JP2011171561A - シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着シートをウエハに貼付して切断する際に、切り残し部分を生じさせることのないシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法を提供する。
【解決手段】接着シートＳを繰り出す繰出手段１２と、繰り出された接着シートＳを半導体ウエハＷに押圧して貼付する押圧手段１４と、接着シートＳを半導体ウエハＷの大きさに合わせて切断するカッター刃５１を含む切断手段１５とを備える。切断手段１５は、半導体ウエハＷの外縁に沿ってカッター刃５１を一方向ａ１に移動させて接着シートＳを切断し、その後に、一方向とは反対の方向ａ２にカッター刃５１を移動させる。これにより、一方向ａ１の切断時に切り残し部分ＳＲが生じても、反対の方向ａ２の切断によって切り残し部分ＳＲを切断することができる。
【選択図】図４

Description

本発明はシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法に係り、特に、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法、並びに、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断装置及び切断方法に関する。

半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する場合がある）を被着体とし、当該ウエハに接着シートを貼付する装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。
同文献に開示された装置は、保護テープ（接着シート）をウエハに貼付した後に、当該ウエハの形状に合わせて接着シートをカッター刃で所定形状に切断するように構成されている。

特開２００２−５７２０８号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたシート貼付装置にあっては、ウエハの外周に沿ってカッター刃を一方向に回転させることで接着シートを切断する構成となっている。
このような構成では、カッター刃１００が損傷したりして、その切断能力が低下したような場合、或いは、接着シートＳの接着力が弱い場合には、図８に示されるように、ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周部部分が持ち上げられてしまい、切断後にウエハＷの外周より接着シートＳがはみ出してしまい、接着シートＳを所定形状に切断できない、という不都合がある。
また、図９に示されるように、カッター刃１００を接着シートＳに突き刺した後、当該カッター刃１００が動き始めようとするときの切断抵抗が非常に大きいため、接着シートＳを部分的に持ち上げてしまうような現象が発生し、接着シートＳの切り残し部分ＳＲを生じさせてしまい、上記と同様に接着シートＳを所定形状に切断できない、という不都合がある。
更に、図４（Ａ）に示されるように、複数の分割シートＳ１、Ｓ２に分割可能とする切込Ｃを備えた接着シートＳの場合には、その切込Ｃ部分をカッター刃の刃縁が通過するとき、つまり、刃縁が一方の分割シートから他方の分割シートへ移り替わるときに、他方の接着シートを部分的に巻き込んだり、持ち上げたりして切込Ｃ部分におけるカッター刃１００の切断方向下流側に接着シートＳの切り残し部分ＳＲが生じる。また、図１０に示されるように、カッター刃１００の刃縁が切込Ｃ部分で引っ掛かった瞬間に、切込Ｃ部分におけるカッター刃１００の切断方向上流側に切り残し部分ＳＲが生じる、という不都合もある。
ここで、上記のような不都合を解消するために、カッター刃１００をもう１度ウエハの外周に沿って一方向に回転させれば、切り残し部分ＳＲを切断できる場合があるが、切り残し部分ＳＲの導入部ＳＲ１（図４参照）が先のカッター刃１００による切断動作によって折れ曲がったり、捩れたりしていることがあり、同じ一方向の回転では切断し難く、稀に切断できない場合がある。

［発明の目的］
本発明の目的は、被着体に貼付された接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する際に、被着体の外側に接着シートの切り残し部分を生じさせることなく、当該接着シートを所定形状に切断することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記繰出手段から繰り出された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記被着体に貼付された接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する切断部材を含む切断手段と、前記各手段を所定制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記切断手段を介して前記被着体の外縁に沿って前記切断部材を一方向に移動させて前記接着シートを切断した後に、前記切断部材を前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断する、という構成を採っている。

本発明において、前記接着シートは、切込によって複数の分割シートに分割可能に設けられたものであり、前記制御手段は、前記切断手段を介して前記被着体の外縁に沿って前記切断部材を一方向に移動させて前記接着シートを切断したときに、前記切込の前後に生じ得る切り残し部分を、前記一方向とは反対の方向に切断部材を移動させて切断する、という構成を採っている。

また、前記切断部材はカッター刃により構成され、前記制御手段は、前記カッター刃を接着シートに突き刺す突刺深さ制御手段を有し、当該突刺深さ制御手段を介して前記カッター刃の第１部位を使って一方向に移動させて接着シートを切断した後に、前記カッター刃の第２部位を使って前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断するように構成することができる。

更に、前記切断部材はカッター刃により構成され、前記制御手段は、前記カッター刃の切断方向正面視において、前記カッター刃の中心線が傾斜したキャンバ角を制御するキャンバ角制御手段を有し、当該キャンバ角制御手段を介して第１キャンバ角で前記一方向にカッター刃を移動させて前記接着シートを切断した後に、第２キャンバ角で前記一方向とは反対の方向にカッター刃を移動させて前記接着シートを切断する、という構成も採用することができる。

また、前記切断部材はカッター刃により構成され、切断方向の両側に刃縁を有する、という構成を採ることができる。

また、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記接着シートを繰り出す工程と、前記繰り出された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、前記被着体の外縁に沿う一方向に前記接着シートを切断する第１切断工程と、前記第１切断工程の後に、前記一方向とは反対の方向に前記接着シートを切断する第２切断工程とを行う、という手法を採っている。

更に、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断装置であって、前記被着体に貼付された接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する切断部材を含む切断手段と、前記切断手段を所定制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記切断手段を介して前記被着体の外縁に沿って前記切断部材を一方向に移動させて前記接着シートを切断した後に、前記切断部材を前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断する、という構成を採っている。

また、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断方法であって、前記被着体の外縁に沿う一方向に前記接着シートを切断する第１切断工程と、前記第１切断工程の後に、前記一方向とは反対の方向に前記接着シートを切断する第２切断工程とを行う、という手法を採っている。

本発明によれば、切断部材が被着体の外縁に沿って、一方向と当該一方向とは反対の方向との双方に移動して接着シートを切断する構成であるため、一方向に切断した際に切り残し部分が生じても、反対方向への切断によって切り残し部分を切断し、接着シートを所定の形状に切断することができる。
また、切り残し部分の導入部が先の切断動作によって折れ曲がったり、捩れたりして同じ一方向の回転では切断し難い場合でも、一方向とは反対の方向に移動して接着シートを切断すれば、切り残し部分の導入部を切断最終部として切断できるため、切り残し部分が生じないように接着シートを所定形状に切断することができる。
また、接着シートが切込によって複数に分割可能に設けられたものである場合には、一方向に接着シートを切断すると切込の前後に切り残し部分を生じ得るが、この場合でも、一方向とは反対の方向から接着シートを再度切断することにより、切り残し部分を確実に切断することが可能となる。なお、切込Ｃ部分におけるカッター刃の切断方向下流側を切込の後とし、切込Ｃ部分におけるカッター刃の切断方向上流側を切込の前とする。
更に、制御手段に突刺深さ制御手段を設け、当該突刺深さ制御手段を介してカッター刃の接着シートへの突き刺し深さを変更し、当該カッター刃の第１部位と第２部位とを使い分ける構成では、カッター刃の同じ部位ばかりを使い続けることでカッター刃の切断能力が低下し、切り残し部分が発生することを防止することができる。
また、キャンバ角制御手段を設けた構成では、第１キャンバ角で一方向にカッター刃を移動させて接着シートを切断した後、第２キャンバ角で一方向とは反対の方向にカッター刃を移動させて接着シートを切断することで、接着シートの切り残し部分の発生を抑制することができる。
更に、カッター刃が両側に刃縁を有する場合には、カッター刃を切断方向に合わせて回転させる必要がなくなり、切断効率を向上させることができる。

本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。 ウエハに接着シートが貼付された状態を示す概略斜視図。 （Ａ）、（Ｂ）は、切断部材の概略斜視図。 （Ａ）、（Ｂ）は、接着シートを切断する動作説明図。 （Ａ）、（Ｂ）は、接着シートを切断する動作説明図。 突刺し深さを変更して切断する動作説明図。 カッター刃がキャンバ角を維持して切断する動作説明図。 従来例の不具合を示す説明図。 従来例の不具合を示す説明図。 従来例の不具合を示す説明図。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

図１及び図２に示されるように、シート貼付装置１０は、接着シートＳの繰出手段１２と、被着体としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、接着シートＳをウエハＷに押圧して貼付する押圧手段１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの大きさに合わせて接着シートＳを所定形状に切断するシート切断装置としての切断手段１５と、切断によってウエハＷの外側に生じた不要シートＳＤを巻き取る巻取手段１８と、これら各手段を制御する制御手段１９とを備えて構成されている。ここで、本実施形態における接着シートＳは、図２に示されるように、帯状の基材シートＢＳの一方の面に接着剤層Ａが設けられるとともに、幅方向中央部であって、その延出方向に沿う切込Ｃによって第１分割シートＳ１及び第２分割シートＳ２に分割可能とされたものが採用されている。

前記繰出手段１２は、剥離シートＲＬと共にロール状に巻回された接着シートＳを支持する支持ローラ２０と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＳを剥離する剥離部材２２と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３２及びダンサローラ７９と、接着シートＳを貼付するときに、ガイドローラ２８を介して接着シートＳの張力を検出するロードセル３４と、ブレーキシュー３９Ａ、３９Ｂを介してガイドローラ２７、３０とで接着シートＳを挟み込み接着シートＳの繰出を抑制するシリンダ３８Ａ、３８Ｂと、剥離部材２２、ガイドローラ２７〜３０及びロードセル３４を支持するフレームＦ１をロードセル３４によって検出された接着シートＳの張力によって下降させる貼付角度維持手段３６とを備えて構成されている。なお、繰出手段１２及び貼付角度維持手段３６は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと実質的に同一の構成であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。

前記テーブル１３は、平面視略方形の外側テーブル４０と、平面視略円形の内側テーブル４１と、内側テーブル４１を昇降させる単軸ロボット４３とにより構成されている。これにより、内側テーブル４１は、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じてその上面の高さ位置が調整できるようになっている。

前記押圧手段１４は、フレーム４６の上面に設けられたシリンダ４７によって図１中上下方向に昇降可能な押圧ローラ４５により構成され、フレーム４６がリニアモータ４９の図示しないスライダ上に支持されて図１中左右方向に移動可能に設けられている。

前記切断手段１５は、所謂６軸ロボットで構成されるロボット本体５０と、当該ロボット５０の自由端側に支持された切断部材としてのカッター刃５１とを備えて構成されている。カッター刃５１は、ロボット本体５０の自由端側に位置する工具保持チャック５２を介して着脱自在に装着される。なお、切断手段１５は、本出願人によって出願された特願２００６−１５７８３号に開示したものと実質的に同一の構造であるため、詳細な説明を省略するが、概説すれば、ロボット本体５０を数値制御することによってカッター刃５１を多次元方向に駆動させることができるものである。これにより、ロボット本体５０を構成する複数のアームを所定制御することで、カッター刃５１をウエハＷの外周に沿う一方向（図４（Ａ）中（ａ１）方向）及び一方向とは反対の方向（図４（Ｂ）中（ａ２）方向）の双方に移動させることができる。
本実施形態におけるカッター刃５１は、図３（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、工具保持チャック５２の被把持部となる軸部５３を備えており、当該カッター刃５１は、刃縁５１Ａが片側に形成されたタイプのものや刃縁５１Ａが両側に形成されたタイプのものを採用することができる。

前記巻取手段１８は、フレームＦ２に支持されたローラ７１と、モータＭ１によって駆動する駆動ローラ６０と、駆動ローラ６０に不要シートＳＤを挟み込んで追従回転する巻取ローラ６３とを備え、フレームＦ２がリニアモータ４９のスライダ６５上に支持されて図１中左右方向に移動可能に設けられている。

前記制御手段１９は、前記各手段を所定制御するプログラムを記憶可能な記憶部を含んで構成され、前記プログラムは、突刺深さ制御手段を構成するプログラムと、カッター刃５１が接着シートＳを切断する時のカッター刃５１の角度や向きといったカッター刃５１の姿勢を制御するプログラムとを含んで構成されている。なお、制御手段１９は、コンピュータやシーケンサ等が例示できる。

前記突刺深さ制御手段は、図６に示されるように、接着シートＳの上面からカッター刃５１の最下部の位置までの突き刺し深さＤを制御して調整するようになっている。これにより、カッター刃５１の刃縁５１Ａにおける任意の２箇所を第１部位５１ａ及び第２部位５１ｂとし、ウエハＷの外縁に沿う一方向ａ１に移動してカッター刃５１が接着シートＳの切断を行うときに第１部位５１ａを使い、一方向とは反対の方向ａ２に移動してカッター刃５１が接着シートＳの切断を行うときに、第２部位５１ｂを使って切断を行うように設定されている。このような構成によれば、例えば、カッター刃５１の第１部位５１ａが損傷して切断能力が低下してしまうと、同じ第１部位５１ａを使って一方向とは反対の方向ａ２に移動しても切り残し部分ＳＲ（図４、図５参照）は切断できないことがあるが、カッター刃５１の第２部位５１ｂを使って一方向とは反対の方向ａ２に移動させることで、切り残し部分ＳＲを切断することができる。なお、これら第１部位５１ａ及び第２部位５１ｂは、刃縁５１Ａに沿って変更することができるものであり、例えば、予め設定された切断回数を越えたときに、刃縁５１Ａに沿って第１及び第２部位５１ａ、５１ｂを少しずつ変更することができる。

前記カッター刃５１の姿勢を制御するプログラムは、本実施形態では、図７に示されるように、カッター刃５１の切断方向正面視において、カッター刃５１の中心線が傾斜するキャンバ角ＣＮを制御可能なキャンバ角制御手段としてのキャンバ角変更プログラムの他、図４に示されるように、切断方向上面視において、カッター刃５１の中心線が切断方向に対して傾斜するトウイン角ＴＩを制御可能なトウイン角制御手段としてのトウイン角変更用プログラム、図６に示されるように、切断方向側面視において、カッター刃５１の中心線が切断方向に傾斜するキャスタ角ＣＳを制御可能なキャスタ角制御手段としてのキャスタ角変更用プログラムを含む。

次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について説明する。

初期設定において、接着シートＳは、図１に示されるように、支持ローラ２０から上昇位置にある剥離部材２２で剥離シートＲＬが剥離され、巻取ローラ６３に固定される一方、剥離シートＲＬは、回収ローラ２３に固定される。

電源が投入されると、巻取手段１８が作動し、先のシート貼付動作で接着シートＳに形成された穴が、ローラ７１を超えるまで接着シートＳを巻き取る。その後、ブレーキシュー３９Ａ、３９Ｂがガイドローラ２７、３０にそれぞれ当接して接着シートＳの繰り出しを抑制し、スタンバイ状態となる。

次いで、図示しない搬送手段を介してテーブル１３上にウエハＷがセットされると、押圧ローラ４５が図１中左側に移動するとともに、ロードセル３４が接着シートＳの張力変化を検知しつつ、貼付角度維持手段３６を使ってフレームＦ１を下降させることで、図２に示されるように、接着シートＳが外側テーブル４０の上面とウエハＷの上面に貼付される。

接着シートＳの貼付が完了すると、切断手段１５が作動し、カッター刃５１でウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳの切断が行われる。この切断は、図２に示されるように、ウエハＷの外縁における所定位置にカッター刃５１を突き刺した後に、刃縁５１Ａを切断方向前向きに維持するとともに、当該カッター刃５１をウエハＷの外縁に沿って一方向ａ１に１周移動させることで、接着シートＳがウエハＷの外縁に沿って切断される（第１切断工程）。
この第１切断工程に際し、制御手段１９が記憶部からプログラムを読み出して切断手段１５を制御し、カッター刃５１の突き刺し深さＤ、トウイン角ＴＩ、キャンバ角ＣＮ、キャスタ角ＣＳが所定角度となるように制御される。本実施形態の場合、突刺深さ制御手段により、図６に示されるように、カッター刃５１の突き刺し深さＤがＤ１に調整されてカッター刃５１の第１部位５１ａが接着シートＳの切断に使用され、且つ、キャンバ角制御手段により、図７に示されるように、カッター刃５１のキャンバ角がＣＮ１に制御されて接着シートＳの切断が行われる。
ここで、第１切断工程では、キャンバ角ＣＮ１は、接着シートＳの面に対して直交する角度若しくは直交する角度に近い方がよい。これは、図７の二点鎖線で示されるように、キャンバ角ＣＮが小さくなるに連れて、カッター刃５１と接着シートＳとが接触する面積が大きくなることでカッター刃５１による切断抵抗が大きくなってしまい、ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周部部分を持ち上げ易くなり、切り残し部分ＳＲを発生し易くなるためである。

第１切断工程に次いで、切断手段１５は、カッター刃５１の軸部５３の軸線を回転中心とし、トウイン角ＴＩを考慮して刃縁５１Ａが略１８０度反転するように当該カッター刃５１を回転させ、上記と同様、所定位置にカッター刃５１を突き刺した後に、刃縁５１Ａを切断方向前向きに維持するとともに、当該カッター刃５１をウエハＷの外縁に沿って一方向とは反対の方向ａ２に１周移動させることにより切断を完了する（第２切断工程）。
この第２切断工程に際し、上記第１切断工程と同様に、制御手段１９が記憶部からプログラムを読み出して切断手段１５を制御し、カッター刃５１の突き刺し深さＤ、トウイン角ＴＩ、キャンバ角ＣＮ、キャスタ角ＣＳが所定角度となるように制御される。本実施形態の場合、突刺深さ制御手段により、図６に示されるように、カッター刃５１の突き刺し深さＤがＤ２に調整されてカッター刃５１の第２部位５１ｂが接着シートＳの切断に使用され、且つ、キャンバ角制御手段により、図７に示されるように、カッター刃５１のキャンバ角がＣＮ２に制御されて接着シートＳの切断が行われる。
ここで、第２切断工程では、キャンバ角ＣＮ２は、第１切断工程でのキャンバ角ＣＮ１よりも小さい角度となるように設定されている。このようにキャンバ角ＣＮ２を小さく設定することで、例えば、ウエハＷが別の工程（研削工程等）において、図７の二点鎖線で示される厚さにまで研削されたときに、ウエハＷの外縁から接着シートＳ（切り残し部分ＳＲ）がはみ出るようなことがなくなり、研削時にはみ出た接着シートＳが研削装置の研削部材との間に入り込んでウエハＷを損傷させることを防止することができる。この場合の切り残し部分ＳＲは、第１切断工程の後に、第２切断工程で切断される部分である。
なお、第２切断工程では、キャンバ角ＣＮを小さく設定することにより、カッター刃５１と接着シートＳとが接触する面積が大きくなるが、図４（Ｂ）、図５（Ｂ）に示されるように、第２切断工程で切断されるウエハＷの外側の部分（切り残し部分ＳＲ）は、ウエハＷの外側へ逃げるように変位するため、第１切断工程でキャンバ角ＣＮを小さくして切断するときに比べて、その切断抵抗は小さく、ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周部部分を持ち上げて切り残し部分ＳＲが切断できなくなるようなことはない。なお、キャンバ角や、突刺し深さは、必ずしも変更することを要せず、接着シートＳの厚みや剛性、或いは、被着体の外縁端面形状等によっては変更することなく切断してもよい。
また、第１、第２切段工程において、トウイン角ＴＩとキャスタ角ＣＳとをそれぞれトウイン角制御手段とキャスタ角制御手段とを介して違う角度に設定してもよいし、それぞれ同じ角度に設定してもよい。本実施形態の場合、トウイン角ＴＩは、第１、第２切断工程共（線対照で）同じ角度に設定されているが、キャスタ角ＣＳは、第１切段工程でＣＳ１に設定され、第２切段工程でＣＳ２に設定されている。キャスタ角ＣＳ１に比べてキャスタ角ＣＳ２を大きな角度としたり、突き刺し深さＤ１に比べて突き刺し深さＤ２を浅く設定したりすることによっても、接着シートＳの切断抵抗を小さくすることができる。

ここで、接着シートＳに切込Ｃが設けられている場合、カッター刃５１の刃縁５１Ａが経時的に切断能力を低下すると、カッター刃５１が接着シートＳの切断中に切込Ｃに当たったとき、つまり、第１分割シートＳ１から第２分割シートＳ２に乗り移る瞬間、又は、第２分割シートＳ２から第１分割シートＳ１に乗り移る瞬間に切断抵抗が急激に増大するため、ウエハＷから接着シートＳを捲り上げるような力が働き、この力によってウエハＷの外縁より外側の接着シートＳ部分が引っ張られた状態で当該接着シートＳが切断されるため、図４（Ａ）に示されるように、接着シートＳの切断方向における切込Ｃの前後に切り残し部分ＳＲが発生する。本実施形態によれば、このような切り残し部分ＳＲが発生しても、図４（Ｂ）に示されるように、一方向とは反対の方向ａ２にカッター刃５１を移動させるため、つまり、正方向と逆方向とに２回の切断となることで、切り残し部分ＳＲを切断することが可能となる。

このようにして接着シートＳの切断を完了した後は、ウエハＷが図示しない移載装置を介してテーブル１３上から取り去られ、フレームＦ２が図１中左側に移動し、ローラ７１を介して不要シートＳＤが巻取ローラ６３によって巻き取られる。次いで、ブレーキシュー３８、３９がガイドローラ２７、３０から離れ、フレームＦ１が上昇すると同時に、押圧ローラ４５が上昇し、押圧手段１４及びフレームＦ２が図１に示される位置に復帰し、新たな接着シートＳの繰り出しを行い、以降上記同様の動作が行われることとなる。

従って、このような実施形態によれば、カッター刃５１が一方向ａ１に移動して切り残し部分ＳＲが発生したとしても、カッター刃５１が一方向ａ１とは反対の方向ａ２に移動して切り残し部分ＳＲを切断することができ、接着シートＳを貼付した後のウエハＷの外縁から接着シートＳが部分的にはみ出してしまうような不都合を解消し、接着シートを所定形状に切断することができる、という効果を得る。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。

例えば、前記実施形態では、切込Ｃを有する接着シートＳをウエハＷに貼付するものとしたが、図５に示されるように、切込Ｃを有しない接着シートＳを貼付又は切断する対象とすることも可能である。この場合、図５（Ａ）に示されるように、カッター刃５１を接着シートＳに突き刺した後、当該カッター刃５１が動き始めようとするときの切断抵抗が非常に大きいため、接着シートＳを部分的に持ち上げてしまうような現象が発生し、接着シートＳを所定の切断位置で切断できなくなり、接着シートＳの切り残し部分ＳＲを生じさせてしまう。しかし、このような切り残し部分ＳＲが発生しても、図５（Ｂ）に示されるように、一方向とは反対の方向ａ２にカッター刃５１を移動させるため、つまり、正方向と逆方向とに２回の切断となることで、切り残し部分ＳＲを切断することが可能となる。なお、正方向と逆方向とにカッター刃５１を移動させる回数は、それぞれ１回でもよいし、２回以上でもよい。
また、前記実施形態において、制御手段１９は、切断手段１５を介してウエハＷの外縁に沿ってカッター刃５１を一方向ａ１に移動させて接着シートＳを切断した後に、突き刺し深さＤとトウイン角ＴＩとキャンバ角ＣＮとキャスタ角ＣＳとの少なくとも１を変更させ、カッター刃５１を一方向とは反対の方向ａ２に移動させて接着シートＳを切断するように構成してもよい。

更に、図３（Ｂ）に示されるような、両側に刃縁５１Ａを有するカッター刃５１を用いた場合、一方向ａ１の移動が完了した後に、略１８０度回転させることなく、トウイン角ＴＩの２倍の角度回転させ次第直ちにカッター刃５１を一方向とは反対の方向ａ２に移動させて接着シートＳを切断することができ、切断効率を向上させることができる。この場合、片側の刃縁５１Ａが第１部位を構成する一方、反対側の刃縁５１Ａが第２部位として接着シートＳを切断することにもなる。

また、被着体はウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。

１０ シート貼付装置
１２ 繰出手段
１４ 押圧手段
１５ 切断手段（シート切断装置）
１９ 制御手段
５１ カッター刃（切断部材）
５１Ａ 刃縁
５１ａ 第１部位
５１ｂ 第２部位
Ａ 接着剤層
ＢＳ 基材シート
Ｃ 切込
Ｓ 接着シート
Ｓ１ 第１分割シート（分割シート）
Ｓ２ 第２分割シート（分割シート）
ＳＲ 切り残し部分
ａ１ 一方向
ａ２ 一方向とは反対の方向
Ｗ 半導体ウエハ（被着体）

Claims (7)

1. 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
   前記接着シートを繰り出す繰出手段と、
   前記繰出手段から繰り出された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
   前記被着体に貼付された接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する切断部材を含む切断手段と、
   前記各手段を所定制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記切断手段を介して前記被着体の外縁に沿って前記切断部材を一方向に移動させて前記接着シートを切断した後に、前記切断部材を前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断することを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記切断部材はカッター刃により構成され、前記制御手段は、前記カッター刃を接着シートに突き刺す突刺深さ制御手段を有し、当該突刺深さ制御手段を介して前記カッター刃の第１部位を使って一方向に移動させて接着シートを切断した後に、前記カッター刃の第２部位を使って前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
3. 前記切断部材はカッター刃により構成され、前記制御手段は、前記カッター刃の切断方向正面視において、前記カッター刃の中心線が傾斜したキャンバ角を制御するキャンバ角制御手段を有し、当該キャンバ角制御手段を介して第１キャンバ角で前記一方向にカッター刃を移動させて前記接着シートを切断した後に、第２キャンバ角で前記一方向とは反対の方向にカッター刃を移動させて前記接着シートを切断することを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
4. 前記切断部材はカッター刃により構成され、切断方向の両側に刃縁を有することを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載のシート貼付装置。
5. 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
   前記接着シートを繰り出す工程と、
   前記繰り出された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
   前記被着体の外縁に沿う一方向に前記接着シートを切断する第１切断工程と、
   前記第１切断工程の後に、前記一方向とは反対の方向に前記接着シートを切断する第２切断工程とを行うことを特徴とするシート貼付方法。
6. 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断装置であって、
   前記被着体に貼付された接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する切断部材を含む切断手段と、
   前記切断手段を所定制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記切断手段を介して前記被着体の外縁に沿って前記切断部材を一方向に移動させて前記接着シートを切断した後に、前記切断部材を前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断することを特徴とするシート切断装置。
7. 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断方法であって、
   前記被着体の外縁に沿う一方向に前記接着シートを切断する第１切断工程と、
   前記第１切断工程の後に、前記一方向とは反対の方向に前記接着シートを切断する第２切断工程とを行うことを特徴とするシート切断方法。

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