１０：照明光源、１２：
集光レンズ、１０１：光電素子、１０２：ブリアンプ、
１０３，１０６，１１２　：コンパレータ、１０４：ビ
ーク値検出回路、 １０５．１０８，１１１　：カウンタ、１０７．１１３
　：設定器、１１０．１１７　：スイッチ、　　　１０
９：１／２分周器、１１４：パルスジェネレータ、１１
５：モータ、１１６：ドライバ、　　　　　１２０：シ
ークンサ、１２２ニレベルシフタ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、周囲の一部に微小切欠きを設けた円板物体を回転す
   る手段と、 該微小切欠きが位置すべき所定箇所に配置され、該円板
   物体を回転した際に該円板物体の端部の形状の変化を検
   出する一対の照明光源および光電素子と、 該円板物体の回転時の該光電素子の出力を所定のスライ
   スレベルで２値化する手段と、 該２値化手段により得られたパルスの巾を所定値と比較
   することにより該微小切欠きに対応するパルスであるか
   否かを判定する手段と、 該判定手段により該微小切欠きに対応するパルスを検出
   したとき該円板物体の回転を逆転し、該パルスの中心に
   対応する円板物体上の位置を上記所定箇所に合せて該円
   板物体を停止させる回転制御手段と を具備することを特徴とする円板物体の位置決め装置。 ２、前記回転制御手段は、前記判定手段が前記微小切欠
   きに対応するパルスを検出するまでは前記円板物体を高
   速に回転し、該検出の後の逆転においては低速に回転す
   るものである特許請求の範囲第１項記載の円板物体の位
   置決め装置。 ３、前記回転制御手段は、前記円板物体の逆転により前
   記微小切欠きの正回転時における後縁部を再度検出し、
   その位置からさらに前記パルスの巾の半分に対応する量
   だけ前記円板物体を逆回転して停止するものである特許
   請求の範囲第２項記載の円板物体の位置決め装置。 ４、前記２値化手段は、前記円板物体が少なくとも１回
   転した際の前記光電素子の出力のピーク値を求め、該ピ
   ーク値から自動的に決定したスライスレベルを基に２値
   化を行なうものである特許請求の範囲第３項記載の円板
   物体の位置決め装置。