KR20200127742A - 필름 절단 장치 및 필름 절단 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치는, 필름이 부착된 필름 부착부와 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출된 필름의 돌출부를 절단하는 필름 절단 장치로서, 기판 및 필름을 촬상하도록 구성되는 촬상 유닛; 촬상 유닛에 의해 촬상된 이미지를 기초로 기판의 에지를 따라 연장되는 기판 에지 라인을 검출하고, 기판의 노출부에 대향하는 필름의 대응변과 기판 에지 라인이 만나는 교차점을 검출하는 검출 모듈과, 교차점을 기준으로 필름의 절단이 시작되는 절단 시작점 및 필름의 절단이 종료되는 절단 종료점을 설정하고, 기판 에지 라인, 절단 시작점 및 절단 종료점을 기준으로 필름이 절단되는 필름 절단 라인을 설정하는 설정 모듈을 포함하는 제어 유닛; 및 필름 절단 라인을 따라 필름을 절단하는 필름 절단 유닛을 포함할 수 있다.

Description

필름 절단 장치 및 필름 절단 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CUTTING FILM}
본 발명은 필름이 부착된 기판의 에지로부터 외측으로 돌출되는 필름의 돌출부를 절단하도록 구성되는 필름 절단 장치 및 필름 절단 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등을 제조하는 데에는 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)이 사용되며, 이러한 기판에는 광학 필름, 편광 필름, 보호 필름과 같은 다양한 종류의 필름이 부착된다.
기판에 대해 수행되는 공정에 따라, 필름을 기판의 전체 표면에 부착하지 않고 기판의 일부분에만 부착하는 공정이 수행될 수 있다. 이에 따라, 기판은 필름이 부착된 필름 부착부 및 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는다. 한편, 필름은 기판의 면적에 비하여 큰 면적을 가지며, 이에 따라, 필름이 기판에 부착되면, 필름의 가장 자리가 기판의 에지로부터 돌출된다. 따라서, 필름의 폭(길이)이 기판의 폭(길이)에 일치하거나 상호 대응하도록 필름의 돌출부를 기판의 에지로부터 절단하여 제거할 필요가 있다.
종래 기술에 따르면, 필름의 돌출부를 제거하기 위해, 기판의 크기에 관하여 미리 설정된 정보를 기초로, 기판 상에 형성된 얼라인먼트 마크의 위치(좌표 위치)에 대한 기판의 에지 라인(에지 라인의 위치(좌표 위치) 및 연장 방향 등)을 검출한 후, 검출된 기판의 에지 라인을 따라 필름을 절단한다.
한편, 필름은 기판 상의 일정한 위치에 부착되지 않고, 기판에 부착되는 필름의 위치(자세)가 변동될 수 있다. 또한, 기판이 스테이지 상의 일정한 위치에 탑재되지 않고, 스테이지에 탑재되는 기판의 위치(자세)가 변동될 수 있다. 이에 따라, 기판의 필름 부착부 및 노출부의 면적이 달라질 수 있다.
그러나, 종래 기술에 따르면, 이러한 필름의 위치(자세)의 변동, 기판의 위치(자세)의 변동 및/또는 기판의 필름 부착부 및 노출부의 면적 등을 고려하지 않고, 기판 상에 형성된 얼라인먼트 마크만을 기초로 하여 기판의 에지를 검출한 후, 기판의 에지를 기준으로 필름을 절단하기 때문에, 필름이 부착되는 기판 상의 위치가 변동되는 경우에는, 기판의 노출부에 대향하는 필름의 대응변까지 커터가 도달하지 않아 필름의 일부가 절단되지 않는 문제가 있고, 커터가 필름의 대응변을 지나 기판의 노출부를 침범하여 기판을 손상시키는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 필름이 부착된 필름 부착부와 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출되는 필름의 돌출부를 커터로 절단하는 과정에서, 기판의 노출부에 대향하는 필름의 대응변까지 커터가 도달하지 않아 필름의 일부가 절단되지 않는 문제를 방지할 수 있는 필름 절단 장치 및 필름 절단 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은, 필름이 부착된 필름 부착부와 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출되는 필름의 돌출부를 커터로 절단하는 과정에서, 커터가 기판의 노출부를 침범하여 기판을 손상시키는 문제를 방지할 수 있는 필름 절단 장치 및 필름 절단 방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치는, 필름이 부착된 필름 부착부와 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출된 필름의 돌출부를 절단하는 필름 절단 장치로서, 기판 및 필름을 촬상하도록 구성되는 촬상 유닛; 촬상 유닛에 의해 촬상된 이미지를 기초로 기판의 에지를 따라 연장되는 기판 에지 라인을 검출하고, 기판의 노출부에 대향하는 필름의 대응변과 기판 에지 라인이 만나는 교차점을 검출하는 검출 모듈과, 교차점을 기준으로 필름의 절단이 시작되는 절단 시작점 및 필름의 절단이 종료되는 절단 종료점을 설정하고, 기판 에지 라인, 절단 시작점 및 절단 종료점을 기준으로 필름이 절단되는 필름 절단 라인을 설정하는 설정 모듈을 포함하는 제어 유닛; 및 필름 절단 라인을 따라 필름을 절단하는 필름 절단 유닛을 포함할 수 있다.
일 예로서, 절단 시작점 및 절단 종료점은 각각 교차점과 일치하도록 설정될 수 있다. 이 경우, 필름 절단 라인은 기판 에지 라인과 중첩하도록 설정될 수 있다.
다른 예로서, 절단 시작점 및 절단 종료점은 각각 교차점으로부터 이격되게 대응변 상에 설정될 수 있다. 이 경우, 필름 절단 라인은 기판 에지 라인으로부터 이격되게 설정될 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 방법은, 필름이 부착된 필름 부착부와 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출된 필름의 돌출부를 절단하는 필름 절단 방법으로서, 기판 및 필름을 촬상하는 단계; 촬상된 이미지를 기초로 기판의 에지를 따라 연장되는 기판 에지 라인을 검출하는 단계; 촬상된 이미지를 기초로 기판의 노출부에 대향하는 필름의 대응변과 기판 에지 라인이 만나는 교차점을 검출하는 단계; 교차점을 기준으로 필름의 절단이 시작되는 절단 시작점 및 필름의 절단이 종료되는 절단 종료점을 설정하는 단계; 기판 에지 라인, 절단 시작점 및 절단 종료점을 기준으로 필름이 절단되는 필름 절단 라인을 설정하는 단계; 및 필름 절단 라인을 따라 필름을 절단하는 단계를 포함할 수 있다.
일 예로서, 절단 시작점 및 절단 종료점을 설정하는 단계는 절단 시작점 및 절단 종료점이 각각 교차점과 일치하도록 설정할 수 있다. 이 경우, 필름 절단 라인을 설정하는 단계는 필름 절단 라인이 기판 에지 라인과 중첩하도록 설정할 수 있다.
다른 예로서, 절단 시작점 및 절단 종료점을 설정하는 단계는 절단 시작점 및 절단 종료점을 각각 교차점으로부터 이격되게 대응변 상에 설정할 수 있다. 이 경우, 필름 절단 라인을 설정하는 단계는 필름 절단 라인을 기판 에지 라인으로부터 이격되게 설정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치 및 필름 절단 방법에 따르면, 필름이 부착된 필름 부착부와 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출되는 필름의 돌출부를 커터로 절단하는 과정에서, 기판의 노출부에 대향하는 필름의 대응변과 기판 에지 라인 사이의 교차점을 기준으로 절단 시작점 및 절단 종료점을 설정하고, 기판 에지 라인, 절단 시작점 및 절단 종료점을 기준으로 필름 절단 라인을 설정한 다음, 필름 절단 라인을 따라 필름을 절단한다. 따라서, 커터가 필름의 대응변까지 도달하지 않아 필름의 일부가 절단되지 않는 문제 및 커터가 필름의 대응변을 지나 기판의 노출부를 침범하여 기판을 손상시키는 문제를 방지할 수 있으며, 이에 따라, 기판을 손상시키지 않고 필름의 돌출부를 보다 정밀하고 정확하게 절단할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치의 제어 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치에 의해 절단될 필름이 부착된 기판이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 방법이 개략적으로 도시된 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판(20)이 놓이는 면에 평행한 평면을 X-Y 평면이라 하고, X-Y 평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치는, 기판(20) 상에 필름(30)이 부착된 상태에서, 평면 상에서, 기판(20)의 에지로부터 외측으로 돌출된 필름(30)의 돌출부(31)를 절단하도록 구성된다. 특히, 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치는, 필름(30)이 부착된 필름 부착부(22)와 필름이 부착되지 않은 노출부(21)를 갖는 기판(20)의 에지로부터 외측으로 돌출된 필름(30)의 돌출부(31)를 절단하도록 구성된다.
또한, 평면 상에서, 기판(20)의 에지를 따라 연장되는 가상의 선을 기판 에지 라인(25)이라 정의한다. 그리고, 필름(30)의 돌출부(31)를 절단하기 위해 설정되는 가상의 선을 필름 절단 라인(35)이라 정의한다. 필름 절단 라인(35)은 커터(81)가 이동하는 라인일 수 있다. 필름 절단 라인(35)은 필름(30)의 돌출부(31)가 절단되어 제거된 이후에 기판(20) 상에 부착된 상태로 잔존하는 필름(30)의 윤곽(외곽)을 형성할 수 있다.
여기에서, 필름 절단 라인(35)은 기판 에지 라인(25)과 일치할 수 있다. 다른 예로서, 필름 절단 라인(35)은 기판(20)의 외측을 향하는 방향으로 기판 에지 라인(25)으로부터 이격될 수 있다. 이에 따라, 필름 절단 라인(35)은 기판(20)의 외부에 위치될 수 있다. 또 다른 예로서, 필름 절단 라인(35)은 기판(20)의 내측을 향하는 방향으로 기판 에지 라인(25)으로부터 이격될 수 있다. 이에 따라, 필름 절단 라인(35)은 기판(20)의 내부에 위치될 수 있다. 이와 같은 필름 절단 라인(35) 및 기판 에지 라인(25) 사이의 위치 관계는 기판(20)의 특성 및/또는 필름(30)의 특성에 따라 달라질 수 있다.
필름 절단 장치에 의해 절단될 대상이 되는 필름(30)은 광학 필름, 편광 필름, 보호 필름 등 다양한 종류의 필름이 될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치는, 베이스(10)와, 베이스(10) 상에 구비되며 필름(30)이 부착된 기판(20)을 지지하는 스테이지(40)와, 스테이지(40)의 상방에 위치되며 X축 방향으로 연장되는 지지대(50)와, 지지대(50)에 설치되며 기판(20) 및 필름(30)을 촬상하도록 구성되는 촬상 유닛(60)과, 촬상 유닛(60)에 의해 촬상된 이미지를 기초로 필름(30)이 절단될 필름 절단 라인(35)을 설정하는 제어 유닛(70)과, 지지대(50)에 설치되며 제어 유닛(70)에 의해 설정된 필름 절단 라인(35)을 따라 필름(30)의 돌출부(31)를 절단하는 필름 절단 유닛(80)을 포함할 수 있다.
스테이지(40)에는 필름(30)이 부착된 필름 부착부(22)와 필름(30)이 부착되지 않은 노출부(21)를 갖는 기판(20)이 지지될 수 있다. 스테이지(40)는 기판(20)이 안착되는 지지면(41)을 갖는다. 스테이지(40)의 지지면(41)에는 복수의 흡착공(42)이 형성될 수 있으며, 복수의 흡착공(42)은 진공 펌프와 같은 부압원(45)과 연결될 수 있다. 기판(20)이 스테이지(40)의 지지면(41)에 안착된 상태에서 부압원(45)이 작동되면, 복수의 흡착공(42)에 부압이 작용되며, 이에 따라, 기판(20)이 스테이지(40)의 지지면(41)에 견고하고 안정적으로 흡착될 수 있다.
지지대(50)는 베이스(10) 상에 구비된 지지대 이송 유닛(11)에 장착될 수 있다. 지지대 이송 유닛(11)은 지지대(50)를 Y축 방향으로 이송하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 지지대 이송 유닛(11)은 공압 또는 유압에 의해 작동되는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 장치와 같은 직선 이송 기구로서 구성될 수 있다.
지지대(50)가 지지대 이송 유닛(11)에 의해 Y축 방향으로 이송됨에 따라, 지지대(50)에 설치된 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)이 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 기판(20)에 대한 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)의 Y축 방향으로의 위치가 결정될 수 있다. 다만, 기판(20)에 대한 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)의 Y축 방향으로의 위치를 결정하기 위한 구성은 지지대(50)가 Y축 방향으로 이송되는 구성에 한정되지 않으며, 스테이지(40)가 Y축 방향으로 이송되는 구성이 적용될 수 있다. 다른 예로서, 지지대(50)가 Y축 방향으로 이송되는 구성 및 스테이지(40)가 Y축 방향으로 이송되는 구성이 조합된 구성이 적용될 수 있다.
지지대(50)에는 X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(51)이 설치될 수 있으며, 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)은 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다. 촬상 유닛(60) 및 가이드 레일(51) 사이에는 공압 또는 유압에 의해 작동되는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 장치와 같은 직선 이송 기구가 구비될 수 있다. 또한, 필름 절단 유닛(80) 및 가이드 레일(51) 사이에는 공압 또는 유압에 의해 작동되는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 장치와 같은 직선 이송 기구가 구비될 수 있다. 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)이 지지대(50)를 따라 X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(20)에 대한 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)의 X축 방향으로의 위치가 결정될 수 있다. 다만, 기판(20)에 대한 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)의 X축 방향으로의 위치를 결정하기 위한 구성은 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)이 X축 방향으로 이동되는 구성에 한정되지 않으며, 스테이지(40)가 X축 방향으로 이송되는 구성이 적용될 수 있다. 다른 예로서, 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)이 X축 방향으로 이송되는 구성 및 스테이지(40)가 X축 방향으로 이송되는 구성이 조합된 구성이 적용될 수 있다.
촬상 유닛(60)은 카메라(61) 및 조명(62)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 촬상 유닛(60)은 필름(30)이 부착된 기판(20)의 에지를 따라 이동하면서 기판(20)의 에지를 촬상하도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 촬상 유닛(60)은 필름(30)이 부착된 기판(20)의 전체 외관을 한 번에 촬상하도록 구성될 수 있다. 또 다른 예로서, 촬상 유닛(60)은 기판(20)의 전체 면적 중 일부만을 촬상하도록 구성될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)은 각각 개별적으로 제작되어 지지대(50)에 장착될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 촬상 유닛(60) 및 필름 절단 유닛(80)이 하나의 헤드에 일체로 조립되어 지지대(50)에 X축 방향으로 함께 이동 가능하게 장착되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.
필름 절단 유닛(80)은 커터(81)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 커터(81)는 절단날을 갖는 툴, 절단용 휠, 절단용 블레이드와 같이 필름 절단 라인(35)을 따라 필름(30)을 물리적으로 가압하여 필름 절단 라인(35)을 따라 필름(30)을 절단하도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 커터(81)는 레이저 소스에 의해 발생되는 레이저 광을 필름 절단 라인(35)을 따라 필름(30)에 조사하여 필름(30)에 레이저 광 스폿을 형성함으로써 필름(30)을 절단하도록 구성될 수 있다.
제어 유닛(70)은 검출 모듈(71) 및 설정 모듈(72)을 포함할 수 있다.
검출 모듈(71)은 촬상 유닛(60)에 의해 촬상된 이미지를 기초로 기판(20)의 에지를 따라 연장되는 기판 에지 라인(25)을 검출할 수 있다. 예를 들면, 검출 모듈(71)은 촬상된 기판(20)의 이미지를 기초로 기판(20)의 에지를 따라 복수의 점을 설정한 다음, 복수의 점을 하나의 선으로 서로 연결하는 과정을 통하여 기판 에지 라인(25)을 검출할 수 있다.
또한, 검출 모듈(71)은 기판(20)의 노출부(21)에 대향하는 필름(30)의 대응변(32)과 기판 에지 라인(25)이 만나는 교차점(231, 232)을 검출할 수 있다.
설정 모듈(72)은 검출 모듈(71)에 의해 검출된 교차점(231, 232)을 기준으로 필름(30)의 절단이 시작되는 절단 시작점(351) 및 필름(30)의 절단이 종료되는 절단 종료점(352)을 설정할 수 있다.
또한, 설정 모듈(72)은 기판 에지 라인(25), 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)을 기준으로 필름(30)이 절단되는 필름 절단 라인(35)을 설정할 수 있다.
일 예로서, 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)은 각각 교차점(231, 232)과 일치하도록 설정될 수 있다. 이 경우, 필름 절단 라인(35)은 기판 에지 라인(25)과 중첩하도록 설정될 수 있다.
다른 예로서, 절단 시작점(351) 및/또는 절단 종료점(352)은 각각 교차점(231, 232)으로부터 이격되게 필름(30)의 대응변(32) 상에 설정될 수 있다. 이때, 절단 시작점(351) 및/또는 절단 종료점(352)은 기판 에지 라인(25)을 기준으로 기판(20)의 내측 또는 외측으로 각각 교차점(231, 232)으로부터 이격될 수 있다. 이에 따라, 절단 시작점(351) 및/또는 절단 종료점(352)은 기판(20)의 내부 또는 외부에 위치될 수 있다. 이 경우, 필름 절단 라인(35)은 기판 에지 라인(25)으로부터 이격되게 설정될 수 있다. 이때, 필름 절단 라인(35)은 기판 에지 라인(25)으로부터 기판(20)의 내측 또는 외측으로 이격될 수 있다. 이에 따라, 필름 절단 라인(35)은 기판(20)의 내부 또는 외부에 위치될 수 있다.
이와 같이, 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)이 필름(30)의 대응변(32)과 기판 에지 라인(25)이 만나는 교차점(231, 232)과 일치되게 설정되거나 교차점(231, 232)으로부터 이격되게 필름(30)의 대응변(32) 상에 설정되므로, 절단 시작점(351)부터 필름 절단 라인(35)을 따라 절단 종료점(352)까지 커터(81)가 이동되어 필름(30)의 돌출부(31)를 절단할 수 있다. 따라서, 커터(81)가 필름(30)의 대응변(32)까지 도달하지 않아 필름(30)의 일부가 절단되지 않는 문제 및 커터(81)가 필름(30)의 대응변(32)을 지나 기판(20)의 노출부(21)를 침범하는 것으로 인해 기판(20)을 손상시키는 문제를 방지할 수 있다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 촬상 유닛(60)이 기판(20) 및 필름(30)을 촬상한다(S10). 일 예로서, 촬상 유닛(60)은 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하면서 기판(20) 및 필름(30)을 촬상할 수 있다. 다른 예로서, 촬상 유닛(60)은 필름(30)이 부착된 기판(20)의 전체적인 외관을 한 번에 촬상할 수 있다.
그리고, 촬상 유닛(60)에 의해 촬상된 기판(20) 및 필름(30)의 이미지를 기초로, 제어 유닛(70)의 검출 모듈(71)은 기판 에지 라인(25)을 검출한다(S20). 검출 모듈(71)은 공지된 다양한 종류의 이미지 분석법을 사용하여 기판 에지 라인(25)을 검출할 수 있다.
촬상 유닛(60)에 의해 촬상된 기판(20) 및 필름(30)의 이미지를 기초로, 제어 유닛(70)의 검출 모듈(71)은 필름(30)의 대응변(32)을 검출하고, 기판 에지 라인(25) 및 필름(30)의 대응변(32) 사이의 교차점(231, 232)을 검출한다(S30). 검출 모듈(71)은 공지된 다양한 종류의 이미지 분석법을 사용하여 대응변(32) 및 교차점(231, 232)을 검출할 수 있다.
그리고, 검출 모듈(71)에 의해 검출된 교차점(231, 232)을 기준으로 설정 모듈(72)은 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)을 설정한다(S40). 검출 모듈(71)은 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)을 대응변(32) 상에 설정한다. 여기에서, 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)은 교차점(231, 232)과 각각 일치할 수 있거나 교차점(231, 232)으로부터 각각 이격될 수 있다.
그리고, 기판 에지 라인(25), 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)을 기초로 설정 모듈(72)은 필름 절단 라인(35)을 설정한다(S50). 여기에서, 필름 절단 라인(35)은 기판 에지 라인(25)과 일치할 수 있거나 기판 에지 라인(25)으로부터 이격될 수 있다. 또한, 필름 절단 라인(35)은 기판 에지 라인(25)과 평행할 수 있다.
그리고, 필름 절단 유닛(80)의 커터(81)가 필름 절단 라인(35)을 따라 이동하면서 필름(30)의 돌출부(31)를 절단한다(S60). 따라서, 필름(30)이 필름 절단 라인(35)에 의해 규정된 윤곽을 가질 수 있다.
이에 따라, 필름(30)의 돌출부(31)가 기판(20)의 에지로부터 절단되어 제거되며, 돌출부(31)가 제거된 필름(30)이 부착된 기판(20)이 후속 공정으로 반송된다.
본 발명의 실시예에 따른 필름 절단 장치 및 필름 절단 방법에 따르면, 기판 에지 라인(25)과 필름(30)의 대응변(32) 사이의 교차점(231, 232)을 검출하고, 검출된 교차점(231, 232)을 기준으로 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)을 설정하고, 기판 에지 라인(25), 절단 시작점(351) 및 절단 종료점(352)을 기준으로 필름 절단 라인(35)을 설정한 다음, 필름 절단 라인(35)을 따라 필름(30)의 돌출부를 절단한다. 따라서, 필름(30)이 부착되지 않은 노출부(21)를 갖는 기판(20)의 에지로부터 외측으로 돌출된 필름(30)의 돌출부(31)를 절단하는 과정에서 커터(절단 날 또는 레이저 광의 스폿)가 기판(20)의 노출부(21)를 침범하여 기판(20)을 손상시키는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
20: 기판 21: 노출부
22: 필름 부착부 25: 기판 에지 라인
231, 232: 교차점 30: 필름
31: 돌출부 32: 대응변
35: 필름 절단 라인 351: 절단 시작점
352: 절단 종료점 40: 스테이지
60: 촬상 유닛 70: 제어 유닛
71: 검출 모듈 72: 설정 모듈
80: 필름 절단 유닛 81: 커터

Claims (10)

  1. 필름이 부착된 필름 부착부와 상기 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출된 상기 필름의 돌출부를 절단하는 필름 절단 장치에 있어서,
    상기 기판 및 상기 필름을 촬상하도록 구성되는 촬상 유닛;
    상기 촬상 유닛에 의해 촬상된 이미지를 기초로 상기 기판의 에지를 따라 연장되는 기판 에지 라인을 검출하고, 상기 기판의 노출부에 대향하는 상기 필름의 대응변과 상기 기판 에지 라인이 만나는 교차점을 검출하는 검출 모듈과, 상기 교차점을 기준으로 상기 필름의 절단이 시작되는 절단 시작점 및 상기 필름의 절단이 종료되는 절단 종료점을 설정하고, 상기 기판 에지 라인, 상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점을 기준으로 상기 필름이 절단되는 필름 절단 라인을 설정하는 설정 모듈을 포함하는 제어 유닛; 및
    상기 필름 절단 라인을 따라 상기 필름을 절단하는 필름 절단 유닛을 포함하는 필름 절단 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점은 각각 상기 교차점과 일치하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 필름 절단 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 필름 절단 라인은 상기 기판 에지 라인과 중첩하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 필름 절단 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점은 각각 상기 교차점으로부터 이격되게 상기 대응변 상에 설정되는 것을 특징으로 하는 필름 절단 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 필름 절단 라인은 상기 기판 에지 라인으로부터 이격되게 설정되는 것을 특징으로 하는 필름 절단 장치.
  6. 필름이 부착된 필름 부착부와 상기 필름이 부착되지 않은 노출부를 갖는 기판의 에지로부터 외측으로 돌출된 상기 필름의 돌출부를 절단하는 필름 절단 방법에 있어서,
    상기 기판 및 상기 필름을 촬상하는 단계;
    상기 촬상된 이미지를 기초로 상기 기판의 에지를 따라 연장되는 기판 에지 라인을 검출하는 단계;
    상기 촬상된 이미지를 기초로 상기 기판의 노출부에 대향하는 상기 필름의 대응변과 상기 기판 에지 라인이 만나는 교차점을 검출하는 단계;
    상기 교차점을 기준으로 상기 필름의 절단이 시작되는 절단 시작점 및 상기 필름의 절단이 종료되는 절단 종료점을 설정하는 단계;
    상기 기판 에지 라인, 상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점을 기준으로 상기 필름이 절단되는 필름 절단 라인을 설정하는 단계; 및
    상기 필름 절단 라인을 따라 상기 필름을 절단하는 단계를 포함하는 필름 절단 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점을 설정하는 단계는 상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점이 각각 상기 교차점과 일치하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 필름 절단 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 필름 절단 라인을 설정하는 단계는 상기 필름 절단 라인이 상기 기판 에지 라인과 중첩하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 필름 절단 방법.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점을 설정하는 단계는 상기 절단 시작점 및 상기 절단 종료점을 각각 상기 교차점으로부터 이격되게 상기 대응변 상에 설정하는 것을 특징으로 하는 필름 절단 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 필름 절단 라인을 설정하는 단계는 상기 필름 절단 라인을 상기 기판 에지 라인으로부터 이격되게 설정하는 것을 특징으로 하는 필름 절단 방법.
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