JP2003023061A

JP2003023061A - 貼合装置

Info

Publication number: JP2003023061A
Application number: JP2001207813A
Authority: JP
Inventors: Takuya Hayasaka; 拓哉早坂; Keiichiro Higuchi; 計一郎樋口
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2001-07-09
Filing date: 2001-07-09
Publication date: 2003-01-24

Abstract

(57)【要約】【課題】薄型電子部品等の第１の部材とシート材等の
第２の部材とを貼り合わせる際に、前記未貼合部分の表
面すなわち非貼合面と保持体との接触を回避し、前記非
貼合面に対する傷付きを防止する。【解決手段】被着体Ｅを保持するテーブル１４と、こ
のテーブル１４に相対移動可能に設けられるとともに、
シート材Ｓを保持するシート材保持手段１５と、テーブ
ル１４及びシート材保持手段１５の相対移動によって被
着体Ｅ１に重ね合わされたシート材Ｓに所定の押圧力を
付与する押圧部材１７とを備えて貼合装置１０が構成さ
れている。前記シート材保持手段１５は、シート材Ｓの
未貼合部分Ｎ１における表面Ｓ２側を非接触状態で保持
する保持体２３を備えている。従って、シート材保持手
段１５の移動に伴って、保持体２３がシート材Ｓの表面
Ｓ２上を非接触状態でその面方向にシフト可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は貼合装置に係り、更
に詳しくは、所定の第１及び第２の部材を貼合する際
に、当該第２の部材への傷付きを防止することのできる
貼合装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、薄型半導体ウェハ及び記録基
板等の薄型電子部品に例示される被着体の貼合面に、裏
面側が粘着面となるフィルム等のシート材を貼り合わせ
る貼合装置が知られている。この貼合装置は、被着体を
保持するテーブルと、このテーブルに相対移動可能に設
けられるとともに、シート材の未貼合部分をその非貼合
面となる表面側から吸着保持する保持体と、これらテー
ブルと保持体の相対移動により被着体に重ね合わされた
シート材の表面側から所定の押圧力を付与するローラと
を備えて構成されている。このような貼合装置は、シー
ト材の貼合時に、前記保持体がシート材に対して徐々に
移動することにより、その未貼合部分が前記保持体の外
側に次第にはみ出し、当該はみ出し部分を前記ローラで
被着体側に押圧することで当該被着体にシート材を次第
に貼り合わせるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記貼
合装置にあっては、シート材の貼合時に、その未貼付部
分の表面と前記保持体とが面接触しながら相対移動する
ことになるため、保持体やシート材の材質によっては、
被着体に貼合されたシート材の表面に傷付き易くなると
いう不都合がある。

【０００４】

【発明の目的】本発明は、このような不都合に着目して
案出されたものであり、その目的は、薄型電子部品等の
第１の部材とシート材等の第２の部材とを貼り合わせる
際に、前記未貼合部分の表面すなわち非貼合面と保持体
との接触を回避し、前記非貼合面に対する傷付きを防止
することができる貼合装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、所定の第１の部材を保持する第１保持手
段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられると
ともに、前記第１の部材に貼合される第２の部材の未貼
合部分をその非貼合面側から保持する保持体を含む第２
保持手段と、前記第１及び第２保持手段の相対移動によ
り前記第１の部材に重ね合わされた前記第２の部材に所
定の押圧力を付与する押圧部材とを備え、前記未貼合部
分を前記保持体に対して移動させながら当該保持体の外
側に位置する前記第２の部材のはみ出し部分を前記押圧
部材で前記第１の部材に押圧することにより、前記第１
及び第２の部材を次第に貼り合わせる貼合装置であっ
て、前記第２保持手段は、前記第１及び第２の部材の貼
合の際に、前記非貼合面が前記保持体に略非接触となる
状態で前記未貼合部分を保持可能に設けられる、という
構成を採っている。このような構成によれば、第１及び
第２の部材の貼合の際に、第２の部材の非貼合面が保持
体に非接触となる状態で、第２の部材の未貼合部分が保
持体に保持されるため、未貼合部分が保持体に相対移動
したときに、それらの接触を回避することができ、第２
の部材の非貼合面に傷付きを防止できる。

【０００６】また、本発明は、所定の第１の部材を保持
する第１保持手段と、この第１保持手段に相対移動可能
に設けられるとともに、前記第１の部材に貼合される第
２の部材の未貼合部分を保持する第２保持手段と、前記
第１及び第２保持手段の相対移動により前記第１の部材
に重ね合わされた前記第２の部材に所定の押圧力を付与
する押圧部材とを備え、前記未貼合部分を前記第２保持
手段に対して移動させながら当該第２保持手段の外側に
位置する前記第２の部材のはみ出し部分を前記押圧部材
で前記第１の部材に押圧することにより、前記第１及び
第２の部材を次第に貼り合わせる貼合装置であって、前
記第２保持手段は、前記第１及び第２の部材の貼合時に
前記第２の部材をその貼合面側から支持するガイド部材
を備える、という構成を採ることもできる。このように
構成することで、第２の部材の非貼合面への傷の付着を
防止できる他、保持体と第２の部材の非貼合面との間に
十分広い隙間を確保することができ、当該非貼合面への
傷付きをより確実に防止することができる。

【０００７】ここにおいて、前記第２保持手段は、前記
第１の部材に貼合される第２の部材の未貼合部分をその
非貼合面側から保持可能な保持体を含み、前記保持体及
びガイド部材は、前記第２の部材の未貼合部分に向かっ
てそれぞれ空気を吐出可能に設けられ、前記第１及び第
２の部材の貼合時には、前記未貼合部分が前記保持体及
びガイド部材に非接触となる状態で保持される、という
構成を併用することも可能である。これにより、第２の
部材の未貼合部分における貼合面及びガイド部材をも非
接触とした状態で、第２の保持手段で前記未貼合部分を
保持することができ、当該未貼合部分とガイド部材との
相対移動をよりスムースに行うことができる。

【０００８】更に、前記ガイド部材は、その表面が剥離
処理される、という構成を採ることによって、粘着剤等
が塗布された第２の部材の貼合面がガイド部材の表面に
接触したときであっても、前記未貼合部分とガイド部材
との相対移動をスムースに行うことができる。

【０００９】また、前記第１保持手段及び／又は第２保
持手段は、前記第１及び／又は第２の部材の位置決め手
段を更に備える、という構成を併用することもでき、こ
れによって、前記第１及び第２の部材の貼合をより正確
に行うことができる。

【００１０】更に、前記第１の部材としては、厚みが４
０μｍ〜１２０μｍとなる記録基板を適用することがで
きる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について
図面を参照しながら説明する。

【００１２】［第１実施例］図１には、第１実施例に係
る貼合装置１０を概念的に表した要部断面図が示されて
いる。この図において、貼合装置１０は、厚みが４０μ
ｍ〜１００μｍ程度の極薄型半導体ウェハ及び薄型記録
基板等の薄型電子部品に例示される第１の部材としての
被着体Ｅの表面Ｅ１に、第２の部材としてのシート材Ｓ
を押圧しながら貼合する装置である。本実施例におい
て、被着体Ｅは、円盤状の薄型記録基板であり、また、
シート材Ｓは、前記被着体Ｅと略同一の平面形状を備え
るとともに、裏面側が粘着面Ｓ１となるフィルムであ
る。このため、粘着面Ｓ１の略全領域がシート材Ｓ側の
貼合面となり、シート材Ｓの表面Ｓ２が非貼合面すなわ
ち押圧面となる。

【００１３】前記貼合装置１０は、被着体Ｅを保持する
第１保持手段としてのテーブル１４と、このテーブル１
４に相対移動可能に設けられるとともに、シート材Ｓを
保持する第２保持手段としてのシート材保持手段１５
と、当該シート材保持手段１５に一体的に設けられると
ともに、テーブル１４及びシート材保持手段１５の相対
移動によって被着体Ｅ１に重ね合わされたシート材Ｓに
所定の押圧力を付与する押圧部材１７とを備えて構成さ
れている。

【００１４】前記テーブル１４は、その載置面１９に被
着体Ｅの裏面Ｅ２を載せた状態で図示しない吸着孔によ
り吸引して吸着保持可能に設けられている。また、テー
ブル１４の載置面１９には、図示しない位置決め手段が
設けられており、被着体Ｅを略一定位置で位置決めでき
るようになっている。ここで、位置決め手段としては、
被着体Ｅを略一定位置で位置決めできる限りにおいて種
々の構造を採用することができる。本実施例では、例え
ば、前記被着体Ｅの外側を囲むように載置面１９上の複
数箇所に突設された位置決め部材が、それぞれ径方向に
移動可能となる構成が採用されている。このような構成
にあっては、各位置決め部材の内側に被着体Ｅを挿入し
た状態で、各位置決め部材を内方に移動させて前記被着
体Ｅの外周部分に接触させることで、被着体Ｅが定位置
に位置決めされることとなる。

【００１５】前記シート材保持手段１５は、前記テーブ
ル１４に対して図１中左右方向に水平移動可能に設けら
れるとともに、同図中右端側を支点として、同図中左端
側の押圧部材１７を上下方向に回転変位可能に設けられ
ている。このシート材保持手段１５は、シート材Ｓの未
貼合部分Ｎ１における表面Ｓ２側を非接触状態で保持す
る保持体２３と、シート材Ｓが保持体２３に保持されて
いるか否かを確認するためのセンサ２６とを備えて構成
されている。

【００１６】前記保持体２３は、前記未貼合部分Ｎ１に
対向する保持面２８と、この保持面２８に複数設けられ
た排気穴２９と、これら排気穴２９に連なるとともに、
図示しないコンプレッサー等に繋がる配管３１に接続さ
れる通気路３２とを備えている。この保持体２３は、図
２に示されるように、通気路３２から皿型部材３０に向
かって空気を吐出することにより、排気穴２９からシー
ト材Ｓの未貼合部分Ｎ１と保持面２８との間に向かって
空気が流れ、これによって、皿型部材３０の凹部３０Ａ
に負圧が発生してシート材Ｓが前記保持面２８に対して
非接触状態で保持されるようになっている。ここで、シ
ート材Ｓは、その図２中左端縁側が前記押圧部材１７の
最下端側に相対するように、保持体２３の左側にはみ出
した状態で保持体２３に保持されるようになっている。
この際、シート材Ｓの位置決めは、ここでは図示省略し
ているが、テーブル１４側の前記位置決め手段と実質的
に同一となる保持体２３側の位置決め手段によって行わ
れる。

【００１７】前記押圧部材１７は、保持体２３の図１中
左方で回転可能に支持されたローラ４０によって構成さ
れており、前記シート材保持手段１５と共に移動できる
ようになっている。ローラ４０は、その軸線方向長さが
シート材Ｓの直径よりもやや長く設定されるとともに、
外周下端部分が保持体２３の図１、２中左端側からはみ
出したシート材Ｓのはみ出し部分Ｎ２に接触可能となる
高さ位置に設定されている。なお、このローラ４０の外
周面は、シート材Ｓの表面Ｓ２の傷付きを防止可能な弾
性材料や鏡面仕上げされた鋼材によって形成される。前
記ローラ４０は、図３ないし図５に示されるように、シ
ート材保持手段１５の移動によってテーブル１４上の被
着体Ｅに重ね合わされたシート材Ｓ上を図４，５中左端
側から右端側に向かって転動することで、当該転動方向
に沿ってシート材Ｓに押圧力を付与するようになってい
る。このため、その押圧位置Ｐが、図４，５中左端側か
ら右端側に向かって次第に移動することとなる。

【００１８】次に、前記貼合装置１０によるシート材Ｓ
の貼り付け手順について図３〜図５を用いて説明する。

【００１９】図３に示されるように、テーブル１４に被
着体Ｅを保持させるともに、保持体２３に粘着面Ｓ１を
下向きにしたシート材Ｓを保持させる。この状態から、
シート材保持手段１５が押圧部材１７と共に、テーブル
１４の上方位置に向かって略水平方向に移動し、図３中
二点鎖線で示されるように、被着体Ｅの表面Ｅ１とシー
ト材Ｓの粘着面Ｓ１とが略対面する。そして、保持体２
３の同図中右側を支点として、保持体２３の同図中左側
となる押圧部材１７側を下方に傾け、図４に示されるよ
うに、当該押圧部材１７の下方に位置するシート材Ｓの
はみ出し部分Ｎ２を被着体Ｅの左端側に接近させる。

【００２０】そして、ローラ４０の外周面下端部分がシ
ート材Ｓの図４中左端側に接触することにより、当該左
端側は、ローラ４０によって押圧力が付与されて被着体
Ｅの左端側に貼合される。そして、図４に示される保持
体２３の傾斜姿勢を維持したまま、シート材保持手段１
５が押圧部材１７と共に図４中右方（矢印Ａ方向）に移
動する。このとき、シート材Ｓは、保持体２３の図４中
左方に位置するはみ出し部分Ｎ２が押圧部材１７によっ
て被着体Ｅ側に押圧されているため、シート材保持手段
１５の移動に伴って、保持体２３がシート材Ｓの表面Ｓ
２上を非接触状態でその面方向にシフトする（図５）。
この結果、シート材保持手段１５が移動すると、保持体
２３によるシート材Ｓの保持領域が次第に減少しなが
ら、シート材Ｓの表面Ｓ２上に非接触状態で付与される
押圧力の押圧位置Ｐが図５中左端側から右端側に向かっ
て次第に移動し、シート材Ｓと被着体Ｅとの間の空気を
図５中右側に逃がしながら、略一定の押圧力で、これら
シート材Ｓ及び被着体Ｅが同図中右側に向かって徐々に
貼り合わされる。

【００２１】シート材Ｓが被着体Ｅに貼り合わされた後
は、保持体２３の傾斜姿勢が解除され、シート材保持手
段１５及び押圧部材１７が、テーブル１４から右方に水
平移動して図３中実線で示される初期位置に戻るととも
に、シート材Ｓが貼り合わされた被着体Ｅがテーブル１
４から取り除かれ、次の被着体Ｅをテーブル１４に保持
させる一方、シート材Ｓを保持体２３に保持させ、前述
の動作が繰り返し行われる。

【００２２】従って、このような第１実施例によれば、
シート材Ｓを被着体Ｅに貼合する際に、保持体２３がシ
ート材Ｓの表面Ｓ２上を非接触状態でその面方向にシフ
トするようになっているため、被着体Ｅに貼合されたシ
ート材Ｓの表面Ｓ２に傷が付くことを防止できるという
効果を得る。

【００２３】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。なお、以下の説明において、前記第１実施例と同一
若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるも
のとし、説明を省略若しくは簡略にする。

【００２４】［第２実施例］この第２実施例は、前記シ
ート材保持手段１５と構成の相違するシート材保持手段
４７を採用したところに特徴を有する。すなわち、第２
実施例におけるシート材保持手段４７は、図６に示され
るように、シート材Ｓの表面Ｓ２側を吸着可能に設けら
れた保持体４９と、保持体４９の吸着面５１の下方に位
置するとともに、当該保持体４９と一体的に設けられる
板状のガイド部材５０とを備えて構成されており、その
他の構成は、第１実施例と実質的に同一となっている。

【００２５】ガイド部材５０は、吸着面５１との間に隙
間を形成した状態でシート材Ｓを粘着面Ｓ１側から支持
可能に設けられており、前記第１実施例のように保持体
４９がシート材Ｓに対して面方向にシフトしたときに、
シート材Ｓの未貼合部分Ｎ１における粘着面Ｓ１をガイ
ドしながら相対移動可能に設けられている。この相対移
動は、粘着面Ｓ１にガイド部材５０が接触しながら行わ
れるが、ガイド部材５０の上面側には、シート材Ｓをガ
イド部材５０に対して滑り易くするための剥離処理すな
わち剥離コーティングが施されている。この剥離コーテ
ィングとしては、例えば、株式会社トシカ製のトシカル
Ｓ−ＵＮＡ３１０ＣＲが用いられる。

【００２６】このように構成されたシート材保持手段４
７は、保持体４９によりシート材Ｓを吸着保持した状態
でシート材Ｓの位置決めをし、当該シート材Ｓを被着体
Ｅに貼合する際には、図７に示されるように、保持体４
９によるシート材Ｓの吸着保持が解除され、その表面Ｓ
２と保持体４９とを非接触状態にしてシート材Ｓがガイ
ド部材５０の上面に載った状態となる。そして、第１実
施例と略同様の手順でシート材Ｓを被着体Ｅに貼り合わ
せる。この際、ローラ４０の移動と共に保持体４９及び
ガイド部材５０が一体的に図７中右方に移動することに
なるが、このときには、シート材Ｓの表面Ｓ２が保持体
４９に対して略非接触となる状態で、粘着面Ｓ１がガイ
ド部材５０の上面を滑りながら相対移動する。

【００２７】従って、このような第２実施例によって
も、シート材Ｓを被着体Ｅに貼り合わせる際における表
面Ｓ２の傷付きが防止される。

【００２８】なお、前記第２実施例において、シート材
Ｓの貼合時に保持体４９及びガイド部材５０からそれら
の間に位置するシート材Ｓの未貼合部分Ｎ１に向かって
クリーンな空気を吐出可能な構成とし、保持体４９及び
ガイド部材５０の双方に非接触となる状態でシート材Ｓ
を保持することもできる。このようにすれば、シート材
Ｓ及び被着体Ｅの貼合時において、シート材保持手段４
７とシート材Ｓとの相対移動をよりスムースに行うこと
ができる。

【００２９】また、前記第１及び第２実施例において
は、シート材Ｓ上を転動するローラ４０を用いてシート
材Ｓを押圧したが、本発明はこれに限らず、シート材Ｓ
の表面Ｓ２に向かって圧縮空気を吐出可能となる構造の
部材を用い、当該部材をシート材Ｓの表面Ｓ２に接触さ
せないでシート材Ｓを押圧可能な構成にするとよい。こ
れによれば、シート材Ｓの表面Ｓ２への傷付きを一層防
止することができる。

【００３０】更に、本発明における装置各部の構成は図
示構成例に限定されるものではなく、実質的に同様の作
用を奏する限りにおいて、種々の変更が可能である。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
前記第１及び第２の部材の貼合の際に、前記非貼合面が
前記保持体に略非接触状態で前記未貼合部分を保持可能
に前記第２保持手段を設けたから、未貼合部分が保持体
に相対移動したときに、それらの接触を回避することが
でき、第２の部材の非貼合面に傷が付くことを防止でき
る。

【００３２】また、本発明において、前記第１及び第２
の部材の貼合時に前記第２の部材をその貼合面側から支
持するガイド部材が前記第２保持手段に設けられた構成
によれば、保持体と第２の部材の非貼合面との間に十分
広い隙間を確保することができ、当該非貼合面への傷付
きをより確実に防止することができる。

【００３３】更に、前記保持体及びガイド部材を前記未
貼合部分に向かってそれぞれ空気を吐出可能とし、前記
第１及び第２の部材の貼合時に、前記未貼合部分が前記
保持体及びガイド部材に非接触となる状態で保持される
構成とすることにより、前記未貼合部分とガイド部材と
の相対移動をよりスムースに行うことができる。

【００３４】また、前記ガイド部材の表面を剥離処理し
たから、粘着剤等が付着した第２の部材の貼合面がガイ
ド部材の表面に接触したときであっても、前記未貼合部
分とガイド部材との相対移動をスムースに行うことがで
きる。

【００３５】更に、前記第１及び／又は第２の部材の位
置決め手段を更に備えたから、当該第１及び第２の部材
の貼合をより正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る貼合装置を概念的に表した要
部断面図。

【図２】図１の部分拡大図。

【図３】貼合前の状態を示す図１と同様の断面図。

【図４】貼合開始時の状態を示す図１と同様の断面図。

【図５】貼合途中の状態を示す図１と同様の断面図。

【図６】第２実施例に係る貼合装置を概念的に表した要
部断面図。

【図７】貼合途中の状態を示す図６と同様の断面図。

【符号の説明】

１０貼合装置１４テーブル（第１保持手段）１５シート材保持手段（第２保持手段）１７押圧部材２３保持体４０ローラ（押圧部材）４７シート材保持手段４９保持体５０ガイド部材Ｅ被着体（第１の部材）Ｎ１未貼合部分Ｎ２はみ出し部分Ｓシート材（第２の部材）Ｓ１粘着面（貼合面）Ｓ２表面（非貼合面）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の第１の部材を保持する第１保持手
段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられると
ともに、前記第１の部材に貼合される第２の部材の未貼
合部分をその非貼合面側から保持する保持体を含む第２
保持手段と、前記第１及び第２保持手段の相対移動によ
り前記第１の部材に重ね合わされた前記第２の部材に所
定の押圧力を付与する押圧部材とを備え、前記未貼合部分を前記保持体に対して移動させながら当
該保持体の外側に位置する前記第２の部材のはみ出し部
分を前記押圧部材で前記第１の部材に押圧することによ
り、前記第１及び第２の部材を次第に貼り合わせる貼合
装置であって、前記第２保持手段は、前記第１及び第２の部材の貼合の
際に、前記非貼合面が前記保持体に略非接触となる状態
で前記未貼合部分を保持可能に設けられていることを特
徴とする貼合装置。
【請求項２】所定の第１の部材を保持する第１保持手
段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられると
ともに、前記第１の部材に貼合される第２の部材の未貼
合部分を保持する第２保持手段と、前記第１及び第２保
持手段の相対移動により前記第１の部材に重ね合わされ
た前記第２の部材に所定の押圧力を付与する押圧部材と
を備え、前記未貼合部分を前記第２保持手段に対して移動させな
がら当該第２保持手段の外側に位置する前記第２の部材
のはみ出し部分を前記押圧部材で前記第１の部材に押圧
することにより、前記第１及び第２の部材を次第に貼り
合わせる貼合装置であって、前記第２保持手段は、前記第１及び第２の部材の貼合時
に前記第２の部材をその貼合面側から支持するガイド部
材を備えたことを特徴とする貼合装置。
【請求項３】前記第２保持手段は、前記第１の部材に
貼合される第２の部材の未貼合部分をその非貼合面側か
ら保持可能な保持体を含み、前記保持体及びガイド部材は、前記第２の部材の未貼合
部分に向かってそれぞれ空気を吐出可能に設けられ、前
記第１及び第２の部材の貼合時には、前記未貼合部分が
前記保持体及びガイド部材に非接触となる状態で保持さ
れることを特徴とする請求項２記載の貼合装置。
【請求項４】前記ガイド部材は、その表面が剥離処理
されていることを特徴とする請求項２又は３記載の貼合
装置。
【請求項５】前記第１保持手段及び／又は第２保持手
段は、前記第１及び／又は第２の部材の位置決め手段を
更に備えたことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記
載の貼合装置。
【請求項６】前記第１の部材は、厚みが４０μｍ〜１
２０μｍとなる記録基板であることを特徴とする請求項
１〜５の何れかに記載の貼合装置。