JP2012059930A - シート貼付ローラ及びこれを用いたシート貼付装置並びにシート貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付ローラ86は、軸状をなすローラ本体90と、このローラ本体90の外周側に突出して配置される第1弾性部材91とを備えている。第1弾性部材91は、接着シートSの基材シートBS側における凹部C底面以外に対応する領域に当接し、接着シートSを半導体ウエハWに押圧可能に設けられている。第1弾性部材91は、接着シートS貼付時に、当該接着シートSを半導体ウエハWに押圧する部分がローラ本体90の表面と同一高さに変形可能に設けられている。
【選択図】図3
Description
ここで、同図(B)のように、シート貼付ローラ100の素材を弾性変形可能とすれば、前記不都合を解消し得るものの、この場合、バンプBの突出形状に沿って接着シートSに凹凸が形成される。その結果、接着シートSを下側にしてテーブル等に載置し、ウエハW上面(裏面)を研削すると、接着シートSに形成された凹凸によってウエハWを吸着保持することができず、正確な研削が行えなかったり、ウエハWを破損させてしまったりする上、接着シートSの凹凸に追従するようにウエハW裏面にも凹凸が形成され、均一な厚みに研削できなくなる、という不都合を生じる。
本発明の目的は、凹部を有する接着シートを貼付するときに、被着体の損傷を防止でき、貼付される接着シートが変形して貼付されることを抑制できるシート貼付ローラ及びこれを用いたシート貼付装置並びにシート貼付方法を提供することにある。
軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材とを備え、
前記第1弾性部材は、前記接着シート貼付時に、当該接着シートを被着体に押圧している部分が前記ローラ本体の表面と同一高さに変形可能に設けられる、という構成を採っている。
軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材と、ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第2弾性部材とを備え、
前記第1弾性部材は、前記接着シート貼付時に、当該接着シートを被着体に押圧している部分が前記第2弾性部材の表面と同一高さに変形可能に設けられる、という構成を採っている。
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第1弾性部材高さが前記ローラ本体の表面高さと同一高さとなるように前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有する、という構成を採っている。
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材と、ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部の領域に対応する形状に設けられた第2弾性部材とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第1弾性部材高さが前記第2弾性部材の表面高さと同一高さとなるように前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有する、という構成を採っている。
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第1弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を、前記ローラ本体の表面と同一高さに変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行う、という方法を採っている。
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材と、ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第2弾性部材とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第1弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を、前記第2弾性部材の表面と同一高さに変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行う、という方法を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、シート貼付ローラ86の昇降が抑制された状態で、接着シートSに当接している第1弾性部材91の下端部と、ローラ本体90の隆起部90A下端とが同一直線上に位置するように、直動モータ27によって内側テーブル22を制御してもよい。この場合、押圧力付与手段は、直動モータ27となる。この制御は、予め入力されたデータを基にしてもよいし、図示しないセンサによってウエハWを押圧している第1弾性部材91の下端部を監視するようにしてもよいし、第1弾性部材91が所定の位置以下に下がらないように規制する図示しないガイド手段に、第1弾性部材91の弾性復元力以上の力で押し付けるようにしてもよいし、予め設定された所定のトルクで押し付けるようにしてもよい。更に、直動モータ85と直動モータ27とを相互に制御して上記同様に、接着シートSをウエハWに押圧している部分である第1弾性部材91の下端部と、ローラ本体90の隆起部90A下端とが同一直線上に位置するように制御してもよい。この場合、押圧力付与手段は、直動モータ85、27となる。
11 支持手段
12 供給手段
15 搬送手段
16 切断手段
18 押圧手段
27 直動モータ(押圧力付与手段)
85 直動モータ(押圧力付与手段)
86 シート貼付ローラ
90 ローラ本体
91 第1弾性部材
92 第2弾性部材
AD 接着剤層
BS 基材シート
C 凹部
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (6)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するためのシート貼付ローラであって、
軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材とを備え、
前記第1弾性部材は、前記接着シート貼付時に、当該接着シートを被着体に押圧している部分が前記ローラ本体の表面と同一高さに変形可能に設けられていることを特徴とするシート貼付ローラ。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するためのシート貼付ローラであって、
軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材と、ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第2弾性部材とを備え、
前記第1弾性部材は、前記接着シート貼付時に、当該接着シートを被着体に押圧している部分が前記第2弾性部材の表面と同一高さに変形可能に設けられていることを特徴とするシート貼付ローラ。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第1弾性部材高さが前記ローラ本体の表面高さと同一高さとなるように前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持手段と、前記接着シートを支持手段に支持された被着体上に供給する供給手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段は、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材と、ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部の領域に対応する形状に設けられた第2弾性部材とを備えたシート貼付ローラと、前記接着シートを被着体に押圧している前記第1弾性部材高さが前記第2弾性部材の表面高さと同一高さとなるように前記シート貼付ローラに押圧力を付与する押圧力付与手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第1弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を、前記ローラ本体の表面と同一高さに変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートを貼付するためのシート貼付ローラは、軸状をなすローラ本体と、このローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部以外の領域に対応する前記接着シートの基材シート側に当接して押圧可能な第1弾性部材と、ローラ本体の外周側に配置されるとともに、前記凹部の平面形状に対応する形状に設けられた第2弾性部材とを備え、
前記シート貼付ローラにより接着シートを押圧し、第1弾性部材における接着シートを被着体に押圧している部分を、前記第2弾性部材の表面と同一高さに変形させて前記被着体に接着シートを貼付する工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。
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