JP4330393B2 - 基板貼合せ方法およびその装置 - Google Patents
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Description
また、請求項2に記載の発明は、前記中央係止爪および側部係止爪は、貼合せローラの移動に伴って揺動および下降し、前記保持手段を適時に第2基板の保持を解除し、貼合せローラの進路から第2の基板の径方向の外側に退避移動させることが好ましい。
また、請求項3に記載の発明は、接着シートを介在させて2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、所定姿勢に保持された第1の基板に対向して第2の基板の表面を吸着ノズルで吸着保持し、貼合せローラを第2の基板の表面に移動させるのに伴って吸着ノズルを下降させつつ吸着ノズルに貼合せローラが接近するに従って第2基板の吸着保持を解除し、貼合せローラの進路の上方に退避移動させることを特徴とするものである。
また、貼り合せ前の第2の基板は、中央係止爪と左右の側部係止爪による3点係止状態で、第1の基板に対して所定の間隔をもって対向配備される。貼り合せ作動が開始されると、貼合せローラが第2の基板の一端部を第1の基板の一端部に押し付け、その後、貼合せローラが第2の基板の表面を移動することで、第2の基板はその一端から撓ませられながら第1の基板上に貼り合わされてゆく。
この場合、貼合せローラの移動によって第2の基板は許容範囲内で撓み変形されることで、貼り合せされていない基板部分はローラ進行方向に向けて先上がり姿勢に傾斜することになる。ここで、側部係止爪を基板周方向に大きい幅を持って第2の基板を係止して側部係止爪を揺動可能に構成しておくことで、側部係止爪を基板の傾斜になじむように揺動させることができる。
また、中央係止爪を揺動可能に構成しておくと、貼合せローラが中央係止爪に近づいた際に、側部係止爪を基板の傾斜になじむように揺動させることができる。
すなわち、貼り合せ作動に伴う撓み変形によって傾斜する第2の基板をその傾斜になじんだ姿勢で係止支持することができ、係止保持箇所での基板損傷を防止することができる。
第1の基板を載置保持する保持テーブルと、前記保持テーブル上の第1の基板に対向させて第2の基板の周縁部分を第2の基板の周縁におけるローラ進行方向の中央端縁を係止する中央係止爪と、第2の基板の周縁におけるローラ進行方向に対する左右両側の端縁を係止する一対の側部係止爪とで保持する基板保持手段と、前記いずれか一方の基板に接着シートが貼り付けられた状態で第2の基板の表面に移動させて第1の基板と第2の基板を貼り合わせる貼合せローラと、前記貼合せローラの移動に伴って前記基板保持手段による第2の基板の保持を解消し、貼合せローラの進路から退避するよう移動させる駆動手段とを備え、前記中央係止爪および側部係止爪の少なくとも一方を、ローラ進行方向と直交する横向き支軸を中心として揺動可能に構成し、前記貼合せローラの移動に伴って中央係止爪および側部係止爪を、ローラ進行方向と直交する横向き支軸を中心として揺動させながら、各係止爪を適時に第2基板の保持を解除し、貼合せローラの進路から第2の基板の径方向の外側に退避するよう移動させるよう構成したことを特徴とするものである。
前記貼合せローラを、貼合せ前進移動速度と同一の周速度で駆動するよう構成してあることを特徴とするものである。
また、請求項11に記載の本発明は、保持する保持テーブルと、前記保持テーブル上の第1の基板に対向させて第2の基板の表面を複数箇所で吸着保持する複数の吸着ノズルと、 前記いずれか一方の基板に接着シートが貼り付けられた状態で第2の基板の表面に移動させて第1の基板と第2の基板を貼り合わせる貼合せローラと、前記貼合せローラの移動に伴って前記吸着ノズルによる第2の基板の保持を解消し、貼合せローラの進路から退避するよう移動させる駆動手段とを備え、前記貼合せローラを第2の基板の表面に移動させるのに伴って吸着ノズルを下降させつつ吸着ノズルに貼合せローラが接近するに従って第2基板の吸着保持を解除し、貼合せローラの進路の上方に退避移動するよう構成したことを特徴とするものである。
8 … 側部係止爪
9 … 中央係止爪
10 … 貼合せローラ
w1 … 第1の基板(半導体ウエハ)
w2 … 第2の基板(補強用基板)
Claims (11)
- 接着シートを介在させて2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
所定姿勢に保持された第1の基板に対向して第2の基板の周縁部分を貼合せローラ進行方向の中央端縁を係止する中央係止爪と、第2の基板の周縁におけるローラ進行方向に対する左右両側の端縁を係止する一対の側部係止爪とからなる保持手段によって保持し、貼合せローラを第2の基板の表面に移動させることで、両基板のいずれか一方に予め貼付けられた接着シートを介して両基板を貼り合せてゆくとともに、前記貼合せローラの移動に伴って中央係止爪および側部係止爪を、ローラ進行方向と直交する横向き支軸を中心として揺動させながら、前記保持手段を適時に第2基板の保持を解除し、貼合せローラの進路から第2の基板の径方向の外側に退避移動させる
ことを特徴とする基板貼合せ方法。 - 請求項1に記載の基板貼合せ方法において、
前記中央係止爪および側部係止爪は、貼合せローラの移動に伴って揺動および下降し、前記保持手段を適時に第2基板の保持を解除し、貼合せローラの進路から第2の基板の径方向の外側に退避移動させる
ことを特徴とする基板貼合せ方法。 - 接着シートを介在させて2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
所定姿勢に保持された第1の基板に対向して第2の基板の表面を吸着ノズルで吸着保持し、貼合せローラを第2の基板の表面に移動させるのに伴って吸着ノズルを下降させつつ吸着ノズルに貼合せローラが接近するに従って第2基板の吸着保持を解除し、貼合せローラの進路の上方に退避移動させる
ことを特徴とする基板貼合せ方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板貼合せ方法において、
前記第1または第2の基板の少なくとも一方が半導体ウエハであることを特徴とする基板貼合せ方法。 - 2枚の基板を貼り合わせる基板貼合せ装置において、
第1の基板を載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブル上の第1の基板に対向させて第2の基板の周縁部分を第2の基板の周縁におけるローラ進行方向の中央端縁を係止する中央係止爪と、第2の基板の周縁におけるローラ進行方向に対する左右両側の端縁を係止する一対の側部係止爪とで保持する基板保持手段と、
前記いずれか一方の基板に接着シートが貼り付けられた状態で第2の基板の表面に移動させて第1の基板と第2の基板を貼り合わせる貼合せローラと、
前記貼合せローラの移動に伴って前記基板保持手段による第2の基板の保持を解消し、貼合せローラの進路から退避するよう移動させる駆動手段とを備え、
前記中央係止爪および側部係止爪の少なくとも一方を、ローラ進行方向と直交する横向き支軸を中心として揺動可能に構成し、
前記貼合せローラの移動に伴って中央係止爪および側部係止爪を、ローラ進行方向と直交する横向き支軸を中心として揺動させながら、各係止爪を適時に第2基板の保持を解除し、貼合せローラの進路から第2の基板の径方向の外側に退避するよう移動させるよう構成した
ことを特徴とする基板貼合せ装置。 - 請求項5に記載の基板貼合せ装置において、
前記駆動手段を、さらに前記貼合せローラの移動に伴って前記保持手段を昇降させるように構成したことを特徴とする基板貼合せ装置。 - 請求項5または請求項6に記載の基板貼合せ装置において、
前記中央および側部係止爪の回動に抵抗を付与してあることを特徴とする基板貼合せ装置。 - 請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の基板貼合せ装置において、
前記貼合せローラを、貼合せ前進移動速度と同一の周速度で駆動するよう構成してあることを特徴とする基板貼合せ装置。 - 請求項5ないし請求項8のいずれかに記載の基板貼合せ装置において、
前記保持テーブルに加熱手段が組み込まれていることを特徴とする基板貼合せ装置。 - 請求項5ないし請求項9のいずれかに記載の基板貼合せ装置において、
前記保持テーブル、基板保持手段、および貼合せローラを減圧室に収容してあることを特徴とする基板貼合せ装置。 - 2枚の基板を貼り合わせる基板貼合せ装置において、
第1の基板を載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブル上の第1の基板に対向させて第2の基板の表面を複数箇所で吸着保持する複数の吸着ノズルと、
前記いずれか一方の基板に接着シートが貼り付けられた状態で第2の基板の表面に移動させて第1の基板と第2の基板を貼り合わせる貼合せローラと、
前記貼合せローラの移動に伴って前記吸着ノズルによる第2の基板の保持を解消し、貼合せローラの進路から退避するよう移動させる駆動手段とを備え、
前記貼合せローラを第2の基板の表面に移動させるのに伴って吸着ノズルを下降させつつ吸着ノズルに貼合せローラが接近するに従って第2基板の吸着保持を解除し、貼合せローラの進路の上方に退避移動するよう構成した
ことを特徴とする基板貼合せ装置。
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