JP2007168045A - テープカット装置及びテープカット方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWに形成されたノッチNに合う形状のノッチカッター41と、テープTにおけるノッチNに対応する位置に、ノッチカッター41を抜き差しさせる昇降機構42と、円状の軌道でテープTを切るサークルカッター51と、サークルカッター51をウエハWの外形に沿って移動させるサークルカッター駆動機構52を有する。ノッチカッター41による切り込み後、テープTをウエハWに圧着させ、サークルカッター51により切り取る。
【選択図】図1
Description
[構成]
まず、本実施形態(以下、本装置と呼ぶ)の構成を、図1〜4を参照して説明する。なお、本装置は、保護用のテープをウエハにラミネートするラミネート装置の一部を構成するものであり、基板を搬入及び搬出する搬送装置、テープの送り出し、巻き取りを行うリール装置等については、公知のあらゆる技術を適用可能であるため、説明を省略する。また、テープの貼り付け時に気泡が混入することを防止するために、貼り合せ空間は真空源に接続された真空チャンバ内に構成されている。
以上のような本装置によって、基板のラミネートを行う方法を、図1〜11を参照して説明する。なお、入力部200により、エッジセンサ32の検出位置からノッチカット部40に対応する位置までの回動量(図2のθ参照)に応じたカウント値が、あらかじめ入力されて設定部120に設定されているものとする。
以上のような本実施形態によれば、ウエハWの外形を切り抜く前に、あらかじめノッチカッター41によって、ノッチNに対応する独立の切り込みを入れることにより、一筆書きで連続して切断する場合のような微細な切片が生じることがない。従って、切りカスによるウエハWの傷や次工程での不具合を防止できる。
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、保護用のテープによるラミネート方法や粘着剤の選択は、自由である。例えば、ヒータープレートによる熱圧着を行ってもよいし、紫外線硬化型の粘着剤を用ることにより、UV硬化させて簡単に剥離できるようにしてもよい。テープの材質も、PET等が一般的であるが、特定の種類には限定されない。また、上記の実施形態においては、あらかじめ切り込みを入れた後に、ウエハにテープを圧着していたが、テープを圧着した後に、切り込みを入れてもよい。
11…ガイドローラ
13…ガイド
20…加圧部
21…加圧ローラ
30…載置部
31…サセプタ
32…エッジセンサ
40…ノッチカット部
41…ノッチカッター
42…昇降機構
50…サークルカット部
51…サークルカッター
52…サークルカッター駆動機構
100…制御装置
110…カウント部
120…設定部
130…指示部
200…入力部
N…ノッチ
T…テープ
W…ウエハ
Claims (6)
- 基板の形状に合せてテープを切り取るテープカット装置において、
基板に形成されたノッチに合う形状の第1のカッターと、
テープにおけるノッチに対応する位置に、前記第1のカッターを抜き差しさせる第1の駆動部と、
線状の軌道でテープを切る第2のカッターと、
前記第2のカッターを基板の外形に沿って移動させる第2の駆動部と、
を有することを特徴とするテープカット装置。 - 前記第1のカッターによる切り込み後であって、前記第2のカッターによる切り取り前に、テープを基板に対して密着させる密着手段を有することを特徴とする請求項1記載のテープカット装置。
- 前記第1のカッターと基板との相対的な位置を調整する調整手段と、
基板のノッチを検出する検出手段と、
前記検出手段の検出に応じて、基板のノッチに対応する位置に、前記第1のカッターの差し込み位置が合うように、前記調整手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のテープカット装置。 - 基板の形状に合せてテープを切り取るテープカット方法において、
基板に形成されたノッチに合う形状の第1のカッターによって、テープにおけるノッチに対応する位置に切り込みを入れ、
線状の軌道でテープを切る第2のカッターによって、テープにおける前記切り込み以外の部分を、基板の外形に沿って切り取ることを特徴とするテープカット方法。 - 前記第1のカッターによる切り込み後であって、前記第2のカッターによる切り取り前に、テープを基板に対して密着させることを特徴とする請求項4記載のテープカット方法。
- 検出手段が、基板のノッチを検出し、
調整手段が、その検出に応じて、基板のノッチに対応する位置に、前記第1のカッターの差し込み位置が合うように、前記第1のカッターと基板との相対的な位置を調整することを特徴とする請求項4又は請求項5記載のテープカット方法。
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