JP4718259B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、板状部材へのシート貼付領域間ピッチを最小化してシートの無駄な消費を解消することができるシート剥離装置を提供することにある。
前記板状部材との間にシートを挟み込むように配置される第1のローラと、この第1のローラとの間にシートをニップして前記シート領域を巻き上げる第2のローラとを備え、
前記第1のローラは第2のローラよりも小径に設けられる、という構成を採っている。
前記第1のローラは、前記板状部材の外側に位置するシート領域の剥離を完了したときに、前記ピールプレートの略先端に位置するように設けられている。
前記シートを板状部材との間に挟み込む第1のローラと、当該第1のローラとの間にシートをニップする第1のローラより大径の第2のローラとを用い、
前記テーブル面に沿って第1のローラを回転させてシートを剥離する一方、当該剥離されたシートを前記第2のローラで巻き上げる、という方法を採っている。
従って、結果的に、繰出ヘッド49が、ガイド45及び単軸ロボット46(図1参照)の傾斜角度に沿って次第に下降し、これにより、ピールプレート22の先端と押圧ローラ14との間の接着シートSの長さが短くなっても貼付角度θが常に一定となるように維持されることとなる。
また、小径ローラ70を小さくすればするほど、前記効果を顕在化させる他、剥離角度が大きくなってシート剥離を一層スムースなものとすることができ、引っ張り筋の発生を抑制することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
13 テーブル
22 ピールプレート
70 小径ローラ(第1のローラ)
71 大径ローラ(第2のローラ)
L 原反
PS 剥離シート
S 接着シート
S1 不要接着シート
W ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- テーブルの上面に支持された板状部材にシートを貼付するとともに、前記板状部材の外縁に沿ってシートを切断して当該板状部材の外側に位置するシート領域を剥離するシート剥離装置において、
前記板状部材との間にシートを挟み込むように配置される第1のローラと、この第1のローラとの間にシートをニップして前記シート領域を巻き上げる第2のローラとを備え、
前記第1のローラは第2のローラよりも小径に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記板状部材に貼付されるシートは、ピールプレートを介して剥離シートから剥離された接着シートであり、
前記第1のローラは、前記板状部材の外側に位置するシート領域の剥離を完了したときに、前記ピールプレートの略先端に位置することを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。 - 前記第2のローラは、前記第1のローラの剛性を補完することを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- テーブル上の板状部材に貼付されたシートを、前記板状部材の外縁に沿って切断して当該板状部材の外側に位置するシート領域を剥離するシート剥離方法において、
前記シートを板状部材との間に挟み込む第1のローラと、当該第1のローラとの間にシートをニップする第1のローラより大径の第2のローラとを用い、
前記テーブル面に沿って第1のローラを回転させてシートを剥離する一方、当該剥離されたシートを前記第2のローラで巻き上げることを特徴とするシート剥離方法。
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