JPH08313247A - 真円度測定装置 - Google Patents

真円度測定装置

Info

Publication number
JPH08313247A
JPH08313247A JP7148122A JP14812295A JPH08313247A JP H08313247 A JPH08313247 A JP H08313247A JP 7148122 A JP7148122 A JP 7148122A JP 14812295 A JP14812295 A JP 14812295A JP H08313247 A JPH08313247 A JP H08313247A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
measured
detection
detection head
rotary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7148122A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2701141B2 (ja
Inventor
Takao Ishidoya
孝雄 石戸谷
Yoshiyuki Omori
義幸 大森
Tsukasa Kojima
司 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP7148122A priority Critical patent/JP2701141B2/ja
Priority to US08/650,795 priority patent/US5694339A/en
Priority to EP96303629A priority patent/EP0744678B1/en
Priority to DE69613899T priority patent/DE69613899T2/de
Publication of JPH08313247A publication Critical patent/JPH08313247A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2701141B2 publication Critical patent/JP2701141B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/401—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B5/201—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/37—Measurements
    • G05B2219/37339—Eccentricity, cylindricity, circularity
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/37—Measurements
    • G05B2219/37377—Roundness of workpiece
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49335—Part, workpiece, inner, internal outer, external machining

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検出ヘッドの検出方向を切り替えることな
く、被測定回転物の外側と内側を連続して自動測定可能
として、測定効率の向上を図るとともに、手作業の介在
を減らすことにより誤差の発生を防止した真円度測定装
置を提供する。 【構成】 真円度測定装置の検出ヘッドはＣＰＵにより
２次元方向駆動制御される。予めプログラムされた経路
に沿って円筒形状のワークの外側と内側を検出ヘッドの
検出方向を切り替えることなく連続して自動で測定す
る。この内側の測定データに対して極性を反転するとと
もに角度位相を１８０度ずらすステップをＣＰＵに備え
ることで、外側測定データと内側測定データに対して同
時に真円度、同軸度、肉厚検査等の評価が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真円度測定装置に係
り、特に検出ヘッドの検出方向を切り替えることなく被
測定物の外側と内側を連続して自動で測定評価する技術
に関する。
【０００２】
【従来の技術】円柱、円筒等の被測定回転物について、
真円度、同心度あるいは同軸度などの真円度に関する各
種データを採取するため、真円度測定装置が周知であ
る。該真円度測定装置においては、回転テーブル上に被
測定回転物を載置し、被測定回転物の表面形状を検出ヘ
ッド等で検出しつつ、回転テーブルを回転させること
で、被測定回転物の表面形状データを集積し、真円度を
測定、算出している。前記検出ヘッドに取り付けられて
いる先端に球状の測定子を備えたスタイラスは、検出ヘ
ッド本体に対してばね等によりある一方向へ付勢されて
いる。測定時にはこの付勢方向と回転テーブルの半径方
向を一致させるように配置する。被測定物がこの測定子
に接触して前記ばね等により不勢されている力以上の力
が加わると、スタイラスを変位させることができる。通
常は被測定回転物の平均的な半径位置において、前記検
出ヘッド内の変位検出がその変位可能範囲のほぼ中心に
なるようにして、さらにこの位置での検出ヘッドの読み
取り値を０とするように設定することが好ましい。この
状態において変位量を検出ヘッド本体内の差動トランス
等により検出し、さらに回転テーブルの回転角度をロー
タリーエンコーダにより検出し、この２つの検出値をペ
アにして検出データとする。被測定回転物を１回転させ
る間に前記検出データを収集することで、全周の形状を
測定することができる。さらにこの後、収集した検出デ
ータをもとに最小自乗法、最小領域法等により厳密な平
均円を求め、これをもとに真円度等を計算することがで
きる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、被測定回転
物によっては外側の面と内側の面を一度に測定評価する
ことが必要な場合がある。通常、外側の測定と内側の測
定では、検出ヘッドの検出方向を１８０度回転させなく
てはならない。この作業を自動化した場合は、コストア
ップや検出精度の低下が予想される。そのため現在も自
動化はされず、いまだ作業者の手作業により行われてい
る。検出ヘッドをＲ軸方向、すなわち回転テーブルの半
径方向へ移動させたり、Ｚ軸方向、すなわち回転テーブ
ルの中心軸と平行な方向へ移動させるための、モータ制
御による自動化技術は確立されているが、被測定回転物
の外側と内側の測定を連続して行う場合は、依然として
自動測定を一旦中断して作業者により検出ヘッドの検出
方向を１８０度回転させる作業が行われている。この作
業により真円度測定の自動化が妨げられるばかりか、作
業者が検出ヘッドを触ることによる検出ヘッドや検出ヘ
ッドに取り付けられたスタイラスの温度変化が検出誤差
を発生させたり、また、検出ヘッドの取り付け位置ずれ
による測定の再現性が悪化する等の問題がある。もし
も、この検出ヘッドの検出方向を１８０度回転させる作
業を行わずに被測定回転物の外側と内側の形状を測定し
た場合、内側を測定した測定データは極性が反転してい
て、かつ角度位相は１８０度ずれてしまう。そのため被
測定回転物の外側と内側の形状を自動で連続的に測定す
ることはできなかった。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は検出ヘッドの検出方向を切り替
えることなく、被測定回転物の外側と内側を連続して自
動測定可能として、測定効率の向上を図るとともに、手
作業の介在を減らすことにより誤差の発生を防止した真
円度測定装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、被測定回転物を載置する回転テーブル
と、この回転テーブルを回転させる回転駆動手段と、こ
の回転テーブルの回転角度信号を検出するロータリーエ
ンコーダと、この回転角度信号が入力されるとともに１
８０度ずらして補正角度信号を出力する角度補正手段
と、前記被測定回転物の表面形状を検出して変位検出信
号を出力する検出ヘッドと、この変位検出信号が入力さ
れるとともに極性を反転した反転変位検出信号を出力す
る極性反転手段と、を備え、前記検出ヘッドの検出方向
を変更することなく前記被測定回転物の外側と内側を連
続して測定評価することを特徴とする。
【０００６】また、本発明は前記手段に加えて、前記検
出ヘッドを前記回転テーブルの半径方向に移動させるＲ
軸方向駆動手段と、前記検出ヘッドを前記回転テーブル
の回転中心軸方向と平行な方向へ移動させるＺ軸方向駆
動手段と、前記検出ヘッドからのアナログ信号をデジタ
ル信号に変換するＡＤ変換器と、前記回転駆動手段とＲ
軸方向駆動手段とＺ軸方向駆動手段とを制御するととも
に前記ロータリーエンコーダと前記ＡＤ変換器からの信
号が入力されるＣＰＵと、このＣＰＵにつながる記憶回
路と、この記憶回路に前記デジタル信号の極性を反転さ
せるステップと、前記記憶回路に前記ロータリーエンコ
ーダの検出した回転角度を１８０度ずらすステップとを
備え、前記検出ヘッドの検出方向を変更することなく前
記被測定物の外側と内側を連続して測定評価することも
可能である。
【０００７】
【作用】本発明は、検出ヘッドからの検出信号を極性反
転、位相角度を１８０度ずらすことにより、外側測定か
ら内側測定へ測定を連続して行うことを可能とし、従来
行っていた検出ヘッドの検出方向を１８０度回転させる
手作業を不要とした。検出信号の極性反転と位相角度の
補正はハードウェアまたはソフトウェアにて実現可能で
あるが、特にソフトウェアにより実現した場合は、低コ
ストで開発が可能である。このため外側測定から内側測
定への測定を連続して自動化可能となり、また、手作業
を排除したため測定精度の悪化を防止することを可能と
した。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を用いた好適な実施例について
図面を用いて説明する。なお、全図中において同一符号
を付したものは同一構成要素を表わしている。図１には
本発明に係る真円度測定装置の概観図を示す。また、図
２にはこの真円度測定装置のブロック構成図を示す。基
台１１の上に設けられた回転テーブル１２上に被測定回
転物２４が載置される。ＣＰＵからの駆動指令はモータ
駆動回路３３Ａに入力され、モータ２２を回転させる。
この駆動力はベルト２１Ａおよびプーリーにより回転テ
ーブル１２の回転軸に伝達され、一定速度で回転テーブ
ル１２を回転させる。その回転角度はロータリーエンコ
ーダ２１で逐次検出されデジタル信号の形でＣＰＵ３１
へ入力される。一方、形状の凹凸を測定する検出ヘッド
２０からの変位検出信号は、ＡＤ変換器３５でデジタル
信号に変換され逐次ＣＰＵ３１へ入力される。検出ヘッ
ド２０にはスタイラス２６が取り付けられていて、この
スタイラスは検出ヘッド２０本体に対して常にある一定
方向へばね等により変位されかつ付勢されている。測定
の際にはこのスタイラス先端をワークに接触させ、前記
ばねの付勢力に勝ってスタイラスを変位させ、このスタ
イラスの変位量を検出ヘッド２０本体内部の差動変圧器
等により構成される変位検出器により検出される。通常
この変位検出器の分解能は非常に高い反面測定可能範囲
は±３００μｍと非常に狭くなっている。従ってこの検
出ヘッド２０の位置の調整には、ＣＰＵ３１によりＺ，
Ｒ各軸方向駆動を自動で制御するようにしている。すな
わちＣＰＵ３１からのＺ軸方向の駆動指令はモータ駆動
回路３３Ｂに入力されＺ軸方向駆動装置２９で検出ヘッ
ド２０をＺ軸方向へ移動させ、同様に、ＣＰＵ３１から
のＲ軸方向の駆動指令はモータ駆動回路３３Ｃに入力さ
れＲ軸方向駆動装置２８で検出ヘッド２０をＲ軸方向へ
移動させることが可能となっている。
【０００９】検出ヘッド２０からの変位検出信号は一旦
ＡＤ変換器３５へ入力され、デジタル信号に変換されて
からＣＰＵ３１へ入力される。また、ロータリーエンコ
ーダ２１からの回転角度の検出信号はすでにデジタル信
号となっているので、そのままＣＰＵ３１へ入力され
る。これらのデジタル信号はペアで測定データとなり記
憶回路３９に記憶され、適宜ＣＰＵ３１から呼び出され
て最小自乗法、最小領域法等により真円度計算、同軸度
計算等が行われ、その結果はディスプレイ４０に表示さ
れたり、プリンタ４３に印字記録されたりする。どのよ
うな経路で検出ヘッド２０を移動させるか、測定データ
にどのような幾何計算を施すか等は、キーボード４１か
ら作業者が指示するようになっている。また、必要に応
じて外部への測定データあるいは幾何計算の結果を通信
により出力することも可能である。
【００１０】次に図３を用いて、本発明の真円度測定装
置による被測定回転物に対する外側断面２箇所の測定
と、さらにそれに続いて内側断面１箇所の自動連続測定
について説明する。ただし被測定回転物の中心軸と回転
テーブル１２の中心軸を一致させる作業は自動または手
動によりすでに完了しているものとして説明を始める。
まず、予めキーボード４１から図２に示す移動経路２７
をプログラムしておく。つまり図２に示すＡ，Ｂ，Ｃ点
のおおよその座標値、およびＡ点の測定が終了してから
次のＢ点までの移動経路、およびＢ点からＣ点までの移
動経路、ただし検出ヘッド２０やスタイラス２６が被測
定回転物と干渉しないように十分に被測定回転物から迂
回した移動経路をプログラムしておく。測定開始の指示
をキーボード４１から入力すると、この予めプログラム
された移動経路に沿って検出ヘッド２０およびスタイラ
ス２６を移動させ、被測定回転物上の測定ポイントＡ点
に接触させる。（ステップ５１）接触した後、被測定回
転物の凹凸の範囲が検出ヘッド２０の検出可能範囲に収
まるようにわずかにＲ軸方向に移動して調整される。通
常、検出ヘッド２０の変位検出信号は、変位可能範囲の
中央の値が０であり、中央から右側に変位すればプラ
ス、左側に変位すればマイナス、あるいは中央から右側
に変位すればマイナス、左側に変位すればプラスの変位
検出信号を出力するようになっている。
【００１１】次にモータ２２を回転させながら、検出ヘ
ッド２０とロータリーエンコーダ２１の出力値を同時
に、例えば数百点測定して、測定データＡとして記憶回
路３９に記憶する。（ステップ５２）このとき、予めプ
ログラムされている測定ポイントＡ点におけるＲ，Ｚの
座標も合わせて記憶される。
【００１２】次に予めプログラムしておいた移動経路２
７に沿って検出ヘッド２０およびスタイラス２６を移動
させ、被測定回転物上の測定ポイントＢ点に接触させ
る。（ステップ５３）接触した後、被測定回転物の凹凸
の範囲が検出ヘッド２０の検出可能範囲に収まるように
わずかにＲ軸方向に移動して調整される。
【００１３】次にモータ２２を回転させながら、検出ヘ
ッド２０とロータリーエンコーダ２１の出力値を同時
に、例えば数百点測定して、測定データＢとして記憶回
路３９に記憶する。（ステップ５４）このとき、予めプ
ログラムされている測定ポイントＢ点におけるＲ，Ｚの
座標も合わせて記憶される。
【００１４】次に予めプログラムしておいた移動経路２
７に沿って検出ヘッド２０およびスタイラス２６を移動
させ、被測定回転物上の測定ポイントＣ点に接触させ
る。（ステップ５５）接触した後、被測定回転物の凹凸
の範囲が検出ヘッド２０の検出可能範囲に収まるように
わずかにＲ軸方向に移動して調整される。
【００１５】次にモータ２２を回転させながら、検出ヘ
ッド２０とロータリーエンコーダ２１の出力値を同時
に、例えば数百点測定して、測定データＣとして記憶回
路３９に記憶する。（ステップ５６）このとき、予めプ
ログラムされている測定ポイントＣ点におけるＲ，Ｚの
座標も合わせて記憶される。この測定データＣをプロッ
トアウトすると例えば図４のようになっている。
【００１６】次に測定データＣについて、その極性を反
転させた測定データＣ’を記憶回路３９に記憶する。こ
の測定データＣ’をプロットアウトすると例えば図５の
ようになっている。（ステップ５７）
【００１７】次に測定データＣ’について位相角度を１
８０度シフトした測定データＣ”を計算して記憶回路３
９に記憶する。この測定データＣ”をプロットアウトす
ると例えば図６のようになっている。（ステップ５８）
【００１８】最後に記憶回路３９に記憶されている測定
データＡ，Ｂ，Ｃ”について通常の真円度測定機で行わ
れている、最小自乗法、最小領域法等により真円度、同
軸度等の計算が可能である。また、Ｂ，Ｃ”それぞれの
測定データについて半径をずらして１枚の紙にプロット
して、真円度、同軸度、肉厚の変化等を一目で確認する
ことができる。
【００１９】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明は、この実施例に限られるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変更が可能
である。たとえば、上記実施例では、外側２箇所、内側
１箇所の測定に限って説明したが、これ以外の組み合わ
せにおいても本発明を実施可能である。さらに、円筒形
状の被測定回転物の内側にさらに円筒形状が存在するよ
うな２重構造、あるいはそれ以上の複雑な構造の被測定
回転物の測定においても本発明を実施することが可能で
ある。
【００１３】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
検出ヘッドの検出方向を切り替えたり、検出ヘッドを１
８０度回転させることなく、被測定回転物の外側と内側
を連続して自動測定可能となるので、測定効率の向上が
図れるとともに、手作業の介在を減らすことにより誤差
の発生を未然に防止した真円度測定装置を実現可能であ
る。また、Ｂ，Ｃ”それぞれの測定データについて半径
をずらして１枚の紙にプロットすれば、真円度、同軸
度、あらゆる部位での肉厚の変化等を一目で確認するこ
とができるので、被測定回転物の評価も効率的かつ確実
に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真円度測定装置の概観図である。
【図２】本発明に係る真円度測定装置のブロック構成図
である。
【図３】本発明に係る真円度測定装置の動作手順を示す
フローチャートである。
【図４】本発明に係る真円度測定装置の測定データのプ
ロット例である。
【図５】本発明に係る真円度測定装置の測定データのプ
ロット例である。
【図６】本発明に係る真円度測定装置の測定データのプ
ロット例である。
【符号の説明】
10 真円度測定装置 12 回転テーブル 20 検出ヘッド 21 ロータリーエンコーダ 22 モータ 24 被測定回転物 26 スタイラス 27 移動経路 28 Ｒ軸方向駆動装置 29 Ｚ軸方向駆動装置 31 ＣＰＵ 33A,33B,33C モータ駆動回路 39 記憶回路 40 ディスプレイ 41 キーボード 43 プリンタ 71 平均円

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被測定回転物を載置する回転テーブル
    と、 この回転テーブルを回転させる回転駆動手段と、 この回転テーブルの回転角度信号を検出するロータリー
    エンコーダと、 この回転角度信号が入力されるとともに１８０度ずらし
    て補正角度信号を出力する角度補正手段と、 前記被測定回転物の表面形状を検出して変位検出信号を
    出力する検出ヘッドと、 この変位検出信号が入力されるとともに極性を反転した
    反転変位検出信号を出力する極性反転手段とを備え、 前記検出ヘッドの検出方向を変更することなく前記被測
    定回転物の外側と内側を連続して測定評価することを特
    徴とする真円度測定装置。
  2. 【請求項２】 請求項１において、 前記検出ヘッドを前記回転テーブルの半径方向に移動さ
    せるＲ軸方向駆動手段と、 前記検出ヘッドを前記回転テーブルの回転中心軸方向と
    平行な方向へ移動させるＺ軸方向駆動手段と、 前記検出ヘッドからのアナログ信号をデジタル信号に変
    換するＡＤ変換器と、 前記回転駆動手段とＲ軸方向駆動手段とＺ軸方向駆動手
    段とを制御するとともに前記ロータリーエンコーダと前
    記ＡＤ変換器からの信号が入力されるＣＰＵと、 このＣＰＵにつながる記憶回路と、 この記憶回路に前記デジタル信号の極性を反転させるス
    テップと、 前記記憶回路に前記ロータリーエンコーダの検出した回
    転角度を１８０度ずらすステップとを備え、 前記検出ヘッドの検出方向を変更することなく前記被測
    定物の外側と内側を連続して測定評価することを特徴と
    する真円度測定装置。
JP7148122A 1995-05-23 1995-05-23 真円度測定装置 Expired - Fee Related JP2701141B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7148122A JP2701141B2 (ja) 1995-05-23 1995-05-23 真円度測定装置
US08/650,795 US5694339A (en) 1995-05-23 1996-05-20 Roundness measuring apparatus
EP96303629A EP0744678B1 (en) 1995-05-23 1996-05-21 Roundness measuring apparatus
DE69613899T DE69613899T2 (de) 1995-05-23 1996-05-21 Rundheits-Messvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7148122A JP2701141B2 (ja) 1995-05-23 1995-05-23 真円度測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08313247A true JPH08313247A (ja) 1996-11-29
JP2701141B2 JP2701141B2 (ja) 1998-01-21

Family

ID=15445755

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7148122A Expired - Fee Related JP2701141B2 (ja) 1995-05-23 1995-05-23 真円度測定装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5694339A (ja)
EP (1) EP0744678B1 (ja)
JP (1) JP2701141B2 (ja)
DE (1) DE69613899T2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008157863A (ja) * 2006-12-26 2008-07-10 Nissan Diesel Motor Co Ltd 真円度測定装置及び真円度測定方法
US9486889B2 (en) 2010-03-05 2016-11-08 Mitutoyo Corporation Tolerance detection method and tolerance detection device for shape measuring apparatus
JP2018044813A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 株式会社ミツトヨ 真円度測定機
CN116202468A (zh) * 2023-05-04 2023-06-02 牧铭智能制造(山东)有限公司 一种回转支承调试机构

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9612383D0 (en) * 1995-12-07 1996-08-14 Rank Taylor Hobson Ltd Surface form measurement
US6175813B1 (en) * 1998-07-29 2001-01-16 Kaydon Corporation Circumferential diameter measuring apparatus and method
DE19851954A1 (de) * 1998-11-11 2000-05-18 Mahle Gmbh Messverfahren und -system für Rotationsteile, insbesondere für Kolben von Kolbenmaschinen
US6526364B2 (en) * 2000-01-19 2003-02-25 Mitutoyo Corporation Method and apparatus for measuring roundness
JP2004205288A (ja) * 2002-12-24 2004-07-22 Mori Seiki Co Ltd 計測装置及びこれを備えた精度解析装置
JP4163545B2 (ja) * 2003-04-11 2008-10-08 株式会社ミツトヨ 真円度測定機用基準治具
KR100866727B1 (ko) * 2004-08-06 2008-11-05 호코스 가부시키가이샤 Ｎｃ 공작 기계에서의 진원 가공 방법 및 진원 가공 장치
JP4570437B2 (ja) * 2004-10-20 2010-10-27 株式会社東京精密 表面粗さ／輪郭形状測定装置
US7346999B2 (en) * 2005-01-18 2008-03-25 General Electric Company Methods and system for inspection of fabricated components
JP4705792B2 (ja) * 2005-03-17 2011-06-22 株式会社ミツトヨ 軸間角度補正方法
JP2006300823A (ja) * 2005-04-22 2006-11-02 Tokyo Seimitsu Co Ltd 表面粗さ／輪郭形状測定装置
WO2010001457A1 (ja) * 2008-06-30 2010-01-07 三菱重工業株式会社 回転体の芯ずれ算出方法及び芯ずれ算出システム
JP5269698B2 (ja) 2009-06-10 2013-08-21 株式会社ミツトヨ 真円度測定装置
CN101846490B (zh) * 2010-04-20 2011-12-28 高铁检测仪器（东莞）有限公司 一种球类圆度测试仪及其测试方法
CN102692181B (zh) * 2011-03-24 2016-09-28 株式会社三丰 形状测量设备用的公差检测方法和公差检测装置
JP6113998B2 (ja) * 2012-10-18 2017-04-12 株式会社ミツトヨ 形状測定機、形状測定機の調整方法および形状測定方法
US10132622B2 (en) 2013-02-05 2018-11-20 Renishaw Plc Method and apparatus for measuring a part
US9797715B2 (en) * 2013-07-23 2017-10-24 Landau Gage, Inc. Gage for verifying profile of part and method of verifying profile of part
CN103471558A (zh) * 2013-10-10 2013-12-25 聪缙电子（昆山）有限公司 圆面工件的检测机构
JP2015203567A (ja) * 2014-04-10 2015-11-16 オークマ株式会社 計測システム
DE102014116406B3 (de) * 2014-11-11 2016-01-28 Hexagon Metrology Gmbh Verfahren zur Korrektur eines Getriebewinkelfehlers bei einem Drehtisch eines Messgeräts
US9581424B2 (en) 2014-12-09 2017-02-28 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Roundness measuring apparatus
TWI558978B (zh) 2015-06-24 2016-11-21 智泰科技股份有限公司 真圓度量測裝置及真圓度量測方法
CN106168471A (zh) * 2015-12-04 2016-11-30 日照瑞沃德精密科技有限公司 基于圆度圆柱度的精密测量装置及其测量方法
WO2021187192A1 (ja) 2020-03-17 2021-09-23 株式会社東京精密 内面形状測定機、及び内面形状測定機のアライメント方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1477508A (en) * 1974-08-21 1977-06-22 Rank Organisation Ltd Measuring apparatus
US4167066A (en) * 1978-04-14 1979-09-11 The Boeing Company Automatic inspection apparatus
GB8605324D0 (en) * 1986-03-04 1986-04-09 Rank Taylor Hobson Ltd Metrological apparatus
GB2203837B (en) * 1987-04-06 1991-02-20 Mitutoyo Corp Apparatus and method for spatial coordinate measurement
US4800652A (en) * 1987-09-25 1989-01-31 The Timken Company Machine for measuring generally circular objects in cylindrical coordinates
US4976043A (en) * 1989-02-09 1990-12-11 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Precision contour gage
US5209131A (en) * 1989-11-03 1993-05-11 Rank Taylor Hobson Metrology
US5198990A (en) * 1990-04-23 1993-03-30 Fanamation, Inc. Coordinate measurement and inspection methods and apparatus
US5117081A (en) * 1991-04-01 1992-05-26 Armco Inc. Roll roundness measuring and machining apparatus and method
US5224272A (en) * 1991-10-11 1993-07-06 General Electric Company Rotary runout measuring system
US5337485A (en) * 1992-01-28 1994-08-16 Chien An Y Roundness error and crown electronic measuring system

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008157863A (ja) * 2006-12-26 2008-07-10 Nissan Diesel Motor Co Ltd 真円度測定装置及び真円度測定方法
US9486889B2 (en) 2010-03-05 2016-11-08 Mitutoyo Corporation Tolerance detection method and tolerance detection device for shape measuring apparatus
JP2018044813A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 株式会社ミツトヨ 真円度測定機
CN116202468A (zh) * 2023-05-04 2023-06-02 牧铭智能制造(山东)有限公司 一种回转支承调试机构
CN116202468B (zh) * 2023-05-04 2023-08-15 牧铭智能制造(山东)有限公司 一种回转支承调试机构

Also Published As

Publication number Publication date
EP0744678A2 (en) 1996-11-27
DE69613899D1 (de) 2001-08-23
DE69613899T2 (de) 2001-11-15
US5694339A (en) 1997-12-02
EP0744678B1 (en) 2001-07-18
JP2701141B2 (ja) 1998-01-21
EP0744678A3 (en) 1997-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08313247A (ja) 真円度測定装置
JP6149337B1 (ja) 表面形状測定装置
US6453730B2 (en) Surface texture measuring instrument, surface texture measuring method and stylus radius measuring instrument
US5359784A (en) Method of centering in roundness measuring instrument and system therefor
JPH11108602A (ja) 真円度測定器
JP6743351B2 (ja) 真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機
JPH06201351A (ja) 回転工具の形状測定方法
CN117146706A (zh) 一种轴类工件在位检测方法及系统
JP2000292161A (ja) 真円度測定器
JP2019035710A (ja) 転がり軸受直角度測定装置および転がり軸受の直角度測定方法
JPH04329306A (ja) 真円度測定機の心出し方法及びその装置
JP2003302218A (ja) 真円度測定装置
JPS589012A (ja) 円弧形状測定装置
JPH04320920A (ja) 真円度測定機の平均径測定方法及び装置
JPH01267405A (ja) 環状部品の多項目同時測定装置
JPS62134514A (ja) 磁気デイスク等の板厚・平坦度測定装置
JPH04310885A (ja) ロール状マグネットの磁力測定方法及びその装置
JP2001343233A (ja) 真円度測定器
JPH0729269A (ja) ドラムリード測定装置と測定方法
JPH08304065A (ja) 回転ヘッドを用いた三次元座標測定装置
JPS62284248A (ja) 表面疵検査装置
JP2519344B2 (ja) 加工精度測定装置
JPH06194139A (ja) 形状測定方法
JPS6247506A (ja) 曲面形状測定装置
JPS6017302A (ja) 面歪測定機

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141003

Year of fee payment: 17

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees