JP6200232B2 - テープ貼付装置 - Google Patents

Description

本発明は、シリコンウエハ、サファイア基板およびＳＩＣなどの基板にテープを貼り付けるのに使用されるテープ貼付装置に関するものである。

シリコンウエハ、サファイア基板およびＳＩＣなどの基板は、薄くするために研磨が行われる。この研磨を行う際、基板を固定するために、基板にテープが貼り付けられる場合がある。

テープを基板に貼り付けるのに用いられるテープ貼付装置は、従来、図１８に示すように、基板Ｗが載置される台２０１と、基板ＷにテープＴを押し付けるローラ２０３とを備え、台２０１の奥側に巻着されたテープＴが配置されている。

この従来のテープ貼付装置により基板ＷにテープＴを貼り付ける場合、まず、台２０１に基板Ｗを載置した状態で、テープＴを手前側へ引き出してテープＴの一端部Ｔａを、手前側に設けられた支持部２０５に貼り付けて固定し、基板Ｗの上方にテープＴを配置しておく。そして、奥側から手前側へ向けて、ローラ２０３を移動させて基板ＷにテープＴを貼りつけていた。

ところで、テープの種類によっては、熱を加えながら基板に貼り付ける必要があり、基板Ｗが載置される台２０１の下部にヒータ２０７が設けられることがあった。
しかしながら、図１８に示す従来のテープ貼付装置の場合、テープＴを基板Ｗに貼り付ける前に、テープＴをヒータ２０７の上部に配置することになり、熱によりテープにしわが発生してしまい、基板Ｗにきれいに貼り付けられないおそれがあった。

本発明が解決しようとする課題は、しわを発生させることなくきれいにテープを基板に貼り付けることができるテープ貼付装置を提供することにある。

本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、基板が載せ置かれる台と、この台の下部に配置されるヒータと、初期状態において、前記台よりも後方であって、前記台に対して上方に延出してなるアームと、前記初期状態において、前記アームよりも後方に配置され、左右方向に沿う軸まわりに回転可能に設けられて、前記台上を前後に転動可能なローラと、前記初期状態において、このローラを介してほぼ垂直上方へ引き上げられたテープを前記アームの上端部において保持し、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動する保持具と、を備え、前記アームは、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動すると共に、前方へ行くにしたがって下方へ移動し、前記ローラの前方への移動に伴い、テープが前記基板に貼り付けられる
ことを特徴とするテープ貼付装置である。

また請求項２に記載の発明は、基板が載せ置かれる台と、この台の下部に配置されるヒータと、初期状態において、前記台よりも後方であって、前記台に対して上方に延出してなるアームと、前記初期状態において、前記アームよりも後方に配置され、前記台上にテープを挟みながら前方へ転動可能なローラと、前記初期状態において、このローラを介してほぼ垂直上方へ引き上げられたテープを前記アームの上端部において保持し、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動する保持具と、を備え、前記アームは、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動すると共に、前方へ行くにしたがって下方へ移動し、前記ローラの前方への移動に伴い、テープが前記基板に貼り付けられることを特徴とするテープ貼付装置である。

前記保持具は、上方へ延出するアームの上端部に保持されており、前記アームは、前方へ行くにしたがって下方へ移動する。

請求項３に記載の発明は、前記保持具は、前記アームに着脱可能とされることを特徴とする請求項１または２に記載のテープ貼付装置である。

請求項４に記載の発明は、前記アームの上端部に設けられ、前記保持具を上方へ付勢する付勢手段をさらに備え、この付勢手段は、前記ローラとの間で前記テープの張力を一定に維持することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載のテープ貼付装置である。

さらに、請求項５に記載の発明は、前記台には、前記基板の外周部に円環状部を介してリングが設けられ、前記リングは、前記基板と共にテープが貼り付けられ、前記台の下部には、前記リングおよびその内側にヒータが設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のテープ貼付装置である。

本発明によれば、しわを発生させることなくきれいにテープを基板に貼り付けることができる。

本発明のテープ貼付装置の一実施例を示す概略正面図であり、一部を断面にして示している。 図１のテープ貼付装置の平面図である。 図１のテープ貼付装置の側面図であり、一部を断面にして示している。 図１のテープ貼付装置の要部を示す斜視図である。 図１のテープ貼付装置の駆動機構の一部を示す斜視図である。 第一連結部材と第二連結部材の連結構造を示す図であり、（ａ）は第一連結部材と第二連結部材が連結された状態を示し、（ｂ）は連結が解除された状態を示す図である。 図１のテープ貼付装置により基板にテープを貼り付ける工程を示す図であり、取付具に保持具を取り付けた状態を示す図である。 図７の状態からアームおよびローラが前方へ移動した状態を示す図である。 図８の状態からアームおよびローラがさらに前方へ移動した状態を示す図である。 図９の状態からアームおよびローラがさらに前方へ移動して、第一連結部材と第二連結部材の連結が解除された状態を示す図である。 図１０の状態からアームが前方へ移動すると共に、ローラが上方へ移動した状態を示す図である。 図１１の状態からローラが後方へ移動した状態を示す図である。 図１２の状態からさらにローラが後方へ移動した状態を示す図である。 切断具を閉じてテープを切断している状態を示す図である。 切断したテープの内、リングより外側の不要部を除去している状態を示す図である。 テープが貼り付けられた基板およびリングを取り外した状態を示す図である。 テープが貼り付けられた基板およびリングを示す斜視図である。 従来のテープ貼付装置を示す図である。

以下、本発明のテープ貼付装置の一実施例について図面に基づいて具体的に説明する。

図１〜図３は、本発明のテープ貼付装置の一実施例を示す概略図であり、図１は正面図であり、一部を断面にして示している。また、図２は平面図であり、図３は側面図であり、一部を断面にして示している。さらに、図４は、図１のテープ貼付装置の要部を示す斜視図であり、図５は駆動機構の一部を示す斜視図である。

本実施例のテープ貼付装置１は、矩形状の筐体３の上部に設けられ、基板Ｗが載せ置かれる台５と、この台５上を前後に往復動するローラ７と、台５を挟んだ左右両側に設けられて上方へ延出するアーム９と、このアーム９の上端部に取り付けられ、ローラ７を介して上方へ引き上げられたテープを保持する保持具１１とを主要部に備える。
また、テープ貼付装置１は、筐体３の上部に開閉可能に設けられ、テープを切断する切断具１３を備える。

台５は、平面視長方形状の台本体１５と、この台本体１５の中央部に設けられ、基板Ｗが載せ置かれる円板状の載置部１７とを備える。台本体１５の中央部には、略円形状の貫通穴１５ａが上下方向に沿って形成されており、この貫通穴１５ａに載置部１７が上下動可能にはめ込まれて設けられている。本実施例では、載置部１７は、モータ（不図示）の駆動により上下動する構成とされている。

台本体１５の外周部には、略円環状の凹部１９が形成されている。この凹部１９は、載置部１７との間に円環状の隙間２０をあけて設けられている。

台５の下部には、台５を加熱するヒータ２５，２７が設けられている。本実施例では、載置部１７の下部全体にヒータ２５が取り付けられる共に、台本体１５の下部にヒータ２７がそれぞれ取り付けられている。ヒータ２７は、貫通穴１５ａの下端部から外方へ延出すると共に、凹部１９より若干外方へ延出して配置されている。これにより、載置部１７の中心部から凹部１９までを加熱することが可能とされる。本実施例では、ヒータ２５，２７は、ラバーヒーターが用いられる。

筐体３の後端部には、テープ保持具２９が設けられている。テープ保持具２９は、棒状とされ、左右方向に沿って設けられており、このテープ保持具２９に、巻着されたロール状のテープＴが差し込まれて保持されている。テープＴは、保護フィルムＦが貼りつけられた状態で巻着されている。テープＴは、複数のローラＲ１，Ｒ２，Ｒ３により導出されるよう構成されていると共に、保護フィルムＦを巻き取るローラＲ４が設けられている。また、本実施例では、テープＴとして感熱テープが用いられる。

テープ保持具２９より前方位置に、ローラ７が設けられている。ローラ７は、円筒状とされ、その中央穴に左右方向に沿って丸棒状の軸３１が通されて、軸３１に一体回転可能に取り付けられている。

軸３１は、その両端部が、ベアリング（不図示）に回転可能に保持されている。各ベアリングは、矩形ブロック状のローラ保持部３５に保持されており、このローラ保持部３５は、台５を挟んだ左右両側に配置されている。

ローラ保持部３５は、シリンダ３７に取り付けられて上下動可能とされている。シリンダ３７は、筒状のシリンダ本体３９と、このシリンダ本体３９に上下方向に進退可能に設けられるシャフト４１とを有し、このシャフト４１の上端部にローラ保持部３５が固定されている。シリンダ本体３９は、矩形ブロック状の第一フレーム４５に固定されている。

各第一フレーム４５は、矩形板状の接続材４６の上端部に固定されている。そして、左右に離隔して配置された接続材４６，４６の下端部同士を連結するように、左右方向に沿って矩形板状の第一連結部材４７が設けられている。このように、本実施例では、第一フレーム４５，４５同士は、接続材４６を介して第一連結部材４７により連結されている。

第一連結部材４７の左右方向中央部には、ブロック体５１が固定されており、このブロック体５１には前後方向に沿って、ネジ穴５１ａが形成されている。

筐体３の左右方向中央部には、前後方向に沿ってネジ棒５３が設けられており、このネジ棒５３にブロック体５１がねじ込まれている。ネジ棒５３は、その前後両端部がベアリング５４に保持されており、モータ５５によりネジ棒５３が回転させられることで、ブロック体５１および第一連結部材４７が前後方向に往復動し、これに伴ってローラ７が前後に往復動する。また、ローラ７は、シリンダ３７により上下動可能とされる。

アーム９は、矩形状の細長い板状とされ、台５を挟んだ左右両側にそれぞれ設けられている。アーム９は、ローラ７より前方に配置されており、台５より上方へ延出するよう設けられている。

アーム９は、アーム保持部５７に、上下動可能に取り付けられている。アーム保持部５７は、矩形ブロック状とされ、左右方向外側面には、上下方向に沿って矩形状の溝５９が形成されている。アーム９は、アーム保持部５７の溝５９に上下動可能にはめ込まれて設けられる。

また、アーム９の下端部には、左右方向外側へ突出して軸６１が設けられており、この軸６１にガイドローラ６３が回転可能に設けられている。

ガイドローラ６３は、案内板６５の溝６７にはめ込まれている。案内板６５は、台５を挟むように左右に離隔して配置されており、アーム９の外側にアーム９に近接して配置されている。

案内板６５に左右方向に貫通して形成された溝６７は、後方から前方へ水平に延出する第一溝６９と、この第一溝６９から、前方へ行くにしたがって下方へ傾斜する第二溝７１と、この第二溝７１から前方へ行くにしたがって下方へ傾斜する第三溝７３が連続して形成されている。

本実施例では、第二溝７１は、前方へ行くにしたがって下方へ４５度傾斜して形成されており、第三溝７３は、前方へ行くにしたがって下方へ１５度傾斜して形成されている。

左右に離隔して設けられたアーム保持部５７，５７同士を連結するように、矩形板状の第二連結部材７７が左右方向に沿って設けられている。この第二連結部材７７は、ロッドレスシリンダ７９に連結されている。

ロッドレスシリンダ７９は、前後方向に沿って設けられる筒状のレール部材８１と、このレール部材８１の外周部に前後方向に移動可能に設けられる矩形ブロック状の支持部材８３とを有し、第二連結部材７７は支持部材８３に固定されている。レール部材８１内には、磁石が配置されており、磁石は、レール部材８１内に供給されるエアにより軸方向に移動可能とされている。支持部材８３は磁性体により形成されており、レール部材８１内の磁石の移動に伴って支持部材８３が前後動する構成とされている。

このような構成により、第二連結部材７７は、支持部材８３と共に前後動可能とされ、支持部材８３の前後動に伴ってアーム９，９が前後動する。

図６は、第一連結部材と第二連結部材との連結構造を示す図であり、（ａ）は第一連結部材と第二連結部材が連結された状態を示し、（ｂ）は第一連結部材と第二連結部材の連結が解除された状態を示している。

第一連結部材４７と第二連結部材７７は、連結および離脱可能とされている。具体的には、第一連結部材４７の下部には、左右に離隔して、フック９１，９１が取り付けられている。各フック９１は、その前後方向中途部に左右方向に沿って軸９３が通されて、軸９３まわりに揺動可能とされている。また、フック９１の後端部には、下方へ円形状に突出して凸部９５が形成されている。さらに、フック９１の後端部と第一連結部材４７との間にバネ９７が配置されている。このバネ９７によりフック９１の後端部が下方へ付勢されており、これにより、フック９１の前端部９１ａは、上方へ付勢されている。

また、第二連結部材７７の下部には、左右に離隔して、矩形ブロック状の被係止部９８が固定されている。フック９１の前端部９１ａが被係止部９８に引っ掛けられることで第一連結部材４７と第二連結部材７７が連結され、バネ９７の付勢力により連結状態が維持される。

筐体３には、第一連結部材４７および第二連結部材７７より下方位置に板材９９が固定されており、この板材９９の上部には、左右に離隔して矩形状の突出部１００が上方へ突出して設けられている。連結された第一連結部材４７と第二連結部材７７が前方へ移動して、フック９１の凸部９５が突出部１００に当接することで、その軸９３まわりに図６において反時計方向に回転し、前端部９１ａが下方へ移動して、第一連結部材４７と第二連結部材７７の連結が解除される。なお、本実施例では、筐体３に、左右に離隔してレール材１０３，１０３が、前後方向に沿って設けられており、第一連結部材４７よび第二連結部材７７は、レール材１０３に沿って前後動可能とされている。

アーム９の上端部には、シリンダ１１１が設けられている。本実施例では、シリンダ１１１として、低摩擦シリンダが用いられる。

シリンダ１１１は、筒状のシリンダ本体１１３と、このシリンダ本体１１３に上下に進退可能に設けられるシャフト１１５とを備える。本実施例では、精密レギュレータを介してシリンダ本体１１３内にエアが適宜供給される。シリンダ１１１は、そのシリンダ本体１１３がアーム９の上端部に固定されて設けられており、シャフト１１５の上端部に取付具１１７が設けられている。

取付具１１７には、上方および左右方向内側へ開口する矩形状の凹部１１９が形成されている。取付具１１７の凹部１１９には、上方へ突出してピン１２１が設けられている。シャフト１１５の上端部に固定された取付具１１７は、アーム９に対して上下にスライド可能とされる。

本実施例では、台５の後端部に、断面矩形状の凹部１３１が左右方向に沿って形成されており、この凹部１３１に保持具１１がはめ込まれて設けられている。保持具１１は、矩形板状とされ、その左右両端部には、穴１３３が上下方向に貫通して形成されている。

次に、本実施例のテープ貼付装置１により基板Ｗにテープを貼り付ける方法について説明する。

図７〜図１６は、図１のテープ貼付装置によりテープを基板に貼り付ける工程を時系列に示す図であり、図７は、テープの一端部が貼り付けられた保持具を、取付具に取り付けた状態を示す図であり、図８は、図７の状態からアームおよびローラが前方へ移動した状態を示している。

本実施例のテープ貼付装置１により、基板ＷにテープＴを貼りつける場合、まずテープＴを引き出して、台５の凹部１３１にはめ込まれた保持具１１に、テープＴの一端部Ｔａを貼り付ける。

また、台５の載置部１７に基板Ｗを載せ置くと共に、凹部１９にリング１３７を載せ置く。この際、基板Ｗの上面と台本体１５とが面一になるように、載置部１７の高さを調整する。そして、ヒータ２５，２７により台５を加熱する。

初期状態では、アーム９とローラ７は、後方に位置しており、第一連結部材４７と第二連結部材７７は、フック９１により連結されている。また、初期状態では、アーム９のガイドローラ６３は、案内板６５の第一溝６９の後端部に配置されている。

次に、図７に示すように保持具１１を引き上げてテープＴを引き出していき、保持具１１の両端部をアーム９，９の上端部に設けられた取付具１１７，１１７に取り付ける。具体的には、取付具１１７のピン１２１を保持具１１の穴１３３に差し込んで、保持具１１を取付具１１７に取り付ける。保持具１１を取付具１１７に取り付けた状態では、テープＴは、若干たるんだ状態される。この初期状態では、シリンダ１１１のシリンダ本体１１３にはエアが供給されておらず、シャフト１１５は最下端に配置されている。

テープＴは、その引き出される量が予め設定されている。本実施例では、テープ保持具２９の回転数によりテープＴの引き出し量が規制されており、保持具１１が取付具１１７に取り付けられた状態において、基板Ｗに貼りつけるのに必要なテープＴが確実に引き出されていることになる。保持具１１を取付具１１７に取り付けたのち、台５の凹部１３１に、次の貼付作業のために、別の保持具１１をはめ込んでおく。

保持具１１が取付具１１７に取り付けられた状態では、テープＴはローラ７に後方から掛けられて、ほぼ垂直上方へ引き上げられて配置されている。また、初期状態では、ローラ７は台５の上面より上方に配置されている。

保持具１１を取付具１１７に取り付けた状態で、シリンダ本体１１３内にエアを供給する。これにより、シャフト１１５が上方へ突出し、取付具１１７が上方へ付勢されてテープＴが張る。

保持具１１を取付具１１７に取り付けた状態で、ローラ７を前方へ移動させる。
具体的には、モータ５５を駆動してネジ棒５３を回転させて第一連結部材４７を前方へ移動させる。これに伴って、第一連結部材４７に連結された第二連結部材７７も第一連結部材４７と共に前方へ移動して、アーム９が前方へ移動する。

アーム９は、ガイドローラ６３が、案内板６５の第一溝６９を移動する間、水平に前方へ移動する。アーム９が水平に移動している間は、ローラ７は台５より上方位置に配置された状態とされ、台５に当接することなく前方へ移動する。また、アーム９が水平に移動している間は、テープＴが下方へ引っ張られることで、シャフト１１５が若干下方へ移動する。

図８に示すように、アーム９のガイドローラ６３が第二溝７１に進入した後、ローラ７が下降して、ローラ７は台５に当接する。アーム９のガイドローラ６３が第二溝７１に沿って移動することで、アーム９は前方へ行くにしたがって下方へ移動する。つまり、アーム９は、前方へ移動すると共に、アーム保持部５７の溝５９に沿って下方へ移動し、エスカレータ状に斜めに下降していく。本実施例では、アーム９は、４５度の傾きで下降していく。また、ローラ７は、台５上を転がりながら前方へ移動していく。

図９に示すように、保持具１１に一端部Ｔａが固定されたテープＴは、ローラ７を介して上方へ引き上げられた状態でアーム９と共に前方へ移動する一方、ローラ７と台５に挟み込まれ、ローラ７により押圧されて、テープＴが、リング１３７および基板Ｗに後方から前方へ貼り付けられていく。

テープＴが基板Ｗおよびリング１３７に貼り付けられている間、つまり、アーム９が前方へ移動している間、保持具１１を上方へ付勢する圧力が一定となるように、シリンダ本体１１３内にエアが供給される。すなわち、保持具１１を上方へ付勢する圧力が一定となるように、シリンダ１１１のシャフト１１５の突出量が制御される。これにより、テープＴの張力が一定となり、テープＴを基板Ｗに均一の張力で貼り付けることができる。

基板Ｗおよびリング１３７にテープＴが貼り付けられ、ローラ７が前方位置まで移動すると、図１０に示すように、フック９１の凸部９５が突出部１００に当接して、フック９１の前端部９１ａが下方へ移動し、第一連結部材４７と第二連結部材７７の連結が解除される。

次に、図１１に示すように、ローラ７は上方へ引き上げられ、アーム９はさらに前方へ移動する。この際、アーム９のガイドローラ６３は、案内板６５の第三溝７３に沿って移動する。そして、図１２に示すように、ローラ７は、後方へ移動し、台５の凹部１３１にはめ込まれた保持具１１の手間で下降し、図１３に示すように、後方へ転動して、保持具１１にテープＴを貼りつけ、さらに後方へ移動した後、上方へ移動して初期位置に戻る。ローラ７が初期位置に戻った状態で、図１４に示すように、切断具１３を閉じる。

切断具１３は、筐体３に開閉可能に設けられる蓋部材１４１と、この蓋部材１４１に円環状に移動可能に設けられる第一切断刃１４３と、蓋部材１４１に左右方向に沿って直線上を往復動可能に設けられる第二切断刃１４５とを備える。

蓋部材１４１の下部には、図３に示すように、４つのローラ１４７に保持されて、円板１４９が回転可能に設けられており、この円板１４９に、円板状の第一切断刃１４３が設けられている。蓋部材１４１の上部には、円板１４９に連結された第一ハンドル１５３が設けられており、この第一ハンドル１５３を、円を描くように回転させることで、第一切断刃１４３が円環状に移動して、リング１３７の外周部に沿ってテープＴを切断する。

また、蓋部材１４１の後部には、第二切断刃１４５が下方へ突出して設けられており、この第二切断刃１４５に連結された第二ハンドル１５５が蓋部材１４１の上部に配置されている。この第二ハンドル１５５を左右方向に沿って移動させることで、第二切断刃１４５が左右方向に移動して、凹部１３１にはめ込まれた保持具１１の前端部に沿ってテープＴを切断する。

切断具１３によりテープＴを切断した後、蓋部材１４１を開けて、図１５に示すように、取付具１１７から保持具１１を取り外すと共に、不要なテープＴｄを取り除く。そして、図１６に示すように、テープＴが貼り付けられて一体化された基板Ｗおよびリング１３７を取り外す。

図１７は、テープが貼り付けられた基板およびリングを示す斜視図である。
本実施例では、載置部１７および台本体１５の下部にそれぞれヒータ２５，２７が設けられていることで、少なくともリング１３７の外周部より内側部分において、テープＴに熱が加えられた状態で、リング１３７および基板Ｗに貼り付けられる。また、シリンダ１１１により基板Ｗおよびリング１３７に貼り付けられるテープＴの張力が一定とされ、きれいに貼り付けることができる。

次の貼り付け作業を行う場合、アーム９を後方へ移動させて、第一連結部材４７と第二連結部材７７を連結させて初期状態とし、基板Ｗおよびリング１３７を台５に配置する。そして、凹部１３１に配置され、テープＴの一端部Ｔａが貼り付けられた保持具１１を取付具１１７に取り付けて、上記と同様にすればよい。

ところで、以上の一連の動作は、基本的には制御装置により自動で行われる。つまり、制御装置は、モータ５５、シリンダ３７，１１１、ロッドレスシリンダ７９などに接続されて制御し、ローラ７およびアーム９の前後動、およびシリンダ本体３９，１１３内へのエアの供給などは自動で行われる。
ただし、保持具１１を取付具１１７に取り付ける工程や、切断具１３によりテープＴを切断する工程などについては、手動で行うようにしてもよい。

本実施例では、ローラ７に掛けられたテープＴを上方へ引き上げていることで、基板Ｗに貼り付けられる直前まで、台５に設けられたヒータの熱の影響を受けずに、基板にテープを貼り付けることができる。つまり、テープＴは、ローラ７を介して上方へ引き上げられていると共に、保持具１１と共に前方へ移動することで、ローラ７により基板Ｗに貼り付けられる直前まで、基板Ｗから離れた位置に配置されており、熱によりしわが発生したりするおそれがない。

また、本実施例では、保持具１１へのシリンダ１１１による上方への付勢力を調整することで、常に一定の張力で基板ＷにテープＴを貼り付けることができる。換言すれば、本実施例では、テープＴの張力が一定となるように、シリンダ１１１の圧力を調整している。これにより、基板ＷにテープＴを均質に貼り付けることができる。

本発明のテープ貼付装置は、上記実施例の構成に限らず、適宜変更可能である。
たとえば、ローラ７およびアーム９を前後に往復動させるのに、ネジ棒５３やロッドレスシリンダ７９を用いたが、他の手段により移動させるようにしてもよい。

また、上記実施例では、保持具１１に一端部Ｔａが固定されたテープＴは、ローラ７を介して垂直上方へ引き上げられて取付具１１７に取り付けられたが、真上でなく多少前後に斜めに引き上げてもよい。この際、シリンダ１１１のシャフト１１５の進退方向との関係で、前後に２０度以内で引き上げるのが好ましい。つまり、垂直上方に対して前方へ２０度以内または後方へ２０度以内で、テープＴを引き上げて保持具１１を取付具１１７に取り付けるようにするのが好ましい。

さらに、熱を加える必要がないテープの場合には、ヒータを切って、テープを基板に貼り付けてもよい。

１ テープ貼付装置
７ ローラ
９ アーム
１１ 保持具
２５ ヒータ
２７ ヒータ
１１１ シリンダ（付勢手段）

Claims (5)

1. 基板が載せ置かれる台と、
   この台の下部に配置されるヒータと、
   初期状態において、前記台よりも後方であって、前記台に対して上方に延出してなるアームと、
   前記初期状態において、前記アームよりも後方に配置され、左右方向に沿う軸まわりに回転可能に設けられて、前記台上を前後に転動可能なローラと、
   前記初期状態において、このローラを介してほぼ垂直上方へ引き上げられたテープを前記アームの上端部において保持し、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動する保持具と、を備え、
   前記アームは、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動すると共に、前方へ行くにしたがって下方へ移動し、
   前記ローラの前方への移動に伴い、テープが前記基板に貼り付けられる
   ことを特徴とするテープ貼付装置。
2. 基板が載せ置かれる台と、
   この台の下部に配置されるヒータと、
   初期状態において、前記台よりも後方であって、前記台に対して上方に延出してなるアームと、
   前記初期状態において、前記アームよりも後方に配置され、前記台上にテープを挟みながら前方へ転動可能なローラと、
   前記初期状態において、このローラを介してほぼ垂直上方へ引き上げられたテープを前記アームの上端部において保持し、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動する保持具と、を備え、
   前記アームは、前記ローラの前方への移動に伴って前方へ移動すると共に、前方へ行くにしたがって下方へ移動し、
   前記ローラの前方への移動に伴い、テープが前記基板に貼り付けられる
   ことを特徴とするテープ貼付装置。
3. 前記保持具は、前記アームに着脱可能とされる
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のテープ貼付装置。
4. 前記アームの上端部に設けられ、前記保持具を上方へ付勢する付勢手段をさらに備え、
   この付勢手段は、前記ローラとの間で前記テープの張力を一定に維持する
   ことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかに記載のテープ貼付装置。
5. 前記台には、前記基板の外周部に円環状部を介してリングが設けられ、
   前記リングは、前記基板と共にテープが貼り付けられ、
   前記台の下部には、前記リングおよびその内側にヒータが設けられている
   ことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のテープ貼付装置。

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