JP4643512B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離シートと接着シートとの剥離が所定位置で適性に行われているか否かを監視して常に適性位置での剥離を実現することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、接着シートの張力を検出可能とし、適性張力にてシートを板状部材に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、剥離シートを剥離する際に剥離シートが剥離ユニットに加える張力と、接着シートを板状部材に貼付する際に接着シートが剥離ユニットに加える張力、つまり、2つの張力を単一の検出装置で検出可能とすることで装置構成の簡略化を達成することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行う、とう構成を採っている。
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行う、という構成を採っている。
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを検出し、それら検出張力を前記制御手段に出力する単一の検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行う、という構成を採るとよい。
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行う、という方法を採っている。
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記接着シートを前記板状部材に貼付する、という方法を採ることができる。
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを単一の検出装置を用いて検出し、
それら検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行うとともに前記接着シートを板状部材に貼付する、という方法を採るとよい。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
また、検出装置としてロードセル35を用いたが、他のセンサ類を用いてもよく、更に、剥離ユニット13を構成するピールプレートPPに代えてローラを用いることを妨げない。
また、板状部材はウエハに限らず、他の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
12 シート繰出ユニット
13 剥離ユニット
14 押圧ローラ(押圧ユニット)
18 コントローラ(制御手段)
35 ロードセル(検出装置)
40 張力検出用ローラ
L 原反
PP ピールプレート
PS 剥離シート
S 接着シート
W ウエハ(板状部材)
Claims (8)
- 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。 - 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。 - 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを検出し、それら検出張力を前記制御手段に出力する単一の検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。 - 前記検出装置は、ロードセルであることを特徴とする請求項1,2又は3記載のシート貼付装置。
- 前記剥離ユニットはピールプレートを含み、前記剥離シートが当該ピールプレートを先端部から基端部に向けて引っ張る力を張力として前記検出装置により検出されることを特徴とする請求項1、3又は4記載のシート貼付装置。
- 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行うことを特徴とするシート貼付方法。 - 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記接着シートを前記板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付方法。 - 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを単一の検出装置を用いて検出し、
それら検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行うとともに前記接着シートを板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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