JPS63159708A - 円筒形状物の軸中心検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、円筒形状物内に特にＩＣを円筒形状の炉内
に挿入するような物を自動的に挿入するための装置にお
いて、挿入アームと円筒形状物の軸中心を合わせる為に
、挿入アームに対する円筒形状物の軸中心を検出する分
野に関する。

〔発明の概要〕

この発明は、円筒形状物内に物を自動的に挿入するため
の装置において、挿入アームの先端に検出部を設け、こ
れを円筒形状物内に挿入する事により、円筒形状物の軸
中心を容易に検出するものである。

〔従来の技術〕

例えば、少なくとも２個の熱処理の特に円筒状の熱処理
室を有した炉設備に、１台の挿入装置が半導体ウェハー
を自動的に挿入する装置において、挿入装置と各熱処理
室の軸合わせは従来、挿入装置単体を動作させ、左右及
び上下の変位を計測し、これに対する各熱処理室の位置
を計測することによって行われていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、従来の軸中心検出方法においては特に円筒形状
物の内部が目に見えない場合、機械的位置を計測し軸中
心を合わせても、実際に円筒形状物内に挿入した場合、
どのような位置関係となっているかわからなかった。さ
らに半導休炉の円筒形態処理室等の場合、形状も非常に
大きくこれを精度よく、測定することは困難であった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するため、この発明は自動挿入装置の
円筒形状物の軸方向に駆動するアームの先端に、近接セ
ンサと近接センサを回転駆動する回転駆動モータを取り
付け、円筒形状物内にアームを挿入駆動しながら、近接
センサを回転し、その時の近接センサの出力信号を読み
込む事により、アームの軸に対する円筒形状物の相対位
置関係を計測し、この測定値より円筒形状物の軸中心位
置を容易に且つ高精度に検出する事を可能とした。

〔作用〕

上記のような構成にすれば、円筒形状物が複数並んでい
るような場合においても、同様の操作によって、短時間
に、且つ高精度にしかも極めて容易に軸中心を検出する
事が可能となる。

〔実施例〕

以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において、近接センサ１は回転駆動モータ２によ
って回転し、１ｂは前記近接センサ１が位置１ａから９
０°回転したことを示し、１ｃ、ｌｄはさらに９０°ず
つ回転したことを示す。

前記回転駆動モータ２は、アーム３の先端に取り付けら
れ、前記アーム３は駆動モータ４と伝達手段によって、
前記アーム３の軸方向に駆動される構成となっている。

次に動作について説明する。アーム３は、駆動モータ４
によって、軸方向に移動し、前記アーム３の先端に取り
付けられた近接センサ１及び回転駆動モータ３を図示し
ない円筒形状物の内部に挿入する。任意の一定距離挿入
後、回転駆動モータ２によって、近接センサ１を位置１
ａから位置１ｂまで９０°回転し、その時の前記近接セ
ンサの出力信号を測定する。さらに１ｂからｌｃ、ｌｃ
からＩｄ、ｌｄから１ａと９０°回転するごとに前記近
接センサの出力信号を測定し、１回転（３６００）後、
さらに一定距離アームを挿入し、今度は前回と逆方向に
１　ａ−＋１　ｄ−＋１　ｃ−ｂｌ　ｂ−＋１　ａと９
０°ずつ回転しながら同様に前記近接センサの出力１８
号を測定し、１回転させこれを繰り返す。

第２図は、アーム３を同筒形状物５の内部へ挿入した図
であり、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄはそれぞれ、アーム３
を任意の定ピツチずつ挿入し、停止させた後、近接セン
サを回転し、近接センサと円筒形状物内壁との距離を測
定した事を示す。

第３図は、上記第２図の測定したデータをグラフ化した
ものであるｅ　Ｉａ’は、前記近接センサ１のｌａの位
置での測定データの変位を、Ｉｂ’は前記近接センサ１
の１ｂの位置での測定データの変位を、同様に１ｃ１．
１ｄｌはそれぞれの位置での検出データの変位を表し、
この場合、前記アーム３が円筒形状物内に挿入されるこ
とにより、１ａ′は近接センサと円筒形状物５との距離
かはなれＩＣ′は逆に距離が接近し、ｌｂ’、Ｉｄ’は
ほとんど変化しないことを表し、これは円筒形状物５が
アーム３の軸に対して上下方向に傾き、具体的には、円
筒形状物５の位１６Ｅ側が位置６ａ側に比較し持ち上が
り、その傾きはｊａｎ”Δｌ／ｌで表される事を示す０
以上の結果より、特に円筒形状物の内部が見えないよう
な場合においても、゛容易且つ高精度にアーム軸に対す
る円筒形状物の軸中心が検出可能となり、図示しない円
筒形状物５の位置調整手段により、円筒形状物の傾き補
正し、軸合わせが可能となる。

第４図は、近接センサ１と回転駆動モータ２からなる検
出部に、実際のアーム上の積載物に相当する重量（実際
には前記重量から検出部の重量をひいた残りの重量）に
等しい重り７を付加し、実際の積載物の重量によって、
円筒形状内部でのアーム３のたわみ量を検出することを
示す。

さらに４、この装置を使用し連続的に近接センサ１を回
転しながら出力信号を測定することにより、円筒形状物
内部の凹凸等の状況が検出可能であり、又、半導体製造
設備のＣＶＤ炉等のチューブ内壁に付着、堆積した酸化
膜厚みの検出にも有効である。又、円筒形状物が非金属
の場合においても、近接センサを静電容量方式等の採用
により容易に実現可能である。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したように、簡単な構成の検出部を
円筒形状物に挿入することにより、円筒形状物の軸中心
を容易に且つ高精度に測定出来、アームと円筒形状物の
軸合わせを容易に行わせる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる円筒形状物の軸中心検出装置
構成斜視図、第２図は円筒形状物に検出部を挿入した斜
視図であり、第３図は第２図の挿入時の出力信号をグラ
フ化した図、第４図は検出部に実際の積載物に相当する
重さの重りを付加したところの斜視図をそれぞれ示す。 １・・・近接センサ ２・・・回転駆動モータ ３・・・アーム ４・・・アーム駆動モータ ５・・・円筒形状物 凸 軸中心、検出袋！＃＋梃図　　　　　　　　　ＩＣ第１
図 ｄ 円筒形Ｊ丈＠１ｕ史出有１４◆入しに４片視図第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 近接センサと前記近接センサを回転駆動する回転駆動モ
   ータと、前記近接センサと回転駆動モータからなる検出
   部を先端に取り付けたアームと、前記アームを駆動する
   駆動モータからなり、前記検出部を円筒形状物内に挿入
   し、前記近接センサ回転軸中心に対する前記円筒形状物
   の軸を検出する事を特徴とした円筒形状物の軸中心検出
   装置。