JP4387879B2 - 保護テープ装着方法および保護テープ装着装置 - Google Patents
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Description
ウエーハの表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
一側面にウエーハの外周縁と2点で接触する2点支持スペーサーを装着したカッター刃を用い、保護テープを介して2点支持スペーサーをウエーハの外周縁に当てがいつつカッター刃をウエーハの外周縁に沿って移動させ、保護テープをウエーハの外周縁より外側で切断する保護テープ切断工程と、を含む、
ことを特徴とする保護テープ装着方法が提供される。
ウエーハの外径より小径の保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたウエーハに貼着された保護テープをウエーハの外周縁に沿って切断するカッター刃を備えた切断機構と、を具備し、
該カッター刃は、ウエーハの外周縁と接触する側面にウエーハの外周縁と2点で接触する2点支持スペーサーが装着されている、
ことを特徴とする保護テープ装着装置が提供される。
図1に示す保護テープ装着装置は、ウエーハWを保持するための保持テーブル2と、該保持テーブル2の上方に配設された切断機構3を具備している。保持テーブル2は、ウエーハWの径より小径に形成されており、図示しない吸引手段によってウエーハWを上面である保持面上に吸引保持するようになっている。なお、保持テーブル2は、上下方向に移動可能に構成されており、図示しない昇降手段によって図1に示すウエーハ着脱位置と図1において2点鎖線で示す保護テープ貼着位置に位置付けられる。
ウエーハWの表面に保護テープ12を貼着し、この保護テープ12をウエーハWの外周縁に沿って切断するに際しては、図1において実線で示すウエーハ着脱位置に位置付けられた保持テーブル2の上面である保持面上にウエーハWを載置する。このとき、ウエーハWは表面を上側にして載置される。そして、図示しない吸引手段を作動して保持テーブル2上にウエーハWを吸引保持する(ウエーハ保持工程)。保持テーブル2にウエーハWを吸引保持したならば、図示しない昇降手段を作動して保持テーブル2を図3に示すように所定量上昇せしめて保護テープ貼着位置に位置付ける。次に、押圧ロール9を図3において実線で示す位置から2点鎖線で示す位置まで往復移動する。この結果、保持テーブル2に保持されたウエーハWの上側に延在する保護テープ12は、押圧ロール9によってウエーハWの表面に押圧され貼着される(保護テープ貼着工程)。
保護テープ切断工程を実施するに際しては、切断機構3のエアシリンダ37を作動してカッター33を引っ張りコイルばね36のばね力に抗して図1において2点鎖線で示す切断開始位置に位置付ける。次に、図示しない昇降手段を作動して切断機構3を下降せしめ、図4で示す切断位置に位置付ける。この切断位置に位置付けられた状態においてカッター33のカッター刃331は、ウエーハWの外周縁より外側で保護テープ12を突き刺す。
3:切断機構
31:回転軸
32:カッター支持部材
33:カッター
331:カッター刃
332:カバー部材
34:支持ピン
35:2点支持スペーサー
351:第1のスペーサー
352:第2のスペーサー
36:引っ張りコイルばね
37:エアシリンダ
5:保護テープ繰り出しロール
6:不要テープ巻取りロール
7:案内ロール
8:案内ロール
9:押圧ロール
10:剥離紙剥離ロール
11:剥離紙巻取りロール
12:保護テープ
13:剥離紙
W:ウエーハ
Claims (5)
- ウエーハの表面に保護テープを貼着し、該保護テープをウエーハの外周縁に沿って切断する保護テープ装着方法であって、
ウエーハの表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
一側面にウエーハの外周縁と2点で接触する2点支持スペーサーを装着したカッター刃を用い、保護テープを介して2点支持スペーサーをウエーハの外周縁に当てがいつつカッター刃をウエーハの外周縁に沿って移動させ、保護テープをウエーハの外周縁より外側で切断する保護テープ切断工程と、を含む、
ことを特徴とする保護テープ装着方法。 - 該保護テープ切断工程は、保護テープをウエーハの外周縁より0.5〜1.0mm外側を切断する、請求項1記載の保護テープ装着方法。
- ウエーハの表面に保護テープを貼着し、該保護テープをウエーハの外周縁に沿って切断する保護テープ装着装置において、
ウエーハの外径より小径の保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたウエーハに貼着された保護テープをウエーハの外周縁に沿って切断するカッター刃を備えた切断機構と、を具備し、
該カッター刃は、ウエーハの外周縁と接触する側面にウエーハの外周縁と2点で接触する2点支持スペーサーが装着されている、
ことを特徴とする保護テープ装着装置。 - 該2点支持スペーサーは、ウエーハの外周縁に接触する円弧面を備えた第1のスペーサーと第2のスペーサーとからなっている、請求項3記載の保護テープ装着装置。
- 該第1のスペーサーおよび該第2のスペーサーは、金属線材によって形成されている、請求項4記載の保護テープ装着装置。
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