JP2013243286A - 粘着テープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粘着テープ1は、ウェーハが貼着されるウェーハ支持領域10と、ウェーハを収容する開口部3aを有するフレーム3が貼着されるフレーム貼着領域11とを備え、ウェーハ支持領域10は、外周余剰領域Wbに対面する領域のみに粘着層を有するとともにデバイス領域に対面する領域には粘着層を有さず、フレーム貼着領域11には粘着層を有するため、デバイス領域Waに粘着層1bが接触することがなく、デバイス領域Waに粘着材が付着することはない。したがって、MEMSまたはイメージセンサーの損傷ないしは機能の低下を防止することができる。
【選択図】図4
Description
1a:基材 1b:粘着層
10:ウェーハ支持領域
10a:第一の領域 10b:第二の領域
11:フレーム貼着領域
2:シート 20:弱粘着層
3:フレーム 3a:開口部
4:照射ヘッド 40:レーザー光線 41:改質層
5:支持部材
6:分割装置 60:フレーム支持部 61:フレーム固定部 62:ウェーハ支持部
7:ダイシングテープ
W:ウェーハ
W1:表面 W2:裏面
Wa:デバイス領域 Wb:外周余剰領域 L:分割予定ライン D:デバイス
Claims (1)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有するウェーハを支持する粘着テープであって、
ウェーハが貼着されるウェーハ支持領域と、
該ウェーハを収容する開口部を有するフレームが貼着されるフレーム貼着領域と、を備え、
該ウェーハ支持領域は、該外周余剰領域に対面する領域のみに粘着層を有するとともに該デバイス領域に対面する領域には粘着層を有さず、該フレーム貼着領域には粘着層を有する粘着テープ。
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2012
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