KR20080052431A - 기판 접합 방법 및 이를 이용한 장치 - Google Patents

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Abstract

복수개의 걸림 갈고리로 주연 부분이 걸림 유지된 지지 기판을 웨이퍼의 양면 접착 시트 부착면에 근접하도록 대향 배치하고, 이 지지 기판의 비접합면의 대략 중앙으로부터 대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재를 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 지지 기판면에 편평 접촉시키면서 지지 기판을 웨이퍼에 접합한다.
기판 접합 장치, 걸림 갈고리, 웨이퍼, 지지 기판, 압박 부재

Description

기판 접합 방법 및 이를 이용한 장치 {METHOD FOR LAMINATING SUBSTRATE AND APPARATUS USING THE METHOD}
본 발명은 반도체 웨이퍼, 글래스 기판, 회로 기판 등의 각종 기판에 양면 접착 시트를 통해 보강용(지지용) 기판을 접합하는 기판 접합 방법 및 이를 이용한 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라고 함)는 웨이퍼 상에 다수의 소자를 형성한 후, 백 그라인드 공정에서 웨이퍼 이면을 깎고, 그 후, 다이싱 공정에서 각 소자로 절단되어 있다. 그러나, 최근에는 고밀도 실장의 요구에 수반하여 웨이퍼 두께를 100 ㎛ 내지 50 ㎛, 또한 25 ㎛ 정도까지 얇게 하는 경향이 있다.
이와 같이 얇게 백 그라인드된 웨이퍼는 약할 뿐만 아니라, 왜곡이 생기는 경우가 많다. 따라서, 취급성이 매우 나빠지고 있다.
그래서, 접착 시트를 통해 웨이퍼에 글래스판 등의 강성을 갖는 기판을 접합함으로써 웨이퍼를 보강하는 방법이 제안ㆍ실시되어 있다.
구체적으로는, 상면에 접착 테이프가 미리 부착된 웨이퍼를 유지대에 적재 고정하고, 이 웨이퍼의 상방에 글래스판 등으로 이루어지는 베이스(본 발명에 있어 서의 기판)를 베이스 지지부의 상단부에 경사 자세로 걸림 유지한다. 이 상태에서 프레스 롤러를 경사 유지된 베이스의 표면으로 이동시키는 동시에, 그 이동에 따라서 베이스 지지부를 하강시킨다. 이에 의해, 베이스를 반도체 웨이퍼에 접착하도록 구성되어 있다(일본 특허 출원 공개 제2000-349136호 공보 참조).
그러나, 종래의 베이스 접합 장치는 극박화된 웨이퍼에 미리 접착 테이프를 접착하여 보강용 기판과 접합하고 있으므로, 웨이퍼에 접착 테이프를 접착할 때에 외력이 가해져 웨이퍼를 파손시킬 우려가 있다.
또한, 프레스 롤러를 베이스 표면에 구름 이동시켜 압박하면서 웨이퍼에 접합할 경우, 프레스 롤러의 구름 이동 방향으로 압박력이 가해진다. 그 결과, 기판의 접합 위치가 그 구름 이동 방향으로 어긋나는 등의 문제가 있다.
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 워크의 파손이나 지지용 기판의 접합 위치의 어긋남 등이 없고 기판과 반도체 웨이퍼를 정밀도 높게 접합할 수 있는 기판 접합 방법 및 이를 이용한 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 하고 있다.
본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.
워크에 양면 접착 시트를 개재시켜 지지용 기판과 접합하는 기판 접합 방법에 있어서, 상기 방법은,
상기 워크에 양면 접착 시트를 접착하는 부착 과정과,
복수개의 유지 수단으로 상기 기판의 주연을 유지하고, 접착한 상기 양면 접착 시트를 사이에 두고 상기 워크와 기판을 근접시켜 대향 배치하는 위치 맞춤 과정과,
대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재로 상기 기판의 비접합면의 대략 중앙으로부터 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 기판면에 편평 접촉시키면서 기판을 워크에 접합하는 접합 과정과,
상기 압박 부재의 탄성 변형에 의한 기판면에 대한 압박 접촉면이 기판 주연에 근접하면, 상기 유지 수단에 의한 기판의 유지를 해제하고, 기판 외측으로 퇴피시키는 퇴피 과정을 포함한다.
본 발명의 기판 접합 방법에 따르면, 탄성체로 구성된 대략 반구형의 압박 부재로 기판의 비접합면의 대략 중앙으로부터 압박된다. 이에 의해, 압박 부재가 기판의 중앙으로부터 주연을 향해 방사형으로 접촉 면적을 확대하면서 탄성 변형해 간다. 따라서, 압박 부재에 의한 압박력도 기판 중앙으로부터 주연을 향해 균일하게 가해지는 동시에, 접합면으로 말려 들어가는 기포를 외측으로 배제할 수 있다. 그 결과, 기판의 접합 위치의 어긋남이나 워크의 파손을 억제할 수 있다. 또한, 접합면으로의 기포의 말려 들어감이 없는 고품위의 접합을 실현할 수 있다.
또한, 상기 방법의 접합 과정은 다음과 같은 방법으로 실시하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 유지 수단의 선단부를 경사 하방으로 요동시킨다.
또한, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 유지 수단을 하강시킨다.
상기 양 방법에 따르면, 기판에 휨에 의한 응력을 축적시키는 경우가 없다. 즉, 기판이 휜 상태에서 워크에 접합되는 경우가 없다.
또한, 기판에 접촉하는 선단부로부터 설치 기단부측을 향해 압박 부재의 경도를 높여 간다.
이 방법에 따르면, 압박 부재의 선단부측의 경도가 기단부측보다 낮기 때문에, 탄성 변형되기 쉽다. 즉, 기판면에 따라서 압박 부재를 편평 접촉시키기 쉽고, 또한 탄성 변형의 한계치에 도달했을 때에는 압박 부재 전체가 딱딱해진다.
따라서, 기판면에 균일하게 압박력을 작용시킬 수 있다.
또한, 기판에 접촉하는 선단부의 중심으로부터 직경 방향으로 압박 부재의 경도를 높여 간다.
이 방법에 따르면, 압박 부재의 선단부의 중심측의 경도가 기단부측보다 낮기 때문에, 탄성 변형되기 쉽다. 즉, 기판면에 따라서 압박 부재를 편평 접촉시키기 쉽고, 또한 탄성 변형의 한계치에 도달했을 때에는 압박 부재 전체가 딱딱해진다.
따라서, 기판면에 균일하게 압박력을 작용시킬 수 있다.
또한, 상기 압박 부재의 기판에 접촉하는 선단부에 편평면을 형성하고, 상기 편평면으로부터 기판에 접촉시켜 간다.
이 방법에 따르면, 압박 부재에 의한 압박력이 기판의 중심으로 국소적으로 작용하는 것을 억제할 수 있다. 환언하면, 압박력을 기판의 직경 방향으로 분산시켜 대략 균일한 압박력을 작용시킬 수 있다.
상기 각 방법에 있어서, 접합 과정에서는 감압 분위기 중에서 지지용 기판을 워크에 접합하는 것이 바람직하다.
이 방법에 따르면, 워크와 기판의 접합면으로의 기포의 말려 들어감을 보다 정밀도 좋게 배제할 수 있다.
또한, 상기 각 방법에 있어서, 기판 대신에 워크를 기판에 접합하도록 해도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.
워크에 양면 접착 시트를 개재시켜 지지용 기판을 접합하는 기판 접합 장치에 있어서, 상기 장치는,
상기 양면 접착 시트가 접착된 워크의 비접착면을 유지하는 유지 테이블과,
상기 기판의 주연의 복수 개소를 유지하고, 상기 유지 테이블에 적재 유지된 워크의 양면 접착 시트 접착면에 기판을 근접시켜 대향 배치하는 유지 수단과,
대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재를 구비하고, 상기 유지 수단에 유지된 기판의 비접합면을 압박 부재로 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 기판면에 편평 접촉시키면서 기판을 워크에 접합하는 접합 수단과,
상기 압박 부재의 탄성 변형에 수반하여 상기 유지 수단에 의한 기판의 유지를 해제시켜 기판 외측으로 퇴피시키는 구동 수단을 포함한다.
본 발명의 기판 접합 장치에 따르면, 유지 테이블에 적재 유지된 워크의 양면 접착 시트 접합면에 기판을 근접시켜 대향 배치시키고, 이 기판의 비접합면측으로부터 압박 부재를 압박시켜 기판을 워크에 접합해 갈 수 있다. 이 기판을 워크에 접합하는 과정에서, 압박 부재의 탄성 변형에 수반하여 유지 수단의 유지를 해제시키고 기판 외측으로 퇴피시킴으로써, 기판을 워크에 완전하게 접합할 수 있다. 즉, 상기 방법 발명을 적절하게 실현할 수 있다.
또한, 본 발명 장치에 있어서의 압박 부재는 그 반구형의 접촉 개시 위치가 되는 선단부가 편평면을 갖는 것이 바람직하다.
본 구성에 따르면, 압박 부재에 의한 압박력이 기판에 국소적으로 작용하는 것을 억제할 수 있다. 환언하면, 압박력을 기판의 직경 방향으로 분산시켜 대략 균일한 압박력을 작용시킬 수 있다.
또한, 본 발명 장치에 있어서의 압박 부재는 선단부로부터 설치 기단부측을 향함에 따라서 경도가 높아지도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 구성에 따르면, 압박 부재의 선단부측의 경도가 기단부측보다 낮으므로, 탄성 변형되기 쉽다. 즉, 기판면에 따라서 압박 부재를 편평 접촉시키기 쉽고, 또한 탄성 변형의 한계치에 도달했을 때에는 압박 부재 전체가 딱딱해져 기판면에 균일하게 압박력을 작용시킬 수 있다.
또한, 상기 압박 부재는 기판에 접촉하는 선단부의 중심으로부터 직경 방향으로 그 경도가 높아지도록 구성해도 좋다.
또한, 본 발명 장치에 있어서의 유지 수단은 워크의 주연을 거는 걸림 갈고 리로 구성하는 것이 바람직하다.
본 구성에 따르면, 기판 유지에 의한 접촉 면적을 작게 할 수 있어, 접합면의 오염을 억제할 수 있다.
또한, 걸림 갈고리는 다음과 같이 동작하도록 구성하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 걸림 갈고리의 선단부를 경사 하방으로 요동시키도록 구성한다.
또한, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 걸림 갈고리를 하강시키도록 구성한다.
또한, 본 발명 장치는 적어도 유지 테이블, 유지 수단 및 접합 수단을 감압실에 수용하여 구성하는 것이 바람직하다. 본 구성에 따르면, 워크와 기판의 접합면으로 말려 들어가는 기포를 적극적으로 배제할 수 있다.
또한, 기판과 워크의 유지 형태를 반대의 구성으로 해도 좋다.
발명을 설명하기 위한 현재의 적합하다고 판단되는 몇 개의 형태가 나타나 있지만, 발명이 나타낸 바와 같은 구성 및 방책으로 한정되는 것은 아니라는 것을 이해 바란다.
본 발명에 따르면, 반도체 웨이퍼 등의 워크의 파손이나 지지용 기판의 접합 위치의 어긋남 등이 없고 기판과 반도체 웨이퍼를 정밀도 높게 접합할 수 있는 기판 접합 방법 및 이를 이용한 장치를 제공할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 설명한다.
도1은 본 발명에 관한 기판 접합 방법을 실행하는 기판 접합 장치의 평면도, 도2는 그 정면도이다.
본 실시예의 기판 접합 장치(1)는, 도1에 도시한 바와 같이 베이스(2)의 우측 전방에 반도체 웨이퍼(W1)(이하, 단순히 「웨이퍼(W1)」라고 함)가 수용된 카세트(C1)가 장전되는 웨이퍼 공급부(3)와, 베이스(2)의 중앙 전방에 글래스판이나 스테인리스강 등으로 이루어지는 웨이퍼와 대략 동일 형상의 보강용 기판으로서의 지지 기판(W2)이 수납된 카세트(C2)가 장전되는 지지 기판 공급부(4), 베이스(2)의 좌측 전방에 지지 기판(W2)이 접합된 웨이퍼(W1)를 카세트(C3)에 회수하는 웨이퍼 회수부(5)가 배치되어 있다. 이 웨이퍼 공급부(3)와 지지 기판 공급부(4) 사이에는 로봇 아암(6)을 구비한 제1 반송 기구(7)와, 반송 벨트에 의해 웨이퍼(W1)를 수평 반송하는 제2 반송 기구(8)가 배치되어 있다. 또한, 베이스(2)의 우측 안측에는 제1 위치 맞춤 스테이지(9)가 배치되어 있다. 그 상측에는 웨이퍼(W1)를 향해 양면 접착 시트(T1)를 공급하는 접착 시트 공급부(10)가 배치되어 있다. 또한, 접착 시트 공급부(10)의 우측 경사 하방에는 접착 시트 공급부(10)로부터 공급된 세퍼레이터가 부착된 양면 접착 테이프(T1)로부터 세퍼레이터(S)만을 회수하는 세퍼레이터 회수부(11)가 배치되어 있다. 위치 맞춤 스테이지(9)의 좌측 가로에는 웨이퍼(W1)를 적재 유지하는 유지부(12)와, 이 유지부(12)에 유지된 웨이퍼(W1)에 양면 접착 시트(T1)를 접착하는 시트 부착 기구(13)와, 웨이퍼(W1)에 양면 접착 시트(T1)를 접착한 후의 불필요한 시트(T2)를 박리하는 시트 박리 기구(14)가 배치되 어 있다. 유지부(12)의 상방에는 웨이퍼(W1)에 접착된 양면 접착 시트(T1)를 웨이퍼(W1)의 외형을 따라서 절단하는 커터 유닛(15)이 배치되어 있다. 또한, 그 좌측 상방에는 불필요한 시트(T2)를 회수하는 시트 회수부(16)가 배치되어 있다. 또한, 시트 부착 기구(13)의 좌측 가로에는 로봇 아암(17)을 구비한 제3 반송 기구(18)가 배치되어 있다. 그 좌측 가로에 제2 위치 맞춤 스테이지(19)가 배치되어 있다. 또한, 그 좌측 안측에는 웨이퍼(W1)와 지지 기판(W2)을 접합하는 기판 접합 기구(20)가 배치되어 있다. 이하, 각 구성에 대해 구체적으로 설명한다.
웨이퍼 공급부(3), 지지 기판 공급부(4) 및 웨이퍼 회수부(5)는 승강 가능한 카세트대를 구비하고 있다. 각 카세트 대에 수용된 카세트(C1 내지 C3)는 각각에 웨이퍼(W1), 지지 기판(W2) 및 지지 기판이 부착된 웨이퍼(W1)를 다단으로 수납하여 적재되도록 되어 있다. 이때, 카세트(C1, C3) 내에서는, 웨이퍼(W1)는 패턴면을 상향으로 한 수평 자세를 유지하고 있다.
제1 반송 기구(7) 및 제3 반송 기구(18)는 로봇 아암(6, 17)을 구비하는 동시에, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 선회하도록 구성되어 있다.
로봇 아암(6, 17)은, 도2에 도시한 바와 같이 그 선단부에 말굽형을 한 기판 유지부(21, 22)를 구비하고 있다. 이 기판 유지부(21, 22)에는 도시하지 않은 흡착 구멍이 형성되어 있고, 카세트(C1, C2)에 수용된 웨이퍼(W1) 및 지지 기판(W2)을 이면으로부터 진공 흡착하도록 되어 있다. 또한, 기판 유지부(21, 22)의 형상은 말굽형으로 한정되는 것은 아니고, 직사각형이나 원형 등이라도 좋다.
즉, 로봇 아암(6)은 카세트(C1)에 다단으로 수납된 웨이퍼(W1)끼리의 간극을 기판 유지부(21)가 진퇴되어 웨이퍼(W1)를 이면으로부터 흡착 유지하는 동시에, 흡착 유지한 웨이퍼(W1)를 후술하는 제1 위치 맞춤 스테이지(9), 유지부(12) 및 제2 반송 기구(8)의 순서로 반송한다.
로봇 아암(17)은 제2 반송 기구(8)에 의해 반송되어 오는 양면 접착 시트가 부착된 웨이퍼(W1)를 제2 위치 맞춤 스테이지(19), 기판 접합 기구(20)의 순서로 반송한다. 또한, 로봇 아암(17)은 카세트(C2)에 다단으로 수납된 지지 기판(W2)끼리의 간극을 기판 유지부(22)가 진퇴되어 지지 기판(W2)을 이면으로부터 흡착 유지하는 동시에, 흡착 유지한 지지 기판(W2)을 후술하는 제2 위치 맞춤 스테이지(19), 기판 접합 기구(20)의 순서로 반송하고, 또한 기판 접합 기구(20)에서 지지 기판(W2)이 접합된 웨이퍼(W1)를 카세트(C3)로 반송한다.
제2 반송 기구(8)는 반송 롤러 또는 무단 벨트에 의해 구성된 컨베이어식 반송 기구이다. 즉, 로봇 아암(6)에 의해 이동 탑재된 양면 접착 시트가 부착된 웨이퍼(W1)를 로봇 아암(17)으로 전달 가능한 위치로 수평 반송한다.
제1 위치 맞춤 스테이지(9)는 적재된 대략 원형의 웨이퍼(W1)의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등을 기초로 하여 위치 맞춤을 행한다.
제2 위치 맞춤 스테이지(19)는, 웨이퍼(W1)에 대해서는, 제1 위치 맞춤 스테이지(9)와 마찬가지로 오리엔테이션 플랫 등을 기초로 하여 위치 맞춤을 행한다. 또한, 지지 기판(W2)에 대해서는 중심 위치를 한 쌍의 걸림 갈고리(75)로 끼워 넣어 결정한다.
유지부(12)는, 도6에 도시한 바와 같이 중앙에서 승강하는 흡착 패드에 의해 웨이퍼(W1)를 수취하고, 웨이퍼(W1)의 이면과 전체로 면 접촉하여 웨이퍼(W1)를 흡착 유지하는 척 테이블(23)이 구비되어 있다. 또한, 척 테이블(23)은 본 발명의 유지 테이블에 상당한다.
접착 시트 공급부(10)는 보빈(24)에 가열 팽창에 의해 접착력이 저하되는 양면 접착 시트(T1)가, 세퍼레이터(S)가 부착되어 권취되어 있다. 또한, 이 보빈(24)으로부터 조출된 세퍼레이터(S)가 부착된 양면 접착 시트(T1)를 가이드 롤러(25)군에 권취 안내한다. 또한, 접착 시트 공급부(10)는 장치 본체의 종벽에 축지지되어 브레이크 기구 등을 통해 회전 규제되어 있다.
세퍼레이터 회수부(11)는 종벽에 회수 보빈(26)이 축지지되어 있고, 모터 등의 구동 기구에 연동 연결되어 있다.
시트 부착 기구(13)는 그 프레임이 테이프 주행 방향으로 슬라이드 가능해지도록 장치 본체의 레일에 파지되고, 도시하지 않은 모터 등의 구동부를 통해 연동 연결되어 있다. 또한, 프레임에는 부착 롤러(27)가 회전 가능하게 축지지되어 있다. 즉, 부착 롤러(27)가 양면 접착 시트(T1)의 표면을 압박하여 구름 이동하면서 웨이퍼(W1)의 요철을 갖는 표면에 양면 접착 시트(T1)를 접착해 간다.
커터 유닛(15)은 도시하지 않은 승강 기구에 의해 대기 위치와, 양면 접착 시트(T1)를 절단하는 작용 위치에 걸쳐서 승강 이동한다. 또한, 웨이퍼(W1)의 외형을 따라서 커터날을 선회 주사시켜 양면 접착 시트(T1)를 웨이퍼 형상으로 절단한다.
시트 박리 기구(14)는 그 프레임이 테이프 주행 방향으로 슬라이드 가능해지 도록 장치 본체의 레일에 파지되고, 도시하지 않은 모터 등의 구동부를 통해 연동 연결되어 있다. 또한, 프레임에는 박리 롤러(28)가 회전 가능하게 축지지되어 있다. 또한, 이 박리 롤러(28)가 도시하지 않은 실린더 등에 의해 상하 요동 구동하도록 되어 있다. 박리 롤러(28)는 절단된 후의 불필요한 양면 접착 시트(T2)를 웨이퍼(W1)으로부터 박리한다.
시트 회수부(16)는 베이스(2)의 종벽에 회수 보빈(29)이 축지지되고, 모터 등의 구동부에 연동 연결되어 있다. 즉, 테이프 공급부(11)로부터 소정량의 양면 접착 시트(T1)가 조출되어 웨이퍼(W1) 상에 공급되는 동시에, 구동부가 작동함으로써 양면 접착 시트(T1)를 절단한 후의 불필요한 테이프(T2)가 회수 보빈(29)에 권취되도록 되어 있다.
기판 접합 기구(20)는, 도4에 도시한 바와 같이 베이스(2) 상에 설치되고, 개폐 가능한 감압실(36)의 내부에 설치된 구조로 되어 있다. 또한, 기판 접합 기구(20)는 본 발명의 기판 접합 장치에 상당한다.
또한, 도3 및 도4에 도시한 바와 같이 웨이퍼(W1)를 수평으로 적재하여 유지하는 진공 흡착식 유지 테이블(37)과, 지지 기판(W2)의 주연을 4개소에서 걸림 유지하는 것에 대향하는 2쌍의 걸림 갈고리(38)와, 이들 걸림 갈고리(38)로 지지 기판(W2)을 건 상태에서, 그 상측에 위치에서 대기하고 있는 압박 부재(39)와, 이들 구동 수단으로 구성되어 있고, 이하에 각 구성의 구체적인 구조에 대해 설명한다.
걸림 갈고리(38)는 홀더(41)에 탈착 가능하게 볼트 조임 연결되어 있다. 그 선단부에 지지 기판(W2)의 주연 개소를 하방으로부터 받아내어 거는 부분 원호형의 걸림부(38a)가 높이가 다른 형으로 구비되어 있다. 또한, 걸림 갈고리(38)는 본 발명의 유지 수단에 상당한다.
홀더(41)는 평면에서 볼 때에 있어서, 수평 횡축심(P)을 지점으로 하여 수평 자세로부터 하방으로의 경사 자세로 요동 가능하게 베어링 브래킷(42)에 축지지되어 있고, 또한 베어링 브래킷(42)은 가동대(46)에 장비되어 있다. 가동대(46)는 승강대(49) 상에 배치되어 있고, 에어 실린더 혹은 펄스 모터로 나사 이송 구동되는 직선 횡구동 기구(47)에 의해, 수평으로 가로 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 각 걸림 갈고리(38)는 기판 유지 위치와 기판 외측으로 후퇴된 퇴피 위치와의 사이에서 왕복 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 직선 구동 기구(47)는 본 발명의 구동 수단에 상당한다.
또한, 직선 횡구동 기구(47) 자체는 베이스 상에 세워 설치된 레일(48)을 따라서 승강 가능한 승강대(49)에 장비되어 있다. 이 승강대(49)는 에어 실린더, 혹은 펄스 모터 등의 구동 기구(50)를 이용하여 승강대(49)를 나사 이송 승강함으로써, 각 걸림 갈고리(38)를 승강시킬 수 있도록 구성되어 있다.
압박 부재(39)는 웨이퍼(W1)의 직경보다도 큰 직경을 갖는 대략 반구형의 탄성체로 구성되어 있다. 예를 들어, 본 실시예 장치의 경우, 압박 부재(39)는 그 압박 개시 위치가 되는 선단부가, 도5에 도시한 바와 같이 편평면(40)을 갖는다. 이 편평면(40)을 가짐으로써, 압박 부재(39)에 의한 압박력이 국소적으로 지지 기판(W2)에 작용하는 것을 억제할 수 있다. 환언하면, 압박력을 지지 기판(W2)의 직경 방향으로 분산시켜 대략 균일한 압박력을 지지 기판(W2)에 작용시킬 수 있다. 따라서, 웨이퍼(W1)의 파손을 억제할 수 있는 동시에, 접합면으로 말려 들어가는 기포를 효율적으로 배출할 수 있다. 그 결과, 웨이퍼(W1)의 외주 부분에 접합 불균일없이 지지 기판(W2)과 웨이퍼(W1)를 밀착시킬 수 있다.
또한, 압박 부재(39)는 설치 기단부측에 원기둥 블럭(39a)을 갖고，이 원기둥 블럭(39a)의 높이(c), 반구형의 블럭(39b)의 반경(a), 곡률 반경(R), 편평면(40)의 반경(b), 원기둥 블럭(39a)의 설치 기단부면으로부터 블럭(39b)의 선단부까지의 높이(h) 및 경도 등이 접합하는 웨이퍼(W1)의 사이즈나 재질에 따라서 적절하게 설정되어 있다. 즉, 원기둥 블럭(39a)의 높이(c)는 압박에 의한 탄성 변형 시에 반구형의 블럭(39b)의 부분을 직경 방향과 높이 방향으로 스트레스 없이 변형할 수 있는 높이로 설정된다. 곡률 반경(R)은 압박력이 지지 기판(W2)의 직경 방향(방사형)으로 전파되고, 지지 기판(W2)으로의 압박력(면압)이 균일해지는 범위로 설정된다. 반경(a)은 웨이퍼(W1)에 지지 기판(W2)을 접합할 때, 탄성 변형된 압박 부재(39)가 지지 기판(W2)의 전체면과 접촉하여 덮는 사이즈가 바람직하다. 예를 들어, 웨이퍼(W1)의 직경의 대략 2배이다. 편평면(40)의 반경(b)은 접촉 면적의 면압이 균일해지도록 설정된다.
또한, 압박 부재(39)는 마찰 계수가 낮고 내열성이 있는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 저경도 재질의 것이다. 예를 들어, 실리콘 고무나 불소 고무 등을 이용하고, 반구형의 블럭 또는 벌룬으로 성형한 것이 이용된다.
예를 들어, 이들 압박 부재(39)의 조건을 6인치의 웨이퍼(W1)에 상기 형상의 지지 기판(W2)을 접합할 때에 적용한 경우, 반경(a)은 600 ㎜, 편평면(40)의 반 경(b)은 1 내지 10 ㎜, 원기둥 블럭(39a)의 높이(c)는 10 내지 40 ㎜, 곡률 반경(R)은 150 내지 300 ㎜, 양 블럭(39a, 39b)을 합한 높이(h)는 50 내지 150 ㎜ 및 경도(쇼어 경도) 5 내지 30의 범위이다. 더 바람직하게는, 반경(a)은 600 ㎜, 편평면(40)의 반경(b)은 3 ㎜, 높이(c)는 25 ㎜, 곡률 반경(R)은 200 ㎜, 경도(쇼어 경도)는 선단부 부분에서 15, 이 선단부 부분으로부터 기단부측을 향함에 따라서 경도가 증가하여 기단부 부분에서 20이다.
또한, 상기 곡률 반경(R)은 반구형의 블럭(39b)을 구체로서 가정했을 때의 반경을 기초로 하여 구하고 있지만, 이 방법으로 한정되는 것은 아니다.
또한, 압박 부재(39)는 커버 케이스(61) 내에서 승강 가능하게 장착되어 있다. 즉, 커버 케이스(61)에는 4개의 가이드 축(63)을 통해 상하 슬라이드 가능하고, 또한 에어 실린더(64)에 의해 구동 승강되는 승강 프레임(65)이 장착되어 있다. 이 승강 프레임(65)에 압박 부재(39)가 장착되어 있다. 또한, 압박 부재(39), 가이드 축(63), 에어 실린더(64) 및 승강 프레임(65) 등은 본 발명의 접합 수단으로서 기능한다.
감압실(36)은, 도3 및 도4에 도시한 바와 같이 베이스 상에 설치된 대략 원통형의 고정 주위벽(60)과, 이 고정 주위벽(60)에 도시하지 않은 힌지를 통해 상하로 요동 개폐 가능하게 장착된 커버 케이스(61)로 구성되어 있다. 또한, 도시되어 있지 않은 진공 펌프를 작동시킴으로써 실내를 감압하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 고정 주위벽(60)의 상단부 전체 둘레에는 폐쇄된 커버 케이스(61)의 하단부 전체 둘레에 밀착하여 실내의 기밀을 유지하기 위한 시일(62)이 장착되어 있다. 또한, 편평면을 갖는 측면에는 슬라이드 개폐하는 셔터(74)가 설치되어 있다. 즉, 로봇 아암(17)에 의해 흡착 유지된 웨이퍼(W1) 및 지지 기판(W2)을 셔터 개구로부터 내부에 반입시키고, 각각을 유지 테이블(37)과 각 걸림 갈고리(38)에 적재 유지시킨다.
다음에, 상기 실시예 장치를 이용하여 웨이퍼(W1)에 지지 기판(W2)을 접착하는 일주의 동작에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
각 카세트(C1 내지 C3)의 장전이나 양면 접착 시트(T1)의 세트 등의 초기 설정이 완료되면, 장치의 작동을 실행한다. 우선, 제1 반송 기구(7)가 선회하고, 이 기구에 구비된 로봇 아암(6)의 기판 유지부(21)가 카세트(C1) 내의 웨이퍼끼리의 간극에 삽입된다. 로봇 아암(6)은 그 기판 유지부(21)에서 웨이퍼(W1)를 이면으로부터 흡착 유지하여 취출하고, 웨이퍼(W1)를 제1 위치 맞춤 스테이지(9)에 이동 탑재한다.
제1 위치 맞춤 스테이지(9)에 적재된 웨이퍼(W1)는 오리엔테이션 플랫이나 노치를 기초로 하여 위치 맞춤된다. 위치 맞춤 후, 웨이퍼(W1)는 로봇 아암(6)에 의해 이면이 흡착 유지되어 척 테이블(23)에 이동 탑재된다.
척 테이블(23)에 적재된 웨이퍼(W1)는 위치 맞춤이 행해져 흡착 유지된다. 이때, 도6에 도시한 바와 같이, 시트 부착 기구(13)와 시트 박리 기구(14)는 좌측의 초기 위치에, 그리고 커터 유닛(15)은 상방의 대기 위치에 각각 위치한다.
웨이퍼(W1)의 위치 맞춤이 종료되면, 도7에 도시한 바와 같이 시트 부착 기구(13)의 부착 롤러(27)가 양면 접착 시트(T1)의 표면을 압박하면서 시트 주행 방 향과는 역방향(도7에서는 좌측으로부터 우측)으로 구름 이동한다. 이 동작에 의해 웨이퍼(W1)의 표면 전체에 균일하게 양면 접착 시트(T1)를 접착한다.
시트 부착 기구(13)가 종료 위치에 도달하면, 도8에 도시한 바와 같이 커터 유닛(15)이 절단 작용 위치로 강하하고, 날끝이 양면 접착 시트(T1)를 찔러 관통한다. 날끝이 웨이퍼(W1)의 주연을 따라서 선회 이동함으로써, 양면 접착 시트(T1)를 대략 웨이퍼형으로 절단한다.
양면 접착 시트(T1)를 절단한 후, 커터 유닛(15)은, 도9에 도시한 바와 같이 상승해서 대기 위치로 복귀된다.
다음에, 시트 박리 기구(14)가 지지 기판(W2) 상을 시트 주행 방향과는 역방향(도9에서는 좌측으로부터 우측)으로 이동하면서 웨이퍼(W1) 상에서 절단된 불필요한 시트(T2)를 감아 올려서 박리한다.
시트 박리 기구(14)가 박리 작업의 종료 위치에 도달하면, 시트 박리 기구(14)와 시트 부착 기구(13)가 시트 주행 방향으로 이동하고, 도6에 도시하는 초기 위치로 복귀된다. 이때, 불필요한 시트(T2)가 회수 보빈(29)에 권취되는 동시에, 일정량의 양면 접착 시트(T1)가 접착 시트 공급부(10)로부터 조출된다. 또한, 양면 접착 시트(T1)의 표면에 남는 세퍼레이터는 적절한 때에 박리된다.
양면 접착 시트(T1)가 접착된 웨이퍼(W1)는 로봇 아암(6)에 의해 다시 흡착되어 제2 반송 기구(8)에 이동 탑재된다. 제2 반송 기구(8)는 적재된 웨이퍼(W1)를 제2 로봇 아암(17)의 전달 위치까지 수평 반송한다.
제2 반송 기구(8)에 의해 전달 위치로 반송되어 온 웨이퍼(W1)는 로봇 아 암(17)에 의해 비접착면인 하방으로부터 흡착 유지되어 제2 위치 맞춤 스테이지(19)에 이동 탑재되고, 노치 등을 기초로 하여 위치 맞춤된다. 위치 맞춤 후, 웨이퍼(W1)는 로봇 아암(17)에 의해 이면이 흡착 유지되어 기판 접합 기구(20)의 감압실 내의 유지 테이블(37)에 이동 탑재된다. 웨이퍼(W1)는 유지 테이블(37)에 의해 흡착 유지된 상태에서 지지 기판(W2)이 기판 접합 기구(20)로 반송되어 올 때까지 대기하고 있다.
웨이퍼(W1)가 유지 테이블(37)에 적재되면, 제2 로봇 아암(17)은 지지 기판(W2)의 반송을 개시한다. 즉, 그 선단부의 기판 유지부(22)를 카세트(C2) 내의 지지 기판(W2)끼리의 간극에 삽입한다. 로봇 아암(17)은 그 기판 유지부(22)에서 지지 기판(W2)을 이면으로부터 흡착 유지하여 취출하고, 지지 기판(W2)을 제2 위치 맞춤 스테이지(19)에 이동 탑재한다.
제2 위치 맞춤 스테이지(19)는 한 쌍의 걸림 갈고리(75)에 의해 지지 기판(W2)을 사이에 두고 위치 결정을 한다. 위치 결정이 종료되면, 로봇 아암(17)은 지지 기판(W2)의 비접합면인 하방으로부터 흡착 유지하여 상방에서 반전된 후에, 기판 접합 기구(20)의 감압실 내로 반입한다. 또한, 지지 기판(W2)에 따라서는, 위치 맞춤 후에 반전시킬 필요가 없는 것도 있다.
지지 기판(W2)이 반입되면, 지지 기판(W2)의 직경에 따라서 미리 입력된 정보를 기초로 하여 결정되어 있는 기판 중심측의 소정 위치까지 각 걸림 갈고리(38)를 수평 이동시킨다. 이들 걸림 갈고리(38)의 걸림부(38a)에 의해 지지 기판(W2)을 4점 지지 상태에서 수평으로 걸림 유지한다. 걸림 유지가 종료되면, 로봇 아 암(17)은 감압실(36)로부터 퇴피된다. 이때, 유지 테이블(37)에 흡착 유지된 웨이퍼(W1)와 걸림 갈고리(38)로 걸림 유지된 지지 기판(W2)은 근접한 대향 상태에 있다.
웨이퍼(W1)와 지지 기판(W2)의 장전이 종료되면 감압실(36)의 셔터(74)를 폐쇄하여 밀폐한 후, 배기 처리를 행하여 내압을, 예를 들어 65 ㎪(500 ㎜Hg) 이하까지 감압한다. 또한，이 시점에서는, 압박 부재(39)는 지지 기판(W2)으로부터 상방에서 대기하고 있다.
감압 처리가 완료되면 접합 개시 지령을 개시하고, 지지 기판(W2)을 웨이퍼(W1)에 접합 개시한다.
즉, 접합 지령이 나오면，도10의 (a)에 도시한 바와 같이 지지 기판(W2)의 상방의 대기 위치에 있는 압박 부재(39)가, 도10의 (b)에 도시한 바와 같이 강하하기 시작한다. 이 강하 동작에 수반하여 압박 부재(39)의 하방 선단부가 지지 기판(W2)의 대략 중앙과 접촉하여 압박되고, 지지 기판(W2)을 미소하게 휘어 지지 기판(W2)과 웨이퍼(W1)의 중앙 부분을 접합한다. 이때, 걸림 갈고리 선단부의 하면이 양면 접착 시트(T1)에 접촉하지 않을 정도로, 또한 지지 기판(W2)의 휨량에 따라서 선단부를 하향으로 하여 경사지게 한다.
압박 부재(39)를 더 강하시켜 감에 따라서, 도10의 (c)에 도시한 바와 같이 압박 부재(39)가 탄성 변형되어 지지 기판(W2)의 직경 방향으로 방사형으로 접촉 면적을 확대하면서 지지 기판(W2)을 웨이퍼(W1)에 서서히 접합해 간다. 이때, 지지 기판(W2)의 휨량이 일정해지도록 걸림 갈고리(38)가 수평이 되면서 강하해 간 다.
또한，이 압박 부재(39)의 탄성 변형에 의해 지지 기판(W2)에 대한 접촉면이 확대되어 지지 기판(W2)의 주연 근처의 소정의 위치까지 오면, 도11의 (a)에 도시한 바와 같이, 걸림 갈고리(38)는 지지 기판(W2)의 접합을 방해하지 않도록 지지 기판(W2)의 걸림 유지를 해제하여 기판 외측까지 후퇴된다.
그 후, 도11의 (b)에 도시한 바와 같이 압박 부재(39)를 더 압박하여 지지 기판(W2)의 비접합면의 전체면을 탄성 변형한 압박 부재(39)로 피복하여 웨이퍼(W1)로의 지지 기판(W2)의 접합이 완료된다.
접합이 완료되면, 압박 부재(39)를 상승시켜 대기 위치로 복귀시킨 후, 감압실(36)로 외기가 유입되어 대기압까지 복귀되고, 그 후, 셔터(74)를 개방한다.
로봇 아암(17)은 셔터 개구로부터 선단부의 기판 유지부(22)를 삽입하고, 지지 기판(W2)이 접합한 웨이퍼(W1)를 흡착 유지하여 취출한다. 이 취출한 웨이퍼(W1)를 카세트(C3)에 장전한다. 이상에서 1회의 접합 처리가 완료되고, 이후, 상기 작동을 반복한다.
또한, 상기 실시예에서는 웨이퍼(W1)에 동일한 직경의 지지 기판(W2)을 접합하는 경우를 예시하였지만, 웨이퍼(W1)보다 약간 직경이 작은 지지 기판(W2)을 접합하는 경우에도 상기와 마찬가지로 작동시키면 좋다.
이상과 같이, 본 실시예는 걸림 갈고리(38)로 걸림 유지한 지지 기판(W2)의 대략 중앙으로부터 압박 부재(39)에 의해 압박하고, 압박 부재(39)를 탄성 변형시키면서 지지 기판(W2)의 외측으로 방사형으로 접촉 면적을 확대하면서, 지지 기 판(W2)을 웨이퍼(W1)에 서서히 접합해 간다. 이에 의해, 지지 기판(W2)을 웨이퍼(W1)에 접합할 때, 웨이퍼(W1)에 대한 지지 기판(W2)의 접합 위치의 어긋남을 억제할 수 있다.
또한, 압박력을 웨이퍼(W1)의 외측으로 방사형으로 분산시키면서 지지 기판(W2)을 웨이퍼(W1)에 접합할 수 있으므로, 대략 균일하게 압박력을 가할 수 있다. 따라서, 접합 시에 있어서, 웨이퍼(W1)에 국소적으로 압박력이 가해지지 않으므로, 웨이퍼(W1)의 파손 등을 억제할 수 있다.
또한, 대략 중앙으로부터 방사형으로 지지 기판(W2)을 웨이퍼(W1)에 접합하므로, 접합면으로 말려 들어가는 기포를 효율적으로 배출할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시예의 것으로 한정되지 않고, 다음과 같이 변형 실시할 수도 있다.
(1) 상기 실시예에서는 기판 접합 기구(20)의 유지 테이블(37)에 웨이퍼(W1)를 유지하고, 지지 기판(W2)을 접합하고 있었지만, 그 반대라도 좋다. 즉, 유지 테이프(37)에 접착면을 상향으로 한 지지 기판(W2)을 적재 유지하고, 패턴면을 하향으로 한 웨이퍼(W1)를 걸림 갈고리(38)로 걸림 유지한 상태에서 접합한다.
(2) 상기 실시예의 압박 부재(39)는 최초로 지지 기판(W2)을 접촉하는 하방 선단부의 중심으로부터 직경 방향 또는/및 기단부측을 향함에 따라서 경도가 높아지도록 구성하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 선단부로부터 기단부측을 향해 경도가 높아지도록 탄성체의 재료 배합을 조정해도 좋고, 경도가 다른 탄성체의 블럭을 적층하여 구성해도 좋다. 본 구성에 따르면, 접합면으로 말려 들어가는 기포를 효율적으로 외부로 배출시킬 수 있다.
(3) 압박 부재(39)는 그 선단부에 편평면(40)을 갖지 않고 전체가 동일한 곡률을 갖는 반구형의 블럭이라도 좋다.
본 발명은 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적 형태에서 실시할 수 있고, 따라서 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아닌, 부가된 클레임을 참조해야 한다.
도1은 본 발명에 관한 기판 접합 장치의 사시도.
도2는 본 발명에 관한 기판 접합 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도.
도3은 본 발명에 관한 기판 접합 기구의 평면도.
도4는 본 발명에 관한 기판 접합 기구의 정면도.
도5는 압박 부재의 사시도.
도6 내지 도9는 양면 접착 시트의 접착 동작을 도시하는 도면.
도10은 지지 기판의 접합 동작을 도시하는 도면.
도11은 지지 기판의 접합 동작을 도시하는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 기판 접합 장치
2 : 베이스
3 : 웨이퍼 공급부
4 : 지지 기판 공급부
5 : 웨이퍼 회수부
6 : 로봇 아암
10 : 접착 시트 공급부
11 : 세퍼레이터 회수부
12 : 유지부
15 : 커터 유닛
16 : 시트 회수부
W1 : 웨이퍼
C3 : 카세트

Claims (30)

  1. 워크에 양면 접착 시트를 개재시켜 지지용 기판과 접합하는 기판 접합 방법에 있어서,
    상기 워크에 양면 접착 시트를 접착하는 부착 과정과,
    복수개의 유지 수단으로 상기 기판의 주연을 유지하고, 접착된 상기 양면 접착 시트를 사이에 두고 상기 워크와 기판을 근접시켜 대향 배치하는 위치 맞춤 과정과,
    대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재로 상기 기판의 비접합면의 대략 중앙으로부터 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 기판면에 편평 접촉시키면서 기판을 워크에 접합하는 접합 과정과,
    상기 압박 부재의 탄성 변형에 의한 기판면에 대한 압박 접촉면이 기판 주연에 근접하면, 상기 유지 수단에 의한 기판의 유지를 해제하여 기판 외측으로 퇴피시키는 퇴피 과정을 포함하는 기판 접합 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 유지 수단의 선단부를 경사 하방으로 요동시키는 기판 접합 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 유지 수단을 하강시키는 기판 접합 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 기판에 접촉하는 선단부로부터 설치 기단부측을 향해 압박 부재의 경도를 높여 가는 기판 접합 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 기판에 접촉하는 선단부의 중심으로부터 직경 방향으로 압박 부재의 경도를 높여 가는 기판 접합 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 압박 부재의 기판에 접촉하는 선단부에 편평면을 형성하고, 상기 편평면으로부터 기판으로 접촉시켜 가는 기판 접합 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 접합 과정에서는, 감압 분위기 중에서 지지용 기판을 워크에 접합하는 기판 접합 방법.
  8. 워크에 양면 접착 시트를 개재시켜 지지용 기판과 접합하는 기판 접합 방법에 있어서,
    상기 기판에 양면 접착 시트를 접착하는 부착 과정과,
    복수개의 유지 수단으로 상기 워크의 주연을 유지하고, 접착한 상기 양면 접착 시트를 사이에 두고 상기 워크와 기판을 근접시켜 대향 배치하는 위치 맞춤 과 정과,
    대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재로 상기 워크의 비접합면의 대략 중앙으로부터 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 워크에 편평면을 접촉시키면서 워크를 기판에 접합하는 접합 과정과,
    상기 압박 부재의 탄성 변형에 의한 워크에 대한 압박 접촉면이 워크 주연에 근접하면, 상기 유지 수단에 의한 워크의 유지를 해제하여 워크 외측으로 퇴피시키는 퇴피 과정을 포함하는 기판 접합 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 압박 부재로 워크를 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 유지 수단의 선단부를 경사 하방으로 요동시키는 기판 접합 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 압박 부재로 워크를 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 유지 수단을 하강시키는 기판 접합 방법.
  11. 제8항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 워크에 접촉하는 선단부로부터 설치 기단부측을 향해 압박 부재의 경도를 높여 가는 기판 접합 방법.
  12. 제8항에 있어서, 상기 접합 과정에 있어서, 워크에 접촉하는 선단부의 중심으로부터 직경 방향으로 압박 부재의 경도를 높여 가는 기판 접합 방법.
  13. 제8항에 있어서, 상기 압박 부재의 워크에 접촉하는 선단부에 편평면을 형성하고, 상기 편평면으로부터 기판으로 접촉시켜 가는 기판 접합 방법.
  14. 제8항에 있어서, 상기 접합 과정에서는 감압 분위기 중에서 지지용 기판을 워크에 접합하는 기판 접합 방법.
  15. 워크에 양면 접착 시트를 개재시켜 지지용 기판을 접합하는 기판 접합 장치에 있어서,
    상기 양면 접착 시트가 접착된 워크의 비접착면을 유지하는 유지 테이블과,
    상기 기판의 주연의 복수 개소를 유지하고, 상기 유지 테이블에 적재 유지된 워크의 양면 접착 시트 접착면에 기판을 근접시켜 대향 배치하는 유지 수단과,
    대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재를 구비하고, 상기 유지 수단에 유지된 기판의 비접합면을 압박 부재로 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 기판면에 편평 접촉시키면서 기판을 워크에 접합하는 접합 수단과,
    상기 압박 부재의 탄성 변형에 수반하여 상기 유지 수단에 의한 기판의 유지를 해제시켜 기판 외측으로 퇴피시키는 구동 수단을 포함하는 기판 접합 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 압박 부재는 그 반구형의 접촉 개시 위치가 되는 선단부를 편평면으로 구성하는 기판 접합 장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기 압박 부재는 기판에 접촉하는 선단부로부터 설치 기단부측을 향함에 따라서 경도가 높아지도록 구성하는 기판 접합 장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 압박 부재는 기판에 접촉하는 선단부의 중심으로부터 직경 방향으로 그 경도가 높아지도록 구성하는 기판 접합 장치.
  19. 제15항에 있어서, 상기 유지 수단은 기판 주연을 거는 걸림 갈고리로 구성하는 기판 접합 장치.
  20. 제19항에 있어서, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 걸림 갈고리의 선단부를 경사 하방으로 요동시키도록 구성하는 기판 접합 장치.
  21. 제19항에 있어서, 압박 부재로 기판면을 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 걸림 갈고리를 하강시키도록 구성하는 기판 접합 장치.
  22. 제15항에 있어서, 적어도 상기 유지 테이블, 유지 수단 및 접합 수단을 감압실에 수용하여 구성하는 기판 접합 장치.
  23. 워크에 양면 접착 시트를 개재시켜 지지용 기판을 접합하는 기판 접합 장치에 있어서,
    상기 양면 접착 시트가 접착된 기판의 비접착면을 유지하는 유지 테이블과,
    상기 워크의 주연의 복수 개소를 유지하고, 상기 유지 테이블에 적재 유지된 기판의 양면 접착 시트 접착면에 워크를 근접시켜 대향 배치하는 유지 수단과,
    대략 반구형의 탄성체로 구성된 압박 부재를 구비하고, 상기 유지 수단에 유지된 워크의 비접합면을 압박 부재로 압박하고, 이 압박 부재를 탄성 변형시켜 워크에 편평 접촉시키면서 워크를 기판에 접합하는 접합 수단과,
    상기 압박 부재의 탄성 변형에 수반하여 상기 유지 수단에 의한 워크의 유지를 해제시켜 기판 외측으로 퇴피시키는 구동 수단을 포함하는 기판 접합 장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 압박 부재는 그 반구형의 접촉 개시 위치가 되는 선단부를 편평면으로 구성하는 기판 접합 장치.
  25. 제23항에 있어서, 상기 압박 부재는 워크에 접촉하는 선단부로부터 설치 기단부측을 향함에 따라서 경도가 높아지도록 구성하는 기판 접합 장치.
  26. 제23항에 있어서, 상기 압박 부재는 워크에 접촉하는 선단부의 중심으로부터 직경 방향으로 그 경도가 높아지도록 구성하는 기판 접합 장치.
  27. 제23항에 있어서, 상기 유지 수단은 워크 주연을 거는 걸림 갈고리로 구성하는 기판 접합 장치.
  28. 제27항에 있어서, 압박 부재로 워크를 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 걸림 갈고리의 선단부를 경사 하방으로 요동시키도록 구성하는 기판 접합 장치.
  29. 제27항에 있어서, 압박 부재로 워크를 압박하는 데 수반하여 생기는 휨에 추종하여 복수개의 걸림 갈고리를 하강시키도록 구성하는 기판 접합 장치.
  30. 제23항에 있어서, 적어도 상기 유지 테이블, 유지 수단 및 접합 수단을 감압실에 수용하여 구성하는 기판 접합 장치.
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