JPH06252249A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPH06252249A JPH06252249A JP3814193A JP3814193A JPH06252249A JP H06252249 A JPH06252249 A JP H06252249A JP 3814193 A JP3814193 A JP 3814193A JP 3814193 A JP3814193 A JP 3814193A JP H06252249 A JPH06252249 A JP H06252249A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- orientation flat
- outer diameter
- detection unit
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 様々な寸法のウェハーの外径位置及び／又は
オリフラ部の位置を検出可能にする。 【構成】 外径位置検出ユニット５とオリフラ部検出ユ
ニット８とを、各々、オリフラ部２０２に平行な方向
（ｍ）とオリフラ部２０２に直交する方向へ移動可能に
する。
オリフラ部の位置を検出可能にする。 【構成】 外径位置検出ユニット５とオリフラ部検出ユ
ニット８とを、各々、オリフラ部２０２に平行な方向
（ｍ）とオリフラ部２０２に直交する方向へ移動可能に
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェハーの位置決めを行
なう位置決め装置に関する。
なう位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハーのプリアライメントを行
なう為に、ステージに載置したウェハーを一定角度毎に
回転させつつ発光ダイオードと一次元センサアレイの組
を用いてウェハーの外径位置（オリフラ部以外のエッ
ジ）やウェハーのオリエンテーションフラット（オリフ
ラ部）の位置を検出し、検出した位置情報に基づいてウ
ェハーの位置決めを行なっていた。尚、位置決めされた
ウェハーは、アライナー（露光装置）のＸＹステージ上
に転送される。
なう為に、ステージに載置したウェハーを一定角度毎に
回転させつつ発光ダイオードと一次元センサアレイの組
を用いてウェハーの外径位置（オリフラ部以外のエッ
ジ）やウェハーのオリエンテーションフラット（オリフ
ラ部）の位置を検出し、検出した位置情報に基づいてウ
ェハーの位置決めを行なっていた。尚、位置決めされた
ウェハーは、アライナー（露光装置）のＸＹステージ上
に転送される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の位置決め装置
は、発光ダイオードと一次元センサアレイとが支持部材
に固定されており、この為、ウェハーの寸法が変化した
場合には、外径位置やオリフラ部の位置検出の精度が低
下したり、検出ができなくなっていた。
は、発光ダイオードと一次元センサアレイとが支持部材
に固定されており、この為、ウェハーの寸法が変化した
場合には、外径位置やオリフラ部の位置検出の精度が低
下したり、検出ができなくなっていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、様々な寸法の
ウェハーの外径位置やオリフラ部の位置の検出ができる
位置決め装置を提供することが目的であり、この目的を
達成する為に、本発明の位置決め装置は、ウェハーの外
径位置及びオリフラ部の位置の少なくとも一方を検出す
る検出手段を有する位置決め装置において、前記検出手
段を、前記ウェハーの寸法に応じて移動できるよう構成
したことを特徴とする。
ウェハーの外径位置やオリフラ部の位置の検出ができる
位置決め装置を提供することが目的であり、この目的を
達成する為に、本発明の位置決め装置は、ウェハーの外
径位置及びオリフラ部の位置の少なくとも一方を検出す
る検出手段を有する位置決め装置において、前記検出手
段を、前記ウェハーの寸法に応じて移動できるよう構成
したことを特徴とする。
【０００５】又、前記検出手段は前記外径位置を検出す
る為の前記オリフラ部に平行に移動する第１検出ユニッ
トと前記オリフラ部を検出する為の前記オリフラ部にほ
ぼ垂直に移動する第２検出ユニットとを有する好ましい
形態が提供される。
る為の前記オリフラ部に平行に移動する第１検出ユニッ
トと前記オリフラ部を検出する為の前記オリフラ部にほ
ぼ垂直に移動する第２検出ユニットとを有する好ましい
形態が提供される。
【０００６】
【実施例】図１、図２、図３は本発明の第１の実施例を
示し、図１は第１実施例の特徴を最もよく表わす概略図
であり、図２は平面図、図３は正面図で、同図におい
て、１はウェハーを位置決めするプリアライメントステ
ージ、２はウェハー、３はウェハー２の外周部２０１に
光を照射する外径検出ユニット用投光部、４はウェハー
２の外周部２０１を検出するべく投光部３からの光を受
ける外径検出ユニット用受光部、５はウェハー外径検出
ユニット用投光部３とウェハー外径検出ユニット用受光
部４とをウェハー２を介して対向させるよう取り付けた
ウェハー表面と平行な面と、その面と直角でオリフラ方
向ｍと平行な面を持つウェハー外径検出ユニット、６は
ウェハー２のオリフラ部２０２に光を照射するオリフラ
検出ユニット用投光部、７はウェハー２のオリフラ部２
０２を検出するべく投光部６からの光を受けるオリフラ
検出ユニット用受光部、８はオリフラ検出ユニット用投
光部６とオリフラ検出ユニット用受光部７とをウェハー
２を介して対向させるよう取り付けたウェハー表面と平
行な面と、その面と直角でオリフラ方向ｍと直角な面を
持つオリフラ検出ユニット、９はウェハー表面と平行な
面を持つ基板、１０ａは基板９上に設けられ、オリフラ
方向ｍと直角方向にスライド基準面を持つオリフラ検出
ユニットスライド部、１０ｂは基板９上に設けられ、オ
リフラと平行方向にスライド基準面を持つ外径検出ユニ
ットスライド部、１１ａは基板９上に設けられ、オリフ
ラ検出ユニット８を６インチウェハー検出位置に位置合
わせを行なう為の位置決めピン、１１ｂは基板９上に設
けられ、オリフラ検出ユニット８を５インチウェハー検
出位置に位置合わせを行なう為の位置決めピン、１１ｃ
は基板９上に設けられ、ウェハー外径検出ユニット５を
６インチ検出位置に位置合わせを行なう為の位置決めピ
ン、１１ｄは基板９上に設けられ、ウェハー外径検出ユ
ニット５を５インチ検出位置に位置合わせわ行なう為の
位置決めピン、１２ａはオリフラ検出ユニット５を基板
９に取り付ける止めネジ、１２ｂは外径検出ユニット８
を基板９に取り付ける止めネジを示す。
示し、図１は第１実施例の特徴を最もよく表わす概略図
であり、図２は平面図、図３は正面図で、同図におい
て、１はウェハーを位置決めするプリアライメントステ
ージ、２はウェハー、３はウェハー２の外周部２０１に
光を照射する外径検出ユニット用投光部、４はウェハー
２の外周部２０１を検出するべく投光部３からの光を受
ける外径検出ユニット用受光部、５はウェハー外径検出
ユニット用投光部３とウェハー外径検出ユニット用受光
部４とをウェハー２を介して対向させるよう取り付けた
ウェハー表面と平行な面と、その面と直角でオリフラ方
向ｍと平行な面を持つウェハー外径検出ユニット、６は
ウェハー２のオリフラ部２０２に光を照射するオリフラ
検出ユニット用投光部、７はウェハー２のオリフラ部２
０２を検出するべく投光部６からの光を受けるオリフラ
検出ユニット用受光部、８はオリフラ検出ユニット用投
光部６とオリフラ検出ユニット用受光部７とをウェハー
２を介して対向させるよう取り付けたウェハー表面と平
行な面と、その面と直角でオリフラ方向ｍと直角な面を
持つオリフラ検出ユニット、９はウェハー表面と平行な
面を持つ基板、１０ａは基板９上に設けられ、オリフラ
方向ｍと直角方向にスライド基準面を持つオリフラ検出
ユニットスライド部、１０ｂは基板９上に設けられ、オ
リフラと平行方向にスライド基準面を持つ外径検出ユニ
ットスライド部、１１ａは基板９上に設けられ、オリフ
ラ検出ユニット８を６インチウェハー検出位置に位置合
わせを行なう為の位置決めピン、１１ｂは基板９上に設
けられ、オリフラ検出ユニット８を５インチウェハー検
出位置に位置合わせを行なう為の位置決めピン、１１ｃ
は基板９上に設けられ、ウェハー外径検出ユニット５を
６インチ検出位置に位置合わせを行なう為の位置決めピ
ン、１１ｄは基板９上に設けられ、ウェハー外径検出ユ
ニット５を５インチ検出位置に位置合わせわ行なう為の
位置決めピン、１２ａはオリフラ検出ユニット５を基板
９に取り付ける止めネジ、１２ｂは外径検出ユニット８
を基板９に取り付ける止めネジを示す。
【０００７】ウェハー外径検出ユニットの具体的構造や
ウェハー外径の検出方法、オリフラ検出ユニットの具体
的構造やオリフラの検出方法は、公知のものが適用され
るので、説明は略することにする。
ウェハー外径の検出方法、オリフラ検出ユニットの具体
的構造やオリフラの検出方法は、公知のものが適用され
るので、説明は略することにする。
【０００８】図１〜図３に示される、６インチウェハー
プリアライメント状態より、５インチウェハープリアラ
イメント状態に変更する動作を順を追って説明する。
プリアライメント状態より、５インチウェハープリアラ
イメント状態に変更する動作を順を追って説明する。
【０００９】止めネジ１２ａをゆるめ、オリフラ検出ユ
ニット８を基板９より分離する。その後オリフラ検出ユ
ニット８を、オリフラ検出ユニットスライド部１０ａの
スライド面をガイドとして位置決めピン１１ｂに突き当
たるまで移動し、止めネジ１２ａにより基板９に取り付
ける。
ニット８を基板９より分離する。その後オリフラ検出ユ
ニット８を、オリフラ検出ユニットスライド部１０ａの
スライド面をガイドとして位置決めピン１１ｂに突き当
たるまで移動し、止めネジ１２ａにより基板９に取り付
ける。
【００１０】同様に止めネジ１２ｂをゆるめ、外径検出
ユニット５を基板９より分離する外径検出ユニット５
を、外径検出ユニットスライド部１０ｂのスライド面を
ガイドとして位置決めピン１１ｄに突き当たるまで移動
し、止めネジ１２ｂにより、基板９に取り付ける。一
方、５インチプリアライメント状態より、６インチプリ
アライメント状態への変更も、同様な方法で、ユニット
５、８をそれぞれ突き当てピン１１ａ、１１ｃに突き当
てるより位置決めすることにより行なう。
ユニット５を基板９より分離する外径検出ユニット５
を、外径検出ユニットスライド部１０ｂのスライド面を
ガイドとして位置決めピン１１ｄに突き当たるまで移動
し、止めネジ１２ｂにより、基板９に取り付ける。一
方、５インチプリアライメント状態より、６インチプリ
アライメント状態への変更も、同様な方法で、ユニット
５、８をそれぞれ突き当てピン１１ａ、１１ｃに突き当
てるより位置決めすることにより行なう。
【００１１】オリフラ検出ユニット８、外径検出ユニッ
ト５のどちらの位置を先に変更してもよい。
ト５のどちらの位置を先に変更してもよい。
【００１２】又、止めネジ１２ａ、１２ｂを用いず、ユ
ニット５、８を夫々駆動装置に連結させ、駆動装置によ
り自動的に位置決めするようにしてもよい。
ニット５、８を夫々駆動装置に連結させ、駆動装置によ
り自動的に位置決めするようにしてもよい。
【００１３】上記実施例により、以下の効果がある。 （１）投光部と検出部を一体として移動するため、両者
の間隔や光軸のズレが起こらず、従ってプリアライメン
トの再現精度を高く維持できる。 （２）同一ユニットで、大きさの異なるウェハーサイズ
のプリアライメントが対応可能である。 （３）大きさの異なるウェハーサイズに対する、プリア
ライメント装置の調整が短時間に簡単に行なえる。 （４）オリフラ検出ユニット及び、外径検出ユニットを
モーター等の駆動によりスライドさせる事により、自動
切り換えが可能になる。
の間隔や光軸のズレが起こらず、従ってプリアライメン
トの再現精度を高く維持できる。 （２）同一ユニットで、大きさの異なるウェハーサイズ
のプリアライメントが対応可能である。 （３）大きさの異なるウェハーサイズに対する、プリア
ライメント装置の調整が短時間に簡単に行なえる。 （４）オリフラ検出ユニット及び、外径検出ユニットを
モーター等の駆動によりスライドさせる事により、自動
切り換えが可能になる。
【００１４】図４は本発明の第２実施例を示す平面図で
ある。
ある。
【００１５】図４に示す実施例はスライドガイドと突き
当てピンを同一にした例であり、図４において１３ａは
基板９上に固定された、オリフラ検出ユニット８の為の
スライドガイドと突き当て位置決めするオリフラ検出ユ
ニット用突き当てガイドピン、１４ａは、オリフラ検出
ユニット８を、５インチウェハー用から６インチウェハ
ー用、逆に６インチウェハー用から５インチウェハー用
に切り換える為にオリフラ検出ユニット８に形成した、
突き当てガイドピン１３ａをオリフラ方向と直角方向に
スライドさせ、各インチサイズに対応した位置に突き当
てるオリフラ検出ユニット用突き当てガイド溝、１３ｂ
は基板９上に固定された、外径検出ユニット５の為スラ
イドガイドと突き当て位置決めする外径検出ユニット用
突き当てガイドピン、１４ｂは外径検出ユニット５を、
５インチウェハー用から６インチウェハー用、逆に６イ
ンチウェハー用から５インチウェハー用に切り換える為
に外径検出ユニッ５に形成した、突き当てガイドピン１
３ｂをオリフラ方向と平行方向にスライドさせ、各イン
チサイズに対応した位置に突き当てる外径検出ユニット
用突き当てガイド溝を示す。本実施例でも、切り換え動
作は、前記実施例と同様であるが、本実施例において
は、オリフラ検出ユニット用突き当てガイド溝１４ａ、
外径検出ユニット用突き当てガイド溝１４ｂの夫々の長
手方向にオリフラ検出ユニット突き当てガイドピン１３
ａ、外径検出ユニット突き当てガイドピン１３ｂが突き
当たるまで移動するだけで、各インチサイズに対応した
切り換えができる。ここでは基板９上にピン１３ａ、１
３ｂを取り付けたが、基板９上に溝１４ａ、１４ｂを各
ユニットにピンを形成してもよい。
当てピンを同一にした例であり、図４において１３ａは
基板９上に固定された、オリフラ検出ユニット８の為の
スライドガイドと突き当て位置決めするオリフラ検出ユ
ニット用突き当てガイドピン、１４ａは、オリフラ検出
ユニット８を、５インチウェハー用から６インチウェハ
ー用、逆に６インチウェハー用から５インチウェハー用
に切り換える為にオリフラ検出ユニット８に形成した、
突き当てガイドピン１３ａをオリフラ方向と直角方向に
スライドさせ、各インチサイズに対応した位置に突き当
てるオリフラ検出ユニット用突き当てガイド溝、１３ｂ
は基板９上に固定された、外径検出ユニット５の為スラ
イドガイドと突き当て位置決めする外径検出ユニット用
突き当てガイドピン、１４ｂは外径検出ユニット５を、
５インチウェハー用から６インチウェハー用、逆に６イ
ンチウェハー用から５インチウェハー用に切り換える為
に外径検出ユニッ５に形成した、突き当てガイドピン１
３ｂをオリフラ方向と平行方向にスライドさせ、各イン
チサイズに対応した位置に突き当てる外径検出ユニット
用突き当てガイド溝を示す。本実施例でも、切り換え動
作は、前記実施例と同様であるが、本実施例において
は、オリフラ検出ユニット用突き当てガイド溝１４ａ、
外径検出ユニット用突き当てガイド溝１４ｂの夫々の長
手方向にオリフラ検出ユニット突き当てガイドピン１３
ａ、外径検出ユニット突き当てガイドピン１３ｂが突き
当たるまで移動するだけで、各インチサイズに対応した
切り換えができる。ここでは基板９上にピン１３ａ、１
３ｂを取り付けたが、基板９上に溝１４ａ、１４ｂを各
ユニットにピンを形成してもよい。
【００１６】本実施例はスライドガイドと突き当てピン
を同一部品で行なうため、前記実施例の効果に加え、全
体の大きさを小さくし、コストを下げるといった効果を
奏する。
を同一部品で行なうため、前記実施例の効果に加え、全
体の大きさを小さくし、コストを下げるといった効果を
奏する。
【００１７】
【発明の効果】以上、本発明によれば、様々な寸法のウ
ェハーの外径位置、オリフラ部位置の検出や位置決めが
可能になる。
ェハーの外径位置、オリフラ部位置の検出や位置決めが
可能になる。
【図１】本発明の第１実施例を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施例を示す正面図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す概略図である。
１ ステージ ２ ウェハー ３ 外径検出ユニット用投光部 ４ 外径検出ユニット用受光部 ５ ウェハー外径検出ユニット ６ オリフラ検出ユニット用投光部 ７ オリフラ検出ユニット用受光部 ８ オリフラ検出ユニット ９ 基板 １０ａ オリフラ検出ユニットスライド部 １０ｂ オリフラ検出ユニットスライド部 １１ａ，１１ｂ 位置決めピン １２ａ，１２ｂ 止めネジ １３ａ オリフラ検出ユニット突き当てガイドピン １３ｂ オリフラ検出ユニット突き当てピン １４ａ オリフラ検出ユニット突き当てガイド溝 １４ｂ オリフラ検出ユニット突き当てガイド溝
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェハーの外径位置及びオリフラ部の位
置の少なくとも一方を検出する検出手段を有する位置決
め装置において、前記検出手段を、前記ウェハーの寸法
に応じて移動できるよう構成したことを特徴とする位置
決め装置。 - 【請求項２】 前記検出手段は前記外径位置を検出する
為の前記オリフラ部に平行に移動する第１検出ユニット
と前記オリフラ部を検出する為の前記オリフラ部にほぼ
垂直に移動する第２検出ユニットとを有することを特徴
とする請求項１の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3814193A JPH06252249A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3814193A JPH06252249A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252249A true JPH06252249A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12517144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3814193A Pending JPH06252249A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252249A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4903811A (en) * | 1988-02-16 | 1990-02-27 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Transfer device for a four-wheel drive motor vehicle |
| DE4201653A1 (de) * | 1991-01-22 | 1992-07-30 | Mazda Motor | Automatikgetriebe |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP3814193A patent/JPH06252249A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4903811A (en) * | 1988-02-16 | 1990-02-27 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Transfer device for a four-wheel drive motor vehicle |
| DE4201653A1 (de) * | 1991-01-22 | 1992-07-30 | Mazda Motor | Automatikgetriebe |
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