JP5139004B2

JP5139004B2 - シート切断装置

Info

Publication number: JP5139004B2
Application number: JP2007214356A
Authority: JP
Inventors: 孝久吉岡; 厚史上道
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2007-08-21
Filing date: 2007-08-21
Publication date: 2013-02-06
Anticipated expiration: 2027-08-21
Also published as: JP2009045698A

Description

本発明は、シート切断装置に係り、更に詳しくは、原反の接着シートに切り込みを形成することができるシート切断装置に関する。

半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）の製造工程において、研削により極薄化されたウエハを補強したり、リングフレームにウエハをマウントするため、接着シートをウエハの形状に応じて切断することが行われている。

このようなシートの切断装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献における切断装置は、図７（Ａ）に示されるように、外周面に切断刃５１Ａが設けられたダイカットロール５１を備えており、原反Ｒにダイカットロール５１を押さえ付けつつ回転させることで、切断刃５１Ａの形状に対応した接着シートＳの切断を行えるようになっている。

特開２００６−７３９２０号公報

しかしながら、特許文献１では、図７（Ｂ）に示されるように、ダイカットロール５１を回転すると、切断刃５１Ａによる切断位置から接着シートＳが捲れ上がる傾向がある。この傾向は、特に切断後端部付近で多発する。このため、接着シートＳが変形して平滑性が阻害され、接着シートＳをウエハに接着した後、これらの間に気泡が介在し易くなる。この気泡の存在により、例えば、ダイボンディングシートの場合、ウエハをチップ化して当該ダイボンディングシートを介してボンディングを行うと、チップや基板と接着シートＳとの接着面積が不足し、後工程で接着シートからチップが脱落する場合がある。

［発明の目的］
本発明は、前述した点を改善すべく案出されたものであり、その目的は、接着シートの平滑性を良好に保ちつつ接着シートに切り込みを形成することができるシート切断装置を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反の前記接着シートに切り込みを形成するシート切断装置において、
前記切り込みに沿って延出する形状を備えた切断刃と、この切断刃に対向する原反を切断刃側に押さえ付け可能に設けられた押圧手段と、回動軸が原反の厚み方向にあって原反と平行な平面内を回動する方向で、前記押圧手段を切断刃の前記延出方向に沿って移動させる回動手段とを備え、前記切断刃は、前記切り込み形成毎に前記原反の厚み方向に移動可能に設けられる、という構成を採っている。

また、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反の前記接着シートに切り込みを形成するシート切断装置において、
前記切り込みに沿って延出する形状を備えて刃先部が所定の同一平面内に位置する切断刃と、この切断刃に対向する原反を、当該原反の厚み方向に切断刃側に押さえ付け可能に設けられた押圧手段と、回動軸が原反の厚み方向にあって原反と平行な平面内を回動する方向で、前記押圧手段を切断刃の前記延出方向に沿って移動させる回動手段とを備え、
前記切断刃は、前記切り込み形成毎に前記原反の厚み方向に移動可能に設けられる、という構成を採っている。

更に、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反の前記接着シートに切り込みを形成するシート切断装置において、
前記切り込みに沿って延出する形状を備えた切断刃と、この切断刃に対向する原反を切断刃側に押さえ付け可能に設けられた押圧手段と、この押圧手段を閉ループを描くように移動させる回動手段とを備え、前記切断刃は、前記切り込み形成毎に前記原反の厚み方向に移動可能に設けられ、前記回動手段は、押圧手段が押さえ付けた領域内に切断刃の刃先部が位置するように押圧手段を移動させる、という構成を採っている。

本発明において、前記押圧手段は、テーパ形状を有する押圧ローラからなる、という構成も好ましくは採用される。

また、前記切断刃に対向して位置する原反に張力を付与可能な張力調整手段を更に含む、という構成も採用することができる。

本発明によれば、回動手段により切断刃の延出方向に沿って押圧手段を移動可能としたり、回動手段により押圧手段が押さえ付けた領域内に切断刃が位置するので、接着シートを切断するときに、従来のように接着シートが捲れ上がるような力が生じることを回避でき、切断によって接着シートが変形することを防止可能となる。これにより、切断後の接着シートの平滑性を良好に維持でき、接着シートをウエハ等に接着した場合、それらの間に気泡が介在することを抑制して接着シートの接着面積を広く確保可能となり、ひいては、ダイボンディングされたチップが基板等から脱落することを回避することができる。

また、押圧ローラがテーパ形状を備えた形状としたので、接着シートの切り込み形状が略円形等である場合、押圧ローラを切り込みの延出方向に沿ってスムースに転動することができる。

更に、原反に張力を付与可能な張力調整手段を設けた場合、切断時に原反に弛みが生じたり、過剰な張力が掛かることを防止でき、切断後の接着シートが弛みや張力から解放されたことによって変形することを効果的に防止することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書及び特許請求の範囲の方向若しくは位置を示す用語は、特に明示しない限り、図２中矢印Ａ方向から見た場合を基準とし、「前」とは矢印Ａ方向から見た場合の手前側を示す一方、「後」とは、同奥行き側について用いられる。

図１には、実施形態に係るシート切断装置が適用された貼付装置の概略正面図が示されている。これらの図において、貼付装置１０は、剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された帯状の原反Ｒの前記接着シートＳに切り込みを形成するシート切断装置１１と、このシート切断装置１１により切り込みが形成された接着シートＳを貼付する貼付手段１２とを備えて構成されている。

前記シート切断装置１１は、図２及び図３にも示されているように、ステージ１５の左右両側に位置するフレームＦに設けられて原反Ｒを繰り出す繰出手段１６と、前記ステージ１５上に設けられた平面視で略円形の切断刃１８と、切断刃１８の上方に設けられた押圧手段としての一対の押圧ローラ２１と、各押圧ローラ２１を回動させるための回動手段２２とを備えて構成されている。

前記繰出手段１６は、右側のフレームＦの下方に設けられたモータＭ１と、当該モータＭ１によって回転駆動されるとともに、ロール状に巻回された原反Ｒを支持する支持軸２４と、左右のフレームＦの上方にそれぞれ設けられて原反を挟み込むピンチローラ２６、２８及び駆動ローラ２７、２９と、各駆動ローラ２７、２９を回転駆動させるモータＭ２、Ｍ３とを備え、各モータＭ１〜Ｍ３を回転することで、接着シートＳを下向きとしつつ原反Ｒを切断刃１８上で左方向に繰り出し可能となっている。なお、モータＭ２と、駆動ローラ２７と、ピンチローラ２６とで張力調整手段１９を構成する。

前記切断刃１８は、ステージ１５の上方に設けられるとともに、直動モータ３２によって昇降可能に設けられた受け台３１上に設置されている。切断刃１８の刃先部１８Ａは、上方に向けられているとともに、平面視で、前記切り込みに沿って延出する形状、本実施形態では略円形に形成されている。また、刃先部１８Ａは、所定の同一平面内に位置するように設けられている。

前記各押圧ローラ２１は、切断刃１８の直上二箇所位置にそれぞれ設けられるとともに、前記回動手段２２を介して回転可能にそれぞれ支持されている。押圧ローラ２１は、テーパ形状、すなわち、内方に向かって先細となる円錐台形状をなし、その回転軸線は、前記刃先部１８Ａが位置する平面に対して平行となるように設けられ、これにより円の軌跡に沿ってスムースに転動できるようになっている。

前記回動手段２２は、下端部で押圧ローラ２１を回転可能に支持する一対のローラ軸受３５と、これらローラ軸受３５をアジャストノブ３６を介して支持する回転アーム３７と、門型の昇降フレーム３９の上部に設けられ、回転アーム３７を回転可能に支持するモータＭ４と、昇降フレーム３９の下部前後両側とステージ１５との間にそれぞれ設けられた直動モータ４０とを備えている。回転アーム３７の左右両側には、左右に延びるスロット穴３７Ａが形成され、これらスロット穴３７Ａを通じてアジャストノブ３６をローラ軸受３５にねじ込むことにより、ローラ軸受３５及び押圧ローラ２１が左右に位置調整可能に支持される。また、前記直動モータ４０は、スライダ４１に取り付けられた昇降フレーム３９を上下に移動させることで、原反Ｒ及び切断刃１８に対し、押圧ローラ２１を離遠及び接近できるようになっている。なお、モータＭ４の回転軸心は、前記切断刃１８の中心位置と略一致するように設定されている。

なお、前記貼付装置１２は、本実施形態では詳細な説明を省略するが、原反Ｒを繰り出す過程において、シート切断装置１１により切り込みが形成された接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離して所定の被着体に貼付可能な公知の構造が採用される。

次に、前記シート切断装置１１により接着シートＳの切断動作について説明する。なお、ここでは、図１及び図４（Ａ）に示されるように、原反Ｒの掛け回し作業が完了し、切断刃１８の上方に原反Ｒが対向しているものとし、切断刃１８の刃先部１８Ａ上方に各押圧ローラ２１が位置するものとする。また、繰出手段１６による原反Ｒの繰り出しは一時停止した状態とする。

先ず、図４（Ａ）に示される状態から、モータＭ３をロック状態として直動モータ３２を作動させ、切断刃１８が原反Ｒに接するように所定量上昇させる。これにより、図４（Ｂ）に示されるように、切断刃１８の刃先部１８Ａにより原反Ｒが少し持ち上げられた状態となる。このとき、張力調整手段１９の駆動ローラ２７が駆動して当該駆動ローラ２７と駆動ローラ２９との間の原反Ｒに弛みや必要以上の張力が掛からないように張力調整が行われる。その後、直動モータ４０を介して押圧ローラ２１を下降し、当該押圧ローラ２１により原反Ｒを下方に押圧して切断刃１８に接着シートＳを押さえ付け、刃先部１８Ａを接着シートＳの厚み方向に食い込ませる（図４（Ｃ）参照）。この状態で、モータＭ４を作動させ、回転アーム３７を回転して剥離シートＲＬ上で押圧ローラ２１を閉ループを描くように転動させる。これにより、押圧ローラ２１が原反Ｒを切断刃１８に押さえ付けながら、切断刃１８の延出方向すなわち平面視で円の軌跡に沿って押圧ローラ２１が転動され、接着シートＳに略円形の切り込みが形成される。
このとき、押圧ローラ２１が押さえ付けた領域内（図５中網点で示す領域内）に刃先部１８Ａが位置するように、回動手段２２が押圧ローラ２１を移動させる。

その後、直動モータ４０を作動させ、押圧ローラ２１を上昇するとともに、切断刃１８を下降して初期位置に復帰させる。そして、モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３が同期して原反Ｒを貼付装置１２方向へ搬送することにより、切り込みが形成されていない新しい領域が切断刃１８の上方に位置するようになって、上記同様の動作が行われることとなる。

従って、このような実施形態によれば、接着シートＳを切断するときに、当該接着シートＳに厚み方向に沿う力だけが作用するので、切断刃１８が接着シートＳを掬い上げるようなことはなくなり、接着シートＳが剥離シートＲＬから捲れ上がることを防止することができる。

また、スロット穴３７Ａ及びアジャストノブ３６を介して押圧ローラ２１の位置調整を行えるので、径寸法が異なる切断刃１８を複数用いる場合でも、これに応じて切断刃１８の刃先部１８Ａ上に押圧ローラ２１が常に位置するように容易に設定可能となる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、押圧ローラ２１の設置数は、図示構成例に限られるものでなく、一つ又は三つ以上にする等必要に応じて増減してもよい。

また、切断刃１８の刃先部１８Ａの平面形状は、切り込みに沿って延出する形状である限りにおいて、種々の変更が可能であり、例えば、略方形や略多角形等としてもよい。具体的には、図６（Ａ）のように、半導体ウエハに設けられたオリエンテーションフラットに対応するように円の一部が直線状に変形した形状や、図６（Ｂ）のように、波状に延出した形状としてもよい。このような場合でも、押圧ローラ２１が押さえ付ける領域内に刃先部１８Ａが位置するように、回動手段２２が押圧ローラ２１を閉ループを描くように移動させることによって、接着シートＳに切り込みを形成することができる。

更に、押圧手段を押圧ローラ２１とした場合を説明したが、回動手段２２により切断刃１８の延出方向に移動可能な片部材や端部が丸みを帯びた軸部材としてもよい。但し、前記実施形態のような押圧ローラ２１とした方が、切断刃１８の延出方向に移動し易くなる点で有利となる。

また、繰り出される原反Ｒの向きは、図示構成例に限られるものでなく、接着シートＳが上向きとなるように原反Ｒを繰り出し、当該原反Ｒの上方に切断刃１８等が位置するようにしてもよい。

実施形態に係るシート切断装置が適用された貼付装置の概略正面図。前記シート切断装置の要部概略斜視図。一部構造を省略した側面図。（Ａ）〜（Ｃ）は、接着シートの切断要領を示す動作説明図。押圧ローラの押さえ付ける領域を示す説明図。（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係る図５と同様の説明図。（Ａ）及び（Ｂ）は、従来例に係る切断装置における接着シートの切断要領を示す動作説明図。

符号の説明

１１シート切断装置
１８切断刃
１８Ａ刃先部
１９張力調整手段
２１押圧ローラ（押圧手段）
２２回動手段
Ｓ接着シート
Ｒ原反
ＲＬ剥離シート

Claims

剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反の前記接着シートに切り込みを形成するシート切断装置において、
前記切り込みに沿って延出する形状を備えた切断刃と、この切断刃に対向する原反を切断刃側に押さえ付け可能に設けられた押圧手段と、回動軸が原反の厚み方向にあって原反と平行な平面内を回動する方向で、前記押圧手段を切断刃の前記延出方向に沿って移動させる回動手段とを備え、
前記切断刃は、前記切り込み形成毎に前記原反の厚み方向に移動可能に設けられていることを特徴とするシート切断装置。
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反の前記接着シートに切り込みを形成するシート切断装置において、
前記切り込みに沿って延出する形状を備えて刃先部が所定の同一平面内に位置する切断刃と、この切断刃に対向する原反を、当該原反の厚み方向に切断刃側に押さえ付け可能に設けられた押圧手段と、回動軸が原反の厚み方向にあって原反と平行な平面内を回動する方向で、前記押圧手段を切断刃の前記延出方向に沿って移動させる回動手段とを備え、
前記切断刃は、前記切り込み形成毎に前記原反の厚み方向に移動可能に設けられていることを特徴とするシート切断装置。
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反の前記接着シートに切り込みを形成するシート切断装置において、
前記切り込みに沿って延出する形状を備えた切断刃と、この切断刃に対向する原反を切断刃側に押さえ付け可能に設けられた押圧手段と、この押圧手段を閉ループを描くように移動させる回動手段とを備え、
前記切断刃は、前記切り込み形成毎に前記原反の厚み方向に移動可能に設けられ、
前記回動手段は、押圧手段が押さえ付けた領域内に切断刃の刃先部が位置するように押圧手段を移動させることを特徴とするシート切断装置。