JP2009125871A - 半導体ウエハの保護テープ切断方法および保護テープ切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カッタ刃12をウエハ外周に対して一定方向に移動させながらノッチnの一方の開口端からノッチ内奥に向かって移動させて切り込み、切り込んだカッタ刃12の切断移動を一旦停止させ、突き刺し初期位置に反転移動させた後、カッタ刃12をウエハ外周に対して逆方向に移動させながらノッチnの他方の開口端からノッチ内奥に向かって移動させることによってノッチ形状に沿ったテープ切断を行う。
【選択図】図12
Description
前記半導体ウエハのノッチ部分の保護テープを切断する過程では、開口端からノッチ内奥に向う斜辺に沿ってカッタ刃の側面を沿わせながら前記保護テープを切断する
ことを特徴とする。
半導体ウエハの外周に対してカッタ刃を一定方向に移動させながらノッチの一方の開口端からノッチ内奥に向かって移動させる前半切り込み過程と、
前記過程で切り込んだカッタ刃を一旦ノッチから抜き出す抜き出し過程と、
ノッチから一旦抜き出し後退させたカッタ刃を、半導体ウエハの外周に対して逆方向に移動させながらノッチの他方の開口端からノッチ内奥に向かって移動させる後半切り込み過程と、
を備えたことを特徴とする。
前記カッタ刃として両刃のカッタ刃を用いることを特徴とする。
ノッチの位置情報を予め取得した後に、保護テープの切断を行い、
保護テープ切断後のノッチ内奥の切断状態を取得することを特徴とする。
前記半導体ウエハの外周に対してカッタ刃を相対的に一定方向および逆方向に移動させるカッタ刃移動手段と、
前記半導体ウエハの外周に対するカッタ刃の切り込み姿勢を正逆に切換える姿勢切換え手段と、
前記半導体ウエハのノッチ部分を切断する過程において、開口端からノッチ内奥に向う斜辺に沿ってカッタ刃の側面を沿わせるように、前記姿勢切換手段を操作して切り込み姿勢を正逆に切換え制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする。
保護テープ切断前に前記ノッチの位置情報を取得するととも、保護テープ切断後のノッチ内奥の切断状態を取得する光学手段と、
前記制御装置は、光学手段によって取得された位置情報に基づいてカッタ刃の移動を制御するよう構成した、
ことを特徴とする。
46 … 制御装置
50 … 監視カメラ
n … ノッチ
W … 半導体ウエハ
T … 保護テープ
Claims (6)
- 位置決め用のノッチが形成された半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対移動させ、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープをウエハ外形に沿って切り抜く半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
前記半導体ウエハのノッチ部分の保護テープを切断する過程では、開口端からノッチ内奥に向う斜辺に沿ってカッタ刃の側面を沿わせながら前記保護テープを切断する
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項1に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
半導体ウエハの外周に対してカッタ刃を一定方向に移動させながらノッチの一方の開口端からノッチ内奥に向かって移動させる前半切り込み過程と、
前記過程で切り込んだカッタ刃を一旦ノッチから抜き出す抜き出し過程と、
ノッチから一旦抜き出し後退させたカッタ刃を、半導体ウエハの外周に対して逆方向に移動させながらノッチの他方の開口端からノッチ内奥に向かって移動させる後半切り込み過程と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
前記カッタ刃として両刃のカッタ刃を用いる
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
ノッチの位置情報を予め取得した後に、保護テープの切断を行い、
保護テープ切断後のノッチ内奥の切断状態を取得することを特徴とする。
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 位置決め用のノッチが形成された半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対走行させて半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープをウエハ外形に沿って切り抜く半導体ウエハの保護テープ切断装置において、
前記半導体ウエハの外周に対してカッタ刃を相対的に一定方向および逆方向に移動させるカッタ刃移動手段と、
前記半導体ウエハの外周に対するカッタ刃の切り込み姿勢を正逆に切換える姿勢切換え手段と、
前記半導体ウエハのノッチ部分を切断する過程において、開口端からノッチ内奥に向う斜辺に沿ってカッタ刃の側面を沿わせるように、前記姿勢切換手段を操作して切り込み姿勢を正逆に切換え制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。 - 請求項5に記載の半導体ウエハの保護テープ切断装置において、
保護テープ切断前に前記ノッチの位置情報を取得するととも、保護テープ切断後のノッチ内奥の切断状態を取得する光学手段と、
前記制御装置は、光学手段によって取得された位置情報に基づいてカッタ刃の移動を制御するよう構成した、
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。
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